JPH0366355A - トポグラフィ測定方法とその装置 - Google Patents

トポグラフィ測定方法とその装置

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JPH0366355A
JPH0366355A JP2111644A JP11164490A JPH0366355A JP H0366355 A JPH0366355 A JP H0366355A JP 2111644 A JP2111644 A JP 2111644A JP 11164490 A JP11164490 A JP 11164490A JP H0366355 A JPH0366355 A JP H0366355A
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ポール アール.ヨーダ,ジュニア
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    • G01B11/255Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring radius of curvature
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    • A61B3/00Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
    • A61B3/10Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、形態(トポグラフィ)測定装置とこの装置
を利用しての被測定表面の3次元輪郭の測定方法に関す
るものである。
[発明の背景] 「コーニアスコープ」または「ケラトメータ−」と呼ば
れる種々の装置が、角膜のトポグラフィツク(表面形成
度)分析用に進歩してきている。
このような装置は、角膜の曲率測定用として受は入れら
れてきており、視力不足を補なうため測定した角膜上に
着用するコンタクトレンズの処方用その他の眼科におけ
る応用に用いられている。
従来技術では、角膜での反射像の記録を写真で(米国特
許第3,797,921  K i  l ner)ま
たは光電的に(米国特許第4,572,628  No
hda)記録を残せる。
これらの像は、数個の同心円リングを照明したもの、ま
たは多数の光源の集合を同心円上に配列したものを、光
学軸に直角においた平面または軸に対象になるようじお
いたおうめんに配置した対象物の像からなる。
もし、角膜が球状であれば、こららのリング状の対象の
反射像は等間隔で連続または断続的に同心円のソング状
パターンを作る。
もし、角膜が円周では対称であるか球状でない場合は、
結果として現われるリング像は等間隔ではなく、その間
隔の不等性は角膜表面の球形からの「はずれ」の尺度を
現わしている。
もし、角膜表面が、よくある乱視状であると角膜で反射
されたリング状の像は、楕円状で現われ、パターンの偏
心度は、種々の経線の切断面間の角膜表面の曲率の相違
度に比例している。
この偏心度、すなわち表面の乱視度は、リングパターン
像を注意して分析すれば測定できる。
楕円パターンの長、短軸の方位はその乱視の主軸の目が
指摘する方向に比例する。
もし角膜が負傷、病気または放射角膜切開とか曲内症ま
たは他の手術の際の切開部縫合の不完全による手術処置
によって、曲フたりゆがんだりした状態のときは、これ
らの表面欠陥の程度もまた測定できる。
ここに述べた各事例では、希望する最終結果は。
(1)角膜の視覚的に使用される中央部(代表的な価は
3〜7mm直径〉の表面視力(ジオプトリ単位)を表示
または図示すること。
(2)上記面積につきこれらのパラメータの平均値を計
算すること。
である。
乱視または非回転対称性の傾向のあるときは、表面曲率
または視力を種々の方位の罫線に対し視軸毎に種々比較
する。装置およびシステムによる器差および使用方法に
よるランダム誤差は、全定態差を最小に押えるために出
来るだけ小さくする。
従来技術による装置では、測定を行なう場合、以下の特
質−つまたはそれ以上の欠乏が感じられる。
それは、精度、操作容易性、所望の表示または図示結果
が得られるまでの必要時間である。
これらの装置は、どれも視力を改善するのに、希望する
曲率に変えるレーザー切開手術で本来の使用方法と正確
な時間の一致で両立するものはない。
[発明の概要] この発明の目的は、角膜の全部表面のトポグラフィ(形
成度)の測定において、精度と迅速性を改善する方法と
手段を提供することにある。
測定値の器差な確実(小さくする自己の検定能力が加わ
ることにより、上記目的に特別な目的が加わることにな
る。
診断用器具としてのテストで眼部の適切な位置と方向が
簡単な手段で決められることが加わりさらに他の目的の
一つとなる。
さらに、この発明の他の目的は、角膜の表面の個々の微
小な点での視力を測定可能ならしめることにある。
また、その他の目的の一つとして、同一の位置で眼部を
観察し、L’ Esparanca  Jrにより米国
特許第4,665,913.114,732.148お
よび出願番号第891,169により教示された外科手
術の前後および手術中の必要な時に角膜表面のトポグラ
フィを測定する手段を提供するにある。
これらは、基質を貫通しての角膜の切除および紫外レー
ザまたは約2.9マイクロメータで放射される赤外線レ
ーザの制御下の適用による角膜組織の除去に適応できる
さらに、本発明は、角膜半径の測定値の正確度と再現性
が増大することも目的としている。 診断用器具として
、本発明は、患者の角膜の中心を決めるのに役立つこと
ももくていの一つとしている。
上記の目的は、診断している角膜の凸面から放射される
光点の配列像のパターンを解析することで得られ、局面
の半径か周知である球体が装置の目盛検定に使用される
ここに開示した実施例では、Te1fair等により特
許出願番号938,633および009.724に記述
されている装置と直接的な共通面があり、視角特性を改
善するためにレーザー投射で角膜の切開手術と本装置で
の診断を結び付けることができるようになったことであ
る。
第2の実施例として、正確に読みとるには小さすぎる光
点の配列の間隔を広げることなく空間解像度を上げるの
が実現できる知識情報を加えた装置が使用できるように
なったことである。
本発明の第3の実施例には、横軸方向において、眼部の
中心と本発明の角膜鏡を通る光学軸が非常に接近して1
線になし得るようになったことが開示されている。
