JPH0354842A - Test of integrated circuit element - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、集積回路素子のテスト方法に係り、特に集積
回路素子を集積回路保持手段となるTABテープ上に接
続した後にその接続状態をテストする場合に好適な集積
回路素子のテスト方法に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for testing an integrated circuit device, and in particular, a method for testing the connection state of an integrated circuit device after it is connected to a TAB tape serving as an integrated circuit holding means. The present invention relates to a method for testing integrated circuit devices suitable for testing.
シリコンウエハから切り出された集積回路(以下rlc
Jという.)チップの実装技術のひとつとしてTAB
(Tape Automa tedBonding)
方式が知られている(例えば日経マイクロデバイスl9
87年9月号P99〜P106参照)。第4図にこのT
AB方式によってボンデイングされたICチソプi及び
その周辺部分の様子を示す。同図においてICチノプl
はX方向を長手方向とするポリイミド製のTABテーブ
2上にボンディングされて保持されている。このTAB
テープ2には予めボンディング用のリード(導線)3が
等間隔に印刷されている。ボンディング時には、直線状
に多数配置されたICチソブlの移動に応してTABテ
ープ2を映写フィルムのコマ送りと同様な原理でX方向
に送出し、ボンディングツールの所定位置にリード3と
ICチップlが移送された時点で、リード3の内側(イ
ンナリード)とICチップ上に設けられた複数の接続端
子(パノド)とを一括してポンディング(接Vf.)す
る。1つのボンディングが完了すると次のリードとIC
チソプとがボンディングツールの所定位置に移送されて
ボンディングが行われ、以下同様の動作が繰り返される
。これにより、第4図に示すようにポンディングされた
ICチソブ1がX方向に多数並んだTABテーブ2が得
られる.
かかるTABテーブ2にポンディングされたICチンプ
1のテスト方法として、テスト用ソケントを用いる方法
が知られている.第5図にこのテスト用ソケット5と、
これに装着されたTABテー12の概略断面図を示す。Integrated circuits (rlc) cut out from silicon wafers
It's called J. ) TAB as one of the chip mounting technologies
(Tape Automa ted Bonding)
The method is known (for example, Nikkei Microdevice l9
(See September 1987 issue, pages 99-106). This T is shown in Figure 4.
This figure shows the IC chip i bonded using the AB method and its surrounding area. In the same figure, IC Tinop l
is bonded and held on a TAB tape 2 made of polyimide whose longitudinal direction is in the X direction. This TAB
Leads (conductor wires) 3 for bonding are printed on the tape 2 in advance at equal intervals. During bonding, the TAB tape 2 is sent out in the X direction in accordance with the movement of a large number of IC chips arranged in a straight line, using a principle similar to the frame-by-frame feeding of a projection film, and the leads 3 and IC chips are placed in a predetermined position on the bonding tool. 1 is transferred, the inside of the lead 3 (inner lead) and a plurality of connection terminals (panods) provided on the IC chip are bonded (connected Vf.) together. When one bonding is completed, the next lead and IC
The bonding tool is transferred to a predetermined position of the bonding tool and bonding is performed, and the same operation is repeated thereafter. As a result, a TAB table 2 in which a large number of bonded IC chips 1 are arranged in the X direction as shown in FIG. 4 is obtained. As a method for testing the IC chimp 1 loaded onto the TAB tape 2, a method using a test socket is known. Figure 5 shows this test socket 5,
A schematic sectional view of the TAB tape 12 attached to this is shown.
この方法は、テスト用ソケソト5の上部5aと下部5b
とによってICチップ1を配置したTABテープ2を上
下から挟み、テスト用ソケットの上部5aの下面に設け
られた接触ビン6とTABテーブ2上のテストパッド4
とを接触させ、外部ビン7を介して所定の電圧及びイ3
号をICチップに供給することによってICチソプlの
電気的特性及び動作特性をテストする。また、この方法
はICチノプ1とリード3とのボンディングの良、不良
についても同時にテストできる。This method uses the upper part 5a and lower part 5b of the test socket 5.
