JPH0374374U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0374374U JPH0374374U JP13568689U JP13568689U JPH0374374U JP H0374374 U JPH0374374 U JP H0374374U JP 13568689 U JP13568689 U JP 13568689U JP 13568689 U JP13568689 U JP 13568689U JP H0374374 U JPH0374374 U JP H0374374U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- evaluation
- microstrip line
- jig
- device under
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案による半導体装置の評価治具の
一実施例を示す分解斜視図、第２図は第１図に示
す固定用ブロツクのＡ−Ａ線断面図、第３図は従
来の半導体装置の評価治具を示す分解斜視図であ
る。 １……治具本体、２１，２２……誘電体基板、
２ａ……マイクロストリツプ線路、３１，３２…
…コネクタ、４……ＦＥＴ、４１，４２……リー
ド端子、５……固定用ブロツク、５１，５２……
誘電体ピン、５ｃ……ばね。
一実施例を示す分解斜視図、第２図は第１図に示
す固定用ブロツクのＡ−Ａ線断面図、第３図は従
来の半導体装置の評価治具を示す分解斜視図であ
る。 １……治具本体、２１，２２……誘電体基板、
２ａ……マイクロストリツプ線路、３１，３２…
…コネクタ、４……ＦＥＴ、４１，４２……リー
ド端子、５……固定用ブロツク、５１，５２……
誘電体ピン、５ｃ……ばね。
Claims (1)
- 誘電体基板上に形成されたマイクロストリツプ
線路上に被評価用半導体装置のリード端子を接触
させて評価する半導体装置の評価治具において、
半導体装置を押える固定用ブロツクを設け、この
ブロツク内にばね圧により前記リード端子をマイ
クロストリツプ線路上に押圧する誘電体ピンを取
付けたことを特徴とする半導体装置の評価治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13568689U JPH0374374U (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13568689U JPH0374374U (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0374374U true JPH0374374U (ja) | 1991-07-25 |
Family
ID=31682937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13568689U Pending JPH0374374U (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0374374U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019229798A1 (ja) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体デバイスの電気特性測定装置 |
-
1989
- 1989-11-22 JP JP13568689U patent/JPH0374374U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019229798A1 (ja) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体デバイスの電気特性測定装置 |
| JPWO2019229798A1 (ja) * | 2018-05-28 | 2021-02-12 | 三菱電機株式会社 | 半導体デバイスの電気特性測定装置 |
| US11187741B2 (en) | 2018-05-28 | 2021-11-30 | Mitsubishi Electric Corporation | Electrical characteristic measuring device for semiconductor device |
| DE112018007669B4 (de) | 2018-05-28 | 2024-01-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Vorrichtung zum Messen elektrischer Eigenschaften für eine Halbleitervorrichtung |