JPH03501880A - 放射輪郭線の検出システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 放射輪郭線の検出システム 本発明は、Ｍ行Ｎ列の感光検出素子のマトリックス、これら検出素子の出力信号 をクロック信号の制御下で列方向に行単位でシフトする手段、および１つの入力 がＭ番目の行の検出素子内。

の関連する検出素子と常にｔ＃続された読出し回路、からなる放射輪郭線の検出 システムに関するものである。

放射輪郭線を観察するシステムは、とりわけ、ある輪郭を第１の角度で扇状光線 により照射する間、この照射した輪郭をその第１の角度と異なる第２の角度から 検出システムにより観察する、という三角測量において使用されている。このよ うな方法で観察する輪郭線は、その輪郭における絶対距離の計算を可能にするも のである。

その輪郭線を観察するためには、テレビジョン・カメラか、あるいは怒光素子の 行列をなすマトリックスを含む２次元の検出器かでなる検出システムを使用する ことができる。テレビジョン・カメラおよびその現在ある２次元検出器の短所は 、画素即ち検出素子がライン毎あるいは行単位で順次読出さねばならず、これが １抄出たりに観察できる輪郭の数を通常のマスク速度に制限してしまうことであ る。このように、ＭＸＮ個の怒光素子のマトリックスによる１読出しサイクル当 たり、ＭＸＮ個の読出しが必要となる。

オランダ国特許出願第８，５００，６００号は、この問題について認識した検出 システムを提供している。この特許出願によれば、この問題に対する解決法が、 諸列の感光検出素子を使用するのではなく、列状に相互に平行に置いた多数のい わゆる「位置恣応性デバイス（ＰＳＤ）Ｊを使用することにより与えられており 、このようなＰＳＤは、光線が入射しているこのＰＳＤ上の位置の測定である出 力信号を発生するようになっている。前記出力信号は、補助的な計算により判定 される。Ｎ個のＰＳＤの場合の前記公知の検出システムでは、Ｎ回、即ちＰＳＤ 当たり１回の連続する読出しにより輪郭線の変化に関する完全な情報を得ること が可能であるが、ＰＳＤの使用もまた多くの短所を有している。第一に、より高 い周波数で必要とする上記補助的計算を実現することが困難であること、またそ のような計算の実現に要求される複雑な電子装置のため高コストとなってしまう ことである。第二に、ＰＳＤの出力信号は、このようなＰＳＤの構造の故に多量 の熱ノイズを含んでいることである。この熱ノイズあるにもかかわらず充分に高 い信号／ノイズ比を達成するためには、充分な光量がＰＳＤを含む検出システム に到達するように、高レベルの光を使用することが必要である９更にまた、ＰＳ Ｄからの信号を処理するため必要な電子装置は、適当な高さの解像度および適当 な高さのダイナミック・レンジが要求される場合は、実現できないかもしくはで きたとしても非常に高いコストによってのみ可能である。

ヨーロッパ特許出願第０．１８１，５５３号もまた、観察された輪郭線を高速で 読出すことを可能にするよう意図した放射輪郭線の検出システムについて記載し ている。この目的のため、輪郭線の観察システムが提供されており、これにおい て検出システムが観察する扇状のビームにより生成された全体的な輪郭線ではな く、観察すべき輪郭に対する細い光線により投射された連続的な光点から構成さ れる輪郭線である。観察するべき輪郭により反射されたそれら光点は、多数の、 例えば８個の長方形の検出器素子からなる検出システム上に円筒状レンズを介し て線としてイメージ化される。この検出器素子の各々は、連続したそれら素子が ２進コ一ド化信号を生じるようマスクされるようになっている。このようなマス クされたある検出器素子が受取る光の量が、ある閾値を越える（各検出器素子と 接続されたレベル検出器により判定される）場合、このことはその関連の検出器 素子の出力信号が論理「１」であることを意味する。このように、検出システム の出力信号が即座にディジタル形感で得られ、その結果前記信号の処理が非常に 高速となり得る。もし上記の細い光線を発生するのに用いるレーザ源のパワーが 充分な高さであるならば、数ＭＨｚの走査速度が前記公知の検出システムにより 達成可能である。

