JPH0372934B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0372934B2 JPH0372934B2 JP58199092A JP19909283A JPH0372934B2 JP H0372934 B2 JPH0372934 B2 JP H0372934B2 JP 58199092 A JP58199092 A JP 58199092A JP 19909283 A JP19909283 A JP 19909283A JP H0372934 B2 JPH0372934 B2 JP H0372934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- platinum
- thermal air
- grain boundaries
- platinum wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 78
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 24
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 19
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 19
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 5
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 241000234435 Lilium Species 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005482 strain hardening Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、内燃機関の吸入空気量を測定するた
めに用いる熱線式空気流量計用発熱抵抗体に関す
るものである。
めに用いる熱線式空気流量計用発熱抵抗体に関す
るものである。
従来、この種の発熱抵抗体には、特開55−
48613号に記載のように白金がもちいられている
が、この白金は、99.995％（以下、純白金）の純
度の白金線が用いられている。
48613号に記載のように白金がもちいられている
が、この白金は、99.995％（以下、純白金）の純
度の白金線が用いられている。
ところが、純白金抵抗体は不純物が入つていな
いために抵抗の温度係数が3870ppm／℃（０−
100℃）と大きく安定であり、また抵抗値のばら
つきがほとんどない等の利点がある反面、高価で
あるという欠点を有している。
いために抵抗の温度係数が3870ppm／℃（０−
100℃）と大きく安定であり、また抵抗値のばら
つきがほとんどない等の利点がある反面、高価で
あるという欠点を有している。
また、純白金抵抗体の場合、抵抗体を横断する
ような大きな結晶粒界（100μ×100μ）が表面に
形成され、冷熱サイクルが繰り返されると結晶粒
界に沿つて抵抗体を横断する破断層が生じ抵抗値
が大幅に変化する欠点もある。
ような大きな結晶粒界（100μ×100μ）が表面に
形成され、冷熱サイクルが繰り返されると結晶粒
界に沿つて抵抗体を横断する破断層が生じ抵抗値
が大幅に変化する欠点もある。
さらに、表面をガラスコートした場合でもこの
ガラスコートが剥離した後白金抵抗体が割れると
いう現象が生じ、耐久性に問題があつた。
ガラスコートが剥離した後白金抵抗体が割れると
いう現象が生じ、耐久性に問題があつた。
これに対し、特開昭56−160659号公報には、抵
抗体の機械強度と耐久性を向上させるため、白金
に不純物としてニツケル、ロジウム、イリジウ
ム、バドニウム、ルチニウムなどの少なくとも一
種の他の金属を３乃至10％の範囲で添加した白金
合金で抵抗体を形成する技術が記載されている。
しかし不純物の量が多すぎて抵抗体が脆くなり過
ぎ、成形し難く、また物理特性が純白金と大幅に
違つた値となり、特に抵抗値のばらつきが大きく
実用的でないという問題があつた。
抗体の機械強度と耐久性を向上させるため、白金
に不純物としてニツケル、ロジウム、イリジウ
ム、バドニウム、ルチニウムなどの少なくとも一
種の他の金属を３乃至10％の範囲で添加した白金
合金で抵抗体を形成する技術が記載されている。
しかし不純物の量が多すぎて抵抗体が脆くなり過
ぎ、成形し難く、また物理特性が純白金と大幅に
違つた値となり、特に抵抗値のばらつきが大きく
実用的でないという問題があつた。
本発明の目的は、安価でしかも耐久性に優れた
熱線式空気流量計用感熱抵抗体を提供することに
