JPH0362045B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 発明の技術分野 本発明は、圧電基板表面に形成された電極に電
圧を印加することにより、信号の伝達が行われる
圧電材料応用素子に係り、とくに保持器の変形に
よる特性への影響を受けないように圧電素子基板
を保持器に接着保持させた圧電材料応用素子に関
する。

(b) 技術の背景 通信分野で用いられる各種のフイルタは、特性
の良好なものが要求されているが、圧電基板表面
に電極を形成した素子基板の該電極に信号電圧を
印加し、圧電基板に発生される振動により信号を
伝達させてフイルタの役割を果す圧電応用素子に
おいても同様のことが要求される。

第１図、第２図を参照して本発明に係る圧電材
料応用素子の一例を説明する。

第１図は、弾性表面波（SAW）フイルタの斜
視図で、封止カバーを外した状態を示す。図にお
いて、１は円板状の保持器、２は矩形板状の圧電
体からなる素子基板、３は共通電極、４は交差指
電極、である。

圧電効果の性質を有する、水晶、タンタル酸リ
チウム、等の圧電体板表面に、一対の共通電極３
の対向間にそれぞれ交差指電極（IDT）４が組合
わされてなる電極対が２対形成され、これによつ
て入出力トランスジユーサが構成される。一方の
電極対により圧電板に弾性表面波の励振を行な
い、電極対間の圧電板上の弾性表面波による信号
の伝達、他方の電極対による受信が行われる。こ
のようにして正確な信号周波数の伝達が行われ
る。従つて、素子基板２上の電極対と電極対間は
正確な信号周波数の弾性表面波の存在する領域で
占められる。

このような弾性表面波フイルタは、素子基板２
の裏面が金属の保持器１上に接着剤で接着保持さ
れるとともに、共通電極３は保持器１のリード端
子に配線接続（図示略）され、第２図に示したよ
うに封止カバー５により内部が気密に封止され、
素子基板２上の状態変化を生じないように保護さ
れる。

(c) 従来技術と問題点 上記したように、素子基板２は保持器１上に接
着保持されるのであるが、このような接着は従来
第３図ａに示したように素子基板２の裏面全面に
接着剤が塗布されて固着保持させていたために保
持そのものは安定強固なものであつた。しかしな
がら、封止カバー５の封止時に生じる保持器１の
内部応力による歪や、素子基板２と保持器１との
線膨張係数の相違による熱歪が、第３図ｂまたは
ｃ図に示すように素子基板２に生じることにな
る。

このようなことは、振動波の伝搬方向に対する
素子基板２の歪による振動の中心周波数のずれ
や、温度に対する特性の劣化、さらに経年変化に
よる周波数のエージング特性の劣化等、種々の問
題点があつた。また素子基板２の全面を接着する
ために多量の接着剤６が使用されるので、封止カ
バー５による封止後、接着剤６からのガスが長期
に亘つて放出され、このガスによる電極４上への
付着、または電極４との化学反応による電極質量
の変化による振動周波数の変化を及ぼすといつた
エージング特性への影響があるといつた問題点が
あつた。

(d) 発明の目的 本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされた
ものであり、保持器の機械的な歪、および保持器
と素子基板との線膨張係数の相違による熱的な歪
による影響を極力少くすること。また、封止カバ
ーによる封止後の接着剤からのガスの発生を極力
少くするようにしたこと。によりエージング特性
の良好な圧電材料応用素子の提供を目的とする。

(e) 発明の構成 上記目的を達成するための本発明の構成要旨と
するところは、圧電体表面に複数の電極対が互い
に間隔を介して形成され、該電極対間の圧電体表
面部で信号の伝達が行われる素子基板において、
上記素子基板の何れか一方のみの端部裏面で該素
子基板が支持される保持器に接着支持させたこ
と。または保持器表面に接着部に対応した突起部
を設け該突起部に素子基板を接着保持させたこ
と。または、圧電体裏面に接着部に対応した突起
部を設け該突起部を保持器に接着保持させたこと
を特徴とする圧電材料応用素子である。

(f) 発明の実施例 以下、第１図および第４図乃至第９図を参照し
て、本発明の圧電材料応用素子を実施例により説
明する。なお、全図を通じて同一符号は同様の部
分を示す。

第４図は、本発明の圧電材料応用素子の第１の
実施例を分離した状態に示す概略の斜視図であ
る。同図において、素子基板２の裏面の一方のみ
の端部、好ましくは表面の交差指電極４（第１図
参照）の存在しない領域、に接着剤６を付与し、
保持器１の上面に接着保持させる。このようなこ
とは素子基板の端部を延長させて接着部分を確保
することにより、十分な接着面積を得ることがで
きる。しかしながら小形化のために電極４下面へ
の僅かな接着部分の這入込み部分を形成すること
は要求特性との関係で許容され得ることである。