それにも拘わらず、前記公知の検出システムには多くの欠点がある。即ち、種々 の長方形の検出器素子上に反射光線を分散する間、それら素子上において照明強 度を充分でかつ均一に配分されるようにするためには、その所要のレーザー・パ ワーは非常に高くなければならない。もし２つの隣接する検出器素子が共に「１ 」の出力信号を生じる程多くの光を受取るように光のスポットが検出器素子上に 入射する場合、得られる出力信号もまた実際の状態を全く不正確に再現すること になる。

本発明の目的は、公知の諸システムの短所を持たない検出システムを提供し、そ れによって、例えば輪郭線を公知の諸システムを用いて観察できる速度と少なく とも等しい速度で輪郭線の観察が可能であるにも拘わらず、補助的計算および（ または）強力なレーザー・パワーのための高価な電子装置が不要であるようにし 、また更に、目的として不正確な測定結果の可能性を著しく排除することにある 。

この目的のため、本発明は上記のタイプのシステムを提供するものであり、これ においては、読出し回路が、各列のＭ番目の検出素子と接続されておりかつそれ ぞれ各列と対応するＮ個の出力を有したレベル検出器回路を含んでおり、またレ ベル検出器回路の出力が最大量の光を受取ったＭ番目の行内の素子の位置を表わ すディジタル・コードを発生することができる回路と接続されている。

本発明は、２次元の検出システムにより輪郭線を観察する際、各行の検出素子内 の唯一の素子が観察すべき輪郭線から光を受取り、一方その他の検出素子は光を 全く受取らないかあるいは少なくとも非常に微量の光しか受取らない、という概 念に基づくものである。従って、行単位でその行内の全検出素子について同時に 、どの素子が閾値を越える出力信号を発生しているかを判定することにより、そ の素子をディジタル・コードにより示し、そしてこのコードにより１つの行内の どの検出素子が、一連の順次のディジタル・コード信号により反映される最大量 の光を受取ったかを行単位で決定することが可能である。このように、輪郭線の パターンが、従来の検出システムの場合における如きＭＸＮ個の出力によるので はなく、Ｍ個の読出しによりＭ行Ｎ列の検出素子を含むマトリックスにおいて決 定することができる。

以下に、本発明を、実施例に基づいて図面を参照しながら更に詳細に説明する０ 図面において、 第１図は、本発明による検出システムを示す概略図、および第２図は、１つの行 内の２つの感光素子が閾値を越える量の光を受取る場合に、信頼し得る測定結果 を得るための、第１図によるシステムの拡張を示す図である。

（実施例） 第１図は、放射輪郭線を観察するための検出システムの構造を略図的に示してい る。本発明の原理はＭ行（Ｍ＝任意の整数）およびＮ列（Ｎ＝任意の整数）を含 むマトリックスに適用し得るものであるが、本実施例は、判り易くするため、８ 行８列を含むマトリックスに基いて記述する。しかし、これが限定と見做される べきでないことに注意されたい。

本システムは、それぞれ８つの行１ａ乃至１ｈの感光素子と、８つの列２ａ乃至 ２ｈの感光素子とからなっている。従って、本検出システムは、８×８個の感光 素子からなっている。１つの特定の列の８つの感光素子の各々からの信号は、読 出しゲート電極の制御下で、前記列と関連する縦方向のＣＣＤシフト・レジスタ ３ａ乃至３ｈに対して転送することができる。クロック信号は、それ自体公知の 方法でバス４を介して前記シフト・レジスタ３ａ乃至３ｈ、および読出しゲート 電極に対して送られる。８番目の行では、各列のシフト・レジスタの最後の。

ＣＣＤ素子が、このＣＣＤ素子内の電荷をそれ自体公知の方法で対応する電圧へ 変換するため、図示しない回路に接続されている。各列と関連するこの電荷／電 圧コンバータの出力信号は、関連するレベル検出器５＆乃至５ｈの第１の入力端 子にそれぞれ！続されている。各レベル検出器は第２の入力端子を含み、この全 ての第２の入力端子は相互に接続され、そして基準電圧ＩＪ　ｒｅｆに接続され ている。レベル検出器５は、それ自体公知の方法で、第１の入力端子の信号がＵ ｒｅｆより高い場合に「１」の出力信号を送出し、また第１の入力端子の信号が Ｕｒｅｆより低い場合に「０」の出力信号を送出するように構成されている。

