KR0139904B1 - 상대 변위 측정 장치 - Google Patents

상대 변위 측정 장치

Info

Publication number
KR0139904B1
KR0139904B1 KR1019900003985A KR900003985A KR0139904B1 KR 0139904 B1 KR0139904 B1 KR 0139904B1 KR 1019900003985 A KR1019900003985 A KR 1019900003985A KR 900003985 A KR900003985 A KR 900003985A KR 0139904 B1 KR0139904 B1 KR 0139904B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
scale
magnetic field
magnetic
sensors
longitudinal direction
Prior art date
Application number
KR1019900003985A
Other languages
English (en)
Other versions
KR900014889A (ko
Inventor
레오나르두스 기예스베르투스 마리아 요한네스
카메릭 에듀아르트
Original Assignee
프레데릭 얀 스미트
필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 프레데릭 얀 스미트, 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. filed Critical 프레데릭 얀 스미트
Publication of KR900014889A publication Critical patent/KR900014889A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0139904B1 publication Critical patent/KR0139904B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/487—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by rotating magnets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/50—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring linear speed
    • G01P3/54—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring linear speed by measuring frequency of generated current or voltage

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

상대 변위 측정 장치
제 1도는 본 발명에 따른 장치의 다이아그램.
제 2a도 및 제 2b도는 각기 본 발명에 따른 장치의 제 1 실시예의 부품들의 측면도 및 평면도.
제 3도는 제 2a도 및 제 2b도에 도시된 실시예의 측정 헤드의 확대도.
제 4a도 및 제 4b도는 각기 본 발명에 따른 제 2 실시예의 부품들의 측면도 및 평면도.
제 5a및 제 5b도는 본 발명에 따른 장치의 측정 헤드의 출력 신호의 그래프.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 휘일 3 : 축
5 : 림 7 : 스케일
9 : 측정헤드 11 : 케이블
13 : 처리 장치 17 : 자력선
19 : 연결선 21, 23 : 자기저항소자 또는 자장 센서
21’,23’: 코일 또는 자장 센서
본 발명은 연속적인 자북극과 자남극으로 구성되고 제 1 대상물상에 제공되어 변위방향으로 연장하는 가늘고 긴 스케일과,스케일에 관계하여 배열된 하나이상의 제 1 및 제 2 자장 센서를 포함하고 상대 변위로 인한 자북극과 자남극의 교번적인 통과의 영향하에서, 시간의 함수로서 교번하여 각각의 센서에서 출력 신호를 야기시키는 자장에 센서들이 노출되는 자극헤드를 포함하며, 두 센서의 출력 신호는 시간의 함수와 동일한 방식으로 변화하지만 서로에 관해 위상 변위되는 두 대상물의 상대 변위의 크기 및 방향을 측정하는 장치에 관한 것이다.
이러한 종류의 장치는 GB-A 1,492,980호에 공지되어 있다. 그러한 장치에는 예를 들어, 스케일이 직선을 따라 연장하는 경우에 선형 변위을 측정하기 위해서, 또는 스케일이 휘일의 원주를 따라 연장하는 경우에 휘일의 회전 속도 및 방향을 측정하기 위해서 사용될 수 있다. GB-A 제1,492,980호의 제 3도를 참조하여 기술하면, 상대 변위의 크기 및 방향은 센서의 위상 변위 출력 신호로부터 간단히 결정될 수 있다. 두 개의 센서의 신호가 위상 변위되는 것을 보장하기 위하여, 종래의 장치에 있어서, 센서는 제 2센서가 스케일의 종방향으로(여기서는 스케일의 두 개의 동일 극 사이의 거리)에 따라 정확히 한정된 거리이상 제 1 센서에 관하여 이동되도록 배열된다. 그러므로, 자극들은 스케일상에서 서로로부터 정확히 동일한 거리에 제공되어야 하고, 두 개의 센서 사이의 거리는 정확히 조정되어로 정확하게 맞춰져야 한다. 결과적으로, 종래의 장치의 제조는 복잡하고 값이 비싸다. 종래의 측정 헤드의 다른 결점은 스케일의 종방향 치수가 비교적 크다는 점이다. 본 발명의 목적은 스케일상의 연속적인 극 쌍들 사이의 거리가 정확히 알려질 필요가 없고, 스케일의 길이에 걸쳐서 정확히 일정할 필요조차 없고, 측정 헤드가 아주 소형 구조를 가질 수 있는 종류의 장치를 제공하는 것이다.
