JPH0354839A - 集積回路の支持体およびその製造方法と、この支持体用の集積回路と、パッケージ - Google Patents

集積回路の支持体およびその製造方法と、この支持体用の集積回路と、パッケージ

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JPH0354839A
JPH0354839A JP1290947A JP29094789A JPH0354839A JP H0354839 A JPH0354839 A JP H0354839A JP 1290947 A JP1290947 A JP 1290947A JP 29094789 A JP29094789 A JP 29094789A JP H0354839 A JPH0354839 A JP H0354839A
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conductor
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、チップと呼ばれる集積回路のTAB(Tap
e−Automated Bonding)支持体と、
この支持体の製造方法と、この支持体に取付けられる集
積回路と、上記支持体と集積回路とを用いて作られるパ
ッケージとに関するものである。
従来の技術 実際の集積回路は一辺が約1 cmのほぼ正方形の半導
体の板で、その外周部には5(12)までの端子を取付
けることができるようになっている。このような集積回
路のTAB支持体は、TAB’J−ドと呼ばれる放射状
に延びた複数のスパイダー状のリードを支持する絶縁性
基板によって構或されている。この基板は一般に可撓性
プラスチック材科、例えば「カプトン(Kapton)
 Jの登録商標で知られたプラスチンク材科で作られて
おり、1つのフレームまたは同心状の複数のフレームが
形戒されている。この支持体のパッドは基板の中心部に
向かって集束して、集積回路の入出力端子に接続されて
いる。この接続操作は一般に熱圧着溶接法を用いたIL
B (InnerLead Bonding)  と呼
ばれる方法によって行われる。集.積回路の上記TAB
支持体は映画フィルムのようなフィルム(一般にTAB
フィルムとよばれている)の形をしており、このTAB
フィルム上にはTABIJ−ドが縦方向に並んで支持さ
れており、また、側部にはこのフィルムを移動および固
定するためのスプロケット(孔)が形成されている。
高密度集積回路をパッケージ中に封止する上でこれまで
問題になっている点の1つは、いかにして集積回路に電
気エネルギーを供給するかという点にある。一般に、集
積回路に与えられる電位はアース電位と、1つまたは2
つの互いに異なる所定の電位である。これらの電位は、
集積回路の動作中、集積回路のいわゆる動作回路が要求
する電流強度の値が異なった場合でも、安定でなければ
ならない。従って、給電パッドは、電流変動に応じた自
己誘導作用或分を持つ多数の電導ラインで構或されてい
る。各給電パッドの自己誘導或分はその長さに比例する
また、実際に供給される電流の強さは大きく、集積回路
によっては、例えば3Vの電圧下で6W程度の電力を瞬
間的に浪費しする、従って2Aの電流を必要とする。し
かし、集積回路の端子の密度は高いので、給電パッドを
細くし、しかも、各給電パッドを互いに極めて密接して
配置しなければならない。従って、複数の給電パッドに
強い電流を流さなければならなくなる。しかも、上記の
ように断面の小さいパッドでは、そのオーム抵抗が大き
くなる。
こうした問題点を解決するために今日一般に採?されて
いる解決法は、パッケージの外側にある各アース端子に
電位を与え、各アース端子をパフケージ内部の各電位の
導体面に接続する方法である。この導体面はパッケージ
内に設けられたデスクリートなデカップリングコンデン
サと組み合わせるか、それがデカップリングコンデンサ
を形成しており、この導体面はさらに集積回路の直ぐ近
くで対応する給電パッドにも接続されている。従って、
給電パッドの長さは、集積回路の給電端子とそれに隣接
した導体面との間の距離にほぼ等しい長さに短くなる。
この解決法は、パッケージ内のオー■ツクなインピーダ
ンスと給電回路の自己誘導作用或分とを小さくできると
いう利点があるが、パッケージ構造が複雑になり、コス
