JPH037833B2 - - Google Patents

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JPH037833B2
JPH037833B2 JP18861386A JP18861386A JPH037833B2 JP H037833 B2 JPH037833 B2 JP H037833B2 JP 18861386 A JP18861386 A JP 18861386A JP 18861386 A JP18861386 A JP 18861386A JP H037833 B2 JPH037833 B2 JP H037833B2
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JP
Japan
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valve body
valve
partition wall
fluid
opening
Prior art date
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Expired
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JP18861386A
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English (en)
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JPS6347573A (ja
Inventor
Shotaro Mizobuchi
Tosha Kanamori
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Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Publication date
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Publication of JPS6347573A publication Critical patent/JPS6347573A/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、バルブに関し、特に超純水、医薬品
等の液体の汚染防止に好適なバルブを提供するこ
とにある。
[従来技術] 従来、管路を流れる流体の流量を調節する手段
として、バルブが用いられている。このバルブと
しては、仕切弁、玉形弁、アングル弁、逆止弁、
コツク、ボール弁、プラグ弁などさまざまな種類
がある。
第6図は従来のねじ込み玉形弁(JIS B2011参
照)の断面図である。1は流体の流入口1aと流
出口1bとが備えられた弁箱であり、流入口1a
及び流出口1bには配管用のねじ部が形成されて
いる。弁箱1の上部には、ふた2Aが螺合され、
ふた2Aの軸線には弁棒7Aが貫通して配設され
ている。弁棒7Aの一端にはハンドル車8がナツ
ト9によつて固定され、他端には弁押え4Aが固
定されている。また弁棒7Aの中間位置にはねじ
部7aが形成され、ふた2Aに形成されたねじ部
2aと螺合し、ハンドル車8の回転によつて弁棒
7Aが回転しつつ上下方向に移動する。
弁押え4Aには弁体3が螺合され、弁体3の外
周面3aと弁箱1の内部に形成された仕切壁1c
の開口1dとの間隔をハンドル車8によつて調節
することによつて流体の流量を変えるものであ
る。なお、ふた2Aの上部には、パツキン10及
びパツキン押え輪5が収められ、パツキン押えナ
ツト6により押圧されて、弁棒7A及びふた2A
の貫通部の軸封を行つている。
[発明が解決すべき問題点] この種のバルブは弁体3が弁箱1内の仕切壁1
cに形成された開口1dに対して接近したり遠の
いたすることによつて流路の開口面積を調節し、
流体の流量を調整するものである。
したがつて、流れを遮断する場合には弁体3を
前記開口1dに押圧し、弁体3によつて開口1d
を完全に閉鎖していた。したがつて流れを遮断す
る場合には常に弁体3と開口1dとにおいて固体
接触が行われ、この時、僅かであるが、摩耗粉が
発生していた。すなわち、弁を開閉するたびに弁
体3、ねじ部2a,7aおよび軸封部すなわちパ
ツキン押え輪5等において摩耗粉が発生し、取扱
い流体が超純水、医薬品等である場合には、弁の
作動によつて流体が著しく汚染されていた。した
がつて、この種の分野において極力バルブの設置
数を少なくするか、若しくは摺動による摩耗が著
しく少ないセラミツクスで形成した弁を用いるこ
とが一般的である。
しかし、前者においては流量の制御を充分に行
うことができない欠点があり、又後者においては