ある。
熱線式空気流量計用感熱抵抗体を提供することに
ある。
本発明は、その表面に極めて微細な多数の結晶
粒界と窪み（たとえば平均的な大きさが6μ×0.5μ
の結晶粒界と、それらの間に形成される深さ
0.3μ、幅0.3μ程度の窪みから成る）とを有する白
金抵抗体を用いて感熱抵抗体を構成したものであ
る。
粒界と窪み（たとえば平均的な大きさが6μ×0.5μ
の結晶粒界と、それらの間に形成される深さ
0.3μ、幅0.3μ程度の窪みから成る）とを有する白
金抵抗体を用いて感熱抵抗体を構成したものであ
る。
以下実施例を基に本発明の原理を説明する。一
般に、白金は高温に曝すと結晶粒が析出し、熱処
理温度が高い程その結晶粒界は大きく成長する。
しかし、不純物が0.1％程度分散混在すると、結
晶粒の析出状況が変わつてくる。即ち、不純物の
介在により粒成長が緩和され、大きくなりにくく
なる。例えば、不純物としてZrO（ジルコニア）
0.06〜0.08％を添加した場合、焼成温度800℃で
は結晶粒の大きさが6μ×0.5μ程度であり、純白金
の100μ×100μ程度に比し、非常に細かい。従つ
て、直径20μmの白金線の表面には粒界が網状に
多数形成される。なお、粒界は巾0.3μ、深さ0.3μ
程度の窪みになりここに不純物のZrOが集中す
る。このような網状の窪みは、白金線の表面積を
約30％増加させている。不純物が分散混在した白
金線が連続冷熱サイクル試験や水滴下試験でガラ
スコートの剥離や割れが軽減できる理由として、
第１にガラスコート焼成（800℃）時に白金線表
面に形成された細かい網状の突起や窪みにガラス
が入り込むため機械的に結合が強化されること、
第２に白金線の粒界に存在する不純物、例えば
ZrO、CaOがオーバーコートガラス焼成（800℃）
の時、ガラス中のSnO、B2O3、CaO、SiO2など
と拡散融合することにより、白金とガラスコート
との密着力が強固になるためと考えられる。一
方、純白金線は前述のように結晶粒が大きく白金
線を横断して粒界が成長するため、前述の冷熱サ
イクル試験107回で白金線に加わる繰り返し伸縮
力が粒界に断層を生じさせて破断する現象がみら
れるのに対し、不純物が0.1％混在した白金線に
ついては、前述のように粒界が細かいため粒界に
断層が生じ、破断につながる心配は全くない。ま
た、不純物混在の白金線はガラスコートの熱処理
によつて表面に突起や窪みが生じ表面積が増加す
るため熱の伝達特性が向上し、応答特性が改善で
きるという利点が生まれる。特に、白金素線を流
体通路に直接張りめぐらす場合、前述の表面積増
加による熱伝達特性向上の効果は非常に大きい。
また、価格は純白金線に対して、不純物が0.1％
混在した白金線は30％程度安価になる。
般に、白金は高温に曝すと結晶粒が析出し、熱処
理温度が高い程その結晶粒界は大きく成長する。
しかし、不純物が0.1％程度分散混在すると、結
晶粒の析出状況が変わつてくる。即ち、不純物の
介在により粒成長が緩和され、大きくなりにくく
なる。例えば、不純物としてZrO（ジルコニア）
0.06〜0.08％を添加した場合、焼成温度800℃で
は結晶粒の大きさが6μ×0.5μ程度であり、純白金
の100μ×100μ程度に比し、非常に細かい。従つ
て、直径20μmの白金線の表面には粒界が網状に
多数形成される。なお、粒界は巾0.3μ、深さ0.3μ
程度の窪みになりここに不純物のZrOが集中す
る。このような網状の窪みは、白金線の表面積を
約30％増加させている。不純物が分散混在した白
金線が連続冷熱サイクル試験や水滴下試験でガラ
スコートの剥離や割れが軽減できる理由として、
第１にガラスコート焼成（800℃）時に白金線表
面に形成された細かい網状の突起や窪みにガラス
が入り込むため機械的に結合が強化されること、
第２に白金線の粒界に存在する不純物、例えば
ZrO、CaOがオーバーコートガラス焼成（800℃）
の時、ガラス中のSnO、B2O3、CaO、SiO2など
と拡散融合することにより、白金とガラスコート
との密着力が強固になるためと考えられる。一
方、純白金線は前述のように結晶粒が大きく白金
線を横断して粒界が成長するため、前述の冷熱サ
イクル試験107回で白金線に加わる繰り返し伸縮
力が粒界に断層を生じさせて破断する現象がみら
れるのに対し、不純物が0.1％混在した白金線に
ついては、前述のように粒界が細かいため粒界に
断層が生じ、破断につながる心配は全くない。ま
た、不純物混在の白金線はガラスコートの熱処理
によつて表面に突起や窪みが生じ表面積が増加す
るため熱の伝達特性が向上し、応答特性が改善で
きるという利点が生まれる。特に、白金素線を流
体通路に直接張りめぐらす場合、前述の表面積増
加による熱伝達特性向上の効果は非常に大きい。
