JPH035271B2 - - Google Patents
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- JPH035271B2 JPH035271B2 JP27072286A JP27072286A JPH035271B2 JP H035271 B2 JPH035271 B2 JP H035271B2 JP 27072286 A JP27072286 A JP 27072286A JP 27072286 A JP27072286 A JP 27072286A JP H035271 B2 JPH035271 B2 JP H035271B2
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 138
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 47
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 19
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 11
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 3
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000012442 inert solvent Substances 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/012—Soldering with the use of hot gas
- B23K1/015—Vapour-condensation soldering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、気相式はんだ付け装置におけるフイ
ルタリング方法に関するものである。
ルタリング方法に関するものである。
(従来の技術)
第3図に示されるように、気相式はんだ付け装
置は、蒸気槽11の底部の液溜部12に収容され
た液(フツ素系不活性溶剤)13がヒータ14に
よつて加熱され蒸発されることにより、蒸気槽1
1の内部に飽和蒸気相15が形成され、この飽和
蒸気相15の気化潜熱によつて、コンベヤ16に
て蒸気槽11内に搬入されたプリント配線基板1
7とその搭載部品18との間のペーストはんだ
(クリームはんだ)がリフローされ、基板17に
部品18がリフローはんだ付けされるものであ
る。
置は、蒸気槽11の底部の液溜部12に収容され
た液(フツ素系不活性溶剤)13がヒータ14に
よつて加熱され蒸発されることにより、蒸気槽1
1の内部に飽和蒸気相15が形成され、この飽和
蒸気相15の気化潜熱によつて、コンベヤ16に
て蒸気槽11内に搬入されたプリント配線基板1
7とその搭載部品18との間のペーストはんだ
(クリームはんだ)がリフローされ、基板17に
部品18がリフローはんだ付けされるものであ
る。
このような気相式はんだ付け装置だ扱われる液
(フツ素系不活性溶剤)13は高価なものであり、
その蒸気が蒸気槽11の外部へ漏出されることは
極力防止しなければならないので、蒸気槽11の
基板搬入口部21と搬出口部22とに冷却コイル
23,24が配置され、この冷却コイル23,2
4によつて前記搬入口部21内および搬出口部2
2内が冷却されることにより、前記飽和蒸気相1
5の領域が限定されるとともに、前記搬入口部2
1および搬出口部22から外部に漏出しようとす
る飽和蒸気相15の周囲に漂う不飽和蒸気のほと
んどが凝縮、液化され、前記液溜部12に回収さ
れる。
(フツ素系不活性溶剤)13は高価なものであり、
その蒸気が蒸気槽11の外部へ漏出されることは
極力防止しなければならないので、蒸気槽11の
基板搬入口部21と搬出口部22とに冷却コイル
23,24が配置され、この冷却コイル23,2
4によつて前記搬入口部21内および搬出口部2
2内が冷却されることにより、前記飽和蒸気相1
5の領域が限定されるとともに、前記搬入口部2
1および搬出口部22から外部に漏出しようとす
る飽和蒸気相15の周囲に漂う不飽和蒸気のほと
んどが凝縮、液化され、前記液溜部12に回収さ
れる。
そして、前記液溜部12内の液13は、使用し
ているうちに前記基板17等に付着して蒸気槽1
1内に持込まれたフラツクス等によつて汚れるの
