JPH0359388B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0359388B2
JPH0359388B2 JP56052492A JP5249281A JPH0359388B2 JP H0359388 B2 JPH0359388 B2 JP H0359388B2 JP 56052492 A JP56052492 A JP 56052492A JP 5249281 A JP5249281 A JP 5249281A JP H0359388 B2 JPH0359388 B2 JP H0359388B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
region
moving body
movement
value transmitter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP56052492A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56158951A (en
Inventor
Dopuraa Kurausu
Hahateru Hansuieruku
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JPS56158951A publication Critical patent/JPS56158951A/ja
Publication of JPH0359388B2 publication Critical patent/JPH0359388B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/49—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed using eddy currents
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C22/00—Measuring distance traversed on the ground by vehicles, persons, animals or other moving solid bodies, e.g. using odometers, using pedometers
    • G01C22/02—Measuring distance traversed on the ground by vehicles, persons, animals or other moving solid bodies, e.g. using odometers, using pedometers by conversion into electric waveforms and subsequent integration, e.g. using tachometer generator
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2046—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable ferromagnetic element, e.g. a core
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2053—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable non-ferromagnetic conductive element
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/488—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable reluctance detectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/50—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring linear speed
    • G01P3/505—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring linear speed by using eddy currents

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Linear Or Angular Velocity Measurement And Their Indicating Devices (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はほぼ均一な運動をする運動体の非接触