また、価格は純白金線に対して、不純物が0.1％
混在した白金線は30％程度安価になる。
以下、図により本発明の一実施例を説明する。
第１図は熱線エレメント（以下、HW）と温度補
償エレメント（以下、CW）の構造図であり、第
２図に熱線式流量計のHWを駆動する回路図を示
す。第３図にはHW流量計の構造図を示す。第４
図は白金線表面に析出した結晶粒の分布の状況を
示す写真で、Ａは従来の純白金線の場合を、Ｂは
本実施例の純度99.9％の白金線の場合をそれぞれ
示す。第５図は耐久試験後のガラスコートの剥
離、割れの状況を示す写真で、Ａは従来の純白金
線の場合を、Ｂは本実施例の純度99.9％の白金線
の場合をそれぞれ示す。
第１図は熱線エレメント（以下、HW）と温度補
償エレメント（以下、CW）の構造図であり、第
２図に熱線式流量計のHWを駆動する回路図を示
す。第３図にはHW流量計の構造図を示す。第４
図は白金線表面に析出した結晶粒の分布の状況を
示す写真で、Ａは従来の純白金線の場合を、Ｂは
本実施例の純度99.9％の白金線の場合をそれぞれ
示す。第５図は耐久試験後のガラスコートの剥
離、割れの状況を示す写真で、Ａは従来の純白金
線の場合を、Ｂは本実施例の純度99.9％の白金線
の場合をそれぞれ示す。
これらの図において、１はHW、２はパイプ、
３はリード、４は接着剤、５は巻線、６はガラス
コート、１１および１２は抵抗、１３はCW、１
４はアンプ、１５はトランジスタ、２０はハウジ
ング、２１〜２４はターミナル、２５は４端子ホ
ルダ、３０は入口部、３１は主通路、３２は静圧
取り込み口、３３はバイパス通路、３４は中央直
管部、３５はベンチユリ部、３６は吐出口であ
る。
３はリード、４は接着剤、５は巻線、６はガラス
コート、１１および１２は抵抗、１３はCW、１
４はアンプ、１５はトランジスタ、２０はハウジ
ング、２１〜２４はターミナル、２５は４端子ホ
ルダ、３０は入口部、３１は主通路、３２は静圧
取り込み口、３３はバイパス通路、３４は中央直
管部、３５はベンチユリ部、３６は吐出口であ
る。
HW１は第２図に示すように他の抵抗１１，１
２、CW１３と共にブリツジ回路を構成してお
り、このブリツジ回路におけるHW１とCW１３
とに生じる差電圧がアンプ１４を介して差動増幅
されてトランジスタ１５を駆動する。トランジス
タ１５の出力はブリツジ回路にフイードバツクさ
れる。
２、CW１３と共にブリツジ回路を構成してお
り、このブリツジ回路におけるHW１とCW１３
とに生じる差電圧がアンプ１４を介して差動増幅
されてトランジスタ１５を駆動する。トランジス
タ１５の出力はブリツジ回路にフイードバツクさ
れる。
HW１とCW２は共にバイパス通路３３に配置
され、HW１の発熱温度はCW１３で検知される
空気の流れの温度との温度差が170℃〜200℃一定
になるように制御される。第２図に示す駆動回路
はハウジング２０内に収納され、HW１、CW１
３を支持するターミナル２１，２２，２３，２４
をインサートした４端子ホルダ２５と一体にし
て、空気通路を形成するチヤンバに組み付けられ
る。空気通路は、主通路３１に並設したバイパス
通路３３を有する構造である。バイパス通路３３
の入り口３２は静圧取り込みとして塵埃の侵入を
慣性効果により防止できる構造とされ、バイパス
通路３３の中央直管部３４にHW１、CW１３が
配置される。バイパス通路３３の下流は主通路３
１の外周を所定距離進んで主通路３１のベンチユ
リ部３５で合流している。吐出口３６はダクト、
スロツトルチヤンバを中継して吸気管（図示せ
ず）に連結される。
され、HW１の発熱温度はCW１３で検知される
空気の流れの温度との温度差が170℃〜200℃一定
になるように制御される。第２図に示す駆動回路
はハウジング２０内に収納され、HW１、CW１
３を支持するターミナル２１，２２，２３，２４
をインサートした４端子ホルダ２５と一体にし
て、空気通路を形成するチヤンバに組み付けられ
る。空気通路は、主通路３１に並設したバイパス
通路３３を有する構造である。バイパス通路３３
の入り口３２は静圧取り込みとして塵埃の侵入を
慣性効果により防止できる構造とされ、バイパス
通路３３の中央直管部３４にHW１、CW１３が
配置される。バイパス通路３３の下流は主通路３
１の外周を所定距離進んで主通路３１のベンチユ
リ部３５で合流している。吐出口３６はダクト、
スロツトルチヤンバを中継して吸気管（図示せ
ず）に連結される。
ここで、HW１の構造を詳述する。第１図に示
すように、外径0.5mmのアルミナパイプ２の両端
に外径0.2mmのリード３を接着剤４を用いて接着
したボビンの表面に白金の素線５を巻線し、巻線
の端末は両端の各リードにそれぞれ溶接する。さ
らに、低融点ガラス６を塗布し、例えば800℃の
雰囲気で１時間焼成する。この焼成により、白金
