JPH0370000B2 - - Google Patents

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JPH0370000B2
JPH0370000B2 JP62243259A JP24325987A JPH0370000B2 JP H0370000 B2 JPH0370000 B2 JP H0370000B2 JP 62243259 A JP62243259 A JP 62243259A JP 24325987 A JP24325987 A JP 24325987A JP H0370000 B2 JPH0370000 B2 JP H0370000B2
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JP
Japan
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electrolytic polishing
electrode
tank
coiled electrode
coiled
Prior art date
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JP62243259A
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English (en)
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JPS6483699A (en
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Kunyuki Isobe
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OE KOGYO KK
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OE KOGYO KK
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は電解研磨装置に用いるコイル式電極に
係わり、更に詳しくは円筒形状や角形形状等の比
較的小さく形成されている容器の内部を、光沢の
ある平滑な面とするための電解研磨方法に用いて
好適なものである。
<従来の技術> 周知の通り、例えば円筒や角筒の様な種々の形
状に形成されている小型の反応槽、撹拌槽のよう
な容器の内面を電解研磨して光沢のある綺麗な面
に仕上げるために電解研磨を行うことが従来より
行われるようになつてきた。特に、近時はバイオ
テクノロジー関連の槽が多く使用されるようにな
てきており、これらの槽の内面を研磨するために
電解研磨方法が広く用いられている。これは、バ
イオテクノロジー関連の槽は、中に収容する液体
の純度を厳密に保つために内面を綺麗に研磨する
ことが重要であるからであり、電解研磨方法はこ
のような要求に確実に応えることができる優れた
技術である。
ところで、反応槽、撹拌槽のような小型容器の
内面を電解研磨する場合、上記小型容器内に電解
研磨液を収容し、上記小型容器自体を陽極として
使用するとともに、上記電解研磨液中に陰極とな
る電極を浸漬しておき、これらの両電極に直流電
圧を印加して行つている。
上記したように比較的小さく形成されている容
器の内部に挿入するために、上記電極をコイル状
に形成することが従来より行われている。また、
コイル状に形成した電極を、その周面に接液用の
通孔が複数個形成されている絶縁チユーブ内に挿
入して絶縁性のコイル式電極を形成するようにし
た電解研磨装置が、例えば実公昭61−45171号公
報にて提案されている。この電解研磨装置によれ
ば、上記コイル式電極は絶縁チユーブ18内に挿
入されているので、上記小型容器や上記小型容器
の内部に設けられている複雑な構造物に触れても
両電極間の絶縁が損なわれることがない。したが
つて、上記コイル式電極は小さな容器の内面や容
器内面に複雑な形状の構造物等が設けられている
場合に、上記容器内に挿入する電極として用いる
ことができ、実用上極めて有効である。
<発明が解決しようとする課題> ところで、このような電解研磨を行う場合に注
意しなければならないことは種々あるが、電解研
磨を行つているときに電解研磨液と各電極とを十
分に接触させるようにすることが特に重要であ
る。しかし、上記公報にて提案されている電解研
磨装置の場合には、コイル状に形成した電極の周
面を絶縁チユーブで被覆しているので、コイル状
電極は上記絶縁チユーブと接触している部分にお
いて電解研磨液と接触することができない。した
がつて、このように電極を絶縁チユーブで被覆す
ると、電極と電解研磨液との接触面積が減少し、
電解研磨作用を十分に行うことが出来なくなつて
しまう不都合があつた。すなわち、従来は容器
(プラス電極)に対する絶縁性を確保すると電解