The TAB tape 2 on which the IC chip 1 is placed is sandwiched between the contact bin 6 provided on the lower surface of the upper part 5a of the test socket and the test pad 4 on the TAB tape 2.
and a predetermined voltage and voltage via the external bottle 7.
The electrical and operational characteristics of the IC chip are tested by supplying a signal to the IC chip. Furthermore, this method can simultaneously test whether the bonding between the IC chip 1 and the leads 3 is good or bad.
TABテープ2にポンディングされたICチノプ1をテ
ストする方法として、他にブローバーを用いる方法があ
る。これは第5図のようなテスト用ソケット5を用いず
にブローパー(テスト信号の収受をする探針)を直接テ
ストバソド4に接触させてICチンブの電気的特性及び
動作特性をテストする方法である。この方法もテストソ
ケットを用いる方法と同様に、ICチフプ1とリ一ド3
とのボンディング不良の検出が可能である。Another method for testing the IC tip 1 bonded to the TAB tape 2 is to use a blow bar. This is a method of testing the electrical characteristics and operating characteristics of the IC chip by bringing a bloper (a probe for receiving test signals) into direct contact with the test bath 4 without using the test socket 5 as shown in Fig. 5. . This method also uses the IC chip 1 and lead 3, similar to the method using a test socket.
It is possible to detect bonding defects with
上記のようにTABテープ2にボンディングしてからテ
ストするものの他に、TABテープ2にボンディングす
る以前にICチップ1の動作をテストする方法の一つと
してスキャンテスト方法が知られている.この方法はI
Cチップの内部に、1Cチップ本来の機能を果たす回路
とは別にスキャンテスト回路を組み込み、このスキャン
テスト回路を構戒するスキャン回路によってrCパソド
(ボンディング用のバンプが形威される部分)と内部回
路との間に設けられたスイッチイングゲートを所定のパ
ターンで順次オン、オフ(スキャンニング)することに
よってテストを行うものである。この方法によればテス
ト用のブローパーを全てのICバノドに接触する必要は
なく、少数のICパノド(例えば200ビンのICに対
してIOピン分のICパッド)のみに接触させ、スキャ
ン回路でスイソチイングゲートの切り換えを行うことに
よって全てのICパソドにブローバーを接触させたのと
同等のテス1−が可能となる。In addition to testing after bonding to the TAB tape 2 as described above, a scan test method is known as one of the methods for testing the operation of the IC chip 1 before bonding to the TAB tape 2. This method is I
Inside the C chip, a scan test circuit is built in separately from the circuit that performs the original function of the 1C chip, and the scan circuit that monitors this scan test circuit tests the rC path (the part where the bonding bump is formed) and the internal The test is performed by sequentially turning on and off (scanning) switching gates provided between the circuit and the circuit in a predetermined pattern. According to this method, it is not necessary to contact the test blooper with all IC panels, but only with a small number of IC panels (for example, IC pads for IO pins for a 200-bin IC), and the scan circuit is used to scan the test blooper. By switching the isochiing gates, it is possible to perform test 1 which is equivalent to bringing a blow bar into contact with all IC pads.
ところで、第5図に示すテスト用ソケソト5を用いるテ
スト方法の場合には、接触ビン6とテストバソド4との
接触は機械的なものであるため、テストの信頼性等の観
点からTABテープ2に印刷される各テストパッドの間
隔はある程度の距離が必要である。一方、このテストパ
ッドの間隔が広がると、これに伴って必然的に幅の広い
TABテーブ2が必要となり、高価なポイリミド製のT
ABテープそ多く使わなければならず、高コストになる
。By the way, in the case of the test method using the test socket 5 shown in FIG. 5, since the contact between the contact bottle 6 and the test socket 4 is mechanical, the TAB tape 2 is A certain distance is required between each printed test pad. On the other hand, as the distance between the test pads increases, a wider TAB table 2 is inevitably required, and an expensive polyimide TAB table 2 is required.