で、時々フイルタリングタンク25を経て循環さ
れ、液中の不純物が除去される。
ているうちに前記基板17等に付着して蒸気槽1
1内に持込まれたフラツクス等によつて汚れるの
で、時々フイルタリングタンク25を経て循環さ
れ、液中の不純物が除去される。
(発明が解決しようとする問題点)
しかし、前記従来のフイルタリングタンク25
は、その容量が前記液溜部12に比べ小さいた
め、作業終了後にバルブ26が開かれ、液13が
前記液溜部12からこのフイルタリングタンク2
5に排出されているときに、このフイルタリング
タンク25で濾過された液がポンプ27によつて
前記液溜部12に同時進行で戻されている。
は、その容量が前記液溜部12に比べ小さいた
め、作業終了後にバルブ26が開かれ、液13が
前記液溜部12からこのフイルタリングタンク2
5に排出されているときに、このフイルタリング
タンク25で濾過された液がポンプ27によつて
前記液溜部12に同時進行で戻されている。
このため、前記液溜部12の内部では、汚れて
いる残留液に前記フイルタリングされた液が混入
するため、汚れの程度は徐々に改善されるもの
の、その濾過速度は遅く、液が満足のいく程度ま
で濾過されるには時間がかかる問題である。
いる残留液に前記フイルタリングされた液が混入
するため、汚れの程度は徐々に改善されるもの
の、その濾過速度は遅く、液が満足のいく程度ま
で濾過されるには時間がかかる問題である。
また、従来は、前記フイルタリングタンク25
の容量が小さいため、作業終了後の前記液溜部1
2内の高温の液13が前記タンク25を経て直ぐ
に蒸気槽11内に循環するので、この蒸気槽11
の残熱によつて液13が蒸発し、その高価な蒸気
が作業終了によつて機能停止された冷却コイル2
3,24を素通りして、前記搬入出口部21,2
2から外部に漏出する問題がある。
の容量が小さいため、作業終了後の前記液溜部1
2内の高温の液13が前記タンク25を経て直ぐ
に蒸気槽11内に循環するので、この蒸気槽11
の残熱によつて液13が蒸発し、その高価な蒸気
が作業終了によつて機能停止された冷却コイル2
3,24を素通りして、前記搬入出口部21,2
2から外部に漏出する問題がある。
本発明の目的は、優れたフイルタリング効果が
短時間に得られ、また作業終了後のフイルタリン
グの際に生ずる高価な蒸気の漏れが防止されるよ
うにすることにある。
短時間に得られ、また作業終了後のフイルタリン
グの際に生ずる高価な蒸気の漏れが防止されるよ
うにすることにある。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、蒸気槽11の底部の液溜部12に収
容された液13が加熱され蒸発されることにより
蒸気槽11の内部に飽和蒸気相15が形成され、
この飽和蒸気相15の気化潜熱によつてフローは
んだ付けが行われる気相式はんだ付け装置におい
て、作業終了後に、前記液溜部12の液13が密
閉された貯液タンク33に排出され、液溜部12
から全部の液13がこの貯液タンク33に排出さ
れた後に、この貯液タンク33の液が密閉されたフ
イルタリングタンク36に排出されてこのフイル
タリングタンク内で液のフイルタリングがなさ
れ、前記貯液タンク33から全部の液がフイルタ
リングタンク36に排出された後に、このフイル
タリングタンク36から前記液溜部12に液13
が戻されるフイルタリング方法である。
容された液13が加熱され蒸発されることにより
蒸気槽11の内部に飽和蒸気相15が形成され、
この飽和蒸気相15の気化潜熱によつてフローは
んだ付けが行われる気相式はんだ付け装置におい
て、作業終了後に、前記液溜部12の液13が密
閉された貯液タンク33に排出され、液溜部12
から全部の液13がこの貯液タンク33に排出さ
れた後に、この貯液タンク33の液が密閉されたフ
イルタリングタンク36に排出されてこのフイル
タリングタンク内で液のフイルタリングがなさ
れ、前記貯液タンク33から全部の液がフイルタ
リングタンク36に排出された後に、このフイル
タリングタンク36から前記液溜部12に液13
が戻されるフイルタリング方法である。
(作用)
本発明は、前記液溜部12の内部を完全に空に
し、容量の大きな貯液タンク33にいつたん全部
の液13を貯溜した後に、その全部の液をフイル
タリングタンク36によつて一度に濾過すること
で、汚れた液と濾過された液とが混合されないよ
うにする。
し、容量の大きな貯液タンク33にいつたん全部
の液13を貯溜した後に、その全部の液をフイル
タリングタンク36によつて一度に濾過すること