研磨液に対する接触性が損なわれてしまうので、
電解研磨作用を低下させてしまう問題があつた。
本発明は上述の問題点に鑑み、絶縁チユーブで
被覆されているコイル状の電極と電解研磨液との
接触性を向上させることを目的とする。
<課題を解決するための手段> 本発明の電解研磨装置は、円筒形状、角筒形形
状等に形成されている比較的小さな容器の内部に
電解研磨液を収納するとともに、上記電解液に電
極を浸漬し、上記容器に正電圧を上記電極に負電
圧をそれぞれ印加して上記容器の内面を電解研磨
する装置において、上記電解液中に浸漬する上記
電極を中空の導電部材にてコイル状に形成し、こ
れをその周面に複数の接液孔20が形成されてい
る絶縁チユーブ18内に挿入するとともに、上記
電解研磨液Lが自由に出入り可能な穴26を上記
コイル状電極17の周面に複数個形成したことを
特徴とする電解研磨装置である。
<作用> 容器の内部に挿入して陰極として使用するコイ
ル状電極17を中空の導電部材にて形成するとと
もに、上記コイル状電極17の周面に電解研磨液
Lが自由に出入り可能な穴26を複数個設ける。
これにより、上記コイ状電極17はその表面およ
び内面において上記電解研磨液Lと接触可能とな
るので、電解研磨液Lとコイル状電極17との接
触面積が大幅に増加する。したがつて、絶縁チユ
ーブ18で被覆しても、上記コイル状電極17は
上記電解研磨液Lと十分に接触することができる
ようになり、容器に対する絶縁性と電解研磨液L
との接触性との両方を確保することができるよう
になる。
<実施例> 次に、添付図面第1図〜第4図に従い本発明の
好適な実施例を詳術する。
先ず、電解研磨処理するワークについて説明す
る。本実施例において適用されるワークは、第1
図の断面図に示すように小型の槽であり、作業員
或いは作業員の手等が自由に出入りできないもの
である。更に、この槽の内部は回転ユニツトおよ
び複雑な構造物が一体的に取り付けられている。
したがつて、槽内部は、湾曲面、凹凸面或いは回
転ユニツト、構造物等に区画される種々の幅の〓
間が形成されていることになる。
このような槽の具体的な例として示されている
第1図の槽1は、例えばバイオテクノロジー関連
に用いられる撹拌槽であつてよい。
上記槽1の内部2に着目すると、この槽内部2
の内面3には、平面4のみならず湾曲面5および
凹凸面6等を有している。
更に、上記槽1は筒状の本体7の両端面にドー
ム状の湾曲した鏡板8が取り付けられるととも
に、この槽内部2には回転ユニツト9、スチーム
蛇管10等が一体的に取り付けられている。ま
た、上記槽周面11或いは槽本体7の両端面に一
体的に取り付けられている鏡板8の周面12には
複数のノズル13が一体的に組付けられている。
そして、本実施例ではこれらの部材を一体的に組
付けた後に槽内部2の内面3を電解研磨処理する
ようにしている。
上記槽1を一体的に組付けた後で電解研磨する
目的としては、槽内部2に収容した液体の純度を
保持する必要があるので、槽全体を組付けた後で
槽内面3を光沢のある平滑な面とするために電解
研磨するものである。すなわち、槽1を構成する
部材等は、それ自体は予め光沢のある平滑な面と
しておくことができる。しかし、部材を溶接等に
よつて一体的に組付けたときに、部材同志の接合
箇所の光沢が失われるので、全体が組付けられた
後にこれらの接合箇所を電解研磨することにより
光沢のある平滑な面にするものである。
このような槽は、具体的には石油工業、化学工
業、原子力工業、制約工業、飲食品工業、特にバ
イオテクノロジー関連等に用いられる槽であり、
例えば反応槽、撹拌槽等があげられる。上記した
ような槽の内部を良好に電解研磨するには、上記
槽内面の各湾曲面、凹凸面等、その形状に応じて
自由に変形でき、しかも上記槽に対して電気的に
絶縁することができるので、上述したコイル状の
電極を絶縁チユーブ電極被覆してなるコイル式電
極が好適である。
本実施例は、上述した不都合なくコイル式電極
のよさを生かすために次のようにしている。
すなわち、第2図〜第3図に示すように、本実
施例例の電極17はコイル状に形成されていて、
自由に折り曲げることが出来るようになつてい
る。また、このコイル状電極17は、中空の導電
パイプにより形成されるとともに、その周面に
は、電解研磨液Lが自由に出入りすることができ
る穴26が複数個形成されている。これにより、
実施例のコイル状電極17は、その表面のみなら
ず内面でも電解研磨液Lと接触することになり、
電解研磨液Lに対する接触面積が従来のコイル式
電極と比較して大幅に増大する。しかも、その周
面には穴26が複数個形成されているので、電解
研磨液Lの移動は自由であり、イオンの移動は妨
げられない。したがつて、実施例のコイル状電極
17は、第2図に示したように、接液孔20が複
数個形成されている絶縁チユーブ18内に挿入さ
れたときに、上記絶縁チユーブ18と接触してい
