JPH0370789B2 - - Google Patents
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- JPH0370789B2 JPH0370789B2 JP20402482A JP20402482A JPH0370789B2 JP H0370789 B2 JPH0370789 B2 JP H0370789B2 JP 20402482 A JP20402482 A JP 20402482A JP 20402482 A JP20402482 A JP 20402482A JP H0370789 B2 JPH0370789 B2 JP H0370789B2
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 19
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高周波大電力用デバイスの負荷イン
ピーダンスを測定する負荷インピーダンス測定装
置に関するものである。
ピーダンスを測定する負荷インピーダンス測定装
置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
高周波大電力用デバイスを用いて増幅器等を設
計する場合、デバイスの負荷インピーダンスを測
定し、増幅器としての負荷インピーダンス（一般
には50Ω）に整合する必要がある。しかし高周波
大電力用デバイスの負荷インピーダンスは唯一無
二に決まるものではなく、信号周波数のみなら
ず、入力レベル、出力レベル、直流電源電圧によ
つて変化し、また、一定入力信号、一定出力に対
しても負荷インピーダンスは無限に存在し、その
負荷インピーダンスによつて効率が変化する。し
たがつて、高周波大電力デバイスを用いて、例え
ば増幅器を設計する場合には、使用する信号周波
数、入力レベル、出力レベル、直流電源電圧を規
定した上で、良好な効率の得られる負荷インピー
ダンスを測定し設定する必要がある。
計する場合、デバイスの負荷インピーダンスを測
定し、増幅器としての負荷インピーダンス（一般
には50Ω）に整合する必要がある。しかし高周波
大電力用デバイスの負荷インピーダンスは唯一無
二に決まるものではなく、信号周波数のみなら
ず、入力レベル、出力レベル、直流電源電圧によ
つて変化し、また、一定入力信号、一定出力に対
しても負荷インピーダンスは無限に存在し、その
負荷インピーダンスによつて効率が変化する。し
たがつて、高周波大電力デバイスを用いて、例え
ば増幅器を設計する場合には、使用する信号周波
数、入力レベル、出力レベル、直流電源電圧を規
定した上で、良好な効率の得られる負荷インピー
ダンスを測定し設定する必要がある。
従来では、高周波デバイスの負荷インピーダン
スの測定法としては、置換法、ロードプル法等が
挙げられるが、従来の方法では測定インピーダン
スを即座にモニタできない、低インピーダンスの
デバイスに対しては回路的に不安定で発振しやす
く測定が困難である等の問題がある。
スの測定法としては、置換法、ロードプル法等が
挙げられるが、従来の方法では測定インピーダン
スを即座にモニタできない、低インピーダンスの
デバイスに対しては回路的に不安定で発振しやす
く測定が困難である等の問題がある。
第１図は従来の置換法による高周波デバイスの
負荷インピーダンスの測定系の動作状態の構成を
示す。図において大電力トランジスタ時の被測定
デバイス１は、デバイスマウント治具２に固定さ
れ、入、出力に挿入された可変インピーダンス回
路であるインピーダンスチユーナ３，４等で入出
力整合をとり、バイアスネツトワーク５，６で直
流バイアスを印加する。高周波入力は高周波信号
源７よりアイソレータ８を経て供給し、入力電
力、入力反射電力は双方向性結合器９を介しパワ
ーメータ１２，１３より、出力電力は双方向性結
合器１０を介してパワーメータ１４より測定でき
る。１１は50Ω終端抵抗である。この回路構成で
特定の出力電力を与えるように負荷インピーダン
スを調整したのち、インピーダンスチユーナ３，
４を固定する。次に、この出力条件のときの負荷
インピーダンスを測定する方法を説明する。
負荷インピーダンスの測定系の動作状態の構成を
示す。図において大電力トランジスタ時の被測定
デバイス１は、デバイスマウント治具２に固定さ
れ、入、出力に挿入された可変インピーダンス回