이를 위해서, 본 발명의 장치는 제 1 및 제 2 자장 센서가 항상 스케일상의 동일 지점에 대향하여 위치하도록 배치되어, 제 1 센서는 스케일의 종방향과 평행하게 연장하는 자장 성분의 변화에 주로 민감하고, 제 2 센서는 스케일의 종방향에 직각으로 그리고 스케일과 측정 헤드 사아의 연결선에 평행하게 연장하는 자장 성분의 변화에 주로 민감한 것을 특징으로 한다.
스케일이 (예를 들어, 휘일의 원주를 따르기 위해)만곡될때, 그 종방향은 측정 헤드에 바로 대향한 위치에서 스케일에 대한 접선을 의미하는 것으로 이해해야 한다. 연속적인 자극쌍들이 측정 헤드를 지날때, 스케일의 종방향에 평행하게 연장하는 자장 성분(이후,평행성분이라 칭함)의 방향과 다른 상기 성분(이후, 직각성분이라 칭함)의 방향은 주기적으로 반전된다. 이러한 반전은 평행성분 및 직각성분에 대해 /4의 거리만큼 이격된 스케일의 대향 지점들을 발생 시킨다. 결과적으로, 두 개의 센서의 출력 신호는 센서들이 서로로부터 일정한 거리로 배치됨이 없이 필요한 위상차를 보여주고, 이는 스케일의 주기에 좌우된다. 두 센서가 스케일 상의 동일 지점에서 대향하여 위치(선행의 것과 일치하는 위상차를 성취하기 위해 필요하다.)하기 때문에, 측정 헤드의 구조가 아주 소형일 수 있다.
본 발명에 따른 장치의 제 1 실시예는 자장 센서가 스케일의 종방향에 평행한평면에서 서로 직각 방향으로 연장하는 가늘고 긴 자기 저항 소자들로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 실시예의 다른 변형은 제 1및 제 2 센서의 예비 자화를 위해, 스케일의 종방향과 스케일과 측정 헤드 사이의 연결선에 대체로 직각으로 정위되는 일정 자장을 발생시키는 통상의 예비 자화 장치가 제공된다.
본 발명에 따른 장치의 제 2 실시예는 제 1 및 제 2 자장 센서가 각기 제 1 및 제 2 솔레노이드 코일로 형성되고, 이들 코일의 축은 서로 직각으로 연장하고, 제 1 코일의 축은 스케일의 종방향에 평행하게 연장하고, 제 2 코일의 축은 스케일과 측정 헤드 사이의 연결선에 평행하게 연장하는 것을 특징으로 한다.
이제, 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
제 1 도는 축 (3)상에 장착된 차량 휘일 (1)의 회전 속도 및 방향을 측정하는 장치를 개략적으로 도시하고 있다. 휘일(1,예를들어, 차의 휘일)의 림 (5)의 내측면 상에는, 예를들어, 적절한 접착제를 사용하여 휘일의 원주를 따르는 가늘고 긴 스케일이 제공된다. 스케일 (7)은 캐리어의 종방향으로 연장하는 자북극 및 자남극이 교번적으로 제공되는 가요성 재료로된 띠형 캐리어로 이루어진다. 이러한 자기 스케일은 공지되어 있다.
휘일(1)의 회전중에 스케일(7)의 자극이 측정 헤드를 연속적으로 지나도록,차량(도시되지 않음)의 휘일 서스펜션에 고정된 측정 헤드 (9)가 스케일 (7)과 마주하여 배치된다. 후에 보다 상세히 설명하는 바와 같이, 측정 헤드(9)는 자북극과 자남극의 교번적인 통과로 인하여 교번하는 자장의 영향에 노출되게 되는 자장 센서를 구비한다. 측정 헤드(9)는, 차량의 적절한 위치에 수용되어 측정 헤드에 의해 발생된 출력 신호를 처리하도록 작용하는 처리 장치 (13)에 케이블 (11)을 통하여 전기 접속된다. 처리 장치 (13)는 공지의 회로 예를들어 , GB-A제 1,492,980호의 제 3도를 참조로 하여 기술된 바와 같은 회로를 구비할 수도 있다.
제 2a도 및 제 2b도는 스케일 (7)의 일부와 측정 헤드 (9)의 일부의 상세도다. 이 도면에서, 스케일(7)은 제 1도의 원형 대신에 직선을 따라 연장하는 것으로 도시되어 있다. 이것은, 본 발명의 설명 목적상, 측정 헤드 (9)와 마주하여 위치된 스케일(7)부분이 (측정 헤드(9)영역에서 상기 원에 대한 접선과 일치하는)대략 직선인 것으로 고려될 수 있기 때문이다. 게다가 본 발명에 따른 장치는 회전을 측정하기 위한 것일뿐만 아니라(스케일 (7)이 직선을 따라 실제로 연장하는)선형 상대변위를 측정하기에도 적합하다. 측정 헤드(9)에 대한 스케일 (7)울 갖춘 림(5)의 변위는 제 2a도 및 제 2b도에 이중화살표 (15)로서 표시되어 있다. 자북극 및 자남극은 각기 N및 S로서 표시되어 있다. 게다가, 제 2a도는 측정 헤드(9)근처에서 자장 형태의 적절한 표시를 위해 약간의 자력선 (17)을 도시하고 있다. 자극의 중간 근처에서, 자장은 스케일과 측정 헤드(9)사이의 연결선 (19)에 평행하게 그리고 스케일(7)의 종방향에 거의 직각으로 연장하는 것이 명백하게 도시되어 있다. 자남극(S) 영역에서, 자장은 스케일을 향하여 정위되고, 자북극 (N)영역에서, 스케일로부터 떨어져 정위된다. 자북극과 자남극 사이의 대략 중간에서 자장은 스케일의 종방향에 거의 평행하게 정위되고, 방향은 매번 가장 가까운 최북극에서 가장 가까운 최남극으로 연장한다. 스케일(7)의 다른 지점 부근에서, 자장은 연결선(19)을 따라 정위된 성분 (직각 성분)과 스케일의 종방향에 평행하게 정위된 성분(평행 성분)으로 이루어져 있다. 스케일(7)의 두 개의 동일한 자극 사이의 거리를 라 할 때, 자장의 수평 성분의 방향뿐만 아니라 직각성분의 방향도 스케일을 따라서