で、汚れた液と濾過された液とが混合されないよ
うにする。
また、前記密閉された貯液タンク33または同
様に密閉されたフイルタリングタンク36におい
て、高温の液が蒸発し得ない低温状態に安定した
ら、その液を前記フイルタリングタンク36から
蒸気槽11の液溜部12に回収する。
様に密閉されたフイルタリングタンク36におい
て、高温の液が蒸発し得ない低温状態に安定した
ら、その液を前記フイルタリングタンク36から
蒸気槽11の液溜部12に回収する。
(実施例)
以下、本発明を第1図および第2図に示される
一実施例を参照して詳細に説明する。なを、第3
図に示された従来例と同一の部分には同一符号を
付して、その説明を省略する。
一実施例を参照して詳細に説明する。なを、第3
図に示された従来例と同一の部分には同一符号を
付して、その説明を省略する。
蒸気槽11の液溜部12の底部に、電動モータ
によつて開閉駆動される電動バルブ31を介在し
てなる管路32を経て、密閉された貯液タンク3
3が接続され、さらにこの貯液タンク33の底部
に、電動モータによつて開閉駆動される電動バル
ブ34を介在してなる管路35を経て、密閉され
たフイルタリングタンク36が接続され、そして
このフイルタリングタンク36の底部から液回収
用ポンプ37を経て前記蒸気槽11の液溜部12
まで液回収管路38が設けられている。この回収
管路38には、目の細かいフイルタ39および電
磁バルブ40が介設され、また前記管路38から
電磁バルブ41を経て前記貯液タンク33に循環
管路42が設けられている。
によつて開閉駆動される電動バルブ31を介在し
てなる管路32を経て、密閉された貯液タンク3
3が接続され、さらにこの貯液タンク33の底部
に、電動モータによつて開閉駆動される電動バル
ブ34を介在してなる管路35を経て、密閉され
たフイルタリングタンク36が接続され、そして
このフイルタリングタンク36の底部から液回収
用ポンプ37を経て前記蒸気槽11の液溜部12
まで液回収管路38が設けられている。この回収
管路38には、目の細かいフイルタ39および電
磁バルブ40が介設され、また前記管路38から
電磁バルブ41を経て前記貯液タンク33に循環
管路42が設けられている。
前記貯液タンク33は、前記液溜部12に比べ
容量が等しいか大きな密閉タンクであり、液溜部
12の全部の液13がこの貯液タンク33にいつ
たん貯溜される。
容量が等しいか大きな密閉タンクであり、液溜部
12の全部の液13がこの貯液タンク33にいつ
たん貯溜される。
前記貯液タンク33およびフイルタリングタン
ク36には、それぞれ自タンク内の全部の液が流
出したことを確認するためのフロートスイツチ4
3、44が設けられている。
ク36には、それぞれ自タンク内の全部の液が流
出したことを確認するためのフロートスイツチ4
3、44が設けられている。
前記フイルタリングタンク36は、前記貯液タ
ンク33と同様に前記液溜部12と比べて容量が
等しいか大きい密閉タンクであり、このタンク内
の上部に上面開放形のフイルタ51を内蔵したも
のである。
ンク33と同様に前記液溜部12と比べて容量が
等しいか大きい密閉タンクであり、このタンク内
の上部に上面開放形のフイルタ51を内蔵したも
のである。
第2図に示されるように、このフイルタ51
は、例えば、通液ケース52の内側面にオイル吸
着マツト53が凹状に設けられたものであり、こ
のオイル吸着マツト53は液中の高粘度成分を吸
着しやすいので、前記プリント配線基板17等に
付着されて外部から液(フツ素系不活性溶剤)1
3中に混入されたフラツクス等の高粘度不純物は
このオイル吸着マツト53で捕捉され、低粘度の
液(フツ素系不活性溶剤)のみが前記マツト53
を透過してタンク36の下部に貯溜される。
は、例えば、通液ケース52の内側面にオイル吸
着マツト53が凹状に設けられたものであり、こ
のオイル吸着マツト53は液中の高粘度成分を吸
着しやすいので、前記プリント配線基板17等に
付着されて外部から液(フツ素系不活性溶剤)1
3中に混入されたフラツクス等の高粘度不純物は
このオイル吸着マツト53で捕捉され、低粘度の
液(フツ素系不活性溶剤)のみが前記マツト53
を透過してタンク36の下部に貯溜される。
そうして、作業終了と同時に前記電動バルブ3
1が自動的にまたは手動スイツチ操作で駆動され
て管路32が開かれ、蒸気槽11の液溜部12に
貯溜されている沸点近傍の液13がこの管路32
を経て貯液タンク33に排出され、蒸気槽11が