A large amount of AB tape must be used, resulting in high costs.
具体的な例でみると、200ピンのtCに対してテスト
パッドの間隔を0.25mmとした場合にはTABテー
プは35n+m幅のものですむ.しかし、テストの信頼
性等を考慮するとテストパッドの間隔は0.5旧程度に
する必要があり、この場合には、75mm幅のTABテ
ープを用いなければならず、その分のコストの上昇が個
々のICの価格の上昇につながる.
また、200ピン以上のICになるとテストパッドの間
隔の問題の他に、TABテープに印刷されるリードやテ
ストバンドの配線及び構造が複雑となり、更に接触ピン
とテストパッドとを確実に接触させることが困難になる
。特に、近年の多ピン化傾向に沿って将来300ビン、
500ピン・・・という多ビンのICが現れると、TA
Bテープのコスト、テスト用ソケットのコスト、テスト
コスト、及びテストの信頼性が大きな問題となる。Looking at a specific example, if the test pad spacing is 0.25 mm for a tC of 200 pins, the TAB tape needs to be 35n+m wide. However, considering test reliability, etc., it is necessary to set the test pad spacing to about 0.5 mm, and in this case, 75 mm wide TAB tape must be used, which increases the cost accordingly. This leads to an increase in the price of individual ICs. In addition, when ICs have more than 200 pins, in addition to the problem of spacing between test pads, the wiring and structure of the leads and test bands printed on the TAB tape become complicated, and it is also difficult to ensure that the contact pins and test pads are in contact with each other. It becomes difficult. In particular, in line with the recent trend toward increasing the number of pins, 300 bins in the future,
When a multi-bin IC with 500 pins appeared, TA
B-tape cost, test socket cost, test cost, and test reliability are major issues.
ブローバーを用いてテストする方法についても上記と同
様の問題が生じ、ブローバーを用いたテスト装置が大掛
かりなものとなり、テストコストが高くなる。The same problem as above arises with the method of testing using a blow bar, and the test equipment using the blow bar becomes large-scale, increasing the test cost.
一方、スキャンテスト方法の場合には上記のような問題
は生しないが、スキャンテスト方法はあくまでもICチ
ップをボンデイングする以前のテスト方法であるため、
ボンデイングの際に生じるICパッドとTABテープの
リードとの間の接続状態はテストできない,
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、接続端
子数の多い集積回路素子を幅の狭い集積回路保持手段の
導線に接続して、全ての集積回路素子の接続状態(特に
接続不良やオーブン不良)や導線の断線等を確実にテス
トすることができる集積回路素子のテスト方法を提供す
ることを目的とする。On the other hand, in the case of the scan test method, the above problem does not occur, but since the scan test method is a test method before bonding the IC chip,
The connection state between the IC pad and the lead of the TAB tape that occurs during bonding cannot be tested. It is an object of the present invention to provide a method for testing an integrated circuit element that can reliably test the connection status of all integrated circuit elements (particularly poor connections and oven failures), disconnection of the conductor, etc. by connecting to the conductor of a circuit holding means. purpose.
上記目的を達成するための本発明は、内部に自己診断機
能を有する集積回路素子の複数の接続端子と上記集積回
路素子を保持するための集積回路保持手段に設けられた
複数の導線とを接続した後に該集積回路素子の接続状態
をテストする集積回路素子のテスト方法において、
前記集積回路保持手段上に第1及び第2のテストパノド
を設け、該第1のテストパッドと一の導線とを接続し、
前記第2のテストパッドに前記一のR線以外の複数の導
線を接続し、前記自己診断機能により前記第1及び第2
のテストパソドを介して前記複数の接続端子と前記複数
の導線とのそれぞれの接続状態をテストするものである
.〔作用]
本発明は前記のfJI′iflによって、複数の接続端
子から集積回路素子本来の回路に接続される複数の経路
は、自己診断a能により所定の順番で一時的にオン状態
とされ、これにより第1のテストパッドと第2のテスト
パソドとはオン状態とされた経路を介して接続される.