路であるインピーダンスチユーナ３，４等で入出
力整合をとり、バイアスネツトワーク５，６で直
流バイアスを印加する。高周波入力は高周波信号
源７よりアイソレータ８を経て供給し、入力電
力、入力反射電力は双方向性結合器９を介しパワ
ーメータ１２，１３より、出力電力は双方向性結
合器１０を介してパワーメータ１４より測定でき
る。１１は50Ω終端抵抗である。この回路構成で
特定の出力電力を与えるように負荷インピーダン
スを調整したのち、インピーダンスチユーナ３，
４を固定する。次に、この出力条件のときの負荷
インピーダンスを測定する方法を説明する。
第２図は第１図における測定系の負荷インピー
ダンスの測定状態の構成を示す。１１，１８は
50Ω終端抵抗、３，４は第１図でインピーダンス
を設定し固定したインピーダンスチユーナ、５，
６はバイアスネツトワーク、１５，１６は第１図
で用いたデバイスマウント治具２の入、出力部に
等価な補正用線路、１７はインピーダンス測定器
である。第１図に示す動作系で所望の負荷状態に
設定したインピーダンスチユーナ３，４のインピ
ーダンスは、インピーダンスチユーナ３，４にバ
イアスネツトワーク５，６を接続し、その他を
50Ω終端抵抗１８，１１で等価的に代替し、第１
図で用いたデバイスマウント治具２の入、出力部
に等価な補正用線路１５，１６を介して規準面を
設定し、インピーダンス測定器１７にて測定す
る。
ダンスの測定状態の構成を示す。１１，１８は
50Ω終端抵抗、３，４は第１図でインピーダンス
を設定し固定したインピーダンスチユーナ、５，
６はバイアスネツトワーク、１５，１６は第１図
で用いたデバイスマウント治具２の入、出力部に
等価な補正用線路、１７はインピーダンス測定器
である。第１図に示す動作系で所望の負荷状態に
設定したインピーダンスチユーナ３，４のインピ
ーダンスは、インピーダンスチユーナ３，４にバ
イアスネツトワーク５，６を接続し、その他を
50Ω終端抵抗１８，１１で等価的に代替し、第１
図で用いたデバイスマウント治具２の入、出力部
に等価な補正用線路１５，１６を介して規準面を
設定し、インピーダンス測定器１７にて測定す
る。
しかしながら、上記の方法では、デバイスマウ
ント治具２を補正用線路１５，１６に付け換え、
インピーダンス測定器１７で測定するため手数が
かかる。特に負荷インピーダンスの測定ポイント
が多い場合には、かなりの時間を必要とする。イ
ンピーダンスチユーナ３，４の設定状態を各測定
ポイント毎に記録しておき、再設定して負荷イン
ピーダンスを測定する手段を用いても、やはり多
くの時間と労力を要し、且つ再設定時の誤差や設
定ミスも生じ得る。また、動作系で所望の負荷イ
ンピーダンスを設定して瞬時にモニタできないた
め、例えばトランジスタの等出力、あるいは等効
率時の負荷インピーダンスローカス（軌跡）を測
定する、いわゆるロードプル測定には適さない。
ント治具２を補正用線路１５，１６に付け換え、
インピーダンス測定器１７で測定するため手数が
かかる。特に負荷インピーダンスの測定ポイント
が多い場合には、かなりの時間を必要とする。イ
ンピーダンスチユーナ３，４の設定状態を各測定
ポイント毎に記録しておき、再設定して負荷イン
ピーダンスを測定する手段を用いても、やはり多
くの時間と労力を要し、且つ再設定時の誤差や設
定ミスも生じ得る。また、動作系で所望の負荷イ
ンピーダンスを設定して瞬時にモニタできないた
め、例えばトランジスタの等出力、あるいは等効
率時の負荷インピーダンスローカス（軌跡）を測
定する、いわゆるロードプル測定には適さない。
第３図に第２の従来例を示す。ここでは簡単の
ためにデバイスの出力側の構成のみを示す。図に
おいて、１９は被測定デバイスで、その出力側に
順次、双方向性結合器２０、バイアスネツトワー
ク２３、インピーダンスチユーナ２４を接続し
50Ω終端抵抗２５で終端する。また双方向性結合
器２０を介して可変位相器２１、インピーダンス
及び出力電力の測定系２２が接続される。
ためにデバイスの出力側の構成のみを示す。図に
おいて、１９は被測定デバイスで、その出力側に
順次、双方向性結合器２０、バイアスネツトワー
ク２３、インピーダンスチユーナ２４を接続し
50Ω終端抵抗２５で終端する。また双方向性結合
器２０を介して可変位相器２１、インピーダンス
及び出力電力の測定系２２が接続される。
高周波入力を加え、バイアスネツトワーク２３
で直流バイアスを印加した被測定デバイス１９は