バルブの価格が高価なものとなり、しかも基本的
には固体接触部からの摩耗粉の発生を防止するも
のではない。
[発明の目的] 本発明は前述のような問題点に鑑みてなされた
もので、バルブの作動に際し摩耗粉の発生を防止
するとともに耐久性に優れ、しかも比較的簡単な
構造のバルブを提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段] 本発明によれば、流体が通過するための開口が
形成された流体の通路を仕切る仕切壁と、永久磁
石、導電性材料あるいはヒステリヒス材料のうち
から選ばれた少なくとも一種の材料で形成された
部材が埋設されるとともに前記開口に対向する任
意の位置で回転可能な弁体と、該弁体を支持する
とともに回転磁界発生手段により弁体を回転して
弁体と前記仕切壁との間の間隙を調節する位置調
節機構とを備え、前記弁体と仕切壁または仕切壁
に固設された部材とが対向する面のいずれか一方
の面および前記弁体と位置調節機構の一部とが対
向する面のいずれか一方の面に、それぞれ動圧発
生用の溝を形成している。
[発明の作用効果] 本発明のバルブは、流体が通過する開口に対向
して配備された弁体に永久磁石、導電性材料或い
はヒステリシス材料のうちから選ばれた少なくと
も一種の材料の部材を埋設し、回転する磁界によ
つて該弁体を任意の位置で回転を可能とし、さら
に、弁体と仕切壁又は仕切壁に固定された部材と
が対向する面のいずれか一方の面及び弁体と弁体
の位置調節機構の一部とが対向する面のいずれか
一方の面に夫々動圧発生用の溝を形成したもので
あるから、弁体の回転により弁体と仕切壁又は仕
切壁に固定された部材との間及び弁体と位置調節
機構の一部との間に夫々流体の動圧が生じ、した
がつて、弁体と仕切壁又は仕切壁に固定された部
材との間隔が極めて小さくなつた場合においても
流体の動圧によつて固体接触することがない。
即ち、本発明のバルブにおいては流体の流量を
調節するに際し、固体接触がないので摩耗粉が発
生せず、したがつて超純水、医薬品等の清浄な液
体を取扱う場合のバルブとして好適である。
[好適な実施の態様] 本発明の実施に対し、回転磁界発生手段と弁体
に埋設された回転磁界と同期して回転する部材の
組合せは、積層シートコイルと永久磁石、または
導電性材料、あるいはヒステリヒス材料から形成
された部材が好ましく、また永久磁石と永久磁石
のマグネツトカツプリング、電磁石と永久磁石の
同期マグネツトカツプリング、あるいは公知のマ
グネツトカツプリングが好ましい。
本発明の実施に際し、弁体の位置調節機構は手
動式、電動式、油圧式あるいは空圧式のいずれの
方式でもよいが、弁体への押圧力を所定の値に設
定できる電動式、空圧式あるいは油圧式のものが
優れている。
本発明の実施に際し、弁体および表面が弁体に
対向する部材の材料には、硬質のセラミツクス
材、例えばSiC、Si3N4、Al2O3等を用いるのが好
ましい。このようにすると、流体の流れに対する
耐食性を向上しまたスラリに対する耐久性を向上
することができる。
本発明の実施に際し、弁体および表面が弁体に
対向する部材の表面は、全体として、うねりが
1μm以下で、かつ面粗度(Rmax)か1μm以下の
平滑な平面に形成するのが好ましい。
本発明の実施に際し、動圧発生用の溝は、スパ
イラル状、ヘリングボーン状に形成し前記硬質セ
ラミツクス材で形成された部材のランド部分を合
成樹脂で被覆し、シヨツトブラストにより3ない
し50μmの深さに形成するのが好ましい。
本発明の実施に際し、弁体の形状は円板状が好
ましいが、円錐状に形成するのも好ましい。円錐
状の場合は、動圧発生用の溝によつて下流側から
上流側へ向う流れを起こし、その流量を調節する
ことによつて流れを遮断することができ、また流
量を微細に調節することができる。
本発明の実施に際し、位置調節機構の弁体側と
弁箱のふたとの間にベローズを設けるのが好まし
い。このようにすると、液体が固体接触部へ漏れ
出して摩耗粉により汚染するのを防止することが
できる。
[実施例] 以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
第1図において第6図に対応する部分について
は、同じ符号を付して重複説明を省略する。
第1図において、仕切壁1cの開口1dの出口
側の壁面には、環状の硬質セラミツクス材からな
る弁座20が一体に固着され、弁座20の中央に
も開口21が形成され、これら開口1d,21に
より流体の通過する開口が形成されている。な
お、22は永久磁石23が埋設された弁体22で
あるが、詳細については後述する。
弁箱1の上部には、ふた2が螺合され、ふた2
の軸線には弁棒7が貫通して配設されており、弁
棒7の先端は後述する弁押え4の固定板4cに当
接されている。そして、これら弁棒7、ハンドル
車8、ねじ部7a,2aおよび弁押え4により弁