[発明の実施例] 表面13の3次元輪郭を測定する輪郭測定装置9につい
て説明する。
装置9には、表面13上に多数の独立した光ビーム10
を投影する多点光源11が組込まれている。光検出器1
9は、光像を光電的に測定する。
レンズ15は、表面13と光検出器19の間に測定表面
13からの反射光ビーム14か、光検出器19上に測定
できる光像を結ぶように設置されている。
信号スイッチ21.フレームグラバ23、コンピュータ
24は、前記光検出器19と電気的に伝送系を形成して
おり、独立した光ビームが入社する所望の各点の表面1
3の局部的な曲率半径と表面13の3次元輪郭を測定す
る。
検定具70は、装置9の器差を減少させる作用をなす。
検定具70は、周知の輪郭を持った検定表面72を具え
ており、測定する表面13と置換されている。21と2
3は、前記検定表面72上の個々の光点像の位置を順次
測定しメモリーしてオく、さらに、24が測定表面13
の光点像の反射光を、周知の輪郭を持った検定表面72
の光点像の反射光と比較した偏差値から測定表面の輪郭
を決定する。
第1図で、装置9に示したテスト表面からの反射像につ
いて説明する。
光源列11は、パワー供給器12により点灯されており
、投射光の多重ビームは、テスト表面13に当り反射光
ビーム14としてレンズ15を通過した光ビーム16は
、順次開口部 すなわち絞つ17に焦点を結ぶ。
絞り17を経たビーム18は、光検出器19の検知面に
焦点を結ぶ、19で発生した電気出力信号20は、信号
スイッチ21によりフレームグラバ23に導かれ、レン
ズ15により形成された像のエネルギー分布に相当する
時間−シーケンス系の電気信号を発生する。
これらの電気信号は、デイスプレー装置22で、リアル
タイムのビデオ映像として表示できるさらに、電気信号
は、コンピュータ24により更に解析するために、フレ
ームグラバ23により、デジタルの形としてメモリーし
ておくこと、およびまたはデイスプレー装置22あるい
はプリントアウト装置25に供給することができる。
コンピュータ24に組込まれた特定のアルゴリズムによ
り光源列11の、ある一つのビームが前記表面に投射し
た点における輪郭すなわち光の強さによる曲率半径を計
算する。
26は、レンズ15の光軸と表面13の光軸を一線に揃
えるのに役立つ。
光学系のさらに詳しい機能を第2図に示す。
ここで、光源11は、多数の独立すた発光ダイオード(
LED)からなり、周知の仮想表面11A上に配置され
、装置の光軸27上のC1点に中心がある。
11Aは、仮想球体面としたが、その他の形状でも良い
、また、光1i(11は、LEDが望ましいが、例えば
多数の光ファイバーでも良い。
第1図の表面13に相当する凸面28の中心C2は、同
様に光軸27上にあるが、CIと一致している必要はな
い、光源ビーム10の1本を代表させたLED30から
の入射ビーム29に書き変え、レンズ32の開口部に入
る表面28で反射された発散ビーム31は、14を書き
直したものである。
レンズ32は、光軸27上に中心があり、表面28から
下流方向の通出な距離に位置するように設置される。L
ED30の像は、レンズ32を通過して適当な位置にあ
る光検出器19の光電面33に像を結ぶ。
デヴアイス19は、ビジコン撮像管が、電荷結合デヴア
イス(CCD)のような個別部品からなる検知器である
。このような撮像管または集合デヴアイスの代表的なも
のの光電面は、使用可能な開口面が約6.6x8.8m
mであり、光@11の可視光線に敏感であるべきである
。光学および光電構成部品は、軸27に対し全周に対称
であるので、面の有効開口部の長方形内に、像は納まる
注意しておきたいのは、光検出器19は、ここで示した
光源または特定の寸法に限定されるものではなく、より
大きいか、または小さい、特性が同じかまたは異なった
デヴアイスでも、特性の異なる検知器を選択することお
よび像の大きさを適当に変えることによって対応できる
本発明の特徴として、軸27上に、絞り34のような開
口部を具えていることがある。
これは、レンズ32の焦点距離にほぼ等しい間隔をレン
ズから離しであるので、レンズの焦点に絞り34がある
ことになる。
絞り34の開口面は、光束18の円錐光束31′の円錐
角の大きさを決定するレンズ32の開口部よりも常に小
さく保たれる。
絞り34は、開口面のストップ機構として、またLED
30からの光が、光検知器19の撮像になるもとの試験
表面28上の面積aの大きさ、すなわち光束14.16
.18.31’、31および28の円錐角を調節機構と
して機能する。絞り34は、レンズ32の焦点にあるの
て、光線31゛Aは、軸27とのどのような角度すでも
絞りの中心を通過し、テスト表面28とレンズ32の間
の空間では軸27と平行に伝ばんする。主波と呼ばれる
これらの光線31°Aは、!ノノズ32の対物側空間で
は、テレセンドリンクで、アパーチャストップすなわち
絞りは、テレセントリックである。
LEDは、本質的に輝度か大であり、またイメージセン
サは入射光に高感度なので、絞り34の開口率は、小さ
くできる。このため、LEDからのビームのすべての光
線は、相互に物理的に近ずき主波の経路に接近する。
11のすべてのLEDからの主波か、表面28で反射さ
れてから軸27に平行に進行する事実から、表面28上
の主波が中心に位置する光を遮断した面積aの微小区分
の平均半径を各々独立して計算するのは簡単である。
第3図は、幾何学的に示した図である。
ここで、表面28は、面11Aから、軸上の距離dlに
位置し、代表させたLED30(ここではP2の点光源
とみなす)からの主波29は、軸27から高さYlの点
で、表面28によりさえぎられ、軸に平行にレンズ32
に光線29゛として進行する。
光線29゛は、レンズ32を通り光線29″となり、焦
点Fを通ってイメージセンサ19の撮像面の93点に到
達する。軸27からのP3の距離Y3は、レンズ32の
固有の倍率によってYlと比例する。これについては、
後述する。
光学面における反射の法則で、P2からPlへの光線2
9の経路で(a)表面28を通過する延長(破線)と(
b)反射光線29°の延長(破線)は、表面28の同心
円に両者とも正接する(それぞれP5およびP4)。接
点P4から中心C1までの直角を形成している距離は、
接点P5から同じ点までの距離と等しい。
便宜上、これらの距離をrrJとすると、これは次の式
で表される。
A X c + B Y c + C 「にr−7「−B′″2− ここて。
A=  Y、−Y2 B=  X、−X。
C冨 X m Y lX t Y a そして、X、、Y、は、表面11AのrOJを原点とす
る中心CIのX、Y軸の座標である。
