JPH0351929Y2 - - Google Patents

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JPH0351929Y2
JPH0351929Y2 JP6267488U JP6267488U JPH0351929Y2 JP H0351929 Y2 JPH0351929 Y2 JP H0351929Y2 JP 6267488 U JP6267488 U JP 6267488U JP 6267488 U JP6267488 U JP 6267488U JP H0351929 Y2 JPH0351929 Y2 JP H0351929Y2
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laminated
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shrinkage ratio
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【考案の詳細な説明】[Detailed explanation of the idea]

本考案は積層インダクターに関し、特に磁性層
と導電体とを積層してこれらを同時焼成したと
き、それらの縮率の差を少なくするようにしてク
ラツクやデラミネーシヨンの発生を防止できるよ
うにした積層インダクターに関する。 例えばIC回路素子として使用されるインダク
ターに焼結型の積層インダクターがある。この積
層インダクターは磁性体としてFe2O3を主成分と
したものを使用する。この場合、この材料を一旦
仮焼して粉砕したあと、これをシート状にして電
極を塗布し、これを積層して焼成したり、あるい
は仮焼して粉砕したあとペースト状にして印刷し
その上に電極を印刷するという工程を繰り返して
積層化したのち焼結し、これに第1図に示すよう
に外部電極4,4を設けて、積層インダクター1
を製造する。そして磁性体2としては、上記の如
くFe2O3を主成分とする材料が使用され、内部電
極3としてはPd−Ag、あるいはAgが使用され
る。 この場合内部電極3を形成するために、上記金
属あるいは金属合金を溶剤に溶融してペースト状
にしたものを使用し、また磁性体2を形成するた
め上記磁性材料にエチルセルロース等の溶解され
たターピネオール溶液を加えてペースト状にして
インダクターの形に印刷し易くしておくので、磁
性体2に上記金属ペースト体を印刷し、これらを
積層したのちに例えば900℃程度で、同時に焼結
してこれを冷却するとき、その内部電極3と磁性
体2とにおける縮率がかなり異なるために、例え
ば第2図イに示す如く、湾曲したり、あるいは第
2図ロに示す如く、クラツクCが発生したり、あ
るいはデラミネーシヨン部分Dが生ずることがあ
る。そして積層数が多層になるほどこのようなク
ラツクCやデラミネーシヨン部分Dが発生し易く
なるという欠点があつた。 従つて本考案の目的は、磁性層と内部電極を同
時焼結して積層インダクターを製作する場合に好
適な、該磁性層との縮率差の小さな導電率のあま
り低下することのない内部電極を有する積層イン
ダクターを提供することである。 そして本考案者は上記の如き問題点を改善し、
しかも上記の如き目的を達成できる積層インダク
ターを得ようとして研究を重ねた結果、磁性層と
導電体とを積層し磁性層内部に導電体を形成する
とき磁性層と導電体とを同時焼成して積層インダ
クターを得る場合に、この導電体に上記磁性層の
主成分である酸化物を5〜10重量%添加すること
により、磁性層と導電体との縮率差を小さくする
ことが可能となり、その結果クラツクやデラミネ
ーシヨン部分が発生したり、あるいは湾曲の生ず
ることの少ない積層インダクターが提供できるこ
とを見出したものである。 本考案を説明するに先立ち、従来の内部電極の
縮率と導電体に磁性層の主成分である酸化物を少
量添加した場合の縮率について、第3図にもとづ
き説明する。 第3図において曲線Aは磁性体としてFe2O3
主成分とするものを使用し、Agを電極として使
用した場合のその焼成温度及び縮率を示す。この
場合、縮率とは焼成する前の大きさに対してどの
程度の比率で縮むかということを例えば表面粗計
にて測定しこれを%で示したものである。したが
つて曲線Aより明らかな如く、Agを電極として
使用した場合、焼成温度が900℃の場合には−46
%、焼成温度800℃の場合には−40%、700℃の場
合には−33%の縮率を示す。 一方この場合Fe2O3を主成分とする磁性体は、
第3図の曲線Pに示す如く900℃にて約−17%の
縮率を示すので、Fe2O3を主成分とした磁性体を
電極として使用して900℃で焼成した場合、両者
の縮率差は29%という非常に大きな値を示し、こ
れにもとづき上記の如き問題が発生する。 しかしながらこの場合、Agに5〜10Wt%の上
記磁性体の主成分である酸化物を添加した場合に
は、曲線Bに示すように、焼成温度が900℃の場
合で−30%、800℃の場合で−23%、700℃の場合
で−13%程度となり、曲線Aに比較してその縮率
を約1/2に小さくすることができる。このように
縮率差の小さな電極材料を使用すれば、第1図に
示すように磁性体と内部電極を積層構成にした場
合、従来のような大きな縮率の内部電極を設けた
ことにより生ずる上記欠点が改善されることは明
らかである。 以下本考案の一実施例を、磁性体としてFe2O3
を主成分とするものを使用した積層インダクター
の場合にもとづき説明する。 まずAgが90Wt%、上記磁性体が10Wt%にな
るようにAgペーストに該磁性体の微粉末を添加
し、これにエチルセルロースが8Wt%溶解された
ターピネオールを約40容積%加えたのちこれらを
混合し、内部電極用Agペーストを得る。一方あ
らかじめ仮焼成ずみのFe2O3を主成分とする磁性
体を粗砕後これをポツトミルにて約30時間湿式粉
砕する。そしてこれらを100に対して、例えばエ
チルセルロースが5Wt%溶解されたターピネオー
ルを約50重量部加えてペースト化する。このよう
にして得られた磁性体ペーストにより所定形状の
シート状に印刷形成し、これを乾燥後この上に上
記内部電極用ペーストを塗布した。そしてこの内
部電極用ペーストの乾燥後、この所定形状の磁性
体印刷層を所定数積層してこれを800〜900℃で2
時間焼成した。このようにすることにより、その
内部電極と磁性体との縮率状態は第3図の曲線
B,Pの如くなり、クラツクやデラミネーシヨン
のない、しかも湾曲することもない多層構成の積
層体を得ることができた。 勿論本考案はこの実施例のみにとどまるもので
ない。第1表は他の実施例に使用する場合につい
てその添加物およびその量を示したものである。
なお第1表における%は、Wt%である。そして
上記の実施例の場合と同様に電極(主成分A+添
加酸化物B)に、エチルセルロースの溶解された
ターピネオールを60対40位の容積比でペースト状
に混合したものを使用する。
The present invention relates to a laminated inductor, and in particular, when a magnetic layer and a conductor are laminated and fired at the same time, the difference in shrinkage ratio between them is reduced to prevent the occurrence of cracks and delamination. Regarding laminated inductors. For example, sintered laminated inductors are used as IC circuit elements. This laminated inductor uses a magnetic material mainly composed of Fe 2 O 3 . In this case, this material may be calcined and crushed, then made into a sheet, coated with electrodes, laminated and fired, or calcined and crushed, made into a paste, and printed. The process of printing electrodes on top is repeated to form a layer, which is then sintered, and external electrodes 4, 4 are provided on this as shown in FIG.