トが高くなるという欠点がある。
発明が解決しようとする課題 本発明の目的は、上記導体面を集積回路の近傍に配置す
るための単純で効果的且つ低コストの解決法を提供する
ことにある。この導体面はパッケ−ジの構造を単純化す
るためにパッケージの導体面の代わりに用いるか、ある
いは、パッケージの導体面と一緒に用いることもできる
課題を解決するための手段 本発明のTAB支持体は、支持体の一定の区域で集積回
路に接続される多数のパッドを有する集積回路のTAB
支持体において、上記の多数のパッドの中の所定の第1
の組のパッドが、上記区域の中の上記集積回路上の所定
の位置で第1の導体ブリッジに接続されていることを特
徴としている。
さらに好ましくは、絶縁層を介して上記の第1の導体ブ
リッジに第2の導体ブリッジが固定されており、この第
2の導体ブリッジが支持体の第2の組のパッドに接続さ
れる脚部材を備えているのが好ましい。こうすることに
よって、第1と第2の導体面によって構或される2つの
電位面によって、集積回路にデカップリングキャパシタ
ンスを与えることができる。
本発明はさらに、給電端子と信号端子とを有する上記2
つの導体ブリッジを備えた支持体に用いられる集積回路
を提供するものであり、この集積回路は、給電端子のい
くつかが、各々ILB接続と第2の導体ブリッジの脚部
材の固定を実施することのできる表面を備えていること
を特徴としている。
本発明では、集積回路の外部の電位導体面を無くすこと
ができるため、より単純で、よりコンパクトなパンケー
ジ構造にすることができる。
本発明はさらに、TAB支持体に取付けられる集積回路
のパッケージを提供するものであり、このパッケージは
上記の集積回路を有し且つTAB支持体が集積回路の外
部に少なくとも2つの電位導体面を備えており、このT
AB支持体上で多数のパッドが上記パッケージの外側に
向かって延びて、相互接続フレームの対応する面に接続
されていることを特徴としている。
本発明の特徴と利点は、添付図面を参照した以下の実施
例の説明からより明らかとなろう。しかし、これらの実
施例は、本発明を何ら限定するものではない。
実施例 第1図および第2図は高密度集積回路■1を接続するの
に用いられる本発明によるTAB支持体を図示している
。第1図および第2図に図示した集積回路は周縁部に入
出力端子12を備えた半導体の板の上に形成された従来
型の集積回路である。図面を簡単にするために、第1図
に図示した集積回路の入出力端子の数は少なくしてある
。支持体10は、可撓性のある電気絶縁性の基板l5の
表面上に固定されたTAB!J−ドと呼ばれるスパイダ
ーリード線14の形をした複数の導体l3を有している
基板15は初めは映画フィルムの形をしているが、側部
にはフィルムの移動と位置決めに使うスプロケットが形
成されたTABフィルム17である。このTABフィル
ム17上には、スパイグー状のリードパット14を構或
する導体13が、基板15に形成された窓B16の周囲
に片持ち状態で配置されている。
第2図に図示した支持体10は、公知のOLB (Ou
terLead Bonding)法によって、窓部1
6内部で第1図の一点鎖線Lに沿って切断されている。
リード14のパッド13は、窓部16内部で、基板15
に連結されたフレーム19に支持されている。集積回路
11はフレーム19の内壁によって形成された中心区域
18中に配置されている。公知のように、上記窓部■6
とこの窓部16の対角線上に設けられたアーム20によ
って保持されるフレームは、フィルム17よりなる基板
l5を機械的に切断することによって形成される。次に
、予め基板に接着された銅またはアルミニウムの導体シ
ートをエッチングすることによってTAB!J−ド14
を形成し、パッド13の内側端部を集積回路1lの端子
12に一般に熱圧縮によって溶接する。
TABIJ−ド14は2種類の導体、すなわち、集積回
路11の各信号端子12Sに接続された信号導体13s
と、集積回路11に電気エネルギーを給電する導体とに
よって構或されている。この給電導体はさらに給電電位
と同数の組に分けられている。第1図および第2図の図
示した実施例では、集積回路11の接続端子12a,1
2bに2組の給電パンド13aと13bを介して2つの
給電電位Ua,Ubが各々給電される。例えば、パソド
13aはアース電位Uaに対応し、パッド13bは例え
ば約3Vの電位Ubに対応している。第1図では信号パ
