JPH0361045B2 - - Google Patents
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- JPH0361045B2 JPH0361045B2 JP60274280A JP27428085A JPH0361045B2 JP H0361045 B2 JPH0361045 B2 JP H0361045B2 JP 60274280 A JP60274280 A JP 60274280A JP 27428085 A JP27428085 A JP 27428085A JP H0361045 B2 JPH0361045 B2 JP H0361045B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable member
- housing
- rotary shaft
- radial direction
- shoe
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 30
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims description 20
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 8
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0629—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
- F16C32/064—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being supplied under pressure
- F16C32/0644—Details of devices to control the supply of liquids to the bearings
- F16C32/0648—Details of devices to control the supply of liquids to the bearings by sensors or pressure-responsive control devices in or near the bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01B—MACHINES OR ENGINES, IN GENERAL OR OF POSITIVE-DISPLACEMENT TYPE, e.g. STEAM ENGINES
- F01B3/00—Reciprocating-piston machines or engines with cylinder axes coaxial with, or parallel or inclined to, main shaft axis
- F01B3/10—Control of working-fluid admission or discharge peculiar thereto
- F01B3/103—Control of working-fluid admission or discharge peculiar thereto for machines with rotary cylinder block
- F01B3/109—Control of working-fluid admission or discharge peculiar thereto for machines with rotary cylinder block by changing the inclination of the axis of the cylinder barrel relative to the swash plate
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/03—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with tiltably-supported segments, e.g. Michell bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数のシユーにより潤滑流体を介し
て回転シヤフトを支持する流体軸受装置に関し、
特に圧力可変型の予圧シユーを含む動圧型流体軸
受に係る。
て回転シヤフトを支持する流体軸受装置に関し、
特に圧力可変型の予圧シユーを含む動圧型流体軸
受に係る。
圧力一定の予圧シユーをもつ動圧型軸受、又
は、荷重調整可能な静圧型軸受は公知である。フ