かかる接続状態時に、第■のテストパッドと第2のテス
トパノドとの導通状態をテストすることによって、オン
状態とされた経路に対応する接続端子における接続の不
良を検出することができる。自己診断i能によって複数
の経路を順次オン状態とすることにより、第1及び第2
のテストパッドを用いるだけで全ての接続端子における
接続のテストを行うことが可能となる。このため、従来
方法のように集積回路保持手段上に接続端子の数(ピン
数)と同し数のテストパッドを設ける必要がなくなり、
第1及び第2のテストパッドの他に自己診断機能に必要
なテストバンドのみを設ければよい。To achieve the above object, the present invention connects a plurality of connection terminals of an integrated circuit element having a self-diagnosis function therein to a plurality of conductive wires provided on an integrated circuit holding means for holding the integrated circuit element. In the method for testing an integrated circuit device, the connection state of the integrated circuit device is tested after the integrated circuit device has been tested, comprising: providing first and second test pads on the integrated circuit holding means, and connecting the first test pad to one conducting wire. death,
A plurality of conductive wires other than the one R wire are connected to the second test pad, and the self-diagnosis function tests the first and second test pads.
The connection status of each of the plurality of connection terminals and the plurality of conductive wires is tested through the test pad. [Function] According to the present invention, the plurality of paths connected from the plurality of connection terminals to the original circuit of the integrated circuit element are temporarily turned on in a predetermined order by the self-diagnosis a function by the above fJI'ifl, As a result, the first test pad and the second test pad are connected via the path that is turned on.
In such a connected state, by testing the conduction state between the No. 1 test pad and the second test pad, it is possible to detect a connection failure at the connection terminal corresponding to the path turned on. By sequentially turning on multiple paths using the self-diagnosis function, the first and second
It is possible to test connections at all connection terminals by simply using the test pads. For this reason, it is no longer necessary to provide the same number of test pads as the number of connection terminals (number of pins) on the integrated circuit holding means as in the conventional method.
In addition to the first and second test pads, only the test bands necessary for the self-diagnosis function may be provided.
〔実施例〕
以下に本発明のl実施例を第l図乃至第3図を参照して
説明する。第1図は第4図と同様に集積回路保持手段と
なるTABテープ2に印刷されたリード(導線)3に集
積回路素子の1つであるICチップ1の各接続端子がボ
ンデイングされた状態を示すものである。尚、第1図に
おいて第4図と同一の構戒部分については同一符号を付
すことにより、その詳細な説明を省略する.本実施例で
は、第4図に示す従来のTABテープ2のテストパ,ド
の配置を第1図に示すような配置とする(簡単のため第
l図では【Cチノプの左側のテストパッドとこれに対応
するリードの配置だけを示す。)。即ち、従来の方法で
は、第4図に示すようにTABテープ2上に多数のテス
トバットを設けていたが、本実施例では、第1図に示す
ように2つのテストパ,ド4a・4bを設け、テストパ
ソド4aに接続されるリード3a以外の全てのりード3
bをテストパソド4bに接続する.第2図は第1図のテ
ストパソド4a・4bとICチップlとの接続状態及び
ICチップ1の内部回路を示すブロソク図である。同図
においてIcチソブlの周囲には一端をテストバフド4
bに共通接続されるリード3bの他端を接続するための
ICパッド(接続端子)C+、Cz、・・・、C,1(
ここで、nはICのピン数に対応する。)と、テストパ
ッド4aに接続されるリード3aの他端を接続するため
のICパソドC,,.Iとを有する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3. Similar to FIG. 4, FIG. 1 shows a state in which each connection terminal of an IC chip 1, which is one of the integrated circuit elements, is bonded to leads (conductor wires) 3 printed on a TAB tape 2, which serves as an integrated circuit holding means. It shows. In addition, in FIG. 1, the same reference numerals are given to the same parts as in FIG. 4, and detailed explanation thereof will be omitted. In this embodiment, the arrangement of the test pads and pads of the conventional TAB tape 2 shown in FIG. 4 is changed to the arrangement shown in FIG. (Only the corresponding lead placement is shown.) That is, in the conventional method, a large number of test pads are provided on the TAB tape 2 as shown in FIG. 4, but in this embodiment, two test pads 4a and 4b are provided as shown in FIG. All leads 3 other than the lead 3a that is provided and connected to the test pad 4a
Connect b to test pad 4b. FIG. 2 is a block diagram showing the connection state between the test pads 4a and 4b of FIG. 1 and the IC chip 1, and the internal circuit of the IC chip 1. As shown in FIG. In the same figure, one end is connected to the test buffed 4
IC pads (connection terminals) C+, Cz, . . . , C, 1 (
Here, n corresponds to the number of pins of the IC. ) and an IC pad C, . . . for connecting the other end of the lead 3a connected to the test pad 4a. It has I.