ッド13Sと給電バッド13bは集積回路の片側のもの
しか図示していないが、供給パッド13baは全部図示
してある。図示した実施例のTAB支持体の特徴は、信
号パッド13Sは長いが、給電バッド13a、13bは
極めて短く、TAB支持体の内側端縁部でフレームl9
を貫通している対応する孔21a,2lbの近傍で切れ
ている点にある。このような支持体10は集積回路のパ
ッケージに適している。
第2図に図示したパッケージ50は、第■図の中央断面
II−IIに沿って見た支持体IOを含んだものである
。この第2図はパッケージ50が相互接続カード5lに
装着された最終位置を図示したものである。図示した相
互接続カード51は各給電電位Ua、Ubを受ける2つ
の導体面52aおよび52bと、パッケージ50の外部
で且つそれと同心状の周縁リング面54に導体の支柱(
点線で示してある)を介して接続されている信号線の相
互接続網53(2つの高さに形成された細い実線によっ
て図示されている)とを有している。各導体面52a、
52bは金属化された孔55a、55bに接続されてお
り、この孔の中にはパッケージ50のビンの端部56a
、56bが挿入されている。集積回路11はパッケージ
50内部で銅またはアルミニウム等の熱伝導性の導電性
材料によって形成された台57に固定されている。図示
した台57はラジエータ(図示せず)を固定するための
中央円柱を備えている。2つのピン56aは台57の2
つのコーナーに鉛直に固定されている。
集積回路11は切り抜き孔を有する絶縁性のカード(孔
明きカード)58で囲まれている。この孔明きカードカ
ード58の大きい方の2つの表面には電位Ua,IJb
に対応する導体面59a,59bが設けられている。導
体面59aは上記の台57上支持され、この台と電気的
に接触されている。支持体10の前記フレーム19は導
体面59b上に支持されている。
フレーム19の各孔21a,2lbは対応するパッド1
3aと13bの外端部に電気的に接続されたく例えば、
はんだ付けされた)バンプ60a、60bに対応してい
る。バンプ60aは孔明きカード58を貫通している導
体の支柱を介して導体面59aに接続されており、一方
、バンプ60bは導体面59bの延長上にある。デカッ
プリングコンデンサ61は孔明きカード58の外周部の
上に配置されており、各デカツプリングコンデンサ61
は導体面59aにはんだ付けされた端子61aと、孔明
きカード58を貫通した導体の支柱を介して導体面59
bに接続された端子61.bを有している。孔明きカー
ド58の2つのコーナーには導体面59bとの接触を行
うための2つの杭56bを設けられている。支持体lO
の長い信号パッド13Sはパッケージの外部に延び、は
んだ付けによってカード51の前記リング面54に固定
されている。また、パッケージ50は蓋62によって閉
じられている。
上記パッケージ50としてヨーロッパ特許出願第239
. 494号に記載の形式のものを用いることもできる
本発明は上記の支持体10に適用される。本発明では、
フレームl9の中心区域18内の第1の導体ブリッジ2
2が給電パッドの組13aと一体化される。
第1図および第2図に図示した実施例では、梧電パッド
13aが集積回路11の上方の中心区域18の内側へ向
かって延びて、この中心区域18の大部分を占める導体
ブリッジ22と一体化されている。従って、この導体ブ
リッジ22によって全部のバッド13をり・−ド14に
はんだ付けすることができる。
前記のTABフィルムの製造方法はそのまま上記導体ブ
リッジ22の製造に適用することができる。
すなわち、上記のリード14と同時に導体ブリッジ22
をエッチングによって形成するだけでよい。従って、本
発明による支持体10は、リード14のパッドの数より
少ない数の一組のパッド13aが上記導体ブリッジ22
によって一体化されているという点に特徴がある。この
導体ブリッジ22は本発明の範囲内で様々に変更するこ
とができる。例えば、集積回路1lのアクティブ面に支
持された絶縁性底部40(第2図)を備えるでいてもよ
い。図示したように、この底部40は、集積回路のアク
ティブ面全体を覆い且つILB法でリード14をはんだ
付けできるようにするための集積回路11の端子12に
対応する孔41を備えているのが好ましい。しか腰般に
、T A B IJ−ドのパ・ソドの内側端部は、位置
決めを確実に行うための絶縁体によって一体化され且つ