ランス特許公開第2116141号は後者のタイプの静
圧型軸受を開示している。即ち、停止時及び低速
回転時にはバネのみが与える小さい予圧が作用
し、回転速度が増加するとシユーの荷重は外部流
体によつて自動的に増加する。これに対して動圧
型軸受は、シユー下方に存在する流体膜から引き
出した強制潤滑流体(fluide sous pression)を
使用してシユーの負荷を変化させる。即ち高速回
転時のシヤフトは、シユーとシヤフトとの間に存
在する流体を随伴駆動して潤滑膜を形成する。
は、荷重調整可能な静圧型軸受は公知である。フ
ランス特許公開第2116141号は後者のタイプの静
圧型軸受を開示している。即ち、停止時及び低速
回転時にはバネのみが与える小さい予圧が作用
し、回転速度が増加するとシユーの荷重は外部流
体によつて自動的に増加する。これに対して動圧
型軸受は、シユー下方に存在する流体膜から引き
出した強制潤滑流体(fluide sous pression)を
使用してシユーの負荷を変化させる。即ち高速回
転時のシヤフトは、シユーとシヤフトとの間に存
在する流体を随伴駆動して潤滑膜を形成する。
本発明の目的は、回転シヤフトを停止時及び回
転時において確実に保持すると共に、回転シヤフ
トを低損失で安定して回転し得る流体軸受装置を
提供することにある。
転時において確実に保持すると共に、回転シヤフ
トを低損失で安定して回転し得る流体軸受装置を
提供することにある。
本発明によれば、前記目的は、潤滑流体を収容
するハウジングと、ハウジングを同軸的に貫通す
る回転シヤフトと、回転シヤフトのまわりに互い
にほぼ等角度間隔で配設されており、内周面が潤
滑流体を介して回転シヤフトの外周面に当接する
円弧状の複数のシユーと、回転シヤフトの半径方
向においてシユーの少なくとも1つを貫通するオ
リフイスと、一端がオリフイスの部位においてシ
ユーの少なくとも1つの外周面に連結されてお
り、ハウジングに前述の半径方向にのみ移動自在
に支持されている可動部材と、内周縁が可動部材
の他端に接続されていると共に外周縁がハウジン
グに固定されており、ハウジングと協働してチヤ
ンバを規定する可撓性の環状デイスク状薄膜と、
一端が可動部材に接続されると共に他端がハウジ
ングに固定されており、可動部材を前述の半径方
向内側に付勢する弾性手段と、可動部材の前述の
半径方向に伸長しており、オリフイスとチヤンバ
とを連通する連通孔とを備えている流体軸受装置
によつて達成される。
するハウジングと、ハウジングを同軸的に貫通す
る回転シヤフトと、回転シヤフトのまわりに互い
にほぼ等角度間隔で配設されており、内周面が潤
滑流体を介して回転シヤフトの外周面に当接する
円弧状の複数のシユーと、回転シヤフトの半径方
向においてシユーの少なくとも1つを貫通するオ
リフイスと、一端がオリフイスの部位においてシ
ユーの少なくとも1つの外周面に連結されてお
り、ハウジングに前述の半径方向にのみ移動自在
に支持されている可動部材と、内周縁が可動部材
の他端に接続されていると共に外周縁がハウジン
グに固定されており、ハウジングと協働してチヤ
ンバを規定する可撓性の環状デイスク状薄膜と、
一端が可動部材に接続されると共に他端がハウジ
ングに固定されており、可動部材を前述の半径方
向内側に付勢する弾性手段と、可動部材の前述の
半径方向に伸長しており、オリフイスとチヤンバ
とを連通する連通孔とを備えている流体軸受装置
によつて達成される。
本発明の装置によれば、回転シヤフトのまわり
に互いにほぼ等角度間隔で配設された複数のシユ
ーは、内周面が潤滑流体を介して回転シヤトの外
周面に当接されており、回転シヤフト停止時は、
可動部材を回転シヤフトの半径方向内側に付勢す
る弾性手段が、可動部材を介してシユーの少なく
とも1つの内周面を回転シヤフトの外周面に当接
させ、回転シヤフトを保持し、回転シヤフト回転
時は、シユーの少なくとも1つの内周面と回転シ
ヤフトの外周面との間に、回転シヤフトの回転速
度に依存した圧力を有する強制潤滑流体膜が形成
され、この流体膜の強制潤滑流体が、回転シヤフ
トと半径方向においてシユーの少なくとも1つを
貫通するオリフイスと、可動部材に前述の半径方
向に伸長しておりオリフイス及びチヤンバを連通
する連通孔とを通り、ハウジングと可撓性の環状
デイスク状薄膜とが協働して規定したチヤンバに
導入され、このチヤンバに導入された強制潤滑流
体が、環状デイスク状薄膜に作用して弾性手段を
撓ませ、この弾性手段の撓みにより生起される強
制潤滑流体の圧力に対応した力でシユーの少なく
とも1つの内周面を回転シヤフトの外周面に押し
付けるが故に、回転シヤフト停止時も含め、回転
シヤフトの回転速度に応じて回転シヤフトを保持
し得、しかも、可動部材は、ハウジングに前述の