空になるから、蒸気槽11の内部での新たな蒸気
の生成が直ちに停止される。
1が自動的にまたは手動スイツチ操作で駆動され
て管路32が開かれ、蒸気槽11の液溜部12に
貯溜されている沸点近傍の液13がこの管路32
を経て貯液タンク33に排出され、蒸気槽11が
空になるから、蒸気槽11の内部での新たな蒸気
の生成が直ちに停止される。
そして、液溜部12から全部の液13が貯液タ
ンク33に排出されたら、その状態が蒸気槽11
内に設けられた図示しないフロートスイツチによ
つて検出され、前記電動バルブ34が開かれ、貯
液タンク33内の液がフイルタリングタンク36
に排出され、このフイルタリングタンク36のフ
イルタ51によつて液13が濾過される。
ンク33に排出されたら、その状態が蒸気槽11
内に設けられた図示しないフロートスイツチによ
つて検出され、前記電動バルブ34が開かれ、貯
液タンク33内の液がフイルタリングタンク36
に排出され、このフイルタリングタンク36のフ
イルタ51によつて液13が濾過される。
そして前記貯液タンク33から全部の液がフイ
ルタリングタンク36の排出されると、その状態
がフロートスイツチ43によつて検知され、電動
バルブ34が閉じられ、電磁バルブ41が開か
れ、ポンプ37が駆動され、フイルタリングタン
ク36の貯溜液が循環管路42を経て貯液タンク
33に循環される。
ルタリングタンク36の排出されると、その状態
がフロートスイツチ43によつて検知され、電動
バルブ34が閉じられ、電磁バルブ41が開か
れ、ポンプ37が駆動され、フイルタリングタン
ク36の貯溜液が循環管路42を経て貯液タンク
33に循環される。
そして、フイルタリングタンク36から全部の
液が貯液タンク33に循環されると、その状態が
前記フロートスイツチ44によつて検出され、バ
ルブ34が開かれ、貯液タンク33の液がフイル
タリングタンク36に排出され、再度フイルタリ
ングがなされる。
液が貯液タンク33に循環されると、その状態が
前記フロートスイツチ44によつて検出され、バ
ルブ34が開かれ、貯液タンク33の液がフイル
タリングタンク36に排出され、再度フイルタリ
ングがなされる。
そして、貯液タンク33から全部の液フイルタ
リングタンク36に排出され、その状態がフロー
トスイツチ43によつて検出されたら、今度は前
記バルブ41が閉じられるとともに、前記バルブ
40が開かれ、前記ポンプ37が駆動され、この
フイルタリングタンク36内から管路38中のフ
イルタを経て蒸気槽11の液溜部12に液13が
戻される。この液の戻しは始業前にバルブ31が
閉状態でなされることは言うまでもない。
リングタンク36に排出され、その状態がフロー
トスイツチ43によつて検出されたら、今度は前
記バルブ41が閉じられるとともに、前記バルブ
40が開かれ、前記ポンプ37が駆動され、この
フイルタリングタンク36内から管路38中のフ
イルタを経て蒸気槽11の液溜部12に液13が
戻される。この液の戻しは始業前にバルブ31が
閉状態でなされることは言うまでもない。
なお、前記フイルタリングタンク36から貯液
タンク33への液の循環は場合によつては省略し
ても良いし、また逆に1回だけでなく幾度行つて
もよい。
タンク33への液の循環は場合によつては省略し
ても良いし、また逆に1回だけでなく幾度行つて
もよい。
いずれにしても、作業終了後の高温の液が自然
冷却または強制冷却により、少なくとも蒸発が起
り得ない低温状態に安定するまで、前記液溜部1
2には戻さないようにする。翌日の作業開始前に
この液の戻しを行なうとよい。
冷却または強制冷却により、少なくとも蒸発が起
り得ない低温状態に安定するまで、前記液溜部1
2には戻さないようにする。翌日の作業開始前に
この液の戻しを行なうとよい。
本発明によれば、作業終了後に、蒸気槽の液溜
部の液が密閉された貯液タンクに排出され、液溜
部から全部の液がこの貯液タンクに排出された後
に、この貯液タンクの液が密閉されたフイルタリ
ングタンクに排出され、貯液タンクから全部の液
がこのフイルタリングタンクに排出された後に、
このフイルタリングタンクから前記液溜部に液が
戻されるようにしたから、汚れた液と濾過された
液とが混合することがなく、効果的なフイルタリ
ングを短時間で行うことができ、また作業終了後
に蒸気槽の液溜部から前記貯液タンクに高温の液
を完全に排出して高温の蒸気槽内を空にすること
で、作業終了後のフイルタリングの際に生ずる高
価な蒸気の漏れを完全に防止できる。
部の液が密閉された貯液タンクに排出され、液溜
