JPH0377911A - 光シャッタアレイ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ２　（産業上の利用分野） 本発明は、光シャッタアレイ及びその製造方法に関する
。更に詳述すると、本発明は電気光学効果を利用した光
シャッタアレイとその製法に関する。

（従来の技術） 電気光学効果として、印加電界に対して媒質の複屈折が
変化する現象が知られている。この現象を利用し、印加
する電界を制御することによって媒質に光の透光・遮光
動作を行なわせるようにした光シャッタアレイが従来提
案されている。この光シャッタアレイは、板状の電気光
学効果を有する物質例えばＰＬＺＴに薄型電極をくし歯
状に配置し、個々の電極にかかる電圧を制御してＰＬＺ
Ｔに所定の電界を印加するようにしたものである。

電極１０１は、従来、アルミ蒸着とエツチング処理によ
ってＰＬＺＴ１０２の表面に形成されている。

例えば、第３図（Ａ）に示すようにＰＬＺＴ、１０２の
一方の面に取付けたり、第３図（Ｂ）に示ずようにＰＬ
ＺＴ１０２の両面に取付けたり（特開昭６２−４２１２
０号）、第３図（Ｃ）に示すよ’４　Ｇ、：　Ｐ　Ｌ　
Ｚ　ＴｌＯ２に溝加工を施してＰＬＺ’ｌ”１０２・の
深さ方向に電極１０１を一部埋め込むようにして取付け
られている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、電極１０１が電気光学効果を有する物質
１０２の表面に形成されている場合、物質内部で均一に
電気光学効果が起こり難い、このため、駆動電圧を高く
しなくてはならない、また、電極１０１の一部を物質１
０２内に埋め込む場合、狭隘な涌１０３を加工すること
が困難であるし、この溝加工のなめ機械的強度が劣ると
いう問題がある。更に、上述の従来のシャッタアレイは
、電気光学効果を有する物質１０２上に電極１０１のリ
ード部分１０４も形成しているため、実際のシャッタ部
分よりも広い面積のものが必要となり、コスト高となる
。

本発明は、安価でかつ低い駆動電圧によって確実に作動
するシャッタアレイを提供することを目的とする。また
、本発明はそのような構造のシャッタアレイを簡単に製
造できる製造方法を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） かかる目的を達成するため、本発明の光シャッタアレイ
は、電気光学効果を有する基板と、該基板の対向する２
つの而に設けられた電極部と、上記基板の上記電極部を
設けた面を囲む樹脂支持部と、該樹脂支持部に設けられ
上記電極部と接続されている外部接続用電極部とから構
成されている。

また、本発明の光シャッタアレイは、電気光学効果を有
する基板の対向する２つの面に電極部を設け、上記基板
の上記電極部を設けな面を囲むように上記基板の周囲を
樹脂でモールドし、上記基板と上記電極部を露出させ、
上記電極部に接続される外部接続用電極部を上記モール
ドされた樹脂支持部表面に形成するようにして製造され
ている。

（作用） したがって、電気光学効果素子の光の透過方向に平行な
面に形成された電極の間で電界が印加され、電気光学効
果が厚み方向に均一に現れる。

また、電気光学効果素子とその両面に設けられた各電極
はその周囲を樹脂支持部材によって完全に囲繞され一体
化される。

（実施例） 以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基づいて詳細
に説明する。

第１図（Ａ）及び（Ｂ）に本発明の光シャッタアレイの
一実施例を示す、このシャッタアレイ１は、電気光学効
果を有する物質から成る基板２と。

前記基板２の一方の面に設けられた複数の個別電極３．
・・・、３と、前記基板２の他方の面に設けられた共通
電極４と、前記基板２及び両＄極３，４を前記基板２と
の間で挾み画電極３，４を含む面内においてこれらの周
囲を完全に囲繞する樹脂支持部材５と、前記支持部材５
上に設けられて各個別＄４ｆ１３．・・・、３及び共通
電極４に個々に接続されている外部接続用電極部６．７
とから構成されている。