線は熱処理されその結果、白金線引き出し成形時
の加工硬化や、巻線時の捩りなどによる歪みが除
去される。また、素線５としては不純物0.1％の
主成分としてZrOを分散混在せしめた99.9％純度
の白金線を用いている。これにより、白金素線５
の表面には第４図Ｂに示すように平均的な大きさ
が6μ×0.5μの結晶粒界と、深さ0.3μ、幅0.3μ程度
の溝とが網状に形成される。
すように、外径0.5mmのアルミナパイプ２の両端
に外径0.2mmのリード３を接着剤４を用いて接着
したボビンの表面に白金の素線５を巻線し、巻線
の端末は両端の各リードにそれぞれ溶接する。さ
らに、低融点ガラス６を塗布し、例えば800℃の
雰囲気で１時間焼成する。この焼成により、白金
線は熱処理されその結果、白金線引き出し成形時
の加工硬化や、巻線時の捩りなどによる歪みが除
去される。また、素線５としては不純物0.1％の
主成分としてZrOを分散混在せしめた99.9％純度
の白金線を用いている。これにより、白金素線５
の表面には第４図Ｂに示すように平均的な大きさ
が6μ×0.5μの結晶粒界と、深さ0.3μ、幅0.3μ程度
の溝とが網状に形成される。
その結果白金線の表面積が50％程度増加し、ガ
ラスコートとの密着性が向上する。
ラスコートとの密着性が向上する。
ところで、このような構造の熱線式流量計に要
求される耐久項目の一つとして、耐熱性は−40℃
〜130℃であるがHWエレメントの耐熱性は−40
℃〜350％の範囲でなければならない。そこで信
頼性評価試験の一環として、−40℃中に放置して
HWを瞬間的に300℃に加熱し、再び−40℃に戻
す冷熱試験を行う。また、他の冷熱試験では、
HWエレメントは予め350℃に加熱しておき、水
滴を滴下する、所謂水滴下試験で評価する。純白
金線と99.9％白金線を使用した場合について、両
者の過酷破壊試験を行つて優劣を比較した結果、
純白金線を用いた方が第５図に示すように破壊の
進行が速いことがわかつた。即ち、第５図Ａに示
すように純白金線を使用した場合、水滴下試験で
は300回前後でガラスコートの剥離や割れが発生
していることが確認された。この過酷試験で、純
白金線の場合、巻線を横断して発生した白金の粒
界に断層を生じ、抵抗値が大巾に変化する現象が
みられたが99.9％純度の白金線の場合結晶粒が細
かいためこのような現象が発生せず、耐久性のあ
ることが確認できた。
求される耐久項目の一つとして、耐熱性は−40℃
〜130℃であるがHWエレメントの耐熱性は−40
℃〜350％の範囲でなければならない。そこで信
頼性評価試験の一環として、−40℃中に放置して
HWを瞬間的に300℃に加熱し、再び−40℃に戻
す冷熱試験を行う。また、他の冷熱試験では、
HWエレメントは予め350℃に加熱しておき、水
滴を滴下する、所謂水滴下試験で評価する。純白
金線と99.9％白金線を使用した場合について、両
者の過酷破壊試験を行つて優劣を比較した結果、
純白金線を用いた方が第５図に示すように破壊の
進行が速いことがわかつた。即ち、第５図Ａに示
すように純白金線を使用した場合、水滴下試験で
は300回前後でガラスコートの剥離や割れが発生
していることが確認された。この過酷試験で、純
白金線の場合、巻線を横断して発生した白金の粒
界に断層を生じ、抵抗値が大巾に変化する現象が
みられたが99.9％純度の白金線の場合結晶粒が細
かいためこのような現象が発生せず、耐久性のあ
ることが確認できた。
また0.1％ZrO分散混在の結晶粒成長は750℃で
は顕著でなく、800℃近辺より急激に発達するが
粒界の平均的な大きさは6μ×0.5μ、粒界溝巾
0.3μ、深さ0.3μ程度であり、表面積の増加は約50
％になる。従つて、ガラスコート焼成が800℃以
上でできる材質を選定することにより、ガラスコ
ートの熱処理と白金線の熱処理が同時にできる長
所がある。また、粒界の窪みには不純物のZrOが
集中しており、ガラス焼成時にガラス中の酸化物
と互いに拡散融合することにより、白金とガラス
コートの密着力をさらに強固にしている。
は顕著でなく、800℃近辺より急激に発達するが
粒界の平均的な大きさは6μ×0.5μ、粒界溝巾
0.3μ、深さ0.3μ程度であり、表面積の増加は約50
％になる。従つて、ガラスコート焼成が800℃以
上でできる材質を選定することにより、ガラスコ
ートの熱処理と白金線の熱処理が同時にできる長
所がある。また、粒界の窪みには不純物のZrOが
集中しており、ガラス焼成時にガラス中の酸化物
と互いに拡散融合することにより、白金とガラス
コートの密着力をさらに強固にしている。
同様にして0.1％不純物の分散混在せる白金線
はガラスコートを施さない素線を通路に張りめぐ
らしたHWエレメントとして使用しても有効であ