Manufacture. As the magnetic body 2, a material containing Fe 2 O 3 as a main component is used as described above, and as the internal electrode 3, Pd-Ag or Ag is used. In this case, in order to form the internal electrodes 3, a paste obtained by melting the metal or metal alloy in a solvent is used, and in order to form the magnetic material 2, terpineol such as ethyl cellulose dissolved in the magnetic material is used. A solution is added to form a paste to make it easier to print in the shape of an inductor, so the above metal paste is printed on the magnetic body 2, these are laminated, and then sintered at the same time at, for example, about 900°C. When the internal electrode 3 and the magnetic material 2 are cooled, the shrinkage ratios are considerably different, so that, for example, as shown in FIG. 2A, the material may be bent, or as shown in FIG. Or, a delamination portion D may occur. There is also a drawback that as the number of laminated layers increases, such cracks C and delamination portions D become more likely to occur. Therefore, the object of the present invention is to provide an internal electrode which has a small difference in shrinkage ratio from the magnetic layer and whose conductivity does not decrease too much, which is suitable for manufacturing a laminated inductor by co-sintering the magnetic layer and the internal electrode. An object of the present invention is to provide a laminated inductor having the following characteristics. The present inventor improved the above problems,
Moreover, as a result of repeated research in an effort to obtain a multilayer inductor that can achieve the above objectives, it was found that when a magnetic layer and a conductor are laminated and the conductor is formed inside the magnetic layer, the magnetic layer and the conductor are simultaneously fired. When obtaining a laminated inductor, by adding 5 to 10% by weight of an oxide, which is the main component of the magnetic layer, to the conductor, it is possible to reduce the difference in shrinkage ratio between the magnetic layer and the conductor. As a result, it has been discovered that it is possible to provide a laminated inductor that is less likely to have cracks, delamination portions, or curves. Before explaining the present invention, the shrinkage ratio of conventional internal electrodes and the shrinkage ratio when a small amount of oxide, which is the main component of the magnetic layer, is added to the conductor will be explained based on FIG. In FIG. 3, curve A shows the firing temperature and shrinkage ratio when a magnetic material containing Fe 2 O 3 as the main component is used and Ag is used as the electrode. In this case, the shrinkage ratio refers to the ratio of shrinkage to the size before firing, measured using a surface roughness meter, for example, and expressed in %. Therefore, as is clear from curve A, when Ag is used as an electrode and the firing temperature is 900℃, -46
%, when the firing temperature is 800°C, it shows -40%, and when the firing temperature is 700°C, it shows -33%. On the other hand, in this case, the magnetic material whose main component is Fe 2 O 3 is
As shown by curve P in Figure 3, the shrinkage rate is about -17% at 900℃, so if a magnetic material mainly composed of Fe 2 O 3 is used as an electrode and fired at 900℃, the The difference in shrinkage ratio shows a very large value of 29%, and based on this, the above-mentioned problem occurs. However, in this case, when 5 to 10 Wt% of oxide, which is the main component of the above magnetic material, is added to Ag, as shown in curve B, when the firing temperature is 900°C, it is -30%, and when the firing temperature is 800°C, it is -30%. In the case of curve A, the shrinkage ratio is -23%, and in the case of 700°C, it is about -13%, and compared to curve A, the shrinkage ratio can be reduced to about 1/2. If electrode materials with a small difference in shrinkage ratio are used in this way, when the magnetic material and the internal electrode are formed into a laminated structure as shown in Figure 1, the difference in shrinkage ratio will be lower than that caused by the provision of internal electrodes with a large shrinkage ratio as in the past. It is clear that the above drawbacks can be improved. An embodiment of the present invention will be described below using Fe 2 O 3 as a magnetic material.