レベル検出器５ａ乃至５ｈの出力端子は、本実施例においては８つの入力端子６ ａ乃至６ｈおよび３つの出力端子７ａ乃至７ｈからなるダイオード・マトリック スに接続されている。このダイオード・マトリックスは、それ自体公知の形態で 構成され、検出器５ａの出力の「１」出力信号が前記ダイオード・マトリックス の出力端子７＆乃至７Ｃに対し２進数０００の信号を送出し、また検出器５ｈの 出力の「１」出力信号が出力端子７ａ乃至７ｃに対し２進数１１１の信号を送出 するように、入力端子６＆乃至６ｈを介して各々のレベル検出器５ｍ乃至５ｈに 接続されている。レベル検出器５ｂ乃至５ｇの出力の「１」出力信号は、中間の ２進数信号を出力端子７ａ乃至７ｃ’＼送出し、従って例えばレベル検出器５ｆ については信号１０１である。

このように、第１図の検出システムによれば、各行の全体について、どの感光素 子が「１」信号（素子が光を受取ったことを示す）を関連するレベル検出器を介 して送出しているかを判定することが可能である。その結果、Ｍ行Ｎ列を含むマ トリックスを、公知の検出システムにおけるＭＸＮ個のステップの代わりに、Ｍ 個のステップからなる１サイクルにて読出すことができるのである。

それ自体公知の方法で列２＆乃至２ｈ内の感光素子の機能を列３ａ乃至３ｈ内の 関連するシフト・レジスタ素子の機能と組合わせることが常に可能であるが、感 光素子がシフト・レジスタとは別個である第１図に略図的に示した構造を使用す ることが望ましい、何故なら、このような形態では、電荷の移動中、干渉信号の 可能性が最も低いためであり、この結果、第１図に線Ａで略図的に示した放射輪 郭線の変化の最も正確な表示が得られる。第１図に示した回路全体が半導体基板 上に集積されることが望ましいことは明らかであろう。

本発明の検出システムによる輪郭線の観察においてできるだけ妨害周囲光の効果 を抑制するためには、観察すべき輪郭を扇状に照射するように閃光を用いること が望ましく、マトリックス状の感光性の検出素子は、このような閃光の開のみ受 取る光の量に比例した出力信号を発生するように、クロック・パルスによって付 勢される。

もし鏡面反射が起きたならば、感光素子内の電荷の量は高い値に達することがあ る。このような感光素子から隣接して置かれた感光素子に対し電荷が溢れ出るこ とを防止するために、ブルーミング防止電極が設けられている。この結果として 、１つの行内の１つより多い感光素子が電荷溢れの結果としてＵｒｅｆよりも高 い出力信号を送出する可能性が低減される。

もし何等らの理由から、１つの行内の２つ又はそれ以上の感光素子が、１つの輪 郭線の観察中、Ｕｒｅｆより高い出力信号を送出して、いくつかのレベル検出器 ５が「１」の出力信号を発生する場合、その結果何らの措置が講じられなければ 、完全に不正確な測定結果をもたらすことになる。

このような障害を排除することが可能な第１の方法を第１図に示しである。この 目的のため、１つのダイオード（８ａ乃至８ｈ）および１つの抵抗（９ａ乃至９ ｈ）の直列回路の１つの端子が、レベル検出器５ａ乃至５ｈの各々の各出力端子 と接続され、この直列回路の他の端子は、常に他の直列回路の対応する端子とお よびレベル検出器１０の第１の入力と接続されている。

このように、諸レベル検出器の出力信号が加算され、この加算された信号が、レ ベル検出器１０により「１」信号レベルに等しい第２の基準電圧Ｕｚｒｅｆと比 較される。もしいくつかのレベル検出器５が’ＩＪ信号を発生する場合、レベル 検出器１０もまた「１」信号を発生し、これはこの時、各１行に関するいくつか のレベル検出器の「１」出力信号の結果として不正確な測定の表示となる。

もし１つの行内の２つの感光素子が関連するレベル検出器５を介して「１」信号 を発生する場合、本発明の望ましい実施例によれば、不明確でない方法で信頼し 得る測定値信号へ変換することが可能であり、これにより例えば１つの行の感光 要素の照射の実際の重心が２つのこのような素子の間にあることを判定すること が可能である。