光線29゛は、軸27に平行であるので、第3図に示す
ようにrもまたYlに等しい。名目的にYC=Oである
のでC1は、X軸上にある。
第1図に関連して言及すると、光検知器19上の撮像は
、数学的に解析可能である。
多数のLED撮像のフレームは、フレームクラバにより
デジタルでメモリーされ、その後コンビエータ24で解
析され222でデイスプレーされる。
解析結果は、プリンタ25により、表面輪郭を表にし得
る。表面28の各点における曲率半径を計算するのに必
要な情報は、11のLEDの撮像の各々の軸との距離Y
3である。レンズ32の倍率は、決定できるので相当す
る高さYlは計算できる。
R2とCIの座標およびPlのY座標は、周知であるの
で、Xiのゆういつの価は、次式から計算できる。
−E±  E”  −4DG X、=                      
(2)D ここで、 D  −A(2Y□−A) E   = 2A  (AX(l −Xc Yl  −
Xa  Yl  )G   = A”  (Y 1”−
Xc”)+ 2 A Xc  Xa  Y 1いったん
、X、およびYlか、既知となると、41点の半径R1
は、次式で計算できる。
R1= Yl”+ 一 く3〉 通常、表面11Aと28管の軸間距離dlは、標準的な
手段で測定できる。このため、X o  =   d 
1   +   R+        (4)半径R1
は、最初は未知であるので、反復手法で計算する。
R1に手頃な数値を選び、これを(4)式に代入して最
初の近似値xcを求める。すれから、係数A、D、Gを
決定し、R1の最初の近似値を(3)式で計算する。引
きつずいて計算を進めるとしだいに正確な価が得られる
ようになる。このようにして、所望の正確度が得られた
ら反復手法を止める。
この数学的手法は、各LED撮像に繰り換えされ、個々
のLEDからの細いビームによりさえぎられた各点につ
いての角膜の局所的半径が計算される。表面の平均半径
、前記表面の最大および最小半径、各半径値に相当する
ジオプトリー値、主な非点罫線の方向におけるそれの平
均値との差、前記罫線の方位角の測定等は、解析幾何学
の手法で決定することができる。
各発光点R2の位置は、最後に述べる計算方法を用いて
知ることかできる。これらの位置は、11の各LEDの
座標を直接測定しても決定できる。
もう一つの方法として、むしろこの方法のほうが好まし
いか、検定具70により決定することができる。検定具
には、周知輪郭の表面71が備わっている。表面71は
、球面からできている装置35の検定の望ましい技法と
しては、装置36に正確に半径の解っている球面28°
を持っている球体72を取り付けて実施する。
球体72は、第4A図に示すように、表面11Aから距
1tdlの点にあり、その中心は、軸27上に位置して
いる。
球体72は、トポグラフィ測定装置35に対し調節部3
6を使って縦方向と2つの横方向の3次元移動台上にお
かれている。
第4A図の平面内で、Slと82が相互に等しくなるよ
うに決め、また同様に軸27を含んだ第4A図に直角な
平面で操作して中心状めを行なう、LED球面(表面1
1)から表面28′を指定圧111dlに位置決めする
には、調節部36の前後直線移動で行なう、最初にいっ
たん、−線になったら、球体72を規定位置に再配置す
るために円錐座37とスプリング付きクランプ38が、
筒便かつ確実な手段となる。再配置するたびに検定を再
チエツクする。
反射球体を検定手段に使用したり、または角膜のトポグ
ラフィを決めるのに角膜鏡型の装置1135を使用する
ためには、レンズ32の倍率を知らねばならない。この
測定法を第4B図に示す。ここで、基準体39を、調節
部36の座37に装着し表面11Aからの軸上の距離な
d3とする。
それから、光検知器19上の基準体39の表面の撮像の
大きさを測定する二実物の寸法に対する測定撮像の寸法
の比が、光学系すなわちレンズ32の倍率である。代表
的な前記倍率の価は、約0.4〜0.6倍である。
d3の理想的な価は、凸面28により反射されたLED
の撮像としての同じレンズからの距離に基準面41が本
質的に位置すべきであるので、diよりも僅かに大きい
後者の撮像は、虚像であり、次式で表され、前記表面2
8の後に位置する。
d=(R1d、)/(2d、+R1)   (5)なと
して、d、=100mmおよびR,=8mm、  d、
x4. 2mm、  d、=   d、  +   d
、w104.2mm、   この数値の基準面41の位
置では、光検出器19におけるLEDおよび基準体の撮
像は、両者とも確実に焦点を結ぶ。
レンズ32の対物側においては、光学系のテレセントリ
ック性により、d+の距離が少々変動(数mmのオーダ
ー)しても、倍率は本質的に一定である。
光検出器19の光電面におけるある点の位置は、通常画
素単位で水平方向の幅で、点の距離を測定し、垂直方向
の高さを参照(矩形ラスター角部のような)して得られ
、また代表的な画素の寸法は、これらの方向で異なるこ
とから、直線の倍率は、この2方向で互いに異なる。
測定値は、通常、コンピュータメモリーに記録され適当
な時期に次の計算につかわれる。
基準体39には、2本または、それ以上の識別マーク7
3を具えた種類がある。これは、光を反射したり、吸収
したりするようにデザインされているので5基準面の下
部にある面によってコントラストがはっきりして視認し
やすくなる。
拡大像は、光学系の軸27につき方位角的に変るので、
少なくとも2本の互いに直角をなして交わる直径のそれ
ぞれの二重の基準マークを推奨したい、簡単に具体例を
示すと、円形の基準リング40を本体39に彫るか、ま
たは他の方法でマークする。
リング40を軸27に同中心になるように第5A図およ
び第5B図に示すように配置する。
基準リング40は、他の方法で調整した球体72)例え
ば機械加工またはベアリング球の平面にした表面41に
作成する。第4B図の調節部36の円錐座37で容易に
セットでき、このためLED球面11と軸27の中心に
確実に位置することができる。
半径R1の球上に設けた平面のために除去した深さは5
前述のd2と同じである。
第5C図に示すよう(、球状の反射検定表面28′と基
準目標39を結合した機能は、球体を適当な機械加工を
施して39Bのように得られる。
検定の目的には、LED光源を発光させ先に述べた角膜
による反射と同じ方法でイメージセンサの撮像の相当す
る位置で決める。これらの撮像の相当する高さYlと実
際の点P2のXおよびY座標に代え、すべてのLEDに
つき計算する。これは、本発明の目的の一つにあげた自
己検定法である。
この方法は、表面28における反射の法則と解析幾何に