Figure kpo00001
/2만큼 이동한 후 반전되게 되고, 성분의 반전 지점은 직각 성분의 반전 지점에 관하여
Figure kpo00002
/4의 거리만큼 벗어나 있다.
측정 헤드(9)는 두 개의 자장 센서를 구비하며, 제 1센서는 자장의 평행 성분의 변화에 주로 민감한 반면에, 제 2 센서는 직각 성분의 변화에 주로 민감하다.
제 2a도와 제 2b도에 도시된 실시예의 경우,이들 센서는 각기 제 1 자기저항소자(21)와 제 2 자기저항소자(23)로 형성되어 있다.
제 3도는 두 개의 자기저항소자를 확대하여 도시하고 있다. 이들 소자는 전기절연기판(25)예를들어, 작동상태에서 스케일의 종방향에 평행하게 연장하는 유리판상에 제공된, 이방성 자기저항을 갖는 강자성 재료 예를들어, 니켈-코발트의 박층으로 이루어져 있다. 두 개의 자기저항 소자(21,23)는 에칭에 의해 자기저항재료의 박층으로부터 형성된다. 이들 소자의 각각은 단부에 짧은 휭방향 접속부를 갖춘 다수의 평행하게 인접한 가늘고 긴 띠로 구성되어, 민더형상의(meander-shaped)소자를 형성 한다. 첫번째 및 마지막 스트립의 자유단부에는, 접속 와이어(도시되지 않음)가 연결되는 접속패드(27)가 제공된다. 두 개의 자기저항소자(21,23)의 종방향(즉, 이들 소자를 구성하고 있는 스트립의 종방향)은 서로 직각으로 연장한다.
두 개의 자기저항소자(21,23)를 구비한 기판(25)은, 축(31, 제 2b도 참조)이 스케일 (7)의 종방향에 직각으로 그리고 스케일과 측정 헤드(9)사이의 연결선(19)에 직각으로 연장하고 코일이 일정자장을 발생하도록 직류 전원(도시되지않음)에 접속된 솔레노이드 코일(29)에 의해 둘러싸여 있고, 코일은 두 자장 센서를 예비 자화하기 위해서 코일의 축을 따라 즉, 기판에 직각으로 정위된다.
결과적으로, 이들 센서의 경우, 각각의 종방향으로 정위된 자장 성분의 변화에 대해 최적 민감도를 성취 하는 반면에, 각각의 종방향에 직각으로 정위된 자장성분의 변화에 대해서는 거의 무반응한다. 전류와 코일(29)에 의해 형성된 예비 자화 장치는, 필요하다면, 영구자석으로 이루어진 예비 자화 장치로 대체 될 수 있다.
제 4a도와 제 4b도는 각각의 자장 센서(21', 23')가 솔레노이드 코일로 형성 된 제 2 실시예의 구조의 원리를 도시하고 있다. 공지된 바와 같이, 전압은 코일에 의해 에워싸인 자속이 변화할때 코일에서 유도된다. 솔레노이드 코일에 의해 에워싸인 공간은 비교적 길고 좁은 원통을 형성하기 때문에, 코일의 축에 평행하게 연장하는 자장 성분이 크기 또는 방향에 관하여 변화될때, 그러한 코일에 전압이 유도된다. 제 4a도 및 제 4b도로부터 알 수 있는 바와 같이, 두 개의 솔레노이드 코일(21',23')은 제 1 코일 (21')의 축 (33)아 스케일(7)의 종방향에 평행하게 연장 하도록 배열되고, 그 결과, 코일은 자장의 평행 성분의 변화에 민감하다. 제 2 코일(23')의 축 (35)은 스케일 (7)과 측정 헤드 사이의 연결선(파선으로 표시됨)과 일치하고, 그 결과, 이 코일은 자장의 직각 성분의 변화에 민감하다.
스케일(7)이 화살표(15)방향으로 측정 헤드(9,9')에 관하여 vm/s에 달하는 일정 속도로 변위될때, 자장의 평행성분 뿐만 아니라 직각 성분도 자기헤드 영역에서 진동수
Figure kpo00003
/
Figure kpo00004
로 파형으로 변화하여, 그 결과, 두 개의 자장 센서(21,23 또는 21',23')의 각각이 파형 출력 신호를 발생한다. 하나의 자장 성분의 반전 지점이 다른 성분의 반전 지점에 관하여 일정 거리
Figure kpo00005
/4만큼 벗어나 있기때문에, 두 개의 자장 센서의 출력 신호는 서로 π/2에 달하는 위상차를 보이게 된다. 제 5a도 및 제 5b도는 시간(t)의 함수로서의 센서(21,23)의 출력 신호의 예를 도시하고 있다. 곡선 (37)은 제 1 센서(21)의 출력 전압(U21)을 니타내거, 곡선(39)은 제 2 센서(23)의 출력 전압(U23)을 나타낸다. 이들 출력 전압은 제 2a도에 도시된 상태에서, 스케일이 측정 헤드(9)에 관하여 일정 속도로 좌측으로 변위될때 얻어진다. 스케일이 우측으로 이동할때, 신호(U21)는 시간축을 따라 반주기만큼 이동되고, 신호(U23)는 변화되지 않는다. 처리 장치(13)는 속도가 일정치 않을때 즉, 전압(U21,U23)이 순수한 파형이 아닐때조차 이들 신호로 부터 변위 속도 및 방향을 산출할 수 있다.