部から全部の液がこの貯液タンクに排出された後
に、この貯液タンクの液が密閉されたフイルタリ
ングタンクに排出され、貯液タンクから全部の液
がこのフイルタリングタンクに排出された後に、
このフイルタリングタンクから前記液溜部に液が
戻されるようにしたから、汚れた液と濾過された
液とが混合することがなく、効果的なフイルタリ
ングを短時間で行うことができ、また作業終了後
に蒸気槽の液溜部から前記貯液タンクに高温の液
を完全に排出して高温の蒸気槽内を空にすること
で、作業終了後のフイルタリングの際に生ずる高
価な蒸気の漏れを完全に防止できる。
第1図は本発明のフイルタリング方法を実施す
るフイルタリング回路を備えた気相式はんだ付け
装置の断面図および回路図、第2図はそのタンク
内フイルタの断面図、第3図は従来のフイルタリ
ング回路を有する気相式はんだ付け装置の断面図
および回路図である。 11……蒸気槽,12……液溜部,13……
液,15……飽和蒸気相、33……貯液タンク、
36……フイルタリングタンク。
るフイルタリング回路を備えた気相式はんだ付け
装置の断面図および回路図、第2図はそのタンク
内フイルタの断面図、第3図は従来のフイルタリ
ング回路を有する気相式はんだ付け装置の断面図
および回路図である。 11……蒸気槽,12……液溜部,13……
液,15……飽和蒸気相、33……貯液タンク、
36……フイルタリングタンク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 蒸気槽の底部の液溜部に収容された液が加熱
され蒸発されることにより蒸気槽の内部に飽和蒸
気相が形成され、この飽和蒸気相の気化潜熱によ
つてリフローはんだ付けが行われる気相式はんだ
付け装置において、作業終了後に、前記液溜部の
液が密閉された貯液タンクに排出され、液溜部か
ら全部の液がこの貯液タンクに排出された後に、
この貯液タンクの液が密閉されたフイルタリング
タンクに排出されてこのフイルタリングタンク内
で液のフイルタリングがなされ、前記貯液タンク
から全部の液がこのフイルタリングタンクに排出
された後に、このフイルタリングタンクから前記
液溜部に液が戻されることを特微とする気相式は
んだ付け装置におけるフイルタリング方法。 2 液溜部に液を戻す前に、フイルタリングタン
クから貯液タンクに液の循環を行うことを特微と
する特許請求の範囲第1項記載の気相式はんだ付
け装置におけるフイルタリング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27072286A JPS63123565A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 気相式はんだ付け装置におけるフイルタリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27072286A JPS63123565A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 気相式はんだ付け装置におけるフイルタリング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63123565A JPS63123565A (ja) | 1988-05-27 |
| JPH035271B2 true JPH035271B2 (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=17490047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27072286A Granted JPS63123565A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 気相式はんだ付け装置におけるフイルタリング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63123565A (ja) |
-
1986
- 1986-11-13 JP JP27072286A patent/JPS63123565A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63123565A (ja) | 1988-05-27 |
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