集積回路の全部の端子に対応する孔が形成されているの
で、本発明のTABフ4)レムの製造方法において、上
記絶縁底部40を形成するために追加の操作をする必要
はない。また、導体ブリ・ソジ22を、第1図および第
2図に図示した平らな板ではなく、リング状にすること
もできることは明らかである。同様に、支持体10の形
を変えることもできる。例えば、フレーム19の孔の無
くして、給電パッドを信号パツド13sのように長いノ
く・ンドにすることもできる。また、本発明は任意の製
造方法で作られるTABフイルム17に適用することが
できる。例えば、銅のシートをエッチングして先ずリー
ド14とブリッジ22とを作り、次に、基板15を被覆
し、この基板を所望の形状に工・ソチングして上記フィ
ルム17を作ることもできる。この場合には、基板15
の材料か底部40の材科となり、底部40は基板をエッ
チングする際に形成される。
第3図および第4図は、本発明によるTAB支持体の別
の実施例を図示している。この実施例は第1図および第
2図に図示した実施態様を改良したものである。すなわ
ち、第3図および第4図でも、供給パッド13aは第1
図および第2図に図示したように導体ブリッジ22によ
って一体化されている。しかし、この場合には、供給パ
ッド13bがフレーム■9の中心区域18に配置された
第2の導体ブリッジ23によって一体化されている。図
面を簡単にするために、信号パッド13Sは省略してあ
る。
図示した実施例では、第2の導体ブリッジ23は絶縁層
24を介して上記のブリッジ22を覆っており且つリ一
ド14の給電パッド13bに対応した脚部25を外周縁
部に備えている。この実施例の集積回路l1の特徴は、
各給電端子12bが各供給パッド13bと第2の導体ブ
リッジ23の脚部25とを接続するための表面を備えて
いる点にある。この給電端子12bは、パッド13bと
のILB接続のための従来の構造(図示した実施例では
、他の端子12a,12sと5の目型をした構造)を保
持したまま、さらに集積回路の内側に伸びて、脚部25
用の接続面12′bを形威しているのが好ましい。この
実施例では、2つの給電電位Ua,Ubがフレーム19
の中心区域18の2つの導体面22、23に与えられる
一般的には、上記第2の導体ブリッジ23の接続は、端
子12bの数だけ行われるということは明らかである。
また、2つの導体ブリッジ22、23はには各々給電電
位UaSUbが与えられるということも明らかである。
第4図に図示したような集積回路11の2つのブリッジ
22、23の構造は、導体面59a,59bの少なくと
も一部分を除去することができるパッケージに適してい
る。残りの部分は、例えばコンデンサを取付けることが
できる。
第5図は第4図に類似した図面であるが、第3図および
第4図に図示したような支持体10をさらに改良した本
発明の別の実施例を示している。この実施例では、少な
くとも1つのデカップリングコンデンサ26が導体ブリ
ッジ23の上に配置されている。このコンデンサ26の
端子26aは、第2の導体ブリッジ23と絶縁層24中
に形成された凹部27内の導体ブリッジ22上に形成さ
れた接合部を介して電位Uaになっている。このコンデ
ンサ26の他方端子26bは第2の導体ブリッジ23上
に直接はんだ付けされている。
第6図は、第3図および第4図に図示した集積回路11
を有する本発明のパッケージ28の断面図であり、第5
図に図示した支持体10の別の実施態様を示している。
このパッケージ28は、相互接続カード29上に取付け
た最終装着位置での図である。
このパッケージ28は、銅またはアルミニウム等の熱伝
導性のある導電体材料によって形られた台30を有して
いる。図示した台30はラジエータ30″ を固定する
ための同心状の円柱を備えている。集積回路11は、例
えば、エボキシ等の導体セメント31によって台30に
固定された底部を備えている。また、この集積回路1■
は、第5図に図示した支持体のような2つの導体ブリッ
ジ22、23と少なくとも1つのコンデンサを備えた支
持体10に組み合わされている。しかし、第6図の支持
体10のリードパソドl3の長さは全部同じであり、フ
レーム19は集積回路11の外周囲部の狭いバンドにな
っている。
このフレーム19は、第1図の支持体10のフレーム1
9の孔2lのような孔を有しておらず、パノド13の外
側端部が第2のフレーム19゛  に支持されている。