半径方向にのみ移動自在に支持されているが故
に、可動部材に連結されたシユーの少なくとも1
つが前述の半径方向以外の方向に動作することが
なく、強制潤滑流体膜の不完全形成、回転シヤフ
ト回転時のびびり、シユーの内周面と回転シヤフ
トの外周面との干渉による損傷等を防止し得、そ
の結果、回転シヤフトを停止時及び回転時におい
て確実に保持すると共に、回転シヤフトを低損失
で安定して回転し得る。
に互いにほぼ等角度間隔で配設された複数のシユ
ーは、内周面が潤滑流体を介して回転シヤトの外
周面に当接されており、回転シヤフト停止時は、
可動部材を回転シヤフトの半径方向内側に付勢す
る弾性手段が、可動部材を介してシユーの少なく
とも1つの内周面を回転シヤフトの外周面に当接
させ、回転シヤフトを保持し、回転シヤフト回転
時は、シユーの少なくとも1つの内周面と回転シ
ヤフトの外周面との間に、回転シヤフトの回転速
度に依存した圧力を有する強制潤滑流体膜が形成
され、この流体膜の強制潤滑流体が、回転シヤフ
トと半径方向においてシユーの少なくとも1つを
貫通するオリフイスと、可動部材に前述の半径方
向に伸長しておりオリフイス及びチヤンバを連通
する連通孔とを通り、ハウジングと可撓性の環状
デイスク状薄膜とが協働して規定したチヤンバに
導入され、このチヤンバに導入された強制潤滑流
体が、環状デイスク状薄膜に作用して弾性手段を
撓ませ、この弾性手段の撓みにより生起される強
制潤滑流体の圧力に対応した力でシユーの少なく
とも1つの内周面を回転シヤフトの外周面に押し
付けるが故に、回転シヤフト停止時も含め、回転
シヤフトの回転速度に応じて回転シヤフトを保持
し得、しかも、可動部材は、ハウジングに前述の
半径方向にのみ移動自在に支持されているが故
に、可動部材に連結されたシユーの少なくとも1
つが前述の半径方向以外の方向に動作することが
なく、強制潤滑流体膜の不完全形成、回転シヤフ
ト回転時のびびり、シユーの内周面と回転シヤフ
トの外周面との干渉による損傷等を防止し得、そ
の結果、回転シヤフトを停止時及び回転時におい
て確実に保持すると共に、回転シヤフトを低損失
で安定して回転し得る。
以下、本発明を図面に示す好ましい実施例を用
いて詳述する。
いて詳述する。
第1図,第2図及び第3図の動圧型軸受は、ハ
ウジングとしての軸受ボデイ1を有しており、ボ
デイ1の一端はネジ2を介してフランジ3に固定
され、他端はネジ5を介して蓋4に固定されてい
る。
ウジングとしての軸受ボデイ1を有しており、ボ
デイ1の一端はネジ2を介してフランジ3に固定
され、他端はネジ5を介して蓋4に固定されてい
る。
ボデイ1は内孔6を有しており回転シヤフト8
を支承する3つのシユー7,7a,7bが前記内
孔6に収容されている。シユー7,7a,7bの
1つ又は全部が本発明の圧力可変型の予圧装置を
備えるが、判り易いようにシユーを1つだけ、例
えばシユー7を図示する。
を支承する3つのシユー7,7a,7bが前記内
孔6に収容されている。シユー7,7a,7bの
1つ又は全部が本発明の圧力可変型の予圧装置を
備えるが、判り易いようにシユーを1つだけ、例
えばシユー7を図示する。
本実施例のシユー7は、回転シヤフト8とシユ
ー7の下面との間に存在する強制潤滑流体を引き
出すように、最大の圧力場において開口したオリ
フイス9を有する。中央通路11を有する玉継手
の1つの部材10がオリフイス9内に装着されて
おり、玉継手のもう1つの部材12が部材10に
支承されている。部材12は、ボデイ1の内孔6
に係合しており、ボデイ1と一体的なリング13
内に摺動自在に装着されている。
ー7の下面との間に存在する強制潤滑流体を引き
出すように、最大の圧力場において開口したオリ
フイス9を有する。中央通路11を有する玉継手
の1つの部材10がオリフイス9内に装着されて
おり、玉継手のもう1つの部材12が部材10に
支承されている。部材12は、ボデイ1の内孔6
に係合しており、ボデイ1と一体的なリング13
内に摺動自在に装着されている。
部材12の周囲には環状手段14が装着されて
おり、手段14環状デイスク状薄膜としての可撓
性膜15の作用を受けている。膜15は圧力チヤ
ンバ16の壁の1つを構成しており、チヤンバ1
6の上部は、ネジ18でボデイ1に固定されたカ
バー17によつて閉鎖されている。
おり、手段14環状デイスク状薄膜としての可撓
性膜15の作用を受けている。膜15は圧力チヤ
ンバ16の壁の1つを構成しており、チヤンバ1
6の上部は、ネジ18でボデイ1に固定されたカ
バー17によつて閉鎖されている。
部材12と環状手段14との間には弾性ワツシ
ヤ19が装着されており、ワツシヤ19の外周縁
は環状手段14に支承されており、ワツシヤ19
の内周縁は部材12に支承されている。
ヤ19が装着されており、ワツシヤ19の外周縁