る部分が電解研磨液Lと接触することができなく
なつて接触面積が減少しても、その減少分を内面
において補償することができるので、良好な電解
研磨を行うのに必要な面積を十分に確保すること
ができる。
このように形成された実施例のコイル式電極の
使用方法は従来と同様であり、第1図に示したよ
うに槽内部2に挿入し、槽1をプラス電源側15
に接続するとともに、コイル状電極17をマイナ
ス電源16側に接続して使用する。この場合、コ
イル状電極17は絶縁チユーブ18内に収納され
た状態で槽内部2に配置されるので、電源電圧を
かけて電解研磨を行つているときに、上記槽1や
他の構造物等と上記コイル状電極17とが接触し
てもシヨートしてしまう恐れが全くなく、安全に
電解研磨を行うことができる。すなわち、実施例
の電解研磨装置に用いるコイル式電極は、マイナ
ス電極として使用する電極を槽内部2に配置する
際の容易性および安全性を確保した上で、電解研
磨を良好に実施することができる。
なお、上記実施例においてはコイル状電極17
の断面形状を円形で示したが、上記コイル状電極
17の断面形状は、四角形や三角形、或いは楕円
形等のような他の形状に形成してもよい。
<発明の効果> 本発明は上述したように、比較的小さく形成さ
れた容器の内部等を電解研磨するための電解研磨
装置に用いるコイル式電極を中空の導電部材にて
形成し、これをその周面に複数の接液孔20が形
成されている絶縁チユーブ18内に挿入するとと
もに、上記コイル状電極17の周面に、上記容器
内に入れられる電解研磨液Lが自由に出入り可能
な穴26を複数個形成したので、上記電解研磨液
Lと上記コイル状電極17とを上記コイル状電極
17の内面側においても接触させることができる
とともに、上記コイル状電極17の内面において
接触した電解研磨液Lを上記穴26を通して自由
に出入りさせることができる。したがつて、上記
コイル状電極17を上記絶縁チユーブ18内に挿
入することにより、その表面側において減少した
上記コイル状電極17と電解研磨液Lとの接触面
積を、上記コイル状電極17の内面側において補
償することができ、絶縁性および柔軟性に優れ、
しかも電解研磨液Lに対する接触性に優れたコイ
ル式電極を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
添付図面は、本発明の一実施例を示し、第1図
は、使用状態を示す断面図、第2図は、第1図中
P部の拡大断面図、第3図は、コイル状電極の斜
視図、第4図は、第3図中Y−Y線に沿う断面図
である。 図中、2……槽内部、3……槽内面、17……
コイル状電極、18……絶縁チユーブ、20接液
孔、26……穴、L……電解研磨液。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 比較的小さく形成された容器の内部等を電解
    研磨するための電解研磨装置に用いるコイル式電
    極において、 上記比較的小さな容器等の内部に挿入されて陰
    極として使用されるコイル状の電極を中空の導電
    部材にて形成し、これをその周面に複数の接液孔
    20が形成されている絶縁チユーブ18内に挿入
    するとともに、上記容器内に入れられる電解研磨
    液Lが自由に出入り可能な穴26を上記コイル状
    電極17の周面に複数個形成したことを特徴とす
    る電解研磨装置に用いるコイル式電極。
JP24325987A 1987-09-28 1987-09-28 Method for electropolishing inner surface of relatively small vessel with coiled electrode Granted JPS6483699A (en)

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JPS6483699A JPS6483699A (en) 1989-03-29
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010282689A (ja) 2009-06-04 2010-12-16 Renesas Electronics Corp 半導体メモリ装置およびメモリテスト方法
JP7160271B2 (ja) * 2018-10-04 2022-10-25 株式会社Nsc 黒鉛精製装置

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JPS5835660U (ja) * 1981-09-01 1983-03-08 本田技研工業株式会社 気化器
JPS6145171U (ja) * 1984-08-27 1986-03-25 富士ゼロックス株式会社 転写型感熱記録装置

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