インピーダンスチユーナ２４で整合をとり所望の
動作状態に設定される。その状態が双方向性結合
器２０を介し、可変位相器２１で最適に設定され
た進行波、反射波の位相及びレベルの差を測定し
インピーダンス及び出力電力測定系でデバイスの
負荷インピーダンス、出力電力を得るものであ
る。この方式では、デバイスの動作系とインピー
ダンスの測定系が同一であり、デバイス動作状態
で所望の負荷状態に設定しつつ、同時に測定する
負荷インピーダンスを直視でき、ロードプル測定
法として用いられる。
で直流バイアスを印加した被測定デバイス１９は
インピーダンスチユーナ２４で整合をとり所望の
動作状態に設定される。その状態が双方向性結合
器２０を介し、可変位相器２１で最適に設定され
た進行波、反射波の位相及びレベルの差を測定し
インピーダンス及び出力電力測定系でデバイスの
負荷インピーダンス、出力電力を得るものであ
る。この方式では、デバイスの動作系とインピー
ダンスの測定系が同一であり、デバイス動作状態
で所望の負荷状態に設定しつつ、同時に測定する
負荷インピーダンスを直視でき、ロードプル測定
法として用いられる。
しかしながら、測定系のVSWRをできる限り
小さく（50Ωに等しく）しないと精度が悪く、デ
バイス１９とインピーダンスチユーナ２４の間
は、双方向性結合器２０を含めすべて50Ω系に限
定される。したがつてデバイス１９の出力側の
50Ω線路が長くなるため、デバイス１９が発振領
域に入つてしまい、所望の動作状態に設定できな
いことがある。また、系の基準面の設定が比較的
難しい等の欠点がある。
小さく（50Ωに等しく）しないと精度が悪く、デ
バイス１９とインピーダンスチユーナ２４の間
は、双方向性結合器２０を含めすべて50Ω系に限
定される。したがつてデバイス１９の出力側の
50Ω線路が長くなるため、デバイス１９が発振領
域に入つてしまい、所望の動作状態に設定できな
いことがある。また、系の基準面の設定が比較的
難しい等の欠点がある。
発明の目的
本発明は、以上のような従来の問題点を解決す
るためになされたもので、負荷インピーダンスを
測定する際に、特に低インピーダンスの高周波デ
バイスに対しても安定に、且つほぼ同時に負荷イ
ンピーダンスを直視しながら測定することのでき
る負荷インピーダンス測定装置を提供することを
目的とする。
るためになされたもので、負荷インピーダンスを
測定する際に、特に低インピーダンスの高周波デ
バイスに対しても安定に、且つほぼ同時に負荷イ
ンピーダンスを直視しながら測定することのでき
る負荷インピーダンス測定装置を提供することを
目的とする。
発明の構成
この目的を達成するために本発明は、
被測定デバイスの少なくとも出力側に設けら
れ、当該インピーダンスが予め測定され既知とな
つているているインピーダンス変換回路と、 前記被測定デバイスに直流バイアスを供給する
直流バイアス手段と、 第１、第２の経路に結線を切り換える高周波ス
イツチと、 その高周波スイツチが第１の経路に切り換わる
ことにより前記インピーダンス変換回路に接続さ
れるとともに、前記被測定デバイス及び前記イン
ピーダンス変換回路に接続された状態で所望の特
性を得るべくインピーダンスに設定されるインピ
ーダンスチユーナと、 前記高周波スイツチが第２の経路に切り換わる
ことにより所望の特性を得るべくインピーダンス
値に設定された前記インピーダンスチユーナに接
続され、当該インピーダンスチユーナのインピー
ダンスを測定するネツトワークアナライザと、そ
のネツトワークアナライザが測定した前記インピ
ーダンスチユーナのインピーダンスと前記インピ
ーダンス変換回路の既知のインピーダンスとから
被測定デバイスの負荷インピーダンスを算出する
コントローラとを設けたものである。
れ、当該インピーダンスが予め測定され既知とな
つているているインピーダンス変換回路と、 前記被測定デバイスに直流バイアスを供給する
直流バイアス手段と、 第１、第２の経路に結線を切り換える高周波ス
イツチと、 その高周波スイツチが第１の経路に切り換わる
ことにより前記インピーダンス変換回路に接続さ
れるとともに、前記被測定デバイス及び前記イン
ピーダンス変換回路に接続された状態で所望の特
性を得るべくインピーダンスに設定されるインピ
ーダンスチユーナと、 前記高周波スイツチが第２の経路に切り換わる
ことにより所望の特性を得るべくインピーダンス
値に設定された前記インピーダンスチユーナに接