Claims (4)

  1. 연속적인 자북극과 자남극으로 구성되고 제 1 대상물상에 제공되어 변위방향으로 연장하는 가늘고 긴 스케일과, 상기 스케일에 대하여 배열된 하나이상의 제 1및 제 2 자장 센서를 포함하고 상대 변위로 인한 자북극과 자남극의 교번적인 통과의 영향하에서, 시간의 함수로서 교번하여 각각의 상기 센서에서 출력 신호를 야기시키는 자장에 상기 센서들이 노출된는 자기헤드를 포함하며, 두 센서의 출력 신호는 시간의 함수와 동일한 방식으로 변화하지만 서로에 관해 위상 변위되는 두 대상물의 상대 변위의 크기 및 방향을 측정하는 장치에 있어서, 제 1및 제 2 자장 센서는, 항상 스케일의 동일 지점에서 대향하도록 위치되며, 상기 제 1 센서는 주로 스케일의 중방향과 평행하게 연장하는 자장 성분의 변화에 주 민감하고,제 2 센서는 주로 상기 스케일의 종방향에 직각으로 그리고 상기 스케일과 상기 측정 헤드 사이의 연결선에 평행하게 연장하는 자장 성분의 변화에 민감하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 상대 변위 측정 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 자장 센서들은 스케일의 종방향과 평행한 평면에서 서로 수직 방향으로 연장하는 가늘고 긴 자기저항소자로 형성되는 것을 특징으로 하는 상대 변위 측정 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 제 1및 제 2 센서의 예비 자화를 위하여, 스케일의 종방향과 스케일과 측정 헤드 사이의 연결성에 대해 직각으로 정위된 일정 자장을 발생시키는 통상의 예비 자화 장치가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 상대 변위 측정 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 제 1및 제 2자장 센서는 각기 제 1및 제 2 솔레노이드 코일로 형성되고, 상기 코일들의 축은 서로 직각으로 연장하며, 상기 제 1코일의 축은 스케일의 종방향에 거의 평행하게 연장하고,상기 제 2 코일의 축은 스케일과 측정 헤드 사이의 연결선에 평행하게 연장하는 것을 특징으로 하는 상대 변위 측정 장치.
KR1019900003985A 1989-03-28 1990-03-24 상대 변위 측정 장치 KR0139904B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8900750A NL8900750A (nl) 1989-03-28 1989-03-28 Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing.
NL8900750 1989-03-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR900014889A KR900014889A (ko) 1990-10-25
KR0139904B1 true KR0139904B1 (ko) 1998-07-15

Family

ID=19854363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019900003985A KR0139904B1 (ko) 1989-03-28 1990-03-24 상대 변위 측정 장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5041785A (ko)
EP (1) EP0390261B1 (ko)
JP (1) JP3075727B2 (ko)
KR (1) KR0139904B1 (ko)
DE (1) DE69000943T2 (ko)
ES (1) ES2040032T3 (ko)
NL (1) NL8900750A (ko)