変位・速度測定装置であつて、前記運動体と同期
して移動するようにこの運動体に結合されて配設
されかつ運動方向に互いに同じ間隔で配置されて
いる導電材料から成る複数の領域が設けられてお
り、上記領域から間隔をおいて空間的に固定され
た測定値発信器が設けられており、前記測定値発
信器は前記領域上に対向して設けられた高周波交
流電流が流れるコイル装置を有しており、前記領
域が前記測定値発信器に接近する際当該領域に渦
電流が発生するものに関する。かかる装置は機械
の制御調整用に回転数又は位置の検出に増々必要
とされてきている。この種の装置はそれ自体は公
知の渦電流測定方式により作動するもので、導電
領域が高周波の交流電流により貫流されている測
定値発信器に近づくとこの領域に渦電流が発生
し、この電流は測定値発信器においてエネルギー
の消失、すなわち電気振動の振幅減少の作用をす
る。これは適当に処理することにより運動体の速
度ないし回転数又は位置に関する測定信号として
利用される。
特に回転機に適用されるこの種の公知の装置で
は機械に既存の歯車（たとえば内燃機関のはずみ
車の歯）が適当な測定値発信器とともにパルスの
取得に利用される。歯頭はこの場合導電材料から
成る領域を形成する。この場合の難点は、測定値
発信器の信号が測定値発信器の大きさおよびこれ
と運動体、この場合には回転中の歯車との間の間
隔に大きく左右されることである。位置又は速度
の正確な測定を達成するには測定値発信器の寸法
を小さくして多数の歯を走査できるようにしなけ
ればならない。この場合確実に個々の歯を走査す
るためには幾何学的寸法、たとえば直径が歯の寸
法にほぼ等しい測定値発信器を作る必要がある。
しかし測定値発信器の寸法の減少には以下の３つ
の限界がある。すなわち第１の限界は超小型の測
定値発信器の製作に経費がかかることであり、第
２は測定値発信器と導電領域との間の測定間隔の
減少の必要性であり、第３の限界は測定値発信器
を小型化した場合に測定信号が増々小さくなるこ
とである。この結果多くの場合１mm以下の歯幅を
持つ微小歯の走査が可能な測定値発信器を作るこ
とは全く不可能となる。さらに又たとえば内燃機
関のはずみ車の歯のような粗い歯だけを走査する
場合にも問題がある。すなわち作動中の回転はず
み車の半径方向の慣性が大きくかつ機械的振動が
強いことから、測定値発信器は導電領域、すなわ
ちこの場合走査対象の歯から比較的大きな測定間
隔をとらなければならない。その結果測定値発信
器は、十分大きな測定信号を発信するためには比
較的大きな直径を持たなければならず、これによ
り測定値発信器は複数個の歯にわたつてしまうの
で個々の歯の正確な走査は困難になる。
これに対し、本発明の非接触変位・速度測定装
置の目的ないし課題は、測定値発信器からの出力
信号を微小の歯に応答できるようにし、測定値発
信器に対して相対的に運動する物体上の極細の導
電領域を走査可能にすることである。
上記の目的ないし課題は特許請求の範囲第１項
記載の構成要件により解決される。
要約的に言えば、例えば歯車である運動体が、
導電材料から成る複数の領域を備えて形成され
る。これらの複数の領域は、相互間でずらされて
配置されまた運動体と同期して運動する。この導
電材料から成る複数の導電領域は、運動方向に見
て、相互に同じ間隔、例えば隣接する歯車の歯の
間隔をおいて配置される。この領域の先端の表
面、例えば歯頭の表面が導電領域を形成する。運
動する歯から間隔をおいて固定される測定値発信
器上には、コイルを設けることができ、その場
合、このコイル中に高周波交流電流が流れる。ま
たこの測定値発信器上に、相互に接続される複数
の能動（アクテイブ）測定面が形成される。この
能動測定面上にコイル導体を設けることができ、
また測定面は、運動体の導電領域、例えば歯車の
歯の突出した先端表面にほぼ相応する幅を有す
る。コイルにより形成され得る、運動体上の複数
の導電領域と対向するように配置された複数の測
定面は直列接続され、その結果、複数の歯、すな
わち複数の導電領域がそこを通過すると、渦電流
損失が測定面の電流の流れを変化させる。複数の
導電領域が、直列に接続された複数の測定面に対
向することになるので、実質的に波形信号が出力
信号として得られることになり、またこの出力信
号の信号レベルは導電領域が設けられている、例
えば歯車である運動体と測定値発信器の相対速度
に依存しない。
従つて、本発明による装置では、測定値発信器
が比較的大きな寸法を有するにも拘らず運動体上
の場合によつては１mm以下の微小の歯ないしは極
細の導電領域を走査できるという利点を有する。
それにも拘らず測定値発信器の出力側には十分な
大きさの測定信号が得られる。
測定値発信器の幾何学的寸法を比較的大きくす
ることによりこの発信器と導電領域を持つ運動体
との間の測定間隔も十分大きくとることができ、
しかも測定値発信器の精度を損なうことはない。
従つて本発明装置は半径方向の慣性が大きい回転
体に対しても問題なく使用可能である。測定値発