台30は、その4つのコーナーに固定された4本のピン
32を備えており、各ピン32はカード29に差しこま
れる。支持体IOは、ピン32に取付けられた2つの絶
縁フレーム33、34を介してパッケージ内に締付け保
持されている。このカード29は、給電電位UaSUb
を導く2つの導体面36a,36bと信号の相互接続網
42とを備えたプリント回路カードである。アース面3
6aはピン32が嵌め込まれている孔37に接続されて
いる。また、各導体面36a136bは、支持体10の
給電パッド13a,13bを接続するために、支柱38
a,38bを介して、外側の面39a,39bに接続さ
れている。信号パッド13s(図示した供給パッドによ
って隠れている)は、支柱(一点鎖線によって図示)を
介して信号相互接続網42に接続されている対応する面
39S (同様に隠れている)に固定されている。この
パッケーシ28の利点は、極めてコンパクトで、低コス
トで簡単に製造することができ、効果的なデカップリン
グ装置を有する点にある。
変形例としては、例えば、上記の台30がパッケージ用
の冷却装置を介してアースとして使用されてる場合には
、上記のピン32を無くすことができる。また、台30
と絶縁フレーム33とを1つのブロックとして形成する
こともできる。また、支持体10に第2図に図示した底
部40を設けることも当然できる。さらに、パッケージ
28、50に対しても図示した支持体IOと同様にさら
に多くの変更をすることができる。特に、フレーム19
をTAB’J−ドl4の別の面に形成することもできる
。従って、パッケージ28内で絶縁フレーム34に代え
ることができる。また、こうして変更したフレーム19
の横側に同心円のフレーム19’  を配置することも
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、高密度集積回路を備えた本発明によるTAB
支持体を上方からみた図面であり、信号導体と給電導体
の一部分は省略してあり、この図にはTABフィルムの
一部分が示してある。 第2図は、第1図に図示された支持体の線n一■による
断面図であり、この支持体は、同じ断面によって図示さ
れた第1のパッケージの内部に収容された相互接続カー
ド上に最終的に装着された状態を示している。 第3図は、第1図と類似した本発明の別の実施態様のT
AB支持体と、この支持体に取付けられた集積回路とを
上方から見た拡大図であり、第4図は、第3図に図示し
た支持体と集積回路の線IV−TVによる部分断面図で
あり、第5図は、本発明によるTAB支持体のさらに別
の実施態様を示す、第4図に類似した断面図であり、 第6図は、第3図に図示した集積回路を取付けた本発明
の第2のパッケージの断面図であり、第5図に図示した
支持体の別の実施態様を図示したものである。 (主な参照番号) 10・・・TAB支持体 11・・・集積回路12a,
12b・・・給電端子 12S・・・信号端子 13、13.a113b・・・パッド

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)支持体(10)の一定の区域(18)中の集積回
    路(11)に接続される多数のパッド(13)をを有す
    る集積回路のTAB支持体(10)において、 上記の多数のパッド(13)の中の所定の第1の組のパ
    ッド(13a)が、上記の区域(18)の中の上記集積
    回路上の所定の位置で第1の導体ブリッジ(22)に接
    続されていることを特徴とするTAB支持体。
  2. (2)上記第1の組のパッド(13a)が上記区域(1
    8)の方に延びて上記ブリッジ(22)に接続されてい
    ることを特徴とする請求項1に記載の支持体。
  3. (3)上記パッド(13a)が第1の給電電位(Ua)
    を受けるパッドであることを特徴とする請求項1または
    2に記載の支持体。
  4. (4)上記ブリッジ(22)が、上記区域(18)の表
    面をほぼ被っていることを特徴とする請求項1から3の
    いずれか一項に記載の支持体。
  5. (5)上記ブリッジ(22)が、上記集積回路(11)
    のアクティブ面に支持された絶縁底部(40)を有して
    いることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に