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE36986E (en) * 1987-10-02 2000-12-12 Massachusetts Institute Of Technology Apparatus and methods for measuring permeability and conductivity in materials using multiple wavenumber magnetic interrogations
US5453689A (en) 1991-12-06 1995-09-26 Massachusetts Institute Of Technology Magnetometer having periodic winding structure and material property estimator
US5570015A (en) * 1992-02-05 1996-10-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Linear positional displacement detector for detecting linear displacement of a permanent magnet as a change in direction of magnetic sensor unit
FR2691534B1 (fr) * 1992-05-19 1994-08-26 Moving Magnet Tech Capteur de position à aimant permanent et sonde de hall.
DE4221106C3 (de) * 1992-06-26 1996-12-19 Hitachi Ltd Synchronlage-Ermittlungs-System für einen Zug mit linearem Synchronmotor
US5525901A (en) * 1993-02-02 1996-06-11 Beaudreau Electric, Inc. Sensor systems for monitoring and measuring angular position in two or three axes
US5670879A (en) * 1993-12-13 1997-09-23 Westinghouse Electric Corporation Nondestructive inspection device and method for monitoring defects inside a turbine engine
DE69532396T2 (de) * 1994-02-28 2004-12-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetfeldmessgerät
US5602681A (en) * 1994-04-11 1997-02-11 Sony Corporation Lens barrel for a video camera, and linear feeding system thereof
US6249234B1 (en) 1994-05-14 2001-06-19 Absolute Sensors Limited Position detector
US20030062889A1 (en) * 1996-12-12 2003-04-03 Synaptics (Uk) Limited Position detector
EP0760087B9 (en) * 1994-05-14 2005-01-05 Synaptics (UK) Limited Position encoder
US5497082A (en) * 1995-01-25 1996-03-05 Honeywell Inc. Quadrature detector with a hall effect element and a magnetoresistive element
DE19504229A1 (de) * 1995-02-09 1996-08-14 Festo Kg Positions-Sensoreinrichtung
US5917321A (en) * 1995-05-19 1999-06-29 International Business Machines Corporation Process and device for determining the magnetic characteristics of thin magnetic layers
US5793206A (en) 1995-08-25 1998-08-11 Jentek Sensors, Inc. Meandering winding test circuit
DE19600616A1 (de) * 1996-01-10 1997-07-17 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Detektierung von Auslenkungen eines magnetischen Körpers
US6788221B1 (en) 1996-06-28 2004-09-07 Synaptics (Uk) Limited Signal processing apparatus and method
JP2001508178A (ja) * 1997-01-06 2001-06-19 ジェンテク・センサーズ・インコーポレーテッド 地表下の対象物のマグネトメータおよびディエレクトロメータによる探知
US6781387B2 (en) 1997-01-06 2004-08-24 Jentek Sensors, Inc. Inspection method using penetrant and dielectrometer
US6486673B1 (en) 1997-01-06 2002-11-26 Jentek Sensors, Inc. Segmented field dielectrometer
WO1998040732A1 (en) 1997-03-13 1998-09-17 Jentek Sensors, Inc. Magnetometer detection of fatigue damage in aircraft
DE19712829B4 (de) * 1997-03-26 2005-02-17 Sick Ag Vorrichtung zur Erkennung der Position eines beweglichen Gegenstandes
JP3726418B2 (ja) * 1997-04-18 2005-12-14 株式会社デンソー 回転検出装置
US6705511B1 (en) 1997-05-28 2004-03-16 Synaptics (Uk) Limited Transducer and method of manufacture
GB9720954D0 (en) 1997-10-02 1997-12-03 Scient Generics Ltd Commutators for motors
GB9721891D0 (en) 1997-10-15 1997-12-17 Scient Generics Ltd Symmetrically connected spiral transducer