第２図は、このような測定を可能にするため、第１区によるダイオード・マトリ ックスが拡張されるべき方法を略図的に示している。このダイオード・マトリッ クスしか示していないが、その理由は、感光素子のマトリックス構造およびその レベル検出器５との接続が第１図のシステムにおけるのと同じであるからである 。

さて、このダイオード・マトリックスは、３つの８力端子７ａ乃至７Ｃの代わり に、６つの出力端子７ａ乃至７ｆを含んでいる。入力端子６ａ乃至６ｈは、第１ 図の実施例におけるのと同じ方法でダイオード・マトリックスのダイオードを介 して出力端子７ａ乃至７ｃと接続されている。しかし、出力端子７ｄ乃至７ｆは 、このダイオード・マトリックスのダイオードを介して入力端子６ａ乃至６ｈに 対して、端子７ａ乃至７ｃにおける出力信号と相補的な出力信号をこれら端子が 生じるように接続されている。このため、出力端子７ｄ乃至７ｆは、レベル検出 器５ｈが「１」出力信号を発生する場合に０００の２進信号を、またレベル検出 器５ａが「１」出力信号を発生する場合に１１１の信号を発生する。

例示として、レベル検出器５ｂおよび５ｅが観察した放射輪郭線の結果として「 １」出力信号を発生するものと仮定する。

もし出力端子７ａ乃至７ｃからの出力信号のみが使用されるものとすれば、２進 信号１００がレベル検出器５ｂを介して得られ、信号００１がレベル検出器５ｅ を介して得られることになり、その結果、端子７ａ乃至７ｃの総合的な２進数の 出力信号が１０１となり、これは、レベル検出器５ｆが「１」出力信号を発生し ていることを示すことになる。これは、明らかに完全に不正確であり、信頼でき ない測定結果である。

しかし、第２図の実施例において付加されたダイオード・マトリックスの上記部 分の出力ｔｉ　７　ｃ！乃至７ｆは、レベル検出器５ｂの「１」出力信号に対し ては０１１の２進出力信号を、またレベル検出器５ｅの「１」出力信号に対して は１１０の信号を発生する。線７ｄ乃至７ｆにおける総合的な出力信号は、これ ら２つの信号の和、即ち２進信号１１１である。これは、レベル検出器５ａが「 １」出力信号を発生していることを表わしており、そしてこれもまた不正確な測 定結果を構成している。

しかし、もし端子７ａ乃至７ｃの２進数出力信号および端子７ｄ乃至７ｆの２進 数出力信号を別々にこれら信号の平均値を決定するように構成した回路１１へ送 るならば、回路１１の出力信号は、実際に行１ａ内の感光素子の列２ｂと感光素 子の列２ｅとの間の幾何学的中心を正確に表わすことが判る。この平均の場合は 、２進数出力信号は、感光素子１ｃと１ｄとの間の位置を表わし、これは実際に は列２ｂと２ｅとの開の幾何学的中心である。

端子７ａ乃至７ｃおよび端子７ｄ乃至７ｆの２進コードを加えることにより２進 信号が得られ、これがこの平均値プラス追加の情報の１ビ・ソトを再現し、従っ てこれにより２つの列間の位置が示される。端子７ａ乃至７０のものと相補的な ２進出力信号ｆ！：発生する３つの出力端子をもった別の°ダイオード・マトリ ックスを付加することにより、もし１つの行内の２つの感光素子が同時に照射さ れる場合に、これら２つの感光素子間の中心に関する信頼し得る情報を得ること が可能である。

もし第２図によるそのような付加的ダイオード・マトリックスを設ける場合、レ ベル検出器１０の基準電圧Ｕ２ｒｅｆを調整することにより、１つの行内の３つ 以上の感光素子が、その関連するレベル検出器を介して「１」出力信号を発生す る場合に、もしレベル検出器１０が故障信号しか発生しないようにできる。何故 なら、その追加のダイオード・マトリックスにより、そのような多数照射が、信 頼し得る測定信号を結果としてもたらすことがないからである。