より導かれた数式によって計算でき、以下の通りである
Y、’+IY、”+LY2 +M   =O(6)ここ
で、 Hズ4に!”  +  K32 ■冨(4に* K3 R2+2に:l K4 +8KI
xi)/n J= (4に+”+4KI K3 R2+4に2 K4
 R2+ 2 K3Ka ” K4”) / HLx 
 (4Kt  K4  R2+4に*  Ks  R2
+2に、xs)/H M冨 (4に+  KS  R2+KS”)/HK、富
(X、−X、”)Y、” Km = (X、−Xゆ)Y。
K3 xY、”−Xo”+2XcX+ −X+”K、=
2  (Xo”Y、−Xc xi  yi  −Y、3
)K8wY、’+X+”Y、”−Xe”Y、2いったん
Y2が計算されると、次式から相当するX2価を計算す
ることは簡単である。
ここで、R2は、すべてのLED光源(例えば点R2)
の球面の周知半径である。
本発明のこの特徴は、角膜鏡の検定にあたり、その半径
を計算するのにつかわれるLED光源のについて、避け
ることのできない製造上の不確実さによる有害な影響を
打ち消すのに役立つ。
この検定を定期的に行なうことで、器差!よ最小限に減
少し、角膜の指定点において、前述の技法と装置を使っ
ての半径とジオプトリ価の測定結果の正確度が大幅に改
善される。
眼の診断のため角膜(大強敵には眼の光学軸の中心に位
置して5〜7mm直径)上の多数の点での半径の情報を
与えるためには、光源の配列11は多数ある方が良い。
第6図は、16LEDの4列を配置した84LEDから
なる配列を示しており、各列は、配列の開口部を横断し
、経線を45度毎に偏角している。LEDは、全体の大
きさを最小にして球面の四部に位置し、系の光学エレメ
ントとして個々の光源から所要の角度の傾きの細いビー
ムを発光する。
角膜の輪郭につき、より多くの情報を必要とする場合は
、全体または部分的に配列の経線に、あるいはまた経線
そのものをふやし光源を追加する。これとは逆に、情報
が少なくてよい場合には、光源も少なくてよい。
もう一つの具体例として、多数の光源を具えておき、し
かもその特定のグループ事に適当なスイッチ機構(不図
示〉で選定し、特別の要求を満すことにより、操作とデ
ータの解析の全所要時間を減らすことができる。
この記述の最初の方で指摘したが、テレセントリックス
トップ(絞り)34の開口直径は、小さいが充分に光を
通過させ光検出器19に検知可能な撮像な結ぶ0発明の
特別な具体例に関する計算は、撮像の質の理由のため、
撮像な作る光束は、f/13よりも大きくない(すなわ
ち早くない)効果的な開口を有するべきである。
これは、LEDに対する視界の奥行がim蕩に増し、ま
た視界内のすべての点てシャープな撮像を作るという結
像系の性能向上という2ばんめの効果をもたらす。
このような目的のために使用されている従来の技術では
、使用している比較的大きな開口による未補正の収差に
起因する視界の縁の鋭さの低下がある。
第3図の点R2のY座標に相当する第6図のLEDの代
表の半径距離をY2とする。注意したいのは、経線に沿
ったLED間の半径方向の間隔(△Yl)の提起条件を
反映している。
もし1表面28が球体であるならば、光検出器19の撮
像面の相当する半径方向の間隔は同じく等しい。装置の
機能、非点収差を含めて表面28の不ぞろいを検知する
のは、重要でないにも拘らず、LEDの全配列の複合像
は、第1図のデイスプレー22でII察されるか、ある
いはまたプリンタ25によりハードコピーとして提出さ
れる。
第7図は、本発明を簡略化して図示したものである。
Te1lfair等が、特許出願No、938゜633
およびNo、009,724で開示した通常型のレーザ
ー切開装置を直結(屈折鏡42を経て)したものである
屈折鏡42を光束から除くと、本発明の角膜鏡型のトポ
グラフィ測定装置として、LED配列の凹面部の中心近
くに位置する角18128の輪郭を測定するのに使用さ
れる。もし、屈折鏡42の代りに、ビームスプリッタを
用いるとレーザー切開装置を作っての診断機能は、ほぼ
リアルタイムで行なわれる。
いずれにしても、図示しているように、切開装置61と
トポグラフィ測定装置の光検出器19間の同期結合50
が、当面する外科処置における切開装置と測定機能の交
錯する視野を確実に分離する。
レンズ32による光検出器19の像は、角膜のトポグラ
フィ評価の診断に際し、5〜7mm直径の面積部分に限
らないので、以下に記述するような処置が外科用顕微鏡
のように眼の外部の大部分を拡大して観察するのに使用
できる。
第8図に示すように、光学系の視野は、開口部34の中
心から測った光検出器19の検知面43とが作る角の弦
により決定される。
代表的な眼の観察できる視野の広さ44は、設計にもよ
るが12〜16mm直径である。
眼の影像を眼科医はリアルタイムで観察でき。
他の観察者達にはビジコンまたはCCD19と信号スイ
ッチ21およびデイスプレー22からなるビデオ装置を
通して観察に供せられる。
照明は、単独光源または例えば室内灯のような重複した
光源45による。適当なモノクロまたは真カラーあるい
は疑似カラーとしてデイスプレーできる。
発明の機能が、好結果をもたらすためには、光源11と
テスト表面28間の軸間距*dl第3図参照)に適当な
数値を設定することである。角膜の屈折力の測定で±1
/4ジオプトリの精度を得るためには、dlの寸法を検
定および操作の間、設計値のほぼ±0.25mm以内に
保たねばならないことが数学的解析であきらかになって
いる。
この寸法の測定と調節水準は、種々の方法で到達できる
0例えば、長さを検定した簡単な探査子を形状度測定装
置と表面28の軸上の頂点に触れるようにあて、前記表
面が適当なを保つようにする。眼に対しては、探査子か
表面をいためる恐れかるため、適用かはばかられる。
このような場合、非接触法(光学的または光電的)があ
り、カメラの距離計の機能で焦点を合せるとか、または
傾けて投射した光束が、表面か適当な軸間距離に位置し
たとき入射光と重畳する方法とか、または反射鏡あるい
は散乱光による多素子検知器の発光により検知する。
非接触の焦点感知法の簡単てかつ推奨できる方法として
、光学顕微鏡があり、形状度測定装置の光学軸に垂直な
方向から、表面28の側面をみるよう方位を定め、対象
物と顕微鏡の最も接近した表面の間隔を測る。この顕微
鏡を測定装置に装着するこヒにより、照準線は時間かた
っても変らず固定された焦点距離測定標準となる。i+
t+微鏡または検定球70、試験表面28等の焦点距離
の測定に用いられ特定の試験表面の評価の検定に適用し
て役立つ。
第9図は、焦点矯正感知デジアイス51すなわち1w4
