JPH0365002U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0365002U JPH0365002U JP12600589U JP12600589U JPH0365002U JP H0365002 U JPH0365002 U JP H0365002U JP 12600589 U JP12600589 U JP 12600589U JP 12600589 U JP12600589 U JP 12600589U JP H0365002 U JPH0365002 U JP H0365002U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure chamber
- pressure
- casing
- detection means
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Controls For Constant Speed Travelling (AREA)
- Control Of Throttle Valves Provided In The Intake System Or In The Exhaust System (AREA)
- Actuator (AREA)
Description
図は本考案の一実施例を示す断面図である。
１……ケーシング、２……ダイヤフラム、３…
…負圧室（圧力室）、１０……スロツトルワイヤ
ー（作動軸）、１３……圧縮スプリング、１４…
…圧力センサー（検出手段）。
…負圧室（圧力室）、１０……スロツトルワイヤ
ー（作動軸）、１３……圧縮スプリング、１４…
…圧力センサー（検出手段）。
Claims (1)
- ケーシング内の圧力室への供給圧力と圧縮スプ
リングのばね力との相対圧力でダイヤフラムを変
位させて作動軸を駆動させるダイヤフラム式アク
チユエータにおいて、前記ケーシング内にダイヤ
フラムの変位量を検出する検出手段を設けたこと
を特徴とするダイヤフラム式アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12600589U JPH0365002U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12600589U JPH0365002U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0365002U true JPH0365002U (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=31673845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12600589U Pending JPH0365002U (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0365002U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045259A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Hitachi Medical Corporation | 流体圧式アクチュエータ |
| JP2010196844A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Psc Kk | 微小変位出力装置 |
| JP2011158027A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Santest Co Ltd | 位置と負荷の検出可能な流体圧アクチュエータ |
| WO2016208398A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | Ｋｙｂ株式会社 | ストローク検出装置 |
-
1989
- 1989-10-27 JP JP12600589U patent/JPH0365002U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045259A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Hitachi Medical Corporation | 流体圧式アクチュエータ |
| JP2010196844A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Psc Kk | 微小変位出力装置 |
| JP2011158027A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Santest Co Ltd | 位置と負荷の検出可能な流体圧アクチュエータ |
| WO2016208398A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | Ｋｙｂ株式会社 | ストローク検出装置 |
| JP2017009485A (ja) * | 2015-06-24 | 2017-01-12 | Ｋｙｂ株式会社 | ストローク検出装置 |