JPH0353146Y2

JPH0353146Y2 -

Info

Publication number: JPH0353146Y2
Application number: JP1986033536U
Authority: JP
Priority date: 1986-03-08
Filing date: 1986-03-08
Publication date: 1991-11-20
Also published as: JPS62145131U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、空気中に放出されたとき燃焼する性
質をもつガス（たとえば半導体工場で用いられる
シランガス）の配管からの漏れを検知するガス漏
れ検知装置に関するものである。

［従来の技術］半導体工場ではシランガスが多く用いられる
が、このガスは空気中に漏出すると燃焼する性質
をもつているので、特に漏れに対して厳重な注意
が必要である。

従来、この種のガス漏れ検知装置としては、定
電位電解法等によるガス検出式のものが利用され
ている。

［考案が解決しようとする問題点］しかし、ガス検出式のガス漏れ装置は高価であ
り、また開放された空間におけるガス漏洩を検知
する場合に難点がある。

本考案は、この種のガス漏れの検知手段とし
て、安価でかつ開放空間内での使用にも十分満足
な性能を発揮し得るガス漏れ検知装置を提供する
ことを目的とする。

［問題点を解決するための手段］本考案は、上記の問題点を解決するものであつ
て、空気中に放出されたとき燃焼する性質をもつ
ガスが流通する配管の外周に、気体もしくは液体
が封入された導管を巻き付けるとともに、この導
管内の気体もしくは液体の圧力変化を検出する圧
力センサを設けたことを特徴としている。

［作用］上記の装置において、配管からガスが空気中に
漏れ出ると、燃焼反応を起こし、周囲温度または
配管自体の温度が上昇する。そうすると、配管の
熱あるいは周囲の熱が導管に伝わり、導管内の気
体または液体が膨張し圧力が上昇する。そして、
その圧力上昇を圧力センサが検知することによ
り、ガス漏れが検知される。

また、ガス配管が破損するような外部衝撃が作
用した場合、配管に巻き付けられている導管にそ
の衝撃が伝わり、導管内部の気体または液体に急
激な圧力変化が生じる。これを圧力センサで検知
することにより異常が検知される。

［実施例］以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。

第１図中１はガス配管である。この配管１の内
部には、空気中に放出されると燃焼する性質をも
つシランガスが流通させられており、その外周に
は、肉薄の細い導管２が、配管１の表面に密着し
配管１と一体となるようにスパイラル状に巻き付
けられている。

この導管２は、始端、終端が圧力検出装置３に
接続されたループ状のもので、配管１の一端から
他端に向つて巻き付けられ、所定位置で折り返し
て圧力検出装置３に戻されている。この導管２の
内部には、熱膨張率の高い気体または液体が封入
されており、圧力検出装置３は、その内部に備え
られた半導体式のストレンゲージ（圧力センサ）
により、導管２内の封入物体の圧力変動を検出
し、圧力変動が所定値以上のとき警報を発するこ
とができるようになつている。

次に、このガス漏れ検知装置の作用を説明す
る。

配管１からガスが空気中に漏れ出ると、ガスが
燃焼して周囲温度または配管１自体の温度が上昇
する。そうすると、配管１の熱あるいは周囲の熱
が導管２に伝わり、導管２内の気体または液体が
膨張し圧力が上昇する。そして、その圧力上昇が
圧力検出装置３により検出されることによつて、
配管１からガス漏れが発生したことが検知され
る。

また、導管２に衝撃や外力が作用した場合、さ
らには配管１が破損するような外部衝撃が作用し
た場合、配管１に巻き付けられている導管２にそ
の衝撃が伝わり、導管２内部の気体または液体に
急激なインパルス状の異常圧力上昇が生じる。そ
して、この圧力上昇が圧力検出装置３により検出
されることによつて、配管１に異常が発生したこ
とが検知される。

なお、上記の例では導管２を配管１に対してス
パイラル状に巻き付けたが、第２図に示すよう
に、導管２を配管１表面に単に直線状に沿わせる
だけでもよい。また、圧力センサとして半導体式
ストレンゲージを例示したが、それ以外の圧力セ
ンサを用いても勿論よい。また、漏れ検知するガ
スとしてシランガスの場合を述べたが、検知対象
ガスは勿論これに限らない。

［考案の効果］以上の説明のように、本考案は、配管からガス
漏れが発生した場合、そのガスが燃焼するという
点に着目し、その燃焼による温度変化を検出する
ことによりガス漏れを検知するようにしたもので
ある。特に、この考案の場合、その温度変化を、
配管に巻き付けた導管内の熱膨張体の圧力変化に
変換して検出するというものであり、１本の導管
自体を感熱センサとして機能させる点に特徴があ
る。

したがつて、導管を配管の漏れ検知対象領域に
巻き付けてさえおけば、開放空間内においても確
実に配管からのガス漏れを確実かつ迅速に検知で
きる。また、本考案は、導管と圧力センサという
簡単な手段のみで構成されているのものであるか
ら安価である。さらに、本考案によれば配管に破
損等により外部衝撃が作用した場合にも、その異
常が検出できるので、未然に漏洩事故を防ぐこと
もできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の概観図、第２図は
本考案の他の実施例の概観図である。１……ガス配管、２……導管、３……圧力検出
装置。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

空気中に放出されたとき燃焼する性質をもつガ
スが流通する配管の外周に、気体もしくは液体が
封入された導管を配管表面に沿よう配置するとと
もに、この導管内の気体もしくは液体の圧力変化
を検出する圧力センサを設けたことを特徴とする
ガス漏れ検知装置。