    記載の支持体。
  6. (6)上記絶縁底部(40)の上記パッドの下方にIL
    B法用の孔(41)が形成されていることを特徴とする
    請求項5に記載の支持体。
  7. (7)絶縁層(24)を介して上記の第1の導体ブリッ
    ジ(22)上に第2の導体ブリッジ(23)が固定され
    ており、第2の導体ブリッジ(23)が、上記多数のパ
    ッドの中の上記第1の組とは異なる第2の組のパッド(
    13b)に接続するための上記集積回路(11)に接続
    された脚部材(25)を備えていることを特徴とする請
    求項1から6のいずれか一項に記載の支持体。
  8. (8)上記第2の組のパッド(13b)が第2の給電電
    位(Ub)を受けることを特徴とする請求項7に記載の
    支持体。
  9. (9)少なくとも1つの凹部(27)が上記第2のブリ
    ッジ(23)と上記絶縁層(24)との中に形成されて
    いて、上記第1のブリッジが露出されていることを特徴
    とする請求項6から7のいずれか一項に記載の支持体。
  10. (10)上記第2のブリッジが、この第2のブリッジ(
    23)に接続された端子(26b)と上記凹部(27)
    を貫通して上記第1のブリッジ(22)に接続された端
    子(26a)とを有する少なくとも1つのデカップリン
    グコンデンサを備えていることを特徴とする請求項9に
    記載の支持体。
  11. (11)給電端子(12a、12b)と信号端子(12
    s)とを備えた請求項7から10のいずれか一項に記載
    の支持体(10)を作るための集積回路(11)であっ
    て、上記給電端子のいくつかが、各々ILB接続と第2
    の導体ブリッジの脚部材の固定とを実施することのでき
    る表面(12b、12′b)を備えていることを特徴と
    する集積回路。
  12. (12)集積回路に固定される区域(18)のに向かっ
    て収束した多数(14)のパッド(13)を導体シート
    に形成する工程を含む請求項1から10のいずれか一項
    に記載の集積回路(11)の支持体(10)の製造方法
    において、上記多数のパッドの中の第1の組のパッド(
    13a)を上記区域(18)のの中まで延ばし、この区
    域で導体ブリッジ(22)と一体化させることを特徴と
    する方法。
  13. (13)集積回路と導体ブリッジとの間に絶縁底部(4
    0)を配置することを特徴とする請求項12に記載の方
    法。
  14. (14)支持体(10)中で上記多数のパッドを支持す
    る絶縁基板(15)を形成し、上記導体ブリッジ(22
    )の下方に該絶縁基板で作られた絶縁底部(40)を設
    けることを特徴とする請求項13に記載の方法。
  15. (15)上記多数のパッドの下に上記絶縁底部を延ばし
    、固定し、該パッドの各々の下にILB接続のための孔
    を形成することを特徴とする請求項13または14に記
    載の方法。
  16. (16)集積回路の外部に少なくとも2つの電位導体面
    (59a、59b)を有するTAB支持体(10)に取
    付けられる集積回路(11)のパッケージ(50)にお
    いて、上記支持体が請求項1から10のいずれか一項に
    定義されたものであることを特徴とするパッケージ。
  17. (17)集積回路(11)と上記TAB支持体(10)
    を支持する台(30)を有する該TAB支持体(10)
    に取付けられる集積回路(11)のパッケージ(28)
    において、上記集積回路が請求項11に定義されたもの
    であり、上記TAB支持体が請求項10に定義されたも
    のであり、該TAB支持体上で上記の多数(14)のパ
    ッド(13)が上記パッケージの外側に向かって延びて
    、相互接続フレーム(29)の対応する面(39)に接
    続されていることを特徴とするパッケージ。
JP1290947A 1988-11-08 1989-11-08 集積回路の支持体およびその製造方法と、この支持体用の集積回路と、パッケージ Pending JPH0354839A (ja)

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