さらにICチソプ1の内部には、スキャン回路10、ス
イソチイングゲートA1〜A−’B+〜B、及びこれら
の周辺回路がICチップ製造時に予め組み込まれている
。Further, inside the IC chip 1, a scan circuit 10, switching gates A1 to A-'B+ to B, and their peripheral circuits are pre-installed during the manufacture of the IC chip.
スキャン回路10は、木来はボンディング前のIcチッ
プに対しスキャンテストを行うためのものであるが、本
実施例ではボンディング後におけるリード3とICチッ
プ1との接続状態のテストにも用いる。スイソチイング
ゲートA,〜A0及びスイノチイングゲートBl−B,
,は、スキャン回路10から送られる信号によって順次
オン状態又はオフ状態となり、rcチ・ノブ本来の機能
を果たす回路11+〜1l,lとICパフドC + ”
” C −との間を導通し又は遍断する。また、スキャ
ン回路10はrcパソド12a−12bを介してスキャ
ン回路IOに電源を供給するためのテストパソド13a
− 13bに接続されている.第2図には示されていな
いが、ICチップlの内部にはボンディング前にスキャ
ンテストを行うためのエネルギー、及び所定の信号を供
給し又は検出するための回路が設けられている。しかし
、この回路はボンディング後のIGパッドの接続状態の
テストには直接関係がないのでここでの説明は省略する
。The scan circuit 10 is used to perform a scan test on the IC chip before bonding, but in this embodiment it is also used to test the connection state between the leads 3 and the IC chip 1 after bonding. Switching gate A, ~A0 and switching gate Bl-B,
, are sequentially turned on or off by signals sent from the scan circuit 10, and the circuits 11+ to 1l,l and the IC puffed C+" perform the original functions of the RC chi knob.
The scan circuit 10 also has a test pad 13a for supplying power to the scan circuit IO via the rc pads 12a and 12b.
- Connected to 13b. Although not shown in FIG. 2, the IC chip 1 is provided with energy for performing a scan test before bonding and a circuit for supplying or detecting a predetermined signal. However, since this circuit is not directly related to testing the connection state of the IG pad after bonding, its explanation will be omitted here.
