JPH0361863A - 適応形ハーフ・ブリッジ及びインピーダンス・メータ - Google Patents

適応形ハーフ・ブリッジ及びインピーダンス・メータ

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JPH0361863A
JPH0361863A JP18422389A JP18422389A JPH0361863A JP H0361863 A JPH0361863 A JP H0361863A JP 18422389 A JP18422389 A JP 18422389A JP 18422389 A JP18422389 A JP 18422389A JP H0361863 A JPH0361863 A JP H0361863A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈発明の技術分野〉 本発明は、帰還増幅器を含むハーフ・ブリッジとそれを
用いたインピーダンス・メータに関し、特に広帯域高精
度で安定にインピーダンス測定を可能ならしめる技術に
関する。
〈従来技術とその問題点〉 電気素子の精密測定において、帰還増幅器を用いたハー
フ・ブリッジ形インピーダンス・メータが貰用されてい
る。例えば、横河・ヒユーレット・パッカード株式会社
から市販されている4261A LCRメータ、427
5AマルチフリケンシLCRメータ、4191A RF
インピーダンス・アナライザ、4194Aインピーダン
ス/ゲインフエーズアナライザなど多数市販されている
第3図に図示しないマイクロプロッセサ制御によるイン
ピーダンス・メータの機能を示す概略回路図を示す。被
測定素子(以下DUTと呼称する)2は、2端子素子と
して表わされているが、他の端子を有してもよい。例え
ば3端子素子では、第3@子を接地あるいはバイアスし
て、残りの第1端子と第2端子に対する特性(例えば伝
達インξタンス特性)が測定される。
DUTZの端子Bは正弦波信号源O3C(多数の正弦波
を有してもよいが、一つの正弦波を発生していると仮に
考える)からケーブルL+を介して駆動される。
端子B上の信号はケーブルL!を介してバッファB1に
入力され、スイッチSOに供給される。DUTZの他の
端子Aは仮想接地されるようにケーブルL、を介して増
幅器Acの反転入力端子に接続される。端子Aはまた、
ケーブルL4を介して基準抵抗R1の一方の端子に接続
され、基準抵抗R,,の他方の端子CはバッファB、を
介してスイッチSOに接続される。増幅器A、はその非
反転入力端子を接地し、反転入力端子と出力間に抵抗R
tを接続した電流−電圧コンバータ(I−Vコンバータ
)を形成している。
I−Vコンバータの出力は狭帯域増幅器NBA及びバッ
ファB2を介して端子Cに導入される。
ケーブルL8、増幅器A、、狭帯域増幅器NBA1バッ
ファBZ、基準抵抗Rr、ケーブルL4は負帰還ループ
を構成しており、特にヌル・ルプ(NL)と呼称する。
理想的にはNLの一巡位相推移(又は回転)は180”
  (πラジアン)である。
第4図は第3図の狭帯域増幅器NBAの詳細ブロック図
である。狭帯域増幅器NBAの増幅度と大きく(例えば
180dB)とするため、変調形増幅器が用いられてい
る。
1−Vコンバータ出力は端子りに入力され位相検波器P
D、 、PDzに入力される0位相検波器PD、 、P
Dzの検波器信号は、それぞれ0°復調信号、90’復
調信号であり、互いに90゜の位相差を有し信号源O3
Cの信号と同一周波数の信号である。
位相検波器PD、、PDtの出力はそれぞれの積分器に
より積分増幅されて、直流成分がそれぞれのベクトル発
生器の変調器V Gr 、V Gzに入力される。変調
信号は互いに90°位相差を有するO°変調信号と90
°変調信号で、それぞれO°変調信号源MOI、90°
変調信号源M Otから供給される。
第4図において、積分増幅器は位相検波器PD。
に対しては抵抗RI、コンデンサCI%直流増幅器A、
から成り、位相検波器PD、に対しては抵抗R2、コン
デンサC2と直流増幅器A2から威る。
0°復調信号、90°復調信号はそれぞれO°復調信号
源DM+、90°復調信号源DM、から供給されそれぞ
れ0°変調信号、90°変調信号とθだけ位相差を有す
るように制御される。従って変調器VG、 、VG、の
出力を加算したバッファB2への出力は出力端子01に
現われる。
0°変調信号と90°変調信号、0°復調信号と90@
復調信号のそれぞれが相等しい大きさとすると、入力端
子りへの人力信号と出力端子OIからの出力信号は位相
差θを有する。
もう−度第3図を参照する。バッファB+ 、Bsの出
力はスイッチSoで交互に位相検波器PD。
に入力されて、直交信号発生器DTで検波され、積分型
電圧計VRDに入力される。積分形電圧VRDは、バッ
ファB、、B、の出力を直交分解して測定し、さらにD
UTZのインξタンスの測定をおこなう。これらは、前
述の機器において一般的に行われている。
さて、信号周波数の上昇、ケーブル長の増加、DUTイ
ンミタンスの変化によって、ヌル・ループ(NL)の−