続され、当該インピーダンスチユーナのインピー
ダンスを測定するネツトワークアナライザと、そ
のネツトワークアナライザが測定した前記インピ
ーダンスチユーナのインピーダンスと前記インピ
ーダンス変換回路の既知のインピーダンスとから
被測定デバイスの負荷インピーダンスを算出する
コントローラとを設けたものである。
実施例の説明
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。第４図は本発明の一実施例を示すもので被測
定デバイス２６（以下DUTと呼ぶ）は分離して
各々の四端子パラメータを測定可能な入、出力イ
ンピーダンス変換回路（以下固定整合回路と記
す）２７，２８に固定される。
る。第４図は本発明の一実施例を示すもので被測
定デバイス２６（以下DUTと呼ぶ）は分離して
各々の四端子パラメータを測定可能な入、出力イ
ンピーダンス変換回路（以下固定整合回路と記
す）２７，２８に固定される。
出力固定整合回路２８と出力側インピーダンス
チユーナ２９の間には高周波スイツチ３０を設
け、高周波スイツチ３０の他端にはコントローラ
３１で制御されるネツトワークアナライザ３２
（Ｓパラメータ計を含む）が接続される。直流バ
イアスはバイアスネツトワーク３３，３４を介し
て、高周波入力は高周波信号源３５よりアイソレ
ータ４１を経て供給する。入力整合は入力インピ
ーダンスチユーナ３６で行なう。入力及び入力反
射電力は双方向性結合器３７を介してパワーメー
タ３８，３９から出力電圧はパワーメータ４０よ
り測定できる。
チユーナ２９の間には高周波スイツチ３０を設
け、高周波スイツチ３０の他端にはコントローラ
３１で制御されるネツトワークアナライザ３２
（Ｓパラメータ計を含む）が接続される。直流バ
イアスはバイアスネツトワーク３３，３４を介し
て、高周波入力は高周波信号源３５よりアイソレ
ータ４１を経て供給する。入力整合は入力インピ
ーダンスチユーナ３６で行なう。入力及び入力反
射電力は双方向性結合器３７を介してパワーメー
タ３８，３９から出力電圧はパワーメータ４０よ
り測定できる。
以上のように構成された負荷インピーダンス測
定装置について、第４図とともにその動作を説明
する。
定装置について、第４図とともにその動作を説明
する。
(A) まず、規定の高周波入力及び直流バイアスを
各々高周波信号源３５及びバイアスネツトワー
ク３３，３４により印加し、入力側のインピー
ダンスチユーナ３６でDUT２６の入力を適当
な整合状態に設定する。（なお、このバイアス
ネツトワーク３３，３４を設けない場合は、こ
の操作は必要ない。） (B) 次に、高周波スイツチ３０を出力側固定整合
回路２８側（即ちDUT２６側）に接続し、例
えばパワーメータ４０などで高周波特性をモニ
タしながら、DUT２６に対する負荷を可変の
インピーダンスチユーナ２９で最適設定する。
各々高周波信号源３５及びバイアスネツトワー
ク３３，３４により印加し、入力側のインピー
ダンスチユーナ３６でDUT２６の入力を適当
な整合状態に設定する。（なお、このバイアス
ネツトワーク３３，３４を設けない場合は、こ
の操作は必要ない。） (B) 次に、高周波スイツチ３０を出力側固定整合
回路２８側（即ちDUT２６側）に接続し、例
えばパワーメータ４０などで高周波特性をモニ
タしながら、DUT２６に対する負荷を可変の
インピーダンスチユーナ２９で最適設定する。
(C) 続いて、高周波スイツチ３０をネツトワーク
アナライザ３２側に切り換え接続し、設定した
インピーダンスチユーナ２９のインピーダンス
をネツトワークアナライザ３２で測定する。
アナライザ３２側に切り換え接続し、設定した
インピーダンスチユーナ２９のインピーダンス
をネツトワークアナライザ３２で測定する。
(D) 次に、コントローラ３１には出力側固定整合
回路２８の既知のインピーダンス（四端子定
数）が記憶されているので、この出力側固定整
合回路２８の既知の四端子定数と、ネツトワー
クアナライザ３２が測定したインピーダンスチ
ユーナ２９のインピーダンスとからコントロー
ラ３１で計算を行なうことにより、DUT２６
の負荷インピーダンスを求めることができる。
回路２８の既知のインピーダンス（四端子定
数）が記憶されているので、この出力側固定整
合回路２８の既知の四端子定数と、ネツトワー
クアナライザ３２が測定したインピーダンスチ
ユーナ２９のインピーダンスとからコントロー
ラ３１で計算を行なうことにより、DUT２６