信器の出力側に得られる測定信号は運動体のいか
なる速度の場合にも正弦波状の電圧である。この
電圧は回転数測定、速度測定、位置指示又は運転
経過の解析に良好に利用可能である。複数の歯を
同時に走査できることは測定信号を大きくし擾乱
に強くすることを可能にする。本発明装置は、従
来オプトエレクトロニクス測定方式によつてのみ
可能であつた微小歯ないし極細導電領域の走査で
も同様の高い解析力を示す。オプトエクトロニク
ス方式による装置とは異なり本発明装置は汚れに
対しても強い。
各実施態様項に記載された処置により本発明に
よる無接触工程・速度測定装置は更に有利な改良
が可能である。
この場合特に有利なのは特許請求の範囲第２項
に記載された実施態様である。コイル面を遮蔽す
ることにより本発明による測定値発信器は比較的
簡単にかつわずかな経費で製作可能となる。
導電材料から成る領域は特許請求の範囲第１３
項に記載された有利な実施態様により運動体の移
動方向に延びる歯列の歯頭上にこの歯列と一体に
簡単にかつ公知の方法で配置される。構成上の理
由から導電領域を支持する運動体又はこの運動体
に固定接続された支持体の表面を平坦にする必要
があるときには、特許請求の範囲第１２項に記載
された実施態様が特に好適である。形成される渦
電流に関して非強磁性材料が強磁性材料とは異な
る感度を示すので、このように構成される本発明
装置は上述のように同じ有利な特性を有する。
以下図面について本発明の実施例を詳細に説明
する。
第１図および第２図に示すほぼ同じ形で運動す
る運動体のための無接触行程・速度測定装置は導
電材料から成る領域１０を有し、この領域はこの
実施例に示すように運動体１１自体の表面に設け
られるか、或いは運動体１１に固く結合された特
別の支持体８１２（第１２図）の上に配置され
る。領域１０はそれ故運動体と同期的に移動し、
移動方向に等間隔に配置されている。第１図の装
置では運動体１１は長手方向に移動し、従つて縦
運動を行なう。運動体１１はしかし第３図に示す
ように回転運動を行なうことも可能である。第１
図の実施例では領域１０は移動方向に延びている
歯列１４の歯頭１３上に配置されている。運動体
１１が導電材料、たとえば鉄から成る場合にはこ
の領域１０は特別に設ける必要はなく、歯頭自体
の表面を利用することができる。
無接触行程・速度測定装置は更に測定値発信器
１５を有しており、これは運動領域１０ないし歯
頭１３といわゆる測定間隔ａをおいて配置されて
いる。測定値発信器１５は高周波交流電流により
貫流されている。測定値発信器１５は複数個の領
域１０にわたつて拡がつており、かつ互いに結合
されているが空間的に区分されている多数の能動
測定面１６を有し、領域１０ないし歯列１４ない
し運動体１１の移動方向にみた測定面の相互間隔
は領域１０の相互間隔ｂにほぼ相当し、領域１０
の移動方向にみた幅は領域幅ｃにほぼ相当する。
各測定面１６は電気的に直列接続されているよう
に作用するので、同時に多数の領域１０が測定値
発信器１５により走査される。
第１図および第２図の測定値発信器１５は支持
体１７と、この支持体の端面上に領域１０に対向
するように配置された渦巻状の扁平コイル１８と
を有している。一層又は多層巻の扁平コイル１８
はそのループ状のコイル面１９で多数の領域、こ
の実施例では３つの領域１０をほぼ測定間隔ａに
相当する間隔をおいておおつている。コイル面１
９と領域１０ないし歯頭１３の表面との間には導
電材料から成る２つの橋絡片２０が配置されてお
り、これらの橋絡片は領域１０の移動方向に互い
に間隔をおいて固定配置されている。領域１０な
いし運動体１１の移動方向と直角方向に測定した
橋絡片２０の長さは少くともこの方向に測定した
領域１０ないしコイル面１９の幅に相当する。
橋絡片２０はコイル１８のいわばマスク状の蔽
蔽作用を行なうもので、これにより橋絡片２０間
の範囲だけに測定面１６が形成され、これから高
周波の振動が領域１０に侵入することになる。導
電領域１０が１つの測定面１６に近づくと、導電
領域には渦電流が形成され、この電流はエネルギ
ーの消失、すなわち扁平コイル１８内の電気振動
の振幅減少を生じる。全部で３つの電気的に直列
接続された測定面１６が存在しているので、同時
に３つの歯にこのような渦電流が生じ、電気振動
の相応する大きさの振幅減少が生じる。扁平コイ
ル１８に接続されている図示しない評価回路の出
力側にはこれにより測定信号が発生するが、この
信号は領域１０と測定値発信器１５ないし扁平コ
イル１８との間の相対運動の際相対速度に無関係
な正弦波状の電圧である。この電圧信号は運動体
１１の速度又は行程測定或いは位置測定のため利
用される。
第３図に示した無接触行程・速度測定装置の実
施例は、上述の実施例とは、歯列２１４を持つ運
動体２１１が縦運動を行なわずに回転運動を行な
う点だけが異なつている。それ故同一部分には同
一符号に200を加えたものが付されている。この
実施例でも測定値発信器２１５ないし扁平コイル
２１８の表面は運動体２１１の表面に平行に拡が