は環状手段14に支承されており、ワツシヤ19
の内周縁は部材12に支承されている。
玉継手の部材10はスプール20の球状の一端
に係合する凹部を有しており、スプール20の球
状の他端はカバー17に固定されたヘツド21の
凹部に係合している。
に係合する凹部を有しており、スプール20の球
状の他端はカバー17に固定されたヘツド21の
凹部に係合している。
スプール20は連通孔としての中央通路22を
有しており、ヘツド21に設けられた通路23が
通路22と連続している。通路23はカバー17
に設けられた通路24に開口しており通路24は
強制潤滑流体を含むチヤンバ16に到達してい
る。
有しており、ヘツド21に設けられた通路23が
通路22と連続している。通路23はカバー17
に設けられた通路24に開口しており通路24は
強制潤滑流体を含むチヤンバ16に到達してい
る。
シヤフト8の停止中は、ワツシヤ19だけが予
圧を発生しており、この予圧はシヤフト8を含む
アセンブリを維持するのに必要な最低限の大きさ
に設定されている。この予圧は玉継手の部材12
及び部材10を介してシユー7に作用する。
圧を発生しており、この予圧はシヤフト8を含む
アセンブリを維持するのに必要な最低限の大きさ
に設定されている。この予圧は玉継手の部材12
及び部材10を介してシユー7に作用する。
シヤフト8が回転駆動されると、シヤフト8と
シユー7との間に強制潤滑流体膜が生じる。従つ
て、この流体膜の強制潤滑流体は、オリフイス9
及び通路11から引き出され、通路22と通路2
3と通路24とを介してチヤンバ16に案内され
る。
シユー7との間に強制潤滑流体膜が生じる。従つ
て、この流体膜の強制潤滑流体は、オリフイス9
及び通路11から引き出され、通路22と通路2
3と通路24とを介してチヤンバ16に案内され
る。
チヤンバ16内の強制潤滑流体は膜15に圧力
を作用する。膜15は環状手段14を介してワツ
シヤ19に作用し、ワツシヤ19は変形し、部材
12及び部材11を介して等価の圧力をシユー7
に伝達する。その結果、シヤフト8とシユー7と
の間の流体膜の圧力の増加に伴つてシユー7に対
する荷重が増加する。環状手段14は所定のスト
ローク範囲内で移動する。このストロークの大き
さと位置とは、くさび25及び26により決めら
れている。
を作用する。膜15は環状手段14を介してワツ
シヤ19に作用し、ワツシヤ19は変形し、部材
12及び部材11を介して等価の圧力をシユー7
に伝達する。その結果、シヤフト8とシユー7と
の間の流体膜の圧力の増加に伴つてシユー7に対
する荷重が増加する。環状手段14は所定のスト
ローク範囲内で移動する。このストロークの大き
さと位置とは、くさび25及び26により決めら
れている。
第4図,第5図及び第6図は動圧型軸受の他の
実施例を示す。この実施例ではシユー7が最大圧
力場において開口するオリフイス28を有してお
り支承部材27がシユー7に固定されている。
実施例を示す。この実施例ではシユー7が最大圧
力場において開口するオリフイス28を有してお
り支承部材27がシユー7に固定されている。
支承部材27球状凹部を有しており、軸受ボデ
イ1の孔31に摺動自在に装着されたピストン3
0の一端に設けられた玉継手29が支承部材27
の球状凹部に装着されている。
イ1の孔31に摺動自在に装着されたピストン3
0の一端に設けられた玉継手29が支承部材27
の球状凹部に装着されている。
ピストン30の他端はキヤツプ32を備えてお
り、キヤツプ32は弾性ワツシヤ33の内周縁を
支承している。さらにワツシヤ33の外周縁は可
動手段34を支承しており、可動手段34の環状
縁34aに可撓性膜35が固定されている。膜3
5の外周縁はボデイ1に一体的に設けられたリン
グ36に固定されている。
り、キヤツプ32は弾性ワツシヤ33の内周縁を
支承している。さらにワツシヤ33の外周縁は可
動手段34を支承しており、可動手段34の環状
縁34aに可撓性膜35が固定されている。膜3
5の外周縁はボデイ1に一体的に設けられたリン
グ36に固定されている。
可動手段34と膜35とはボデイ1に螺合され
た栓又は蓋38によつて閉鎖された強制潤滑流体
チヤンバ37の壁の1つを形成している。チヤン
バ37は、ボデイ1に設けられた通路39とピス
トン30に設けられた40及び中央通路41と部
材27のオリフイス27aとを介してシユーのオ
リフイス28と連通している。くさび42及び4
3は前述の実施例と同様に可動手段34の移動を
限定する。
た栓又は蓋38によつて閉鎖された強制潤滑流体
チヤンバ37の壁の1つを形成している。チヤン
バ37は、ボデイ1に設けられた通路39とピス
トン30に設けられた40及び中央通路41と部
材27のオリフイス27aとを介してシユーのオ