ATE256865T1 (de) * 1997-10-29 2004-01-15 Jentek Sensors Inc Absolutmessung von eigenschaften mit luftkalibrierung
WO1999026062A1 (en) 1997-11-14 1999-05-27 Jentek Sensors, Inc. Multiple frequency quantitative coating characterization
GB9811151D0 (en) 1998-05-22 1998-07-22 Scient Generics Ltd Rotary encoder
ATE250784T1 (de) * 1998-11-27 2003-10-15 Synaptics Uk Ltd Positionssensor
US6218828B1 (en) * 1998-12-21 2001-04-17 Caterpillar Inc. Sensing system for determining an articulation angle between two elements
US7019672B2 (en) * 1998-12-24 2006-03-28 Synaptics (Uk) Limited Position sensor
US6326782B1 (en) * 1999-03-15 2001-12-04 Delphi Technologies, Inc. Two dimensional magnetoresistive position sensor
WO2002103622A2 (en) * 2001-05-21 2002-12-27 Synaptics (Uk) Limited Position sensor
GB2403017A (en) * 2002-03-05 2004-12-22 Synaptics Position sensor
DE10210184A1 (de) * 2002-03-07 2003-09-18 Philips Intellectual Property Anordnung zum Bestimmen der Position eines Bewegungsgeberelements
US7907130B2 (en) * 2002-06-05 2011-03-15 Synaptics (Uk) Limited Signal transfer method and apparatus
GB0317370D0 (en) * 2003-07-24 2003-08-27 Synaptics Uk Ltd Magnetic calibration array
DE10334735A1 (de) * 2003-07-26 2005-03-03 Hübner Elektromaschinen AG Tragring für einen magnetischen Drehgeber
GB0319945D0 (en) * 2003-08-26 2003-09-24 Synaptics Uk Ltd Inductive sensing system
WO2005083457A1 (ja) * 2004-02-27 2005-09-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. 長尺型磁気センサ
US7173412B2 (en) * 2004-11-30 2007-02-06 Honeywell International Inc. Quadrature sensor systems and methods
DE102006061927A1 (de) 2006-12-21 2008-06-26 Siemens Ag Verfahren und Einrichtung zum Messen des Pollagewinkels eines Magnetschwebefahrzeugs einer Magnetschwebebahn
FR2911955B1 (fr) * 2007-01-25 2009-05-15 Electricfil Automotive Soc Par Capteur magnetique de position a variation trigonometrique.
GB2461448B (en) 2007-05-10 2011-08-31 Cambridge Integrated Circuits Ltd Transducer
DE102008026604A1 (de) * 2008-06-03 2009-12-10 Continental Teves Ag & Co. Ohg Hybrid-Sensoranordnung
EP2446288B1 (de) * 2009-06-26 2013-03-20 Continental Teves AG & Co. oHG Hybrid-sensoranordnung
US9062989B2 (en) * 2010-12-15 2015-06-23 Nxp B.V. Magnetic field sensor for sensing rotation a reference component about the axis of rotation that is independent of alignment between the axis of rotation and the sensors
GB2488389C (en) 2010-12-24 2018-08-22 Cambridge Integrated Circuits Ltd Position sensing transducer
GB2503006B (en) 2012-06-13 2017-08-09 Cambridge Integrated Circuits Ltd Position sensing transducer
DE102013225806A1 (de) * 2013-12-12 2015-06-18 Continental Teves Ag & Co. Ohg Direktes Vermessen eines Stützfeldes in einem Drehzahlsensor
EP3151017B1 (en) * 2015-09-29 2018-12-12 Honeywell International Inc. Amr speed and direction sensor for use with magnetic targets
CN112344840B (zh) * 2020-10-28 2022-02-08 中北大学南通智能光机电研究院 一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5725766B2 (ko) * 1973-12-12 1982-06-01
JPS576962Y2 (ko) * 1974-07-26 1982-02-09
US4506220A (en) * 1980-11-10 1985-03-19 Canon Kabushiki Kaisha Temperature compensated magnetoresistive effect thin film magnetic sensor
JPS6145922A (ja) * 1984-08-10 1986-03-06 Hitachi Ltd 位置検出センサ
US4922187A (en) * 1987-02-13 1990-05-01 Appalachian Technologies Corporation Pulse initiator circuit