微鏡をトポグラフィ測定装置35に複合させた概要図の
1例である。ビームスプリッタ52レンズ54、鏡55
A、接眼レンズ56、(第9図参照)を通して表面28
′から反射されたLED撮像パターンの軸27に沿った
視界を観察する。
矯正の照合は、LED撮像撮像パター心上置する毛髪十
字線のような手段でなされる。
検定の間、この補助光学系か、表面28′の中心を調節
部36を調節して垂直および水平に保つ。角膜の測定中
においては、この補助系か、患者の頭部および(または
)眼の位置を調節する適当な機構を動かして、眼の頂点
を垂直および水平方向に矯正するのに使用される。
装置の他の特徴の一つを第9図で説明すると、前述した
鏡55Aを移動させて55Bに示したような光路なとる
ことである。
表面28゛またはテスト中の表面の側面像は、顕微鏡の
構成部品である鏡58およびレンズ59により接近して
くる。
検定時の焦点測定モードにおける顕微鏡の視野像を、第
10図に示す。また、眼の角膜を毛髪十字線に合せた像
を第11図に示す。
操作者が装置をあつかうのに楽なので、まっすぐな状態
の眼の像を示したが、絶対必要な条件ではない。
第12図は、顕微鏡60で測定する直立像装置の1例で
、前述の角膜トポグラフィ測定装置とレーザー切開装置
を結合したものである。
トポグラフィ測定装置の具淘すべき必要条件は、ビデオ
映像とアルゴリズムによる撮像データを得ることである
。第1図で示したフレームグラバ23は、本発明による
影像か得られるのみならず、ルックアツプ表、ビデオく
ツクス、デジタルからアナログに再構成したビデオ等の
機能を具えている。
一般的なパソコンは、殆どのソフトウェア−の仕事に対
し充分な環境を与える。しかしながら、注目に価する速
度でビデオ映像化するのには不完全である。
フレームグラバ23に代替するものは、フレームグラバ
から不要な特色を除き縮小データアルゴリズムを行わせ
る強力なマイクロプロセッサのみにしたものである。こ
のタイプのデジタルシグナルプロセッサのようなマイク
ロプロセッサは、ここに記述したような一般のフレーム
グラバに比較して、速度がすくなくとも係数10位有利
である。
回路基盤は、通常のPCにビデオデジタル化機構、ビデ
オ映像蓄積メモリーバンク、デジタルシグナルプロセッ
サ、および必要な回路からなる。
ここに述べてきたトポグラフィ測定装置については、改
良すべき点が、2点ある。
これは、 (1)眼の中心を横方向すなわち、装置(デジタル角膜
鏡と呼ぶ)の光学軸に垂直方向に高精度で中心合せをな
す能力と、 (2)光学軸近くの角膜のトポグラフィに関する知識の
供給能力である。
眼の中心合せを充分に決定する現在の技術は、(1)観
察者が、ビデオモニターでの角膜から反射された個々の
影像と影像配列の対象を判定して、または、 (2)手術の間、同軸の光学me鏡を通して患者の虹彩
または角膜縁の影像を装置上の何等かのマ一りに合せ中
心合せを行なう。
これらの観察できるものには、明確な特徴がないので、
角膜の軸の正確な位置は、およその中心合せであるが、
顕微鏡の毛髪十字線に合せるように指示しておく。
第13図に図示した例で、角膜の測定に関し特別な例を
説明しておく。
これは、本発明の範囲内にあり、任意の表面、特に充分
に球状の表面の測定に使用される。
これらの欠陥を正すため、眼の中心合せを容易にするた
めに、LEDまたはこれと同等の点光源を具える。角膜
から反射された光源の影像は、もし角膜の湾曲の中心が
、デジタル角膜鏡の軸上にあるビデオモニターに現われ
る。この原理は4レンズとか鏡のような光学軸面を光学
軸機械の軸に中心合せする際(習慣的に使用される。
局面の光源配列11゛は、名目上または実質的な球体表
面からなり、配列の中央に開口部70があり、デジタル
角膜鏡の軸と同心になっている。
角膜測定装置の構成要素は、前述のものと全く同一であ
り、ダッシュ、2重ダッシュの数字は同じ構成を示す。
開口70は、角@72からの反射ビームを影像レンズ3
2 IIへ、一方間時にUVレーザービーム74が、角
!I72と同一軸で入射するという両方の機能をなす。
軸を通る光源を角膜72に投射するために、従来からあ
るビームスプリッタまたはビーム結合器76が使用され
ている。ビーム結合器は、顕微鏡78の対物レンズの前
に位置している。  LEDまたは従来から使用されて
いる点光源80が、ビームスプリッタ76と顕微鏡対物
レンズ78の中間で、光束軸82に置かれ系の光学軸7
1に横方向に位置していると、光源80からの光は、ビ
ームスプリッタから71に沿って下方に反射されて角膜
72に届き、眼の中心合せのための点光源となる。
中心合せの判定は、じゅらいからのビデオカメラ84に
よる影像を第9図の毛髪十字線のような適当なパターン
(合せてて行なう。
もう一つも例では、軸先源80からの光のある部分は、
ビームスプリッタ76を通過し、調節。
固定ともに自在な鏡86上に投影する。
鏡86は、光源80からの光の一部をビームスプリッタ
76から上方へ反射し、レンズ32″から、鏡88、絞
り90を経てビデオカメラ84上に光源80の影像を結
ぶ。
光源80の影像は、角!172の中心状めにより位置を
変えないので、デジタル角膜鏡を通しての光学軸71の
固定目標になる。
調節および固定ができる鏡86を示したが、本発明では
2直角三角プリズムとか「縞目反射板」のような反転装
置に代替することも含まれる。これは、調節および固定
鏡に比較して固定した状態で反転し、系の中で、それ自
体の離心に対し低感度であるという構造上の利点がある
。ビデオカメラ84に現れる像の代表的なものを第14
図に示す。
輪郭測定装置の軸位置に相当する対象像92の位置は、
被測定角膜の中心位置と比較することができる。第14
図の像では、あきらかに僅かに中心をはずれた角膜に相
応するLEDの反射像は、中央の対象固定光源像91に
比し、比例して中心をはずれている。
このような中心をはずれたパターンが、観察された時は
、角膜72から反射された中央光源80に相応する像9
2が、同じ光源が鏡86で反射された対象像91の上に
かさなり会うまで、角膜を側面移動させる。
注意すべきは、中央光源80の2つの像の大きさと、光
度が同じで、ビデオカメラ84に接続したビデオモニタ
ー93にほぼ同じ大きさ、および強さで映るようにすべ
きである。これは、2つの像を作るビームの開口を調節
したり、または適当に補正することで行われる。
従来から使用されているwI微鏡94が、光軸82に表
面72を観察するために配置されている。
観察者は、最初1輪郭測定装置の芯出し、または角膜そ
の他の表面の観察に使用することができる。光遮蔽95