つている。測定値発信器２１５の表面は従つてこ
の実施例では凹面として形成されている。
第４図および第５図の実施例では長手方向に移
動する運動体３１１は第１図および第２図の運動
体１１と同一に形成されている。従つて同一部分
は同一符号に300を加えたものが付されている。
測定値発信器３１５はこの実施例では支持体３１
７の他に一層のうず状枠コイル３２１を備えてい
る。枠コイル３２１は２つの領域３１０にわたつ
て延びており、領域３１０ないし運動体３１１の
移動方向に測定したコイルの内径ｄは領域間隔ｂ
に相当する。この実施例では能動測定面３１６は
領域３１０の移動方向に直角方向に拡がる枠コイ
ル３１２の枠範囲により形成されている。この装
置の動作態様は第１図および第２図の実施例の場
合と同じである。
第６図の実施例の装置は第４図および第５図の
実施例の装置とは、枠コイル４２１が円形ではな
く矩形であることだけが異なつている。この実施
例でも測定値発信器４１５の能動測定面４１６は
枠コイル４２１の領域４１０の移動方向にほぼ直
角方向に延びている脚片により形成される。同一
部分には同一符号に400を加えたものが付されて
いる。
第４図ないし第６図の実施例ではいずれの場合
にも移動方向に直角方向に測定した領域３１０又
は４１０の長さはこの方向における枠コイル３２
１又は４２１の長さより小さい。
第７図および第８図に示す第５の実施例の装置
では、測定面５１６は互いに接続されている単位
扁平コイル５２２により形成される。各コイルは
直列接続されている（第８図）。単位扁平コイル
５２２の大きさは領域５１０の大きさにほぼ等し
い。同一部分は同一符号に500を加えたものが付
されている。この実施例の動体態様は上述の実施
例のそれと同じである。
第９図および第１０図の実施例の装置では測定
値発信器６１５は領域６１０又は運動体６１１の
移動方向に拡がる蛇行状の扁平コイル６２３を有
している。扁平コイル６２３はその蛇行形態にお
いてそれぞれほぼ直角に曲げられている。扁平コ
イルは同様に領域６１０に対応する支持体６１７
の端面上に配置されている。測定値発信器６１５
の測定面６１６はこの実施例では扁平コイル６２
３の延長方向に直角方向のコイル部分面により形
成される。その他の構成および動作態様は上述の
装置と同一であるので、同一部分には同一符号に
600を加えたものが付されている。
第１１図の実施例の装置は第９図および第１０
図の実施例の装置とは、同様に蛇行状に形成され
た一層の扁平コイル７２４の領域７１０の移動方
向と直角方向に延びる部分が領域７１０に沿つて
曲げられ、歯頭７１３の両側で歯底７３０の下ま
で延びている点で違つている。歯列７１４の一
部、この実施例では３つの歯はいわば扁平コイル
７２４により完全に囲まれることになる。
その他の構成および動作態様は上述の実施例の
場合と同じであり、同一部分には同一符号に700
を加えたものが付されている。この実施例では扁
平コイル７２４は唯一の線条から成つているが、
より強い測定信号を作るためには多層の線条を並
列配置し、第１０図の実施例の構成に類似した蛇
行状に曲折した扁平コイル７２４を形成すると有
利である。
第１２図に示す第８の実施例の装置では測定値
発信器８１５は第１図の実施例の測定値発信器１
５と同じ構成をとる。第１図および第２図の装置
との相違点は、領域８１０が支持体８１２の表面
８２６上にたとえば蒸着、押印、食刻等により形
成されたドツドラスタ８２５により形成されるこ
とにある。支持体８１２は円板、帯板等から成
り、速度、行程又は位置が測定される運動体に固
定接続される。この実施例のその他の構成および
動作態様は上述の実施例と同一であり、同一部分
には同一符号に８００を加えたものが付されてい
る。
第１３図の実施例の装置では測定値発信器９１
５はその構成において第１図および第２図に記載
の測定値発信器１５に一致する。運動体９１１又
はこの運動体に固定接続された適当な支持体の表
面９２７は強磁性材料および非強磁性材料から交
互に形成されたフイールドを持つ構造を持つ。強
磁性材料フイールドが領域９１０を形成するのに
対し、非強磁性材料フイールドは中間領域９２９
を形成する。勿論これとは逆に領域９１０を非強
磁性材料から、中間領域９２９を強磁性材料から
作ることも可能である。渦電流測定方式では強磁
性材料は非強磁性材料とは異なる感度を示すの
で、この実施例でも同様なやり方で測定値発信器
９１５により構造体９２８の走査が可能であり、
その際領域９１０又は中間領域９２９のいずれが
測定面９１６に対向するかに応じて扁平コイル９
１８内のエネルギー消失が異なり、扁平コイル内
の振幅変化が著しく異なることになる。第１３図
の実施例のその他の構成および動作態様は上述の
各実施例の場合と同一であるので、同一部分には
同一符号に900を加えたものが付されている。こ
の実施例は構成上の理由から運動体９１１又はこ
の運動体に固定接続された適当な支持体の表面を
平坦なものにしなければならないときに有利であ
る。