Also Published As

Publication number Publication date
DE69000943D1 (de) 1993-04-01
JP3075727B2 (ja) 2000-08-14
US5041785A (en) 1991-08-20
ES2040032T3 (es) 1993-10-01
NL8900750A (nl) 1990-10-16
EP0390261A3 (en) 1990-10-31
DE69000943T2 (de) 1993-08-05
KR900014889A (ko) 1990-10-25
JPH02291969A (ja) 1990-12-03
EP0390261A2 (en) 1990-10-03
EP0390261B1 (en) 1993-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0139904B1 (ko) 상대 변위 측정 장치
JP3028377B2 (ja) 磁気抵抗近接センサ
KR100810784B1 (ko) 자계의 방향을 감지하는 센서
US6118271A (en) Position encoder using saturable reactor interacting with magnetic fields varying with time and with position
US6300758B1 (en) Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter
EP3051265B1 (en) Force measurement device
JP3397026B2 (ja) 磁気式回転検出装置
JPH09510775A (ja) 回転あるいは角運動を検出するための装置
JP2005510859A (ja) センサ配列
JP3487452B2 (ja) 磁気検出装置
JP3352366B2 (ja) パルス信号発生装置
US4525670A (en) Generator for generating a rotational signal in accordance with changing saturation magnetic flux density of a magnetic member
EP0921407B1 (en) Magneto-resistive effect sensor and position detection device
JPS5856912B2 (ja) ２次元磁気スケ−ル装置
JP4299901B2 (ja) 位置検出装置
JPH06147816A (ja) 角度センサ
SU842654A1 (ru) Магнитошумовой датчик
KR960000909B1 (ko) 자기 저항 소자
SU684306A1 (ru) "Преобразователь перемещений и вибраций в электрический сигнал
JPH04168303A (ja) 角度検出装置
SU697793A1 (ru) Устройство дл измерени размеров ферромагнитных деталей с прерывистыми поверхност ми
JPH11174137A (ja) 磁気インピーダンス素子を具える磁気センサのバイアス磁界印加方法
JPH01233318A (ja) 位置検出器
JPS6134604B2 (ko)
JPS5815453A (ja) 回転信号発生器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120227

Year of fee payment: 15

EXPY Expiration of term