次に、ボンディング後の接続状態を試験するための手順
について説明する。まずスキャン回路IOによってスイ
ッチイングゲートA I ”A,,を全てオフとする(
即ちICパソドC,−Cnと回路11+〜l1,,を速
断する。)。次に、スキャン回路10からスイッチイン
グゲート81〜B,,に信号を送り、第3図に示すよう
にスイノチイングゲートB.−I3,を所定の順序で順
次にオン状態とする。たとえば、スイソチイングゲート
BIがオン状態の場合にはテストパッド4aはICパソ
ドC p* +、スイッチイングゲートB,、■cパソ
ドC1を介してテストパノド4bと接続された状態にな
る。この状態でテストパノド4a・4b間の導通チェノ
クを行うことによって、ICバソドC1及びC Il*
,のボンディング状態のテスト及び対応するり一ド3
の断線テストを行うことができる。以下同様にスイソチ
イングゲートB.〜B7を順次オン状態とすることによ
って対応するICパノドC!〜C7のポンディングのテ
スト及び各々に対応するリード3のUT線テストを行う
ことができる。Next, a procedure for testing the connection state after bonding will be described. First, the scanning circuit IO turns off all the switching gates A I "A," (
That is, the IC paths C, -Cn and the circuits 11+ to 11, , are quickly disconnected. ). Next, signals are sent from the scan circuit 10 to the switching gates 81-B, , and as shown in FIG. -I3, are sequentially turned on in a predetermined order. For example, when the switching gate BI is on, the test pad 4a is connected to the test pad 4b via the IC pad C p *+, the switching gates B, . By checking the continuity between the test panodes 4a and 4b in this state, the IC bathodes C1 and C Il*
, and the corresponding bonding condition test 3
A disconnection test can be performed. In the same manner as below, switch gate B. ~ By sequentially turning on B7, the corresponding IC panod C! A test for the bonding of ~C7 and a UT line test for each corresponding lead 3 can be performed.
上記のように、ICチップlをTABテープ2にボンデ
ィングした後にもスキャン回路lOを用いることにより
、ボンディング後のテストに必要なテストパソドは4a
・4b−13a−13bの4つのみとなり、これだけで
すべてのICパッドのボンディングのテストが可能とな
る。従って、従来のテスト用ソケットを用いた方法(第
5図参照)やプローバーによる方法と比較して、必要な
テストパッドの数が極めて少なくなる。As mentioned above, by using the scan circuit IO even after bonding the IC chip 1 to the TAB tape 2, the test pad required for the post-bonding test is 4a.
・There are only four, 4b-13a-13b, which makes it possible to test the bonding of all IC pads. Therefore, compared to the conventional method using a test socket (see FIG. 5) or the method using a prober, the number of required test pads is extremely small.
上述の如く、本発明によれば、TABテープ上に設ける
べきテストパッドの数は従来方法に比べ極めて少なくな
るので、テスト時に外部回路と機械的に接触する箇所が
大幅に減少し、各テストバノド間に十分な間隔を確保で
き、且つテストパフドと接触ピンとの接触を確実に行う
ことができ、テストの信頼性が向上する。更に、必要な
テストパノドの数が極めて少ないことから集積回路のピ
ン数が増加しても使用するTABテープの使用面積は従
来に比べてそれほど必要としないので、高価な’T A
Bテーブの使用量を削減でき、製造コス1・の低滅を
図ることもできる。As described above, according to the present invention, the number of test pads to be provided on the TAB tape is extremely reduced compared to conventional methods, so the number of mechanical contact points with external circuits during testing is greatly reduced, and the number of test pads to be provided on the TAB tape is significantly reduced. It is possible to secure a sufficient distance between the test puffs and the contact pins, and to ensure the contact between the test puff and the contact pins, thereby improving the reliability of the test. Furthermore, since the number of test panels required is extremely small, even if the number of pins of an integrated circuit increases, the area of TAB tape used will not be required as much as in the past, which means that the expensive 'T A
The amount of B-table used can be reduced, and manufacturing costs can also be reduced by 1.