り断線を回避して耐久性を向上せしめることがで
き、表面積が増加したことによる熱伝達特性を向
上せしめる効果がある。
はガラスコートを施さない素線を通路に張りめぐ
らしたHWエレメントとして使用しても有効であ
り断線を回避して耐久性を向上せしめることがで
き、表面積が増加したことによる熱伝達特性を向
上せしめる効果がある。
以上の説明から明らかなように本発明によれ
ば、99.9％純度の白金線を用いることにより白金
線とガラスコートとの密着力を向上せしめ耐久性
を向上させることができる。また、粒界からの断
線を回避して耐久性を向上させることができる。
さらに、白金線の表面積を増加して熱伝達率を向
上せしめ、応答特性を改善し、空気の流れに対す
る熱伝達特性を改善できる。また、安価に構成で
きるなどの優れた効果がある。
ば、99.9％純度の白金線を用いることにより白金
線とガラスコートとの密着力を向上せしめ耐久性
を向上させることができる。また、粒界からの断
線を回避して耐久性を向上させることができる。
さらに、白金線の表面積を増加して熱伝達率を向
上せしめ、応答特性を改善し、空気の流れに対す
る熱伝達特性を改善できる。また、安価に構成で
きるなどの優れた効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す熱線エレメン
トと温度補償エレメントの構造図、第２図は熱線
エレメントの駆動回路を示す図、第３図は熱線式
空気流量計の構造図、第４図は白金線表面に析出
した結晶粒の分布を示す写真で、Ａは従来の純白
金線の場合を、Ｂは本実施例の純度99.9％の白金
線の場合をそれぞれ示す写真、第５図はガラスコ
ートの剥離、割れの状況を示す写真で、Ａは従来
の純白金線の場合を、Ｂは本実施例の純度99.9％
の白金線の場合をそれぞれ示す写真である。 １…HW、２…パイプ、３…リード、４…接着
剤、５…巻線、６…ガラスコート、１１，１２…
抵抗、１３…CW、１４…アンプ、１５…トラン
ジスタ、２０…ハウジング、２１，２２，２３，
２４…ターミナル、２５…４端子ホルダ、３０…
入口部、３１…主通路、３２…静圧取り込み口、
３３…バイパス通路、３４…中央直管部、３５…
ベンチユリ部、３６…吐出口。
トと温度補償エレメントの構造図、第２図は熱線
エレメントの駆動回路を示す図、第３図は熱線式
空気流量計の構造図、第４図は白金線表面に析出
した結晶粒の分布を示す写真で、Ａは従来の純白
金線の場合を、Ｂは本実施例の純度99.9％の白金
線の場合をそれぞれ示す写真、第５図はガラスコ
ートの剥離、割れの状況を示す写真で、Ａは従来
の純白金線の場合を、Ｂは本実施例の純度99.9％
の白金線の場合をそれぞれ示す写真である。 １…HW、２…パイプ、３…リード、４…接着
剤、５…巻線、６…ガラスコート、１１，１２…
抵抗、１３…CW、１４…アンプ、１５…トラン
ジスタ、２０…ハウジング、２１，２２，２３，
２４…ターミナル、２５…４端子ホルダ、３０…
入口部、３１…主通路、３２…静圧取り込み口、
３３…バイパス通路、３４…中央直管部、３５…
ベンチユリ部、３６…吐出口。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 内燃機関の吸入空気量の測定に用いる発熱抵
抗体を有する熱式空気流量計において、前記発熱
抵抗体として、その表面に極めて微細な多数の結
晶粒界と窪みとを有する白金抵抗体を用いること
を特徴とする熱式空気流量計。 ２ 上記微細な多数の結晶粒界と窪みとが、平均
的な大きさが6μ×0.5μの結晶粒界と、それらの間
に形成される深さ0.3μ、幅0.3μ程度の窪みから成
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
熱式空気流量計。 ３ 前記発熱抵抗体として、不純物を0.1％程度
添加した白金を用いることを特徴とする特許請求
の範囲第１項または第２項のいずれかに記載の熱
式空気流量計。 ４ 上記不純物の主成分が0.06乃至0.08％のジル
コニアであることを特徴とする特許請求の範囲第
３項記載の熱式空気流量計。 ５ 内燃機関の吸入空気量の測定に用いる発熱抵
抗体を有する熱式空気流量計において、前記発熱
抵抗体として、不純物を添加した、純度が99.995
％以下の白金抵抗体を用いると共に、その表面を
焼成温度が800度以上のガラスで被覆したことを
特徴とする熱式空気流量計。 ６ 内燃機関の吸入空気量の測定に用いる発熱抵
抗体を有する熱式空気流量計において、前記発熱
抵抗体として、純度が99.995％以下の不純物が添
加され且つ、その表面が800度以上の温度で熱処
理された白金抵抗体を用いることを特徴とする熱