は5点光源80とII微鏡94との間に設置され、光源
80から顕微鏡94内に光が入るのを防ぎ、測定面を明
瞭(観察できる。
前述したように、焦点に集める器具90は、アパーチャ
トップ、またはこれに相当する構造からなり、表面72
から反射された光束の円錐角を絞り、これによって、多
点光源11″上の光点に相応する反射光線を接近させる
前述の通り、輪郭測定装置は、特別の場合には、レーザ
ー切開装置を使用するように適合させている。これは、
軸96上のレーザービーム74が、輪郭測定装置の光学
軸71に入射する。 レーザー切開装置は、輪郭測定装
置と連結されており、レーザー切開と角膜の評価とを結
びつけている。
前述の通り、第1図に示したシグナルスイッチ、フレー
ムグラバ、およびコンピュータは、ビデオカメラ84中
の光検知器と電気的にデータ伝送を行い、個々の光束が
入射した点における表面72の局地的曲率半径と3次元
輪郭の両方を決める。
もう1つの例として追加された点光源10Oが、中央部
の対象点光源80の周囲に置かれて、角膜表面の中央近
くのトポグラフィ測定に役立つようになっている。
光源11″の開口部70は、表面72からの光が、軸7
1に沿って反射され通らねばならないという構造上の制
約から、その必要性は、理解できる0点光源100は、
表面72の中実軸の極く近くの点(おいて反射し、開口
部70を通る。このため、最初は、最も効果のある中心
の単光源を利用した。
そこで、中央の固定指標となっている光源80からの光
像を、ビームスプリッタ76と反射鏡86の間に設置し
た開閉シャッター98で暗くしてみた。こうすることで
、角膜から反射された影像のみが、トポグラフィの測定
に使用される。
この場合の特徴は、軸71から約0.256mmまで測
定できることである。
さらに具体化した例では、第15図に示すように、固定
指標すなわち軸71と表面72の中心からの影像信号9
1と92を別の光電センサ102て検知できることで、
レーザー切開手術中は、中央像からの光のみを、これで
受ける。
光線は、第13図のビームスプリッタ88と置換したビ
ームスプリッタ104で細いビームとして供給される。
この実施例の利点は、光源80が、手術結果を低下させ
る目視の代りにモニターになれることである。光センサ
100は、ただ2つの影像91と92をモニターしてお
り、許容範囲外に2つの影像のかさなりが離れた時には
、エラー信号を出力する。例えば、センサ102は、数
カ向で見えている2つの像の直径を監視しており、輪郭
測定装置を通る光軸と角膜の中心位置ずれによる、ある
方向での像の広がりに応じてエラー信号を出す。
エラー信号により、手術床は、用心してレーザービーム
な止めたり、またはサーボコントロールによる眼の保持
装置を動作させて、手術中、眼と装置間の中心を合せる
ように保つ0例えば第4A[]に示すような中心合せ機
構36は、センサ102で生じるエラー信号と連動して
電気−機械的コントロールにより中心合せができる。
ビデオカメラ84に、信号91と92の影像を入れ、モ
ニターすることも本発明の範囲内である。
信号91と92を隔離し、前述のようなエラー信号を出
すプログラミングは可能である。
上記の利点に加えて、中心光源80ビームスプリッタ−
76で反射され、角!I72に向かうビームは、診断用
器具としてデジタル角膜鏡を使用する場合、観察する眼
に対して固定目標となる。光源は、軸82上にあり、軸
71と眼の視軸を一致させるのに役立つ。
本発明では、最初角膜の輪郭の測定用として説明したか
、同じく規則的なまたは不規則的な輪郭を持つ形状の測
定に使用することができる。例えば、光学レンズ、鏡、
ボールベアリングおよび精密機械部品の輪郭の測定に使
用できる。
[発明の効果] 本発明による表面形成度の測定、特に眼の角膜の輪郭測
定には有効で、角膜表面の視力を局部的および平均値で
表示、あるいは図示できるのでコンタクトレンズの処方
直ちに応用できる。
また、従来どじゅつに比べ、精度、操作性、データの再
現性等について利点がある。
また、最近急速に進歩してきたレーザーメスと本装置を
連動させる技術を確立したので、角膜の切開手術におい
て観察をしながらのリアルタイムでの手術か実施できる
という大きな効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係るトポグラフィ測定装置の一般化
した光学的、機械的、電気的構成部分の関連構成を示す
構成国、第2図は、多重光源の配列を具えた第1図の光
学構成部の主要部分の説明図、第3図は、第2図の光学
的配置に関する幾何学的関係を示す説明図、第4A図は
、第1図の装置の検定モードでの、また第4B図も同様
であるが改良部分説明図、第5A図および5B図は、そ
れぞれ拡大した4B図の検定具の正面図と縦方向の断面
図で、第5C図は、改良した検定具を示す図5第6図は
、第2図に示した多重光源に対する放射状にならんだ投
影図、第7図は、角膜の切開手術の器具を連結した用法
の説明図、第8図は、本発明の他の応用例を示す光学系
の説明図、第9図は、第4A図をさら(進展させ診断器
具として測定時に眼の中心合せの補正具を併設した場合
の説明図、第1O図は、検定モード時に焦点か合った状
態の代表的な視野を示す図、第11図は、操作モード時
に焦点が合った状態の代表的な場合を示す説明図、第1
2図は、レーザー切開装置の焦点が合った状態の簡略説
明図、第13図は、第2実施例について、レーザー切開
装置と眼を1線に並べる機構を簡単に示した説明図、第
14図は、13図で説明した装置にビデオカメラを用い
た時の影像を示す図、第15図は、CODの配置図であ
る。

Claims (42)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面の3次元輪郭を測定するための輪郭測定装置
    であって、 測定される表面へ1次光ビームを投射する手段と、 前記表面から光電的に測定可能な光学像で、前記1次光
    ビームの位置に対応する各映像に相当する電気出力信号
    を発生するための1次光ビームの反射光を受光する手段
    と、 輪郭測定装置を経て延長した光学軸に関して測定される
    表面の中心の位置を決定するための位置決め手段とを具
    え、 前記位置決め手段は、 前記輪郭測定装置の光学軸に沿って測定される表面に単
    独光ビームを電気出力信号発生手段に反射させるための
    投射手段と、 輪郭測定装置を通る光学軸の位置に対応して電気出力信
    号を発生するための前記電気出力信号発生手段中にパタ
    ーンを発生する手段と、 測定される表面の中心の位置と光学軸の位置を比較する
