JPH0375295A - 有機金属材料用バブラ - Google Patents
有機金属材料用バブラInfo
- Publication number
- JPH0375295A JPH0375295A JP21172289A JP21172289A JPH0375295A JP H0375295 A JPH0375295 A JP H0375295A JP 21172289 A JP21172289 A JP 21172289A JP 21172289 A JP21172289 A JP 21172289A JP H0375295 A JPH0375295 A JP H0375295A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bubbler
- organometallic
- carrier gas
- organic metal
- bubbling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 abstract description 11
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
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- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
有機金属材料を用いた気相成長において、蒸気圧変動が
無く安定に材料供給を可能とする有機金属材料用バプラ
に関するものである。
無く安定に材料供給を可能とする有機金属材料用バプラ
に関するものである。
第２図は従来の有機金属バブラを示す断面図で、図にお
いて、１は液体有機金属材料、２は有機金属材料１をバ
ブリングす、るためのキャリアガス、３はキャリアガス
２の気泡、４はバブリングにより生じた有機金属の飽和
蒸気、５は有機金属材料ｌを封入するバブラである。
いて、１は液体有機金属材料、２は有機金属材料１をバ
ブリングす、るためのキャリアガス、３はキャリアガス
２の気泡、４はバブリングにより生じた有機金属の飽和
蒸気、５は有機金属材料ｌを封入するバブラである。
従来の有機金属バブラの使用法は、キャリアガス２によ
り気泡３を発生させて有機金属材料１をバブリングする
ことにより、充分に有機金属の蒸気を発生させ、バブラ
５内の蒸気圧を常に飽和状態とする。この飽和蒸気圧に
達した気体状態にある有機金属材料ｌを気相成長炉に導
入して使用する。
り気泡３を発生させて有機金属材料１をバブリングする
ことにより、充分に有機金属の蒸気を発生させ、バブラ
５内の蒸気圧を常に飽和状態とする。この飽和蒸気圧に
達した気体状態にある有機金属材料ｌを気相成長炉に導
入して使用する。
従来の有機金属用バブラは以上のように構成されていた
ので、キャリアガスにより有機金属材料のバブリングを
行なっているが、この場合大流量に対しては充分なバブ
リング効果は期待できるが、微小流量においてはバブリ
ング間隔が非常に粗となるため安定に材料を供給できな
いという問題点があった。
ので、キャリアガスにより有機金属材料のバブリングを
行なっているが、この場合大流量に対しては充分なバブ
リング効果は期待できるが、微小流量においてはバブリ
ング間隔が非常に粗となるため安定に材料を供給できな
いという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、液体有機金属のバブリングをキャリアガスに
より行なわず、キャリアガス流量によらず安定に有機金
属の飽和蒸気を供給できる有機金属用バブラを得ること
を目的としている。
たもので、液体有機金属のバブリングをキャリアガスに
より行なわず、キャリアガス流量によらず安定に有機金
属の飽和蒸気を供給できる有機金属用バブラを得ること
を目的としている。
この発明に係る有機金属材料用バブラは、バブラ内に液
体有機金属をバブリングし得る羽根車を備えたものであ
る。
体有機金属をバブリングし得る羽根車を備えたものであ
る。
この発明における有機金属用バブラは、キャリアガスに
よる有機金属のバブリングを行なわず、バブラ内に取り
付けられた羽根車により有機金属をバブリングするため
、キャリアガス流量に無関係にしかも安定に有機金属の
飽和蒸気を供給することができる。
よる有機金属のバブリングを行なわず、バブラ内に取り
付けられた羽根車により有機金属をバブリングするため
、キャリアガス流量に無関係にしかも安定に有機金属の
飽和蒸気を供給することができる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例を示す有機金属バブ
ラの断面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の羽根車の一
実施例を示す斜視図である。図中符号１．２．４は前記
従来のものと同一であるので説明を省略する。
ラの断面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の羽根車の一
実施例を示す斜視図である。図中符号１．２．４は前記
従来のものと同一であるので説明を省略する。
本発明における有機金属バブラ５はキャリアガス２の導
入部、出口部があるのみで液体有機金属のバブリングは
行なわない構造となっている。図において、６および７
は液体有機金属をバブリングするための羽根車であり、
これらは第１図（ａ）の点線で示した部分に取り付けら
れる。
入部、出口部があるのみで液体有機金属のバブリングは
行なわない構造となっている。図において、６および７
は液体有機金属をバブリングするための羽根車であり、
これらは第１図（ａ）の点線で示した部分に取り付けら
れる。
次に動作について説明する。
羽根車６はバブラ５に対して水平に、羽根車７はバブラ
５に対して垂直の方向に回転させることにより、有機金
属材料１のバブリングを行なう。
５に対して垂直の方向に回転させることにより、有機金
属材料１のバブリングを行なう。
この際、羽根車６もしくは７の回転速度は、その回転に
より気泡が生じるような速度とすることにより、有機金
属ｌの飽和蒸気が得られるように調整する。このように
して発生した飽和蒸気４は、キャリアガス２により後押
しされることにより供給される。
より気泡が生じるような速度とすることにより、有機金
属ｌの飽和蒸気が得られるように調整する。このように
して発生した飽和蒸気４は、キャリアガス２により後押
しされることにより供給される。
以上のようにこの発明によれば、液体有機金属をキャリ
アガスによりバブリングするのではなく、有機金属用バ
ブラ内に取り付けられた羽根車によりバブリングするた
め、キャリアガス流量によらず微小流量においても安定
に有機金属の飽和蒸気を供給できる効果がある。
アガスによりバブリングするのではなく、有機金属用バ
ブラ内に取り付けられた羽根車によりバブリングするた
め、キャリアガス流量によらず微小流量においても安定
に有機金属の飽和蒸気を供給できる効果がある。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例を示す有機金属バブ
ラの断面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の羽根車の拡
大斜視図、第２図は従来の有機金属バブラの断面図であ
る。 図において、ｌは液体有機金属、２はキャリアガス、３
は気泡、４は有機金属の飽和蒸気、５は有機金属用バブ
ラ、６および７は羽根車である。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 第１図
ラの断面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の羽根車の拡
大斜視図、第２図は従来の有機金属バブラの断面図であ
る。 図において、ｌは液体有機金属、２はキャリアガス、３
は気泡、４は有機金属の飽和蒸気、５は有機金属用バブ
ラ、６および７は羽根車である。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 第１図
Claims (1)
- 液体の有機金属材料をバブラ内に取り付けられた羽根車
によりバブリングすることにより材料の供給を行なうこ
とを特徴とする有機金属材料用バブラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21172289A JPH0375295A (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 有機金属材料用バブラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21172289A JPH0375295A (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 有機金属材料用バブラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375295A true JPH0375295A (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=16610520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21172289A Pending JPH0375295A (ja) | 1989-08-17 | 1989-08-17 | 有機金属材料用バブラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0375295A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0555614A1 (en) * | 1992-02-13 | 1993-08-18 | International Business Machines Corporation | Metal-organic gas supply for MOVPE and MOMBE |
| US9481364B2 (en) | 2013-02-07 | 2016-11-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Drive assist device |
-
1989
- 1989-08-17 JP JP21172289A patent/JPH0375295A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0555614A1 (en) * | 1992-02-13 | 1993-08-18 | International Business Machines Corporation | Metal-organic gas supply for MOVPE and MOMBE |
| US9481364B2 (en) | 2013-02-07 | 2016-11-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Drive assist device |
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