接着保持された状態は、第５図ａに示される。

このように、本発明によれば、素子基板２の一
方の端部のみで接着保持したことにより、２個所
の電極対の下面および電極対間の信号伝達部分の
下面が拘束されず、自由端となつている。従つ
て、これら振動部分が保持器１の各種変形による
影響を受けることがない。即ち、第５図ｂに示し
たように、封止カバー５の封止時に最も起り得る
と考えられる保持器１の上面が凸形に弯曲する変
形に対しては、図示のように全く影響されること
がない。

接着剤６の介在は接着層の厚さによつて素子基
板２の自由端側下面と保持器１の上面との間には
適宜な空隙が与えられている。従つて、保持器１
の上面が凹状となる弯曲変形に対しても十分対応
可能なものであるが、第５図ｃに示したような異
状に極端な変形に対しては素子基板２に歪が加わ
ることになる。

上記のような不都合に対して、第６図および第
８図を参照して説明する。第６図は、本発明の圧
電材料応用素子の第２の実施例を分離した状態に
示す概略の斜視図である。同図においては、第４
図にて説明した接着部分に相当した個所に、保持
器１に突起部７を突出形成し、この突起部７の上
面と素子基板２の端部の裏面とを接着剤６で接着
保接させる。この状態が第７図ａに示されてい
る。

さらに、第８図を参照して説明する。第８図
は、本発明の圧電材料応用素子の第３の実施例の
第６図同様の斜視図である。同図においては、第
４図にて説明した接着部分に相当した個所に、素
子基板２の裏面に突起部７を突出形成し、この突
起部７の下面と保持器１の上面とを接着剤６で接
着保持させる。この状態が第９図ａに示されてい
る。

上記した第２および第３の実施例によれば、自
由端部分に十分な間隙が形成され、保持器１の上
面が凸状に弯曲変形する第７図ｂ、および第９図
ｂに示した状態は勿論のこと、第７図ｃおよび第
９図ｃに示したように異状に極端な凹状の弯曲変
形についても影響を受けることがない。

第２および第３の実施例にあつては、突起部７
を形成したことにより、とくに第３の実施例にお
いて、圧接による接着剤６の素子基板２の電極４
下面方向への拡がりが抑止されるといつた作用効
果が得られる。

(g) 発明の効果 以上説明したように、本発明の圧電材料応用素
子によれば、封止カバーの封止時に生じる機械的
応力による保持器の歪や、素子基板と保持器との
線膨張係数の相違による熱歪が素子基板の振動特
性に及ぼす影響を殆んど無くするか、極力少くす
ることができる。従つて、保持器と封止カバーと
の気密封止後における振動の中心周波数のずれ
や、温度特性の劣化、経年変化に伴なう振動周波
数のエージング特性の劣化等をほぼ無くすること
ができるという効果が得られる。

素子基板の何れかの一端部分での接着であるか
ら、接着面積が小さく、このために接着剤の使用
量が少ない。従つて封止前に十分なガスを発生除
去することが可能となり、封止後のガス発生量が
大幅に減少し、エージング特性への影響が小さ
い、等実用上の効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図は弾性表面波フイルタの封止カバーを外
した状態の斜視図、外２図は封止カバーで気密封
止された外観斜視図、第３図は従来の弾性表面波
フイルタの説明図、第４図は本発明の圧電材料応
用素子の第１の実施例の斜視図、第５図は第４図
の説明図、第６図、第８図は本発明の圧電材料応
用素子の第２、第３の実施例斜視図、第７図は第
６図の説明図、第９図は第８図の説明図、であ
る。 図中、１は保持器、２は素子基板、３は共通電
極、４は交差指電極、５は封止カバー、６は接着
剤（部分）、７は突起部、を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 圧電体表面に複数の電極対が互いに間隔を介
   して形成され、該電極対間の圧電体表面部で信号
   の伝達が行われる素子基板において、上記素子基
   板の何れか一方のみの端部裏面で該素子基板が支
   持される保持器に接着支持させたことを特徴とす
   る圧電材料応用素子。 ２ 保持器表面に接着部に対応した突起部を設け
   該突起部に素子基板を接着保持させたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項に記載の圧電材料応
   用素子。 ３ 圧電体裏面に接着部に対応した突起部を設け
   該突起部を保持器に接着保持させたことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項に記載の圧電材料応用
   素子。