勿論上述の全実施例において、測定値発信器に
速度、行程又は位置を測定すべき運動体を固定接
続し、導電材料から成る領域を固定的に配置する
ことは可能である。
第３図の実施例に対して更に注記すべきこと
は、回転体２１１の直径が比較的大きい場合測定
値発信器２１５の表面および扁平コイル２１８は
曲面として形成する必要はなく、第１図の実施例
の場合と同様に平面状に形成できることである。
運動体２１１の表面又は導電領域２１０に対し測
定面２１６が完全には平行に走行しなくても測定
は十分精確に行われる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明装置の第１の実施例の縦断面
図、第２図は第１図の−線断面図、第３図は
第２の実施例の縦断面図、第４図は第３の実施例
の縦断面図、第５図は第４図の−線断面図、
第６図は第４の実施例の第５図と同様の断面図、
第７図は第５の実施例の縦断面図、第８図は第７
図の−線断面図、第９図は第６の実施例の縦
断面図、第１０図は第９図の−線断面図、第
１１図は第７の実施例の斜視図、第１２図は第８
の実施例の縦断面図、第１３図は第９の実施例の
縦断面図である。 １０……導電領域、１１……運動体、１５……
測定値発信器、１６……能動測定面、１７……支
持体、１８……扁平コイル、２０……橋絡片。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ ほぼ均一な運動をする運動体の非接触変位・
    速度測定装置であつて、 前記運動体と同期して移動するようにこの運動
    体に結合されて配設されかつ運動方向に互いに同
    じ間隔ｂで配置されている導電材料から成る複数
    の領域１０〜９１０が設けられており、上記領域
    から間隔をおいて空間的に固定された測定値発信
    器１５〜９１５が設けられており、前記測定値発
    信器は前記領域上に対向して設けられた高周波交
    流電流が流れるコイル装置１８〜９１８を有して
    おり、 前記領域が前記測定値発信器に接近する際当該
    領域に渦電流が発生するものにおいて、 前記測定値発振器１５〜９１５は空間的に前記
    複数の領域１０〜９１０に亘つて延在しており、 さらに、 前記測定値発信器は空間的に分離された、相互
    接続された能動（アクテイブ）測定面１６〜９１
    ６を有しており、前記測定面は上記コイル装置の
    一構造部分を成しており、 更に、 前記領域の運動方向における上記コイル装置の
    複数能動（アクテイブ）部分の相互間隔を前記領
    域の間隔ｂにほぼ等しく設定し、 前記領域の運動方向における前記コイル能動
    （アクテイブ）部分の幅を前記領域の幅ｃにほぼ
    等しく設定し、 また、上記複数コイル能動（アクテイブ）部分
    はここから取出された出力が加算されるように相
    互に直列接続されていることを特徴とする運動体
    の非接触変位・速度測定装置。 ２ 測定値発信器１５が複数の領域を間隔をおい
    ておおうループ状のコイル面１９を持つ扁平コイ
    ル１８を備え、コイル面１９と領域１０の間に導
    電材料から成る橋絡片２０を領域１０の運動方向
    に互いに間隔をおいて固定配置し、橋絡片２０間
    に残るコイル面部分を能動（アクテイブ）測定面
    １６として形成する特許請求の範囲第１項記載の
    装置。 ３ 領域１０の運動方向と直角方向に測定した橋
    絡片２０の長さがこの方向に測定した領域１０な
    いしコイル面１９の長さに少なくとも相当する特
    許請求の範囲第１項記載の装置。 ４ 測定値発信器３１５，４１５が２つの領域３
    １０；４１０にわたる平坦な枠コイル３２１，４
    ２１を有し、領域３１０；４１０の運動方向に測
    定したコイルの内径は領域間隔(c)に相当するよう
    にし、能動（アクテイブ）測定面３１６；４１６
    が領域３１０；４１０の運動方向にほほ直角に延
    びる枠コイル３２１；４２１の枠範囲又は枠脚に
    より形成される特許請求の範囲第１項記載の装
    置。 ５ 枠コイル３２１；４２１がほぼ円形又は矩形
    に形成される特許請求の範囲第３項記載の装置。 ６ 運動方向に測定した領域３１０；４１０の長
    さがこの方向における枠コイル３２１；４２１の
    長さより小さい特許請求の範囲第４項又は第５項
    記載の装置。 ７ 測定面５１６が互いに接続される単位扁平コ
    イル５２２により形成され、コイル寸法が領域５
    １０の寸法にほぼ相当する特許請求の範囲第１項
    記載の装置。 ８ 測定値発信器６１５が領域６１０の運動方向
    に蛇行状に延びる扁平コイル６２３を備え、その
    延長方向にあるコイル面が測定面６１６を形成す
    る特許請求の範囲第１項記載の装置。 ９ 扁平コイル１８；２１８；３２１；４２１；
    ６２３；７２４が一層又は多層に形成される特許