前記個別Ｗｊｈ極３．・・・、３には対応する外部接続
用電極部６．・・・、６が夫々樹脂支持部材５上に形成
されて接続され、各個別電極を個々に制御し得るように
設けられている。尚、電極３．４としてはアルミニウム
、金、銅等の電極材を真空蒸着、スパッタリング、めっ
き等の薄膜形成技術を用いて所望の形状及び厚みに形成
されている。また、共通型！！＃４は図示の如く基板２
の全面を覆う１つの電極とせず、個別電極３．・・・、
３に対応する複数の電極として形成しても良い。

電気光学効果を有する基板２は、印加電界に対して複屈
折が変化する現象を呈する蝋質であり、例えばＰＬＺＴ
の使用が好適である。ＰＬＺＴは（Ｐｂ、Ｌａ）（Ｚｒ
、ＴＩ）０３の化学式で表わされるセラミックスである
。このＰ　Ｌ　Ｚ　Ｔは透過率が高く大きな電気光学係
数を存し、応答速度が速く可動部がない等の高速光シャ
ッタとして有利な条件を備えている４ また、樹脂支持部材５としては工ｄ？キシ樹脂、フェノ
ール樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられ、特にエポキシ
樹脂の使用が好ましい。

以上のように構成されたシャッタアレイによれば、次の
ように光シャッタとして作動する。

任意の個別電極３．・・・、３と共通な極４との間に所
定の電界を印加すれば、それらの間めＰ［、ＺＴ・基板
２が複屈折を起し、その前後に偏光板で偏光子、検光子
を構成すると、シャッタとして動作する。即ち電界が印
加された部分のＰＬＺＴ・基板２にのみ光を通過させ、
・その他の部分では遮光する。

次に上述の構成の光シャッタアレイの製造方法について
説明する。

まず、Ｐ　Ｌ　Ｚ　’ｆ’の基板２の一方の全面にアル
ミニウム、金、銅等の＃４極材を真空蒸着、スパッタリ
ング、めっき等の薄膜形成技術を用いて固着させ、一定
厚さの薄膜を形成する。その電極薄膜にフォトリソグラ
フィ等のパターン形成手法を用いて所定電極パターン例
えばストライプ状の個別電極３．・・・、３を形成する
。フォトリソグラフィは、例えばポジ型フォトレジスト
を電極材ｍＭ４の上に塗布し、を極材を必要としない箇
所だけに光が照射されるようにフォトマスクを通して紫
外線を照射し、現像液により感光剤１を取り除き、残っ
た感光剤を保護膜にしてエツチングにより電極材を部分
的に取除く、その後、感光剤は除去される。また、ＰＬ
ＺＴ−基板２の他方の面（裏面）にＡＩ等の電極材を真
空蒸着等によって固着し、共通電極４を全面に形成する
［第２図（Ａ）］。

次いで、両面にｔｉ３．４を付けたＰ　Ｌ、ＺＴ・基板
２を金型（図示省略）に入れ、基板２の周囲を全てエポ
キシ樹脂などで覆うように樹脂支持部材５でモールドし
、全体を１つのブロック状に固める［第２図（Ｂ）］。

次いで、このブロック１０をＰＬＺＴ・基板２の厚み方
向即ち電極３，４及び基板２と直交する面で所望の厚さ
にスライスする［第２図（Ｃ）］。

スライスされたブロックチップ１１は表面が荒れている
ので、機械研摩、化学研摩などの手法を用いて外部接続
電極が作製できるように表面が研磨される［第２図（Ｄ
）］。

そして、そのブロックチップ１１の片面にアルミニウム
等の電極材を真空蒸着等によって薄膜状に被膜し、フォ
トリソグラフィによって所望の外部接続用電極部６．・
・・、６を支持部材５上に、また共通電極４１ＩＩの樹
脂支持部材５上に外部接続用電極部７を形成する［第２
図（Ｅ）］、外部接続用電極部６．・・・、６は対応す
る個別電極３．・・・３と夫々接続され、外部接続用電
極部７は共通な極４と接続されている。