しかし原理的には、更に複雑なダイオード・マトリックスおよび複雑なロジック 処理を使用することにより、同時に照射された１つの行内の３つ以上の感光素子 でも信頼し得る出力信号を得ることもまた可能である。

多数行の感光素子を含む実施例について以上に記述したが、本発明が基く原理は 、同じ効果を以て唯一の行の感光素子の場合にも適用することができる。このと き、その行全体は、レベル検出器およびダイオード・マトリックスにより並行的 に常に読出される。このような検出器は、観察すべき輪郭を扇形状の光線ではな く点状の光線を用いて照射し、そして放射輪郭線を連続的な反射光点から構成す るようになった、ヨーロッパ特許出願第０．１８１．５５３号に記載されたタイ プの放射輪郭線観察システムにおいて用いることができる。１行の６光素子を含 む本発明によるこのシステムにより、達成可能な読出し周波数は、前記ヨーロッ パ特許出願によるシステムにおけるのと全く同じ高さとなる。しかし、高パワー のレーザー光源は不要である一方で、行内の２つの感光素子の同時の照射の場合 であっても、第２図に示したダイオード・マトリックスの拡張を用いるなら−ば 、信頼し得る出力信号を常に得ることが可能である。

１行の感光素子の場合およびいくつかの行の感光素子の場合の双方において、本 発明によるシステムを用いれば「１」出力信号を関連するレベル検出器へ送出し ている感光素子の実際のレベルを簡単な方法で決定することが可能である。これ は、全てのレベル検出器の第１の入力端子に走査線を常開スイッチを介して常に 接続し、前記の「１」の出力信号と発生するレベル検出器の第１の入力端子に属 するそのスイッチを閉じるようにすることによって可能であり、その閉或は関与 するレベル検出器の「１」出力信号の制御下で生じ得る。

レベル検出器５ａ乃至５ｈおよび基準電圧Ｕ　ＲＥＦは、−緒になってレベル検 出器回路を形成しており、この回路は、各列のＭ番目の検出素子と接続され、そ して各々が各列と対応するＮ個の出力を有している。しかし、このようなレベル 検出回路の上述の実施例が唯１可能なものではない、Ｎ個の入力およびＭ゛個の 出力を持つレベル検出器回路の別の実施例は、ｒｓｃｉｅｎｔｉｆｉｅ　Ａｍｅ ｒｉｃａｎｊ第２５７号、１９８７年１２月号、６２乃至７０頁に記載のいわゆ るｎ−フロップを使用するものである。正しい接続ネットワークを選択すること により、唯１つの出力信号が「１」の状態に駆動され、他の全ての出力信号は「 ０」の状態に駆動されることになる。このようなｎ−フロップは、５光性素子と 同じチップ上にうまく集積することができ、非常にコンパクトな検出器を作るこ とができる。別の利点は、Ｍ番目の行の諸量力信号が相互にのみ比較される故に 、特定の基準電圧レベルＵ　ＲＥＦを前もって選択する必要がないことである。

最後に、本発明による検出システムがＣＣＤの使用に限定されないという事実に 注意されたい。本原理はまた、フォトダイオードがＸ線アドレス指定により読出 すことができるようになった２次元フォトダイオード・アレイの場合にも適用す ることができる。

補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の８） 平成　２年　２月　５顔爆 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 １、特許出願の表示 ＰＣＴ／ＥＰ８８１００６２０ ２、発明の名称 放射輪郭線の検出システム ３、特許出願人 住　所　オランダ国エヌエル−２６１２イクスエー　デルフト。

ファン・ミーレフニルトラーン　９　。

名　称　べ−・ファウ・オブティシエ・インダストリー・“デ・オウデ・デルフ ト” ４、代理人 住　所　東京都千代田区大手町二丁目２番１号新大手町ビル　２０６区 浄書（内容に変更なし） 英文明細書第１頁の補正 く翻訳文明細書第１頁第１行から第１頁第２？行迄）明細書 放射輪郭線の検量システム 本発明は、Ｍ行Ｎ列の感光検出素子のマトリックス、これら検出素子の出力信号 をクロック信号の制御下でシフトする手段、および１つの入力が関連する検出素 子と常に接続されておりかつレベル検出器回路を含む読出し回路、からなる放射 輪郭線の検出システムに関するものである。