の負荷インピーダンスを求めることができる。
次に、その詳細な計算方法を第５図を用いて説
明する。
明する。
第５図は、DUT（被測定デバイス）、固定整合
回路、可変のインピーダンスチユーナ、および
50Ω終端抵抗の接続構成を示すブロツク図であ
る。第５図において、４２は固定整合回路（第４
図の出力側固定整合回路２８に対応）、４３は可
変のインピーダンスチユーナ（第４図のインピー
ダンスチユーナ２９に対応）、４４は50Ω終端抵
抗（第４図のバイアスネツトワーク３４に対応）
である。
回路、可変のインピーダンスチユーナ、および
50Ω終端抵抗の接続構成を示すブロツク図であ
る。第５図において、４２は固定整合回路（第４
図の出力側固定整合回路２８に対応）、４３は可
変のインピーダンスチユーナ（第４図のインピー
ダンスチユーナ２９に対応）、４４は50Ω終端抵
抗（第４図のバイアスネツトワーク３４に対応）
である。
ここで、予め評価して既知である固定整合回路
４２の四端子定数をＳパラメータ ［Ｓ］＝S11 S12 S21 S22 ……(1) で表す。
４２の四端子定数をＳパラメータ ［Ｓ］＝S11 S12 S21 S22 ……(1) で表す。
一方、高周波スイツチ３０を切り換えてネツト
ワークアナライザ３２で測定したインピーダンス
チユーナ４３のインピーダンス（Ｓパラメータ）
をS11nとすると、S11nを固定整合回路４２につな
がる負荷と考えることにより、DUT２８の出力
端から見たＳパラメータS11tは、上記第(1)式と測
定結果であるS11nから、下記の第(2)式で求めるこ
とができる。
ワークアナライザ３２で測定したインピーダンス
チユーナ４３のインピーダンス（Ｓパラメータ）
をS11nとすると、S11nを固定整合回路４２につな
がる負荷と考えることにより、DUT２８の出力
端から見たＳパラメータS11tは、上記第(1)式と測
定結果であるS11nから、下記の第(2)式で求めるこ
とができる。
S11t＝S11＋S12・S21・S11n／
（１−S22・S11n） ……(2)
次に、ＳパラメータS11tがコントローラ３１で
求まると、最終的に求めるDUT２６の負荷イン
ピーダンスZLは変換式 ZL＝ZQ・（１＋S11t）／ （１−S11t） ……(3) （ＺＱ：測定系のインピーダンス。通常50Ω）で
求めることができる。
求まると、最終的に求めるDUT２６の負荷イン
ピーダンスZLは変換式 ZL＝ZQ・（１＋S11t）／ （１−S11t） ……(3) （ＺＱ：測定系のインピーダンス。通常50Ω）で
求めることができる。
入力電力、入力反射電力、出力電力は第４図に
おいて各パワーメータ３８，３９，４０により測
定できる。
おいて各パワーメータ３８，３９，４０により測
定できる。
以上のように本実施例によれば、高周波スイツ
チ３０とDUT２６の間に出力側固定整合回路２
８を設け、DUT２６を安定動作領域に近づける
ことにより、高周波スイツチ３０の切り換えで測
定インピーダンスを設定とほぼ同時に直視でき、
且つ極めてインピーダンスの低いデバイスに対し
ても安定な整合回路を有する測定系を得ることが
できる。また固定整合回路２８の四端子定数は、
予め評価し、コントローラ３１にデータとして記
憶させておくため、高周波スイツチ３０とネツト
ワークアナライザ３２の間に固定整合回路２８と
インピーダンス的に等価な回路を再現する必要が
なく、固定整合回路２８をカツト・アンド・トラ
イで最適化することもできる。
チ３０とDUT２６の間に出力側固定整合回路２
８を設け、DUT２６を安定動作領域に近づける
ことにより、高周波スイツチ３０の切り換えで測
定インピーダンスを設定とほぼ同時に直視でき、
且つ極めてインピーダンスの低いデバイスに対し
ても安定な整合回路を有する測定系を得ることが
できる。また固定整合回路２８の四端子定数は、
予め評価し、コントローラ３１にデータとして記
憶させておくため、高周波スイツチ３０とネツト
ワークアナライザ３２の間に固定整合回路２８と
インピーダンス的に等価な回路を再現する必要が
なく、固定整合回路２８をカツト・アンド・トラ
イで最適化することもできる。
なお、以上の実施例では、直流バイアスをバイ
アスネツトワーク３３，３４を介して供給してい
るが、入、出力固定整合回路２７，２８に直流バ
イアス回路を付加してもよい。この場合、固定整
合回路の四端子パラメータとしては、直流バイア
ス回路を含めた値を予め評価することになる。こ