式空気流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58199092A JPS6091212A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 熱式空気流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58199092A JPS6091212A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 熱式空気流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091212A JPS6091212A (ja) | 1985-05-22 |
| JPH0372934B2 true JPH0372934B2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=16401976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58199092A Granted JPS6091212A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 熱式空気流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6091212A (ja) |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP58199092A patent/JPS6091212A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6091212A (ja) | 1985-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4146957A (en) | Thick film resistance thermometer | |
| US4361597A (en) | Process for making sensor for detecting fluid flow velocity or flow amount | |
| JPH07312301A (ja) | 抵抗体素子 | |
| JPS61138126A (ja) | 逆流探知装置を有する質量の空気流センサーと、それをつくる方法 | |
| JP2559875B2 (ja) | 抵抗体素子 | |
| JPH0372934B2 (ja) | ||
| US20080095991A1 (en) | Electric Component Comprising External Electrodes and Method for the Production of an Electric Component Comprising External Electrodes | |
| JP2020122783A (ja) | ２つの較正部分を備えるオートモーティブ排気ガスセンサ | |
| JPH0552626A (ja) | 抵抗体素子 | |
| US5084694A (en) | Detection elements and production process therefor | |
| US4469626A (en) | Composition and method for forming a thick film oxygen sensing element | |
| JPS5965216A (ja) | 熱式流量計 | |
| US5423213A (en) | Thermal flowmeter having improved durability against thermal stress | |
| JPH0328719A (ja) | 検出素子 | |
| JPH05223614A (ja) | 熱式流量計用検知素子 | |
| JP3112769B2 (ja) | 抵抗体素子及び熱式流量計 | |
| JPH0573321B2 (ja) | ||
| JP3084167B2 (ja) | 抵抗体素子及び熱式流量計 | |
| JPH0211762Y2 (ja) | ||
| JPH02267882A (ja) | 板状ヒータ | |
| JPH0437001A (ja) | 薄膜抵抗体素子 | |
| JP2925420B2 (ja) | 抵抗体素子 | |
| JPH05121201A (ja) | 抵抗体素子 | |
| JPH06137979A (ja) | 圧力センサおよびそれを用いた圧力検出装置 | |
| JP2001332403A (ja) | 感温性抵抗素子及びこれを用いた熱式流量センサ |