放射輪郭線を観察するシステムは、とりわけ、ある輪郭を第１の角度で扇状光線 により照射する間、この照射した輪郭をその第１の角度と異なる第２の角度から 検出システムにより観察する、という三角測量において使用されている。このよ うな方法で観察する輪郭線は、その輪郭における絶対距離の計算と可能にするも のである。

その輪郭線を観察するためには、テレビジョン・カメラか、あるいは怒光素子の 行列をなすマトリックスを含む２次元の検出器かでなる検出システムを使用する ことができる。テレビジョン・カメラおよびその現在ある２次元検出器の短所は 、画素即ち検出素子がライン毎あるいは行単位で順次読出さねばならず、これが １抄出たりに観察できる輪郭の数を通常のラスク速度に制限してしまうことであ る。このように、ＭＸＮ個の感光素子のマトリックスによる１読出しサイクル当 たり、ＭＸＮ個の読出しが必要となる。

英文明細書第４頁、第４８頁の補正 （翻訳文明細書第１ρ第１に行から第μ頁第１７行迄）それにも拘わらず、前記 公知の検出システムには多くの欠点がある。即ち、種々の長方形の検出器素子上 に反射光線を分散する間、それら素子上において照明強度を充分でかつ均一に配 分されるようにするためには、その所要のレーザー・パワーは非常に高くなけれ ばならない。もし２つの隣接する検出器素子が共に「１」の出力信号を生じる程 多くの光を受取るように光のスポットが検出器素子上に入射する場合、得られる 出力信号もまた実際の状態を全く不正確に再現することになる。

ヨーロッパ特許出願第０．１５７，１４１号もまた、観察した輪郭線を高速で読 出すことを可能にするよう意図した放射輪郭線検出システムについて記載してい るやこの目的のため、全ての行は、最後の列において同時に読出される。この最 後の列に存在する情報が読出された後、全ての行内の情報が列単位で行方向にシ フトされる。各行に対して、輪郭が存在していた検出素子の位置が記憶素子に格 納される。全ての記憶素子がこの情報で充填された後、これら情報は輪郭が存在 していた全ての検出素子の位置を判定するため読出されるようになっている。

本発明の目的は、公知の諸システムの短所を持たない検出システムを提供し、そ れによって、例えば輪郭線を公知の諸システムを用いて観察できる速度と少なく とも等しい速度で輪郭線の観察が可能であるにも拘わらず、補助的計算および（ または）強力なレーザー・パワーのための高価な電子装置が不要であるようにし 、また更に、目的として不正確な測定結果の可能性を著しく排除することにある 。

この目的のため、本発明は上記のタイプのシステムを提供するものであり、これ においては、読出し回路が、各列のＭ番目の検出素子と接続されておりかつそれ ぞれ各列と対応するＮ個の出力を有したレベル検出器回路を含んでおり、またレ ベル検出器回路の出力が最大量の光を受取ったＭ番目の行内の素子の位置を表わ すディジタル・コードを発生することができる回路と接続されている。

本発明は、２次元の検出システムにより輪郭線を観察する際、各行の検出素子内 の唯一つの素子が観察すべき輪郭線から光を受取り、一方その他の検出素子は光 を全く受取らないかあるいは少なくとも非常に微量の光しか受取らない、という 概念に基づくものである。

英文明細書第１２頁の補正 （翻訳文明細書第１ρ頁第１Ｌ？行から第１／頁第ｎ行迄〉端子７ａ乃至７ｃの ものと相補的な２進出力信号を発生する３つの出力端子をもった別のダイオード ・マトリックスを付加することにより、もし１つの行内の２つの５光素子が同時 に照射される場合に、これら２つの感光素子間の中心に間する信頼し得る情報を 得ることが可能である。

もし第２図によるそのような付加的ダイオード・マトリックスを設ける場合、レ ベル検出器１０の基準電圧Ｕ２ｒｅｆを調整することにより、１つの行内の３つ 以上の感光素子が、その関連するレベル検出器を介して「１」出力信号を発生す る場合に、レベル検出器１０が故障信号しか発生しないようにできる。何故なら 、その追加のダイオード・マトリックスにより、そのような多数照射が、信頼し 得る測定信号を結果としてもたらすことがないからである。