    手段からなることを特徴とするトポグラフィー測定装置
  2. (2)特許請求の範囲第1項において、単独光ビームを
    投射する前記手段は、 光束軸に位置し、前記軸の側面に位置する単独の点光源
    で、 単独の点光源から測定される表面の方向に単独光ビーム
    を反射し、測定される表面の中心の位置を指示する単独
    の点光源の前の光学軸上のビームスプリッタを具えたこ
    とを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  3. (3)特許請求の範囲第2項において、前記単独点光源
    はLEDあることを特徴とするトポグラフィー測定装置
  4. (4)特許請求の範囲第2項において、測定される表面
    および1次光ビームと単独光源との反射光を観察するた
    め光束軸に位置する投影顕微鏡を具えてことを特徴とす
    るトポグラフィー測定装置。
  5. (5)特許請求の範囲第4項において、前記点光源から
    前記顕微鏡に直接光が入るのを防止するため、前記光源
    と前記投影顕微鏡の間に光遮蔽を具えたことを特徴とす
    るトポグラフィー測定装置。
  6. (6)特許請求の範囲第2項において、輪郭測定装置を
    通る光学軸の位置の固定指標として点光源からの光の一
    部を反射光受光手段に戻すため前記ビームスプリッタの
    点光源に対して反対側に光束軸上におかれた反射手段を
    具えてことを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  7. (7)特許請求の範囲第6項において、前記反射手段は
    、調節および固定可能な鏡からなることを特徴とするト
    ポグラフィー測定装置。
  8. (8)特許請求の範囲第6項において、前記反射手段は
    、直角三角プリズムのような反転装置からなることを特
    徴とするトポグラフィー測定装置。
  9. (9)特許請求の範囲第6項において、前記反射手段は
    、猫目反射器からなることを特徴とするトポグラフィー
    測定装置。
  10. (10)特許請求の範囲第2項において、前記輪郭測定
    装置を通る光学軸の位置に対応して前記反射光受光手段
    に電子的にスーパーインポーズされたパターンを具えて
    なることを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  11. (11)特許請求の範囲第2項において、反射光受光手
    段は、測定される表面から反射された1次光ビームと反
    射された単独光ビームの焦点を結ばせるための手段を前
    記被測定表面と前記電気出力信号を生成させる手段との
    間に配置してなることを特徴とするトポグラフィー測定
    装置。
  12. (12)特許請求の範囲第11項において、焦点を結ば
    せるための手段は、光学軸延長上にレンズを具え、前記
    反射光受光手段は、光検知器からなることを特徴とする
    トポグラフィー測定装置。
  13. (13)特許請求の範囲第12項において、1次光ビー
    ムを投射する前記手段は、測定される表面に多数の点光
    源の個々の光点に相当する多数の個々の光ビームを投射
    するための多点光源からなることを特徴とするトポグラ
    フィー測定装置。
  14. (14)特許請求の範囲第13項において、焦点を結ば
    せる手段と前記光検知器の間に、表面から反射された前
    記1次光ビームの光線の円錐角を絞り、この結果反射光
    線は、多点光源の単一光点に相当するテレセントリック
    な主光線に近ずく手段を具えてなることを特徴とするト
    ポグラフィー測定装置。
  15. (15)特許請求の範囲第1項において、1次光ビーム
    を投射する前記手段は、測定される表面へ多光源の個々
    の光点にそれぞれ相応する多数の個々の光ビームを投射
    するための多点光源を具えてなることを特徴とするトポ
    グラフィー測定装置。
  16. (16)特許請求の範囲第2項において、電気出力信号
    を発生させるための前記手段は、測定される表面の影像
    を映し出すビデオカメラと、 機器操作者の観察に供するため前記影像を受像する前記
    ビデオカメラに接続されたモニターとを具えてなること
    を特徴とするトポグラフィー測定装置。
  17. (17)特許請求の範囲第1項において、測定される表
    面は、事実上球面であることを特徴とするトポグラフィ
    ー測定装置。
  18. (18)特許請求の範囲第17項において、事実上の球
    面は、角膜の前部表面であることを特徴とするトポグラ
    フィー測定装置。
  19. (19)特許請求の範囲第18項において、輪郭測定装
    置の光学軸と一致した軸で切開用レーザービームを投射
    するレーザ切開装置と、 レーザ切開と角膜の輪郭測定作業を結びつけるため前記
    レーザ切開装置と前記輪郭測定装置を相互に連結させる
    手段とを具えてなることを特徴とするトポグラフィー測
    定装置。
  20. (20)特許請求の範囲第6項において、1次光ビーム
    を投射する手段は、測定装置の光学軸に中心がある名目
    上球面でことを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  21. (21)特許請求の範囲第2項において、光束軸に接近
    して1または、それ以上の点光源を配置しビームスプリ
    ッタから測定される表面の方向へ光学軸上に反射させ光
    学軸近くの測定される表面の局部的曲率半径の測定を可
    能にしたことを特徴とする輪郭測定装置。
  22. (22)特許請求の範囲第1項において、1次光ビーム
    を投射する手段は、測定される表面から電気出力信号を
    発生させる手段へ光ビームが反射されるよう、系の光学
    軸上に中心を置いた開口部を持つ表面からことを特徴と
    するトポグラフィー測定装置。
  23. (23)特許請求の範囲第22項において、において、
    測定される表面の輪郭の測定は、光学軸の約0.25m
    mまで可能なことを特徴とするトポグラフィー測定装置
  24. (24)特許請求の範囲第6項において、光束軸に接近
    して1個、またはそれ以上の点光源を配置し光学軸上で
    測定される表面の方向へビームスプリッターで反射させ