The explanation will be based on the case of a laminated inductor using an inductor whose main component is First, fine powder of the magnetic material is added to Ag paste so that the Ag content is 90 Wt% and the magnetic material is 10 Wt%. After adding about 40 volume % of terpineol in which 8 Wt% of ethyl cellulose is dissolved, these are mixed. Then, obtain Ag paste for internal electrodes. On the other hand, a pre-calcined magnetic material mainly composed of Fe 2 O 3 is coarsely crushed and then wet-pulverized in a pot mill for about 30 hours. Then, for example, about 50 parts by weight of terpineol in which 5 wt% of ethyl cellulose is dissolved is added to 100 parts of these to form a paste. The thus obtained magnetic paste was printed into a sheet having a predetermined shape, and after drying, the internal electrode paste was applied thereon. After drying this paste for internal electrodes, a predetermined number of printed magnetic layers of a predetermined shape are laminated and heated at 800 to 900°C.
Baked for an hour. By doing this, the shrinkage ratio between the internal electrode and the magnetic material becomes as shown by curves B and P in Fig. 3, and a multi-layered laminate with no cracks or delaminations, and no bending can be obtained. was able to obtain. Of course, the present invention is not limited to this embodiment. Table 1 shows the additives and their amounts used in other examples.
Note that % in Table 1 is Wt%. As in the case of the above embodiment, a mixture of terpineol in which ethyl cellulose is dissolved in paste form at a volume ratio of about 60:40 is used for the electrode (main component A + additive oxide B).

【表】 なお、上記各実施例において、電極に添加物を
10%より多く含有させると導電体率が低下し、Q
やtanδ特性が劣化する。そして5%より少ない場
合にはセラミツク誘電体と電極との縮率差が大き
く、酸化物の含有範囲は5〜10%が最適の範囲で
ある。 以上説明の如く本考案によれば磁性体と導電体
層を積層状態にして磁性体層を焼成するようにし
た積層インダクターを得る場合に、その導電体層
を構成する電極材料にその磁性体層を構成する主
成分である酸化物を添加することにより該磁性体
層と縮率差の小さな、しかもなじみのよい電極を
構成することができるので、積層インダクターに
クラツクやデラミネーシヨン部分を発生し難くす
ることが可能となる。
[Table] In each of the above examples, additives were added to the electrode.
If the content exceeds 10%, the conductivity will decrease and the Q
and tanδ characteristics deteriorate. When it is less than 5%, the difference in shrinkage ratio between the ceramic dielectric and the electrode is large, and the optimal range of oxide content is 5 to 10%. As explained above, according to the present invention, when obtaining a laminated inductor in which a magnetic material and a conductive layer are laminated and the magnetic layer is fired, the magnetic material layer is added to the electrode material constituting the conductive layer. By adding oxide, which is the main component of the magnetic layer, it is possible to construct an electrode that has a small shrinkage ratio difference with the magnetic layer and is compatible with the magnetic layer, thereby preventing cracks and delamination parts from occurring in the multilayer inductor. It is possible to make it difficult.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は積層インダクターの1例、第2図イ,
ロはその問題点の1例、第3図は従来の導電材料
と本考案における導電材料の特性を示すものであ
る。 1……積層インダクター、2……磁性体、3…
…内部電極、4……外部電極。
Figure 1 shows an example of a laminated inductor, Figure 2 A,
B shows an example of the problem, and FIG. 3 shows the characteristics of the conventional conductive material and the conductive material of the present invention. 1... Multilayer inductor, 2... Magnetic material, 3...
...Internal electrode, 4...External electrode.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 磁性層と導電体と積層し磁性層内部に導電体を
形成するとき磁性層と導電体とを焼成するように
した積層インダクターにおいて、上記導電体に上
記磁性層の主成分である酸化物を導電体の5ない
し10重量%添加したことを特徴とする積層インダ
クター。
In a multilayer inductor in which a magnetic layer and a conductor are laminated and the magnetic layer and the conductor are fired when forming the conductor inside the magnetic layer, the conductor is coated with an oxide that is the main component of the magnetic layer. A laminated inductor characterized by adding 5 to 10% by weight of the inductor.
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