尚、上述の実施例は本考案の好適な実施の一例ではある
がこれに限定されるものではなく本考案の要旨を逸脱し
ない範囲において種々変形実施可能である０例えば、シ
ャッタアレイ１を２組用意し、これらを各共通電極４．
４が向い合うように背中合せに組合せて低融点ガラス等
の接着剤で接合し、これを樹脂でモールドして１つのブ
ロックを構成するように固めスライスすることもある。

この場合、一方の樹脂支持部材５．５上に形成されてい
る個別電極３．・・・、３は、他方の個別電極３、・・
・１３０間に位置するように千鳥状に配置する。二とが
望ましい。

（発明の効果） 以上の説明より明らかなように、本発明の光シャッタア
レイは、電気光学効果を有する基板と、該基板の対向す
る２つの面に設けられた電極部と、前記基板の上記電極
部を設けた面を囲む樹脂支持部と、該樹脂支持部に設け
られ上記電極部と接続されている外部接続用電極部とか
ら構成されているので、電気光字効果素子の光の透過方
向に平行な面に形成された個別電極と共通電極との間で
電界が印加され、電気光学効果が厚み方向に均一に現れ
るため、低電圧で駆動できる。また、シャッタ部分にだ
け電気光学効果を存する物質例えばＰしＺＴを使用し、
外部接続用電極部を配線する部分には比穀的安価な樹脂
材料を使用するため、ＰＬＺＴの使用量を最低限に抑え
ることができ、低コスト化が可能である。

しかも、Ｐ　Ｌ　Ｚ　’１”一基板と電極の周囲を樹脂
で完全に囲繞しているので、Ｐ　Ｌ　Ｚ　Ｔと外部接続
電極を形成した支持部材とが剥離することがなく、一体
物として取扱いが容易である。

また、ＰＬＺＴ・基板と樹脂だけの接合性を考慮するれ
ば足りるので、熱膨張係数の違い等による影響が少なく
、材料の選択が容易になる。

また、本発明の光シャッタアレイは、電気光学効果を有
する基板の対向する２つの面に電極部を設け、上記基板
の上記電極部を設けた面を囲むように基板の周囲を樹脂
でモールドし、上記基板と上記電極部を露出させ、上記
電極部に接続される外部接続用電極部を上記モールドさ
れた樹脂支持部表面に形成してなる製造するようにした
ので、ガラスボンディング（接着）工程を必要としない
し、研１ツ工程も基板の剥離の虞がなく容易となり、量
産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光シャッタアレイの一実施例を示す図
で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＩ−Ｉ線断面図である。 第２図（Ａ）〜（Ｅ）は本発明に係る光シャッタアレイ
の製造プロセスの一例を示す加工工程図である。第３図
（Ａ）、（Ｂ）（Ｃ）は従来の光シャッタアレイの電極
の配置の仕方を説明する断面正面図である。 ３・・・個別電極、４・・・共通′ｃ４Ｉｉ、５・・・
樹脂支持部材、 ６．７・・・外部接続用電極部、 １０・・・樹脂モールドされたシャッタアレイブロック
、 １１・・・ブロックからスライスされたシャッタアレイ
チップ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電気光学効果を有する基板と、該基板の対向する
   ２つの面に設けられた電極部と、上記基板の上記電極部
   を設けた面を囲む樹脂支持部と、該樹脂支持部に設けら
   れ上記電極部と接続されている外部接続用電極部とから
   成ることを特徴とする光シャッタアレイ。
2. （２）電気光学効果を有する基板の対向する２つの面に
   電極部を設け、上記基板の上記電極部を設けた面を囲む
   ように上記基板の周囲を樹脂でモールドし、上記基板と
   上記電極部を露出させ、上記電極部に接続される外部接
   続用電極部を上記モールドされた樹脂支持部表面に形成
   してなることを特徴とする光シャッタアレイの製造方法
   。