JPH02124796A - 固体有機金属供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、結晶成長用の原料としてＩＩＩ族元素を導
入する際に固体の有機金属から気相原料を安定供給する
ための固体有機金属供給装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来用いられてきた固体有機金属供給装置を示
す概略構成図であり、１は例えば円筒形の固体有機金属
容器本体（以下、単に容器本体という）で、２はこの容
器本体１内に挿設されたデイツプチューブ、３は前記容
器本体１に設けられた有機金属供給管、４は前記容器本
体１内に重積された固体有機金属粉末である。

上記従来の固体有機金属供給装置では、ガスは容器本体
１の上部より導入され、固体有機金属粉末４に通して設
けであるデイツプチューブ２を経て容器本体１の底部か
ら流れ出る。さらに、ガスは固体有機金属粉末４中をデ
イツプチューブ２の外壁に添って上方に流れ固体有機金
属粉末４を昇華させて、これを容器本体１の上部に設け
られた有機金属供給管３を経て結晶成長装置（図示せず
）に供給する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の固体有機金属供給装置は以上のように構成されて
おり、固体有機金属粉末４中をデイツプチューブ２が通
る構造となっているため、デイツプチューブ２よりガス
を流し続けると、固体有機金属粉末４が針状結晶の粉末
であることから、デイツプチューブ２の周囲の粉末付近
にのみガスが流れ込み、デイツプチューブ２に添って図
示のように空間９が形成され、その結果、固体有機金属
粉末４の安定供給が持続しないという問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、充填された固体有機金属粉末の９０％程度
まで安定に供給できる固体有機金属供給装置を得ること
を目的とする。

（課題を解決するための手段） この発明に係る固体有機金属供給装置は、所要形状の容
器本体に設けられたガスの流れを均一にするためのディ
フューザを配設するとともに、その下流に固体有機金属
粉末を保持するための仕切板として通気性を有するメツ
シュフィルタを配設し、ガス導入口とは反対側の前記固
体有機金属容器本体に有機金属供給管を備えたものであ
る。

（作用） この発明では、固体有機金属容器本体に設けたガス導入
口からガスを導入し、このガスをディフューザにより固
体有機金属容器本体内に均一にガスを流し、固体有機金
属容器本体内に仕切板として設けたメツシュフィルタに
より保持された固体有機金属粉末全体にガスを流し込む
ことで有機金属の供給が持続して行われる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面に従って説明する。

第１図はこの発明の一実施例によるＭＯ−ＣＶＤ装置用
の固体有機金属供給装置の全体構成図である。

この実施例は第１図から明らかなように、容器本体１の
底部に容器本体１内にガスを供給するためのガス導入管
５が接続されている。また、供給されたガスを容器本体
１内部に導入する際にガスが通過する位置にディフュー
ザ６が設けられている。このディフューザ６にはメツシ
ュ状に細かい孔６ａが多数開けである。さらに、その下
流に通気性のメツシュフィルタ７を設け、このメツシュ
フィルタ７により固体有機金属粉末４を保持するととも
に、デイフユ−ザ６との空間８を仕切っている。また、
容器本体１の上部には有機金属供給管３が取り付けであ
る。

次に上記実施例の動作を第１図を参照しながら説明する
。

第１図よりわかるように、この実施例においては、ガス
はガス導入管５から容器本体１の底部に導入され、供給
されたガスはディフューザ６を通過した後に容器本体１
内部に導入される。ディフューザ６は、例えば半球形の
形状でメツシュ状に細かな孔６ａが多数開けてあり、こ
の孔６ａによりガスを拡散してガスの流れを均一にする
。容器本体１の内部は通気性を持たせたメツシュ、フィ
ルタ７によフて固体有機金属粉末４を保持するとともに
、ディフューザ６との間を空間８を有している。メツシ
ュフィルタ７には均一なガスの圧力がかかるためメツシ
ュフィルタ７を通るガス流に偏りが無くなる。その結果
、固体有機金属粉末４は常に一定の割合で昇華し、充填
量が少なくなっても安定に気相有機金属原料を供給でき
る。

なお、上記実施例ではディフューザ６に半球形のものを
用いたが、他の形状でもガスの分散が均一であれば同様
の効果が得られる。

また、容器本体１は円筒型に限定されるものではなく、
逆円錐型とすることや、メツシュフィルタ７の口径より
大きな口径の容器本体１に固体有機金属粉末４を充填し
ても同様の効果が得られ、さらに、バイブレータとの組
合わせで、より効果的な供給が長期間にわたり可能にな
る。

また、上記実施例では、ガスは容器本体１の底部から上
方に流れ、昇華した有機金属を上方から供給する場合に
ついて説明したが、ディフューザ６の位置を上部に変更
すれば、ガスが上方から下方に流れる場合であってもよ
く、上記実施例と同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明は、所要形状の容器本体に
設けられたガスの流れを均一にするためのディフューザ
を配設するとともに、その下流に固体有機金属粉末を保
持するための仕切板として通気性を有するメツシュフィ
ルタを配設し、ガス導入口とは反対側の前記容器本体に
有機金属供給管を備えたので、従来のようにデイツプチ
ューブを必要とせずディフューザを通して容器本体内に
ガスを導入しこのガス流を均一に固体有機金属粉末に吹
き込むことができ、したがって、装置がシンプルで安価
にできるとともに、長期間にわたり有機金属の安定供給
が持続できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す固体有機金属供給装
置の全体構成図、第２図は従来の固体有機金属供給装置
の全体構成図である。 図において、１は容器本体、３は有機金属供給管、４は
固体有機金属粉末、５はガス導入管、６はディフューザ
、 ７はメツシュフィルタ、 ８は空 間である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　固体有機金属容器本体にガス導入口を設け、この固体
   有機金属容器本体の内部の前記ガス導入口側にガス流を
   均一化するためのディフューザを備え、前記固体有機金
   属容器本体内に固体有機金属粉末を充填保持するための
   通気性のメッシュフィルタを前記ディフューザとの間に
   空間を設けて配置し、前記固体有機金属容器本体内に充
   填された固体有機金属粉末を前記ガス導入口から供給し
   たガスにより、昇華させて供給するための有機金属供給
   管を前記ディフューザと反対側の前記固体有機金属容器
   本体に設けたことを特徴とする固体有機金属供給装置。