体22の位置調節機構が構成されており、ふた2
のねじ部2bの内周面には、合成樹脂製のベロー
ズ24の一端の外周面が接着固定されている。
前記弁押え4は、弁体22に対向する摺動板4
aと、摺動板4aの上面に接着された固定子4b
と、固定子4bとの間にベローズ24の底部を挟
持する固定板4cと、固定子4b、ベローズ24
および固定板4cを一体に結合するピン4dとか
らなつている。
摺動板4aは硬質セラミツクス材から形成さ
れ、固定子4bはシートコイルを積層して形成さ
れ、固定板4cに止着されたリード線2bはふた
2に設けられた透孔2cを通つて図示しない外部
の電源に接続されている。そして、固定子4bは
電源からの給電により回転磁界(交番磁界を含
む)を発生するようになつており、位置調節機構
の回転磁界発生手段を構成している。
前記ベローズ24の固定子4b側の内周面は固
定子4bの外周面に接着固定され、したがつて、
ベローズ24は、ねじ部2b側の接着部と協働し
て液体がねじ部2a,7aの螺合部およびパツキ
ン押え輪5へ漏れ出して摩耗粉による汚染を防止
するようになつている。
第2図a,bにおいて、弁体22は、円盤状の
永久磁石23と、その永久磁石23を覆うそれぞ
れ硬質のセラミツクス材で形成された上面板28
および下面板27とからなり、相互に接着一体化
されている。永久磁石23には、円周方向を複数
個(図示の例では6個)に等分割して磁極N,S
が交互に着磁されている。なお、22aは弁体2
2の上面、22bは下面を示す。
第3図aは弁座20の弁体22に対向する側の
面20aを示している。面20aは、全体のうね
りが1μm以下で、かつ面粗度(Rmax)が1μm以
下の平滑な平面に形成されている。
第3図bは弁体22の下面22bを示し、複数
本の動圧発生用の図示の例では軸線方向の下方か
ら見て時計方向Aに拡がるスパイラル溝30(黒
色部分)が形成されている。この溝30の深さは
3ないし50μmであつて、隣接するランド31の
表面は全体に亙つてうねりが1μm以下で、かつ
面粗度(Rmax)が1μm以下に形成されている。
なお、中央のランド31a内に2点鎖線で示す円
は、弁座20の開口21に対応する円の外形を示
している。前記スパイラル溝30は、ランド部分
を合成樹脂で被覆し、シヨツトブラストにより前
記深さに加工する。
第3図cは弁体22の上面22aを示し、下面
22bと同様なスパイラル溝30およびランド3
1が形成され、下面22bのランド31aに相当
する部分(黒丸部分)33は溝30と同じ深さに
形成された均圧部である。
第3図dは摺動板4aの弁体22に対向する側
の面を示し、全体に亙つてうねりが1μm以下で
面粗度(Rmax)が1μm以下の平滑な面に形成さ
れている。
次に作用について説明する。
リード線26から固定子4bへ給電すると、固
定子4bには弁棒7の軸線方向と略直角な面に沿
う回転磁界が発生し、弁体22は回転磁界と同期
して矢印A方向へ回転する。この弁体22の回転
に伴い、動圧発生用のスパイラル溝30によつて
流体が中心部へ押し込まれて流体の動圧が発生す
るので摺動板4aと弁体22とは固体接触するこ
とはない。また弁が大きく開放されている場合は
弁体22と摺動板4aとの間でのみ動圧が発生
し、弁体22と弁座20との間には実質的に動圧
は発生しないが、弁体22が弁座20と接近した
位置にある場合は弁体22と弁座20との間にも
動圧が発生し、弁棒7によつて弁体22が弁座2
0へ強く押圧されても流体の動圧によつて互いに
固体接触することはない。したがつて、開口1
d,21を流れる液体の流量を任意に調節すると
ともに、摩耗粉の発生を防止し、その結果、取扱
い液体の汚染を防止することができる。また、弁
の主要部分(弁座20、弁体22および摺動板4
a)に硬質セラミツクス材を用いているので、耐
久性を向上することができる。また弁体22を他
部品と結合しない円板体に形成しているので、構
造を比較的簡単にすることができる。
第4図は本発明のバルブの動圧発生用の溝の他
の実施例で、ヘリングボーン状の溝34を示した
ものである。ヘリングボーン状の溝34は内周溝
36と外周溝35とからなり、この形状で矢印A
方向へ回転した場合、内周溝36と外周溝35と
の接続部の円周に沿つて最大の動圧が発生する。
なお、第4図中2点鎖線の円39は弁座20の開
口21に対応する円の外径を示したものである
が、この開口21の大きさは、中央部のランド4
0よりも大きくてもよい。
第5図は本発明のバルブの弁体の別の実施例を
示している。弁体41は図示しない弁棒7と対向
する硬質セラミツクス材で形成された上面板42
と、2点鎖線で示す円錐状の開口48を有する硬
質セラミツクス材で形成された仕切壁44と対向
する先端部が円錐大径状の硬質セラミツクス材で
形成された下面板45と、上面板42と下面板4
5との内部に埋設された円板状の永久磁石43と