リフイス28と連通している。くさび42及び4
3は前述の実施例と同様に可動手段34の移動を
限定する。
シヤフト8の停止中は、ピストン30のキヤツ
プ32と支承部材27とを介してワツシヤ33だ
けがシユー7に予圧を作用している。
プ32と支承部材27とを介してワツシヤ33だ
けがシユー7に予圧を作用している。
シヤフト8が回転駆動されると、オリフイス2
8と通路41と凹部40と通路39とを介して流
体膜から強制潤滑流体がチヤンバ37に引き出さ
れる。
8と通路41と凹部40と通路39とを介して流
体膜から強制潤滑流体がチヤンバ37に引き出さ
れる。
チヤンバ37の強制潤滑流体は膜35と可動手
段34とに作用する。可動手段34はワツシヤ3
3の変形を生起する。ワツシヤ33の変形の結
果、ピストン30とシユー7とに等価の圧力が作
用する。前述の実施例と同じく、シユー7に作用
する荷重はシヤフト8とシユー7との間の流体膜
の圧力の増加に伴なつて増加する。
段34とに作用する。可動手段34はワツシヤ3
3の変形を生起する。ワツシヤ33の変形の結
果、ピストン30とシユー7とに等価の圧力が作
用する。前述の実施例と同じく、シユー7に作用
する荷重はシヤフト8とシユー7との間の流体膜
の圧力の増加に伴なつて増加する。
本発明は、上述に記載の実施例に限定されな
い。
い。
第1図は本発明の一実施例の第2図の−断
面図、第2図は第1図の矢印から見た端面図、
第3図は第1図の−断面図、第4図は本発明
の他の実施例の第5図の−断面図、第5図は
第4図の矢印から見た端面図、第6図は第4図
の−断面図である。 1……軸受ボデイ、7,7a,7b……シユ
ー、8……回転シヤフト、9……オリフイス、1
0……玉継手の1つの部材、12……玉継手のも
う1つの部材、13……リング、14……環状手
段、15……可撓性膜、16……圧力チヤンバ、
17……カバー、19……弾性ワツシヤ、20…
…スプール、25,26……くさび。
面図、第2図は第1図の矢印から見た端面図、
第3図は第1図の−断面図、第4図は本発明
の他の実施例の第5図の−断面図、第5図は
第4図の矢印から見た端面図、第6図は第4図
の−断面図である。 1……軸受ボデイ、7,7a,7b……シユ
ー、8……回転シヤフト、9……オリフイス、1
0……玉継手の1つの部材、12……玉継手のも
う1つの部材、13……リング、14……環状手
段、15……可撓性膜、16……圧力チヤンバ、
17……カバー、19……弾性ワツシヤ、20…
…スプール、25,26……くさび。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 潤滑流体を収容するハウジングと、前記ハウ
ジングを同軸的に貫通する回転シヤフトと、前記
回転シヤフトのまわりに互いにほぼ等角度間隔で
配設されており、内周面が前記潤滑流体を介して
前記回転シヤフトの外周面に当接する円弧状の複
数のシユーと、前記回転シヤフトの半径方向にお
いて前記シユーと少なくとも1つを貫通するオリ
フイスと、一端が前記オリフイスの部位において
前記シユーの少なくとも1つの外周面に連結され
ており、前記ハウジングに前記半径方向にのみ移
動自在にされている可動部材と、内周縁が前記可
動部材の他端に接続されていると共に外周縁が前
記ハウジングに固定されており、前記ハウジング
と協働してチヤンバを規定する可撓性の環状デイ
スク状薄膜と、一端が前記可動部材に接続される
と共に他端が前記ハウジングに固定されており、
前記可動部材を前記半径方向内側に付勢する弾性
手段と、前記可動部材に前記半径方向に伸長して
おり、前記オリフイスと前記チヤンバとを連通す
る連通孔とを備えている流体軸受装置。 2 前記可動部材が、前記半径方向に伸長するよ
うに前記ハウジングに設けられた貫通孔に摺動自
在に係合している特許請求の範囲第1項に記載の
装置。 3 前記可動部材が、一端及び他端が夫々球状で
ある第1の可動部材と、一端が前記第1の可動部
材の一端を回動自在に収容しており、他端が前記
薄膜に接続された第2の可動部材と、一端が前記
第1の可動部材の他端を回動自在に収容すると共
に前記弾性手段に接続されており、他端が前記シ
ユーの少なくとも1つに回動自在に連結された第
3の可動部材とを備えている特許請求の範囲第1
項及び第2項に記載の装置。 4 前記可動部材の一端が球状であると共に前記
シユーの少なくとも1つに回動自在に連結してお
り、前記可動部材の他端が円筒状であると共に前
記貫通孔に係合している特許請求の範囲第2項に
記載の装置。 5 前記可動部材が所定のストロークの範囲内で
移動するように構成されている特許請求の範囲第
1項から第4項のいずれか一項に記載の装置。
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