    る光学軸近くの測定される表面の局部的曲率半径の測定
    を可能にしたことを特徴とするトポグラフィー測定装置
  25. (25)特許請求の範囲第24項において、1次光ビー
    ムを投射する手段は、測定装置の光学軸上に中心があり
    充分に球状である表面からなることを特徴とするトポグ
    ラフィー測定装置。
  26. (26)特許請求の範囲第20項において、前記球状表
    面は、測定される表面から電気出力信号を発生させる手
    段へ光束が反射されるよう、系の光学軸状に中心を置く
    開口部を具えてなることを特徴とするトポグラフィー測
    定装置。
  27. (27)特許請求の範囲第26項において、単独の点光
    源からの光と、 電気出力信号発生手段の光学軸の位置に応じてパターン
    を発生させる反射光受光手段へビーム反射器から反射さ
    れて光を妨げるため、反射手段と単独点光源の間に配置
    された手段と、 測定される表面から反射された光像の位置を測定するた
    めおよび測定した表面の局部的曲率半径を決めるため前
    記手段から前記電気出力信号を受ける手段を具えてなる
    ことを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  28. (28)特許請求の範囲第27項において、測定される
    表面の曲率の測定は、光学軸の約0.25mmまで可能
    であることを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  29. (29)特許請求の範囲第1項において、測定される表
    面の中心と輪郭測定装置を通る光学軸の位置に対応する
    2重像を選択的に監視する手段と、測定される表面の中
    心と輪郭測定装置を通る光学軸とのずれによる2重像の
    広がりに応じてエラー信号を出力する手段とを具えてな
    ることを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  30. (30)特許請求の範囲第29項において、装置を通る
    光学軸に対し測定される表面の中心を一致させるように
    保つサーボコントロールによる位置決め手段を具えてな
    ることを特徴とするトポグラフィー測定装置。
  31. (31)輪郭測定装置で表面の3次元輪郭を測定する方
    法で、 測定される表面へ1次光ビームを投射し、 光電的に測定可能な光像に対応し、前記影像の各々は前
    記直接光束の位置に対応する電気出力信号を発生するた
    めに前記表面から1次光ビームの反射光を受光し、 輪郭測定装置を通る延長した光学軸に対し測定される表
    面の中心の位置を決定し、 この位置決定の段階は、 測定される表面から光学軸に沿って単独光ビームを測定
    した表面の中心に対応する電気出力信号を発生させるた
    めに反射させて投射し、 輪郭測定装置を通る光学軸の位置に対応する電気出力信
    号のパターンを発生させ、 測定される表面の中心への大体の位置を光学軸の位置と
    比較する段階からことを特徴とするトポグラフィー測定
    方法。
  32. (32)特許請求の範囲第31項において、において、
    1次光ビームを投射する段階は、単独点光源を光束軸の
    上で前記光学軸の速報に配置し、 単独点光源の前の光学軸上にビームスプリッターを置き
    単独光ビームを測定される表面の方向に反射させ、測定
    される表面の中心の位置を指示させるようにしたことを
    特徴とするトポグラフィー測定方法。
  33. (33)特許請求の範囲第32項において、測定される
    表面を光束軸上の投影顕微鏡を通して観察するようにし
    たことを特徴とするトポグラフィー測定方法。
  34. (34)特許請求の範囲第33項において、前記点光源
    から前記顕微鏡に直接に光が入るのを防ぐ段階を具えて
    なることを特徴とするトポグラフィー測定方法。
  35. (35)特許請求の範囲第32項において、点光源から
    の光の一部を反射させ、輪郭測定装置を通る光学軸位置
    の固定指標となる電気出力信号のパターンを発生させる
    段階を具えてなることを特徴とするトポグラフィー測定
    方法。
  36. (36)特許請求の範囲第35項において、電気出力信
    号を発生させるため測定される表面から反射された1次
    光ビームと単独光ビームを焦点に結ばせる段階を具えて
    なることを特徴とするトポグラフィー測定方法。
  37. (37)特許請求の範囲第36項において、表面から反
    射された前記1次光ビームの光線の円錐角を絞り、この
    ため各反射光線は、光点に対応してほぼテレセントリッ
    ク主光線に近ずく段階を具えてことを特徴とするトポグ
    ラフィー測定方法。
  38. (38)特許請求の範囲第31項において、測定される
    表面は、ほぼ球状である角膜の前部表面であることを特
    徴とするトポグラフィー測定方法。
  39. (39)特許請求の範囲第38項において、輪郭測定装
    置の光学軸と一致して切開用レーザービーム入射軸を有
    するレーザー切開装置を具え、個々のレーザー切開と角
    膜監視作業を結びつけるため前記レーザー切開装置と前
    記輪郭測定装置を相互に接続させる段階を具えてなるこ
    とを特徴とするトポグラフィー測定方法。
  40. (40)特許請求の範囲第32項において、光束軸の近
    傍に1またはそれ以上の点光源を置き、ビームスプリッ
    ターから光学軸上の測定される表面の方向に反射され、
    測定した表面の光学軸近傍の局部的曲率半径を測定する
    ことを可能とする段階を具えてなることを特徴とするト
    ポグラフィー測定方法。
  41. (41)特許請求の範囲第31項において、測定される
    表面の曲率の測定は、光学軸の約0.25mmまでであ
    る段階を具えてなることを特徴とするトポグラフィー測
    定方法。
  42. (42)特許請求の範囲第31項において、測定される
    表面の中心と輪郭測定装置を通る光学軸の位置に対応す
    る2重像を選択的に監視し、 測定される表面の中心と輪郭測定装置を通る光学軸との
    ずれによる広がりに応じてエラー信号を出す段階を具え
    てなることを特徴とするトポグラフィー測定方法。
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