巡位相推移が変化し、ついには、ヌル・ループが不安定
になってしまう。従来、この問題に対して、前述のθを
信号周波数とともに変化させて、解決しようとしていた
θの調整は、ソフトウェア的にあるいはハードウェア的
に行われ、θの値は実験的に定めていた。
しかし、ヌル・ループには、第3図に示す様に外部接続
のためのケーブルL、、L! 、L3、L4が含まれ、
I−Vコンバータの理想特性からのずれ、DUTの影響
もあって、端子Aは仮想接地状態からずれてくる。また
、ケーブルL1〜L4を標準ケーブルと異なるケーブル
を使用するときも同様に不安定な状態となることがあっ
た。
〈発明の目的〉 従って、本発明の目的は、測定状態に適応゛して、ヌル
・ループを安定化する機能を有するハーフ・ブリッジ及
びインピーダンス・メータを実現することである。
〈発明の概要〉 本発明の一実施例では、ヌル・ループを構成する狭帯域
増幅器の変調部と復調部の間でヌル・ループが開放され
、ヌル・ループの一巡位相推移が測定される。測定され
た一巡位相推移から、ヌル・ループの安定に必要な追加
の位相推移(正・負あり)が計算される。計算された追
加の位相推移は、変調信号と復調信号との位相差を制御
することにより実現される。
〈発明の実施例〉 本発明の一実施例では、第3図における狭帯域増幅器N
BA、即ち第4図の回路に相当する部分が新規に構成さ
れ、第1図に示すとおりとなる。第1図と第4図におい
て、互いに等価な機能・性能を有する構成部品には同一
の参照番号、記号を付しである。
第4図に対して、新しく追加された構成部品は、スイッ
チS I % St 、Ss 、Sa 、及び抵抗R3
R4、及び抵抗L 、R4、直流電源Eである。
積分形電圧計VRDが一巡位相推移の測定用に用いられ
るので、第1図に記載しである。積分形電圧計VRDは
、第3図におけると同じで、入力直流電圧の比を測定で
きる。入力直流電圧値そのものの測定が可能であること
もある。従って図示しないマイクロプロセッサを含む制
御・計算装置により、人力直流電圧比が交流の実部と虚
部に相当するとき、交流の位相角が求められる。
上記実施例は、つぎのように動作する。まずテスト状態
を得るため、スイッチSI、S2.53S4をそれぞれ
の端子T側に閉放する。(図示では端子N側に閉放して
いる)。その他は、測定状態と同一であり、DUTは接
続されている。
正弦波信号源08C10°復調信号源DM、、90°復
調信号源DM、、0°変調信号源M O+、90@変調
信号源MO,のそれぞれの出力は、正弦波信号−0,0
@復調信号sin(wt+θ1)90゜復調信号cos
 (賀t+θ、)、0°変調信号雨sin−(wt+θ
り、90°変調信号cos(wt+θt)である。ここ
で振幅は全て1と仮定しているが、振幅におけるわずか
な違いは、本願発明の主旨に無関係である。Wは角周波
数、tは時間、θ1と02は位相角であり、通常θ1は
零にえらばれる。
さらに、これらの変復調用信号は、矩形波などの非正弦
波でもよい0通常、矩形波信号を賞月している。これら
矩形波信号は、高調波による変調積が小さいときは基本
波である正弦波と同様の効果を有する。本発明に関連す
るヌル・ループでは、そのようになっており、全て正弦
波と考えても本発明の主旨を理解する妨げにはならない
、変調器VG、、VG、の入力は直流電源からの直流電
圧が入力されるから、絶対振幅を無視して、出力端O1
にsin(wt+θt + g/4)が出力される。狭
帯域増幅器NBAの入力りには、外部回路でさらに移相
された信号sin(wt+θ2+π/4+θ、)が帰還
される。 θ、は外部回路の移相量である。この信号が
復調器PD、、PD、で復調されて、それぞれ平滑直流
増幅されて、増幅器AI、Atから出力される。
増幅器AIの出力直流電圧■、はcog (θ2+π/
4+θ8−θ1)に、比例する。
説明を簡単にするため、R+ =Rg 、Rs =R−
C,ヨC2と選べば、 3(、−−jan(θ2 +π/4+θ8−θI ) 
  −(すg となる。
従って、図示しない計算装置により δ=θ2+π/4+θ8−θ、 −tan −’ (V
+ /v2)(ラジアン)            −
(2)が求められる。
ヌル・ループが安定に動作するためには、θ2+θ8−
θ、ヨπ(ラジアン)    −(3)であればよい。
従って、 δ=π/4+π             −(4)と
なるように 02−〇、を調整すればよい。
式(2)からもわかるように逆正接関数は上値の範囲し
か示さないから式(4)よりも、 δ−π/4               −(5)と
なるように調整される。
従って、一般に低周波においてθ、がほとんどπであり
周波数の上昇につれて08がπより増加するから、θ8
が大きく変化する恐れがある場合は、低周波数から数点
の周波数においてδを測定して、θ、の真の値を近似的
に求めてもよい。
あるいは、θ2−01を変化させて、δ=π/4となる
値に収束させるように自動制御してもよい、この場合、
やはり大きな位相推移があれば、δのみの観測ではθ2