    請求の範囲第１項から第８項までのいずれか１項
    記載の装置。 １０ 領域１０−９１０が運動体１１−９１１自
    体又はこの運動体に固定接続された支持体８１２
    の上に配置されている特許請求の範囲第１項から
    第９項までのいずれか１項記載の装置。 １１ 領域８１０が運動体又は支持体８１２の表
    面８２６の上にたとえば蒸着、押印、食刻等によ
    り形成されるドツトラスタ８２５から形成される
    特許請求の範囲第１０項記載の装置。 １２ 領域９１０が強磁性材料を有し、中間領域
    範囲９２９が非強磁性材料を有するか又はその逆
    である特許請求の範囲第１０項記載の装置。 １３ 領域１０−７１０が運動方向に拡がる歯列
    １４−７１４の歯頭１３−７１３上に好適にはこ
    れと一体に配置される特許請求の範囲第１項記載
    の装置。 １４ 領域９１０の運動方向に直角方向にこの上
    に延びている蛇行状コイル７２４のコイル部分面
    が直角に曲げられ、歯頭７１３の両側で好適には
    歯底７３０の下側まで延びている特許請求の範囲
    第８項から第１３項までのいずれか１項記載の装
    置。 １５ 側定値発信器１５−９１５の表面が運動体
    １１−９１１ないしこの運動体に結合された支持
    体８１２の表面に平行に延びている特許請求の範
    囲第１０項から第１４項までのいずれか１項記載
    の装置。
JP5249281A 1980-04-12 1981-04-09 Contactless stroke/speed measuring device Granted JPS56158951A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19803014137 DE3014137A1 (de) 1980-04-12 1980-04-12 Vorrichtung zur beruehrungslosen weg- und/oder geschwindigkeitsmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS56158951A JPS56158951A (en) 1981-12-08
JPH0359388B2 true JPH0359388B2 (ja) 1991-09-10

Family

ID=6099868

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5249281A Granted JPS56158951A (en) 1980-04-12 1981-04-09 Contactless stroke/speed measuring device

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4417208A (ja)
JP (1) JPS56158951A (ja)
DE (1) DE3014137A1 (ja)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3476035D1 (en) * 1983-07-05 1989-02-16 Elektroniktechnologie Get Inductive sensor device and measuring device for using the same
EP0473808A1 (de) * 1990-09-03 1992-03-11 Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh Messeinrichtung zur Ermittlung eines Weges oder einer Position
JPH04174321A (ja) * 1990-11-07 1992-06-22 Toyota Motor Corp 移動部材の変位検出装置
DE4121724A1 (de) * 1991-07-01 1993-01-07 Schaeffler Waelzlager Kg Verfahren zur herstellung eines impulsgebers
US5793206A (en) 1995-08-25 1998-08-11 Jentek Sensors, Inc. Meandering winding test circuit
CH690933A5 (fr) * 1996-01-24 2001-02-28 Hans Ulrich Meyer Capteur inductif de déplacement.
CH690934A5 (fr) * 1996-04-29 2001-02-28 Suisse Electronique Microtech Dispositif de détection de position et de mouvement à variation de champ magnétique.