のように構成すれば、バイアスネツトワークを省
略して同様の測定をすることができる。またコン
トローラを用いているために複数の測定を同時に
行なえ、測定の自動化も可能である。
アスネツトワーク３３，３４を介して供給してい
るが、入、出力固定整合回路２７，２８に直流バ
イアス回路を付加してもよい。この場合、固定整
合回路の四端子パラメータとしては、直流バイア
ス回路を含めた値を予め評価することになる。こ
のように構成すれば、バイアスネツトワークを省
略して同様の測定をすることができる。またコン
トローラを用いているために複数の測定を同時に
行なえ、測定の自動化も可能である。
発明の効果
以上説明したように本発明は、被測定デバイス
である高周波デバイスの入、出力端子近傍にイン
ピーダンス変換回路を有し、且つ整合回路を含む
動作系とインピーダンス測定系を高周波スイツチ
により即座に切り換えるようにしたものであるた
め、インピーダンスの低いデバイスに対しても安
定な回路が得られると共に、測定インピーダンス
を設定とほぼ同時に直視しながら測定することが
できる。しかも、インピーダンス変換回路は四端
子パラメータを予め評価し、コントローラに記憶
させておくため、カツト・アンド・トライで素子
や直流バイアス回路を外付けし厳密な再現の困難
なものも使用でき、高周波スイツチとインピーダ
ンス測定器（ネツトワークアナライザ等）の間に
インピーダンス的に等価な回路を基準面設定のた
めに再現する必要もない等の利点を有する。
である高周波デバイスの入、出力端子近傍にイン
ピーダンス変換回路を有し、且つ整合回路を含む
動作系とインピーダンス測定系を高周波スイツチ
により即座に切り換えるようにしたものであるた
め、インピーダンスの低いデバイスに対しても安
定な回路が得られると共に、測定インピーダンス
を設定とほぼ同時に直視しながら測定することが
できる。しかも、インピーダンス変換回路は四端
子パラメータを予め評価し、コントローラに記憶
させておくため、カツト・アンド・トライで素子
や直流バイアス回路を外付けし厳密な再現の困難
なものも使用でき、高周波スイツチとインピーダ
ンス測定器（ネツトワークアナライザ等）の間に
インピーダンス的に等価な回路を基準面設定のた
めに再現する必要もない等の利点を有する。
このように、この装置は自動化に適した大電力
トランジスタの負荷インピーダンスを効率よく測
定可能ならしめるもので、その工学的価値はきわ
めて大きい。
トランジスタの負荷インピーダンスを効率よく測
定可能ならしめるもので、その工学的価値はきわ
めて大きい。
第１図は従来の高周波デバイスの負荷インピー
ダンス測定系のデバイスの動作状態のブロツク
図、第２図は従来の高周波デバイスの負荷インピ
ーダンス測定系におけるインピーダンス測定状態
のブロツク図、第３図は従来のもう１つの高周波
デバイスの負荷インピーダンス測定系のブロツク
図、第４図は本発明の実施例における測定系の構
成を示すブロツク図、第５図は被測定高周波デバ
イスの負荷の接続を示すブロツク図である。 １，１９，２６……被測定デバイス、２……デ
バイスマウント治具、３，４，２４，２９，３
６，４３……インピーダンスチユーナ、５，６，
２３，３３，３４……バイアスネツトワーク、
７，３５……高周波信号源、８，４１……アイソ
レータ、９，１０，２０，３７……双方向性結合
器、１１，１８，２５……50Ω終端抵抗、１２，
１３，１４，３８，３９，４０……終端型パワー
メータ、１５……入力側補正用線路、１６……出
力側補正用線路、１７……インピーダンス測定
器、２１……可変位相器、２２……インピーダン
ス及び電力測定系、２７……入力側インピーダン
ス変換回路（固定整合回路）、２８……出力側イ
ンピーダンス変換回路（固定整合回路）、３０…
…高周波スイツチ、３１……コントローラ、３２
……ネツトワークアナライザ、４２……固定整合
回路、４４……50Ω負荷。
ダンス測定系のデバイスの動作状態のブロツク
図、第２図は従来の高周波デバイスの負荷インピ
ーダンス測定系におけるインピーダンス測定状態
のブロツク図、第３図は従来のもう１つの高周波
デバイスの負荷インピーダンス測定系のブロツク
図、第４図は本発明の実施例における測定系の構
成を示すブロツク図、第５図は被測定高周波デバ
イスの負荷の接続を示すブロツク図である。 １，１９，２６……被測定デバイス、２……デ
バイスマウント治具、３，４，２４，２９，３