−θ8を一意に決定できない、この場合は、■1と■2
を別別に測定するか、θ8−θ、の値を仮に決定し、ス
イッチSl、S!、S、、S4をそれぞれの端子N側に
閉放して、ヌル・ループの発振の有無を確認し、発振が
なければ正解としそれを用い、発振があれば、θ2−θ
、をπだけ小さくする手順を追加する。
上述の調整を完了し、スイッチSt 、 St 、 5
3S4をそれぞれ端子N側に閉放すれば、第3図に示す
従来技術のインピーダンス・メータにおけると同様に動
作する。
なお、抵抗Rs、Raは、積分器の増幅度を制限して、
δの測定を可能にするためのものである。
θ2−01を与えるための回路例を第2図に示す。第2
図では、所要の02−θ1を近似してπ/8ラジアン(
22,5” )ステップで設定するためのものである。
この回路では−−2πfnとするとき、周波数ftmの
デジタル信号fts入力と周波数16fo+のクロック
信号16faクロツクを入力端子L、13よりそれぞれ
導入される。
■8に入力した信号は、そのまま復調信号源DM1の出
力となるとともに、90°移相回路IC。
の入力となる。90°移相回路IC,は、16f−クロ
ックによりflI入力を4拍シフトして復調信号源DM
、の出力を与える。
16進プリセットカウンタIC,は、fIm入力の立ち
上りによって、端子I4からのデータをロードし、16
f−クロックによりカンウドし、そのデコーティ比り0
%出力を90@移相器IC,へ人力するとともに、変調
信号源MO,の出力を与える。一方、90°移相器IC
1は、その前記入力を16f■クロツクにより4拍シフ
トし変調信号源MD、の出力を与える。
端子l、の入力データは4ビツトで与えられ、例えば、
その値が4、のとき、θ8−01−π/2(−4Xπ/
8)である。
〈発明の効果〉 以上詳述したように、本発明の実施により、つぎのよう
な効果が得られる。
1) 自動レンジングを行う最近のインピーダンス・メ
ータにおいて、測定条件やDUTの違いによってヌル・
ループが発振し、ブリッジの平衡がとれないといことが
なくなる。
2) その結果、従来のように、工場において出荷前に
校正を行い、各周波数や測定レンジに応じた移相量を決
定し、それを記憶装置に書き込む必要がなくなる。
さらに、−巡移相量を測定して、ヌル・ループの異常を
自動的に検出することができる。
4)必要に応じて、変調信号と復調信号量位相差を、ヌ
ル・ループの一巡位相差がπでないよう3) 第1図は、本発明の一実施例に用いる信号の移相を行う
ヌル・ループの1部分である狭帯域増幅器の概略回路図
である。
第2図は、第1図の変調信号と復調信号間の位相差を制
御するための回路の一実施例の概略回路図である。
第3図は、従来技術によるインピーダンス・メータの機
能を示ス概略回路図である。
第4図は、第1図の狭帯域増幅器に対応する従来技術の
狭帯域増幅器である。
Z:DUT(被測定素子) O3C:正弦波信号源 L+ 、L!、Ls、La  :ケーブルB+ 、Bz
、B、:バッファSo、S+ SSt、Sz、S4  
:(単極双投) スイッチ A1、At5Ar、:増幅器 NBA=狭帯域増幅器 NL=ヌル・ループ PDt 、p[)、−位相検波器 VGI 、VGg−変調器 DM、=0°復調信号源 DMz =90”復調信号源 MO,−0°変調信号源 M○2=90°変調信号源

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、第1、第2の端子を有する被測定素子(以下DUT
    と呼称する)の前記第1の端子に接続された接地信号源
    と、前記DUTの前記第2の端子に接続され、該第2の
    端子を仮想接地するとともに、前記DUTに流れる電流
    を電圧に変換する帰還増幅器とからなり、前記帰還増幅
    器の帰還ループを開放し、該帰還ループの位相回転を検
    出して該位相回転を所定値に制御するようにした適応形
    ハーフ・ブリッジ。 2、前記位相回転の検出時に、前記信号源出力を零とす
    る請求項1記載の適応形ハーフ・ブリッジ。 3、前記帰還増幅器が変調形増幅器で、前記位相回転を
    制御するため、変調信号と復調信号の位相差を制御する
    ようにした請求項1記載の適応形ハーフ・ブリッジ。 4、前記位相回転の検出は、前記変調器と前記復調器の
    間を開放しておこなうことを特徴とする請求項3記載の
    適応形ハーフ・ブリッジ。 5、被測定素子(以下DUTと呼称する)の第1の端子
    に接続された接地信号源と、前記DUTの第2の端子に
    接続され、該第2の端子を仮想接地するとともに、前記
    DUTに流れる電流を電圧に変換する帰還増幅器と、前
    記DUTの第1、第2の端子間電圧と前記変換された電
    圧から前記DUTのインピーダンスを測定するベクトル
    電圧計とから成り、前記ベクトル電圧計が前記帰還増幅
    器の1巡位相回転を検出するようにしたインピーダンス
    ・メータ。
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