DE19646056C2 (de) * 1996-11-07 1998-11-26 Vogt Electronic Ag Vorrichtung zum Messen der Drehzahl eines um eine Drehachse rotierenden Körpers
SE525078C2 (sv) 2001-06-29 2004-11-23 Abb Ab Metod samt induktiv mätanordning för detektering av mittpunkten hos ett elektriskt ledande material
US6995556B2 (en) * 2002-07-23 2006-02-07 Ensco, Inc. Electromagnetic gage sensing system and method for railroad track inspection
US7554324B2 (en) * 2003-10-28 2009-06-30 Honeywell International Inc. Turbine blade proximity sensor and control system
DE102005025870A1 (de) * 2005-06-06 2006-12-07 Robert Bosch Gmbh Wirbelstromsensoranordnung
FR2891362B1 (fr) * 2005-09-23 2007-11-30 Billanco Capteur et procede de mesure de position et de vitesse
US9829501B2 (en) * 2014-04-25 2017-11-28 Texas Instruments Incorporated Rotational sensing based on inductive sensing
FR3031589B1 (fr) * 2015-01-13 2018-11-16 Hutchinson Capteurs inductifs de deplacement
FR3031587B1 (fr) 2015-01-13 2018-11-16 Hutchinson Capteurs inductifs de deplacement
FR3031586B1 (fr) 2015-01-13 2017-02-10 Dymeo Capteurs inductifs de deplacement
FR3031588B1 (fr) 2015-01-13 2018-11-16 Hutchinson Capteurs inductifs de deplacement
US10620017B2 (en) * 2017-01-31 2020-04-14 Rockwell Automation Technologies, Inc. Curvilinear encoder system for position determination
CN112816732B (zh) * 2020-12-30 2023-03-31 中国船舶工业系统工程研究院 一种检测低速柴油机旋转的检测装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS47551U (ja) * 1971-01-22 1972-08-03

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1273839B (de) * 1964-10-30 1968-07-25 Landis & Gyr Ag Messwertumformer zur Umformung der Drehbewegung von drehbaren Organen in Impulse
US4164706A (en) * 1976-10-18 1979-08-14 Nippon Soken, Inc. Rotational position detector utilizing an FET blocking oscillator
DE2933557C2 (de) * 1979-08-18 1982-11-04 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Meßumformer zur berührungslosen Weg- oder Geschwindigkeitsmessung

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS47551U (ja) * 1971-01-22 1972-08-03

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56158951A (en) 1981-12-08
DE3014137C2 (ja) 1989-06-22
DE3014137A1 (de) 1981-10-22
US4417208A (en) 1983-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0359388B2 (ja)
US7030782B2 (en) Position detector
US7049924B2 (en) Electromagnetic induction type position sensor
JP3842099B2 (ja) 磁気式エンコーダ
US6124708A (en) Position detection using a spaced apart array of magnetic field generators and plural sensing loop circuits offset from one another in the measurement direction
KR0139904B1 (ko) 상대 변위 측정 장치
JP4253198B2 (ja) 誘導電流式位置変換器
CN106796120B (zh) 用于无接触地检测旋转构件的转动角度的传感器组件
JPH11513797A (ja) 位置検出エンコーダー
CA1112328A (en) Position determining system
US5955882A (en) Magnetic position measuring device using a plurality of sensors and a scale
JP4681229B2 (ja) 経路センサ
US5469052A (en) Velocity sensor which senses differential velocity by sensing changes in magnetic flux
JPS61292014A (ja) 位置検出器
CN114577101A (zh) 用于测量线性位移的涡流传感器装置
JPH01500052A (ja) 材料の状態特にその材料のガス又は液体の吸着を検出する装置
EP4053508A1 (en) Inductive angle sensor
JP2002031546A (ja) 磁気式エンコーダ
JPS63279101A (ja) 非接触変位検出装置
JPH0534363A (ja) 磁気センサー装置および駆動装置
JP2005077150A (ja) 誘導型位置検出装置
JPH0458881B2 (ja)
RU14675U1 (ru) Датчик ускорения
JPS594300Y2 (ja) 磁気センサ−
US6469501B1 (en) Conductive system for measuring the linear and angular positions of one object relative to another