第1図は本発明の一実施例に使用するTABテープ及び
これに接続されたICチップの概略を示す図、第2図は
本発明の一実施例のテストを行うIcチップ内部の回路
とTABテープ上のテストパッドとの接続状態を示すプ
ロソク図、第3図はスイッチイングゲートの動作を示す
タイミングチャート、第4図は従来のテスト方法に使用
されるTABテープ上のテストバソドとICチノブ及び
それらの接続状態を示す図、第5図はテスト用ソケノ1
・でTABテープを挟んだ状態の概略断面図である。
1・・・!J積回路(IC)チップ、
2−・・TABテープ、3・3a・3b・・・リード、
4・4a・4b・13a・13b...テストパッド、
5・・・テスト用ソケソト、
6・・・接触ピン、7・・・外部ビン、10・・・スキ
ャン回路、
11.〜1 !I1・・・回路、
12a’l2b−C. 〜Cfi..−−− ICパ
ソド、A.−AII −Bl 〜B,1・・・スイ・ノ
チイングゲート。FIG. 1 is a diagram schematically showing a TAB tape used in an embodiment of the present invention and an IC chip connected to the TAB tape, and FIG. Figure 3 is a timing chart showing the operation of the switching gate; Figure 4 is the test pad and IC chinobu on the TAB tape used in the conventional test method; and Figure 5 shows the connection state of the test socket 1.
・It is a schematic cross-sectional view of a state in which TAB tape is sandwiched. 1...! J product circuit (IC) chip, 2-...TAB tape, 3, 3a, 3b...lead,
4.4a.4b.13a.13b. .. .. test pad,
5... Test socket, 6... Contact pin, 7... External bin, 10... Scan circuit, 11. ~1! I1...Circuit, 12a'l2b-C. ~Cfi. .. --- IC Pasodo, A. -AII -Bl ~B, 1...Sui notching gate.
Claims (1)
続端子と上記集積回路素子を保持するための集積回路保
持手段に設けられた複数の導線とを接続した後に該集積
回路素子の接続状態をテストする集積回路素子のテスト
方法において、 前記集積回路保持手段上に第1及び第2のテストパッド
を設け、該第1のテストパッドと一の導線とを接続し、
前記第2のテストパッドに前記一の導線以外の複数の導
線を接続し、前記自己診断機能により前記第1及び第2
のテストパッドを介して前記複数の接続端子と前記複数
の導線とのそれぞれの接続状態をテストすることを特徴
とする集積回路素子のテスト方法。[Claims] After connecting a plurality of connection terminals of an integrated circuit element having a self-diagnosis function therein to a plurality of conductive wires provided on an integrated circuit holding means for holding the integrated circuit element, the integrated circuit In a method for testing an integrated circuit device for testing the connection state of the device, first and second test pads are provided on the integrated circuit holding means, the first test pad and one conducting wire are connected,
A plurality of conductive wires other than the one conductive wire are connected to the second test pad, and the self-diagnosis function tests the first and second test pads.
1. A method for testing an integrated circuit device, comprising testing connection states between the plurality of connection terminals and the plurality of conductive wires through test pads.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1190099A JPH0354842A (en) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | Test of integrated circuit element |
US07/553,082 US5150047A (en) | 1989-07-21 | 1990-07-17 | Member for use in assembly of integrated circuit elements and a method of testing assembled integrated circuit elements |
DE69019436T DE69019436T2 (en) | 1989-07-21 | 1990-07-20 | Integrated circuit element adapter and method using the assembled element test adapter. |
EP90307973A EP0414378B1 (en) | 1989-07-21 | 1990-07-20 | An adapter for integrated circuit elements and a method using the adapter for testing assembled elements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1190099A JPH0354842A (en) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | Test of integrated circuit element |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0354842A true JPH0354842A (en) | 1991-03-08 |
Family
ID=16252358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1190099A Pending JPH0354842A (en) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | Test of integrated circuit element |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0354842A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6475604B1 (en) | 1999-06-03 | 2002-11-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film thermistor element and method for the fabrication of thin film thermistor element |
JP2010271182A (en) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | Connection abnormality detecting device, and on-vehicle electronic apparatus using the same |
JP2014178176A (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Fujitsu Semiconductor Ltd | Semiconductor device and testing method of semiconductor device |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP1190099A patent/JPH0354842A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6475604B1 (en) | 1999-06-03 | 2002-11-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film thermistor element and method for the fabrication of thin film thermistor element |
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