６，４３……インピーダンスチユーナ、５，６，
２３，３３，３４……バイアスネツトワーク、
７，３５……高周波信号源、８，４１……アイソ
レータ、９，１０，２０，３７……双方向性結合
器、１１，１８，２５……50Ω終端抵抗、１２，
１３，１４，３８，３９，４０……終端型パワー
メータ、１５……入力側補正用線路、１６……出
力側補正用線路、１７……インピーダンス測定
器、２１……可変位相器、２２……インピーダン
ス及び電力測定系、２７……入力側インピーダン
ス変換回路（固定整合回路）、２８……出力側イ
ンピーダンス変換回路（固定整合回路）、３０…
…高周波スイツチ、３１……コントローラ、３２
……ネツトワークアナライザ、４２……固定整合
回路、４４……50Ω負荷。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定デバイスの少なくとも出力側に設けら
れ、当該インピーダンスが予め測定され既知とな
つているているインピーダンス変換回路と、 前記被測定デバイスに直流バイアスを供給する
直流バイアス手段と、 第１、第２の経路に結線を切り換える高周波ス
イツチと、 その高周波スイツチが第１の経路に切り換わる
ことにより前記インピーダンス変換回路に接続さ
れるとともに、前記被測定デバイス及び前記イン
ピーダンス変換回路に接続された状態で所望の特
性を得るべくインピーダンスに設定されるインピ
ーダンスチユーナと、 前記高周波スイツチが第２の経路に切り換わる
ことにより所望の特性を得るべくインピーダンス
値に設定された前記インピーダンスチユーナに接
続され、当該インピーダンスチユーナのインピー
ダンスを測定するネツトワークアナライザと、そ
のネツトワークアナライザが測定した前記インピ
ーダンスチユーナのインピーダンスと前記インピ
ーダンス変換回路の既知のインピーダンスとから
被測定デバイスの負荷インピーダンスを算出する
コントローラと を具備する負荷インピーダンス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20402482A JPS5994077A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 負荷インピ−ダンス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20402482A JPS5994077A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 負荷インピ−ダンス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994077A JPS5994077A (ja) | 1984-05-30 |
| JPH0370789B2 true JPH0370789B2 (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=16483493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20402482A Granted JPS5994077A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 負荷インピ−ダンス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994077A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102175937B (zh) * | 2011-01-19 | 2016-06-22 | 中兴通讯股份有限公司 | 终端工作电流调试系统及方法 |
| JP6215278B2 (ja) * | 2015-09-17 | 2017-10-18 | 株式会社アドバンテスト | 測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP20402482A patent/JPS5994077A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5994077A (ja) | 1984-05-30 |
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