からなり、永久磁石43には、第2図aに示す永
久磁石23と同様の磁極が着磁されている。ま
た、上面板42の上面すなわち図示しない弁棒7
に対向する面42aには、第3図cに示すのと同
様の動圧発生用のスパイラル溝30、均圧部33
が形成され、下面板45の仕切壁44と対向する
円錐面45aには動圧発生用のスパイラル溝(黒
色部分)46が形成されている。また、ランド4
7の表面は、前記と同様に平滑な面に形成され、
かつ、理想的な円錐面からのずれ、すなわちうね
りが前記と同様な範囲となるように形成されてい
る。また仕切壁44に形成された開口48の円錐
面48aも下面板45と同じ勾配、平滑度に形成
されている。この実施例では軸線49に略直角な
平面に沿う回転磁界によつて弁体41が矢印Aの
方向に回転すると、図示しない位置調節機構によ
つて弁体41が仕切壁44と近接した状態となつ
た時、動圧発生用の溝46の作用により、弁体4
1と仕切壁44との間に流体の動圧が発生し、弁
体41と仕切壁44とは互いに固体接触すること
はない。
また、この状態において、溝46は下流側の流
体を上流側へ押し出すように作用するので、弁体
41と仕切壁44とは互いに固体接触していなく
ても流量は遮断できる。
すなわち、流体を遮断しようとする場合、溝4
6による流体の逆流量が多ければ、全体の流量と
しては負になる。従つて、遮断したときの差圧に
よつて弁体41の回転数を調節するか若しくは弁
体41を仕切壁44に押圧する力を調節するかし
て、動的な平衡を維持しつつ全体の流量を遮断す
ることができる。また弁棒7を仕切壁から遠ざけ
ることによつて流体の流量は増加するものである
が、弁体41を弁棒7に押圧する力は弱まるの
で、弁体41の回転速度は比較的低いものでもよ
い。また、弁体41と開口48の対向する面は円
錐状に形成されているので、弁棒7の移動量Lに
よる相互の間隙の変化量Dは、D=Lsin(円錐角)
と小さい。したがつて、流量を微細に調節するこ
とができる。
[まとめ] 以上説明したように本発明によれば、バルブの
作動に際し、固体接触による摩耗粉の発生を防止
するとともに、耐久性を向上し、構造を簡単化す
ることができる。その結果、取扱い流体の汚染を
防止し、超純水、医薬品等の液体を取扱うバルブ
に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す側断面図、第
2図aは弁体の側断面図、第2図bは第1図の
−線矢視断面図、第3図aは弁座の上面図、第
3図bは弁体の下面図、第3図cは弁体の上面
図、第3図dは摺動板の下面図、第4図は動圧発
生用溝の他の実施例を示す平面図、第5図は弁体
の他の実施例を示す左半部を断面図で示す側面
図、第6図は従来のねじ込み玉形弁を示す側断面
図である。 1……弁箱、1c……仕切壁、1d,21……
開口、4……弁押え、4a……摺動板、4b……
固定子、7……弁棒、8……ハンドル車、20…
…弁座、22,41……弁体、23,43……永
久磁石、30,46……スパイラル溝、34……
ヘリングボール状の溝。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 流体が通過するための開口が形成された流体
    の通路を仕切る仕切壁と、永久磁石、導電性材料
    あるいはヒステリヒス材料のうちから選ばれた少
    なくとも一種の材料で形成された部材が埋設され
    るとともに前記開口に対向する任意の位置で回転
    可能な弁体と、該弁体を支持するとともに回転磁
    界発生手段により弁体を回転して弁体と前記仕切
    壁との間の間隙を調節する位置調節機構とを備
    え、前記弁体と仕切壁または仕切壁に固設された
    部材とが対向する面のいずれか一方の面および前
    記弁体と位置調節機構の一部とが対向する面のい
    ずれか一方の面に、それぞれ動圧発生用の溝を形
    成したことを特徴とするバルブ。
JP18861386A 1986-08-13 1986-08-13 バルブ Granted JPS6347573A (ja)

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JP18861386A JPS6347573A (ja) 1986-08-13 1986-08-13 バルブ

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JP2511603B2 (ja) * 1991-12-27 1996-07-03 住友金属鉱山株式会社 ピン打ち装置
JP2511602B2 (ja) * 1991-12-27 1996-07-03 住友金属鉱山株式会社 ピン打ち装置

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