しかし原理的には、更に複雑なダイオード・マトリックスおよび複雑なロジック 処理を使用することにより、同時に照射された１つの行内の３つ以上の感光素子 でも信頼し得る出力信号を得ることもまた可能である。

多数行の感光素子を含む実施例について以上に託述したが、本発明が基く原理は 、同じ効果を以て唯一の行の感光素子の場合にも適用することができる。このと き、その行全体は、レベル検出器およびダイオード・マトリックスにより並行的 に常に読出される。このような検出器は、観察すべき輪郭を扇形状の光線ではな く点状の光線を用いて照射し、そして放射輪郭線を連続的な反射光点から構成す るようになった、ヨーロッパ特許出願第０．１８１．５５３号に記載されたタイ プの放射輪郭線観察システムにおいて用いることができる。１行の感光素子を含 む本発明によるこのシステムにより、達成可能な読比し周波数は、前記ヨーロッ パ特許出願によるシステムにおけるのと全く同じ高さとなる。

英文明細書第１４頁の補正 （翻訳文明細書第１工頁第序行から第１９頁第拍行迄）Ｎ個の入力およびＭ個の 出力を持つレベル検出器回路の別の実施例は、’５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ　Ａｍｅ ｒｉｅａｒＢ第２５７号、１９８７年１２月号、６２乃至７０頁に記載のいわゆ るｎ−フロップを使用するものである。正しい接続ネットワークを選択すること により、唯１つの出力信号が「１」の状態に駆動され、他の全ての出力信号は− 「０」の状態に駆動されることになる。このようなｎ−フロップは、感光性素子 と同じチップ上にうまく集積することができ、非常にコンパクトな検出器を作る ことができる。別の利点は、Ｍ番目の行の請出力信号が相互にのみ比較される故 に、特定の基準電圧レベルＵ　ＲＥＦを前もって選択する必要がないことである 。

最後に、本発明による検出システムがＣＣＤの使用に限定されないという事実に 注意されたい。本原理はまた、フォトダイオードがＸ線アドレス指定により読出 すことができるようになった２次元フォトダイオード・アレイの場合にも適用す ることができる。

（請求項１〜７の全文補正、請求項８及び９は元のま′−）請求の範囲 １、Ｍ行（ｌａｓ−，１ｈ）Ｎ列（２ａ、−，２ｈ）の感光検出素子を含むマト リックスと、制御クロック信号＜４）の下で前記検出素子の出力信号をシフトす る手段と、１つの入力が常に関連する検出素子と接続されておりかつレベル検出 回路（５）を含んでいる読出し回路＜５．６．７＞と、から成る放射輪郭線（Ａ ）の検出システムにおいて、前記シフト手段は、前記検出素子の出力信号を行単 位で列方向にシフトし、また前記読出し回路の前記１つの入力が前記レベル検出 回路（５）を含んでおり、また前記レベル検出回路は、各列のＭ番目の検出素子 に接続されており、また前記レベル検出回路は各々が各列と対応するＮ個の出力 （６ａ。

・・・、６ｈ）を有しており、また前記レベル検出回路の出力が、前記Ｍ番目の 行（１ａ）内の最大量の光を受取った素子の位置を表わすディジタル・コードを 発生することができる回路に接続されていること、を特徴とする検出システム。

２、　ディジタル・コードを発生できる前記の回路がダイオード・マトリックス であり、その入力数が該マトリックス内の列数と対応し、かつその出力数が該列 数の２進コード化に必要なビット数と対応していること、を特徴とする請求項１ 記載の検出システム。

３、前記レベル検出回路の出力（６）には、第１のダイオード・マトリックスの 入出力数と等しい入出力数を有する別のダイオード・マトリックスが接続され、 該別のダイオード・マトリックスは、前記第１のダイオード・マトリックスの出 力信号と相手続補正書坊幻 平成　２年り１月／計日　煽へ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. １．Ｍ行Ｎ列の感光検出素子を含むマトリックスと、クロック信号の制御下で前 記検出素子の出力信号を行単位で列方向にシフトする手段と、１つの入力が常に Ｍ番目の行の検出素子内の関連する検出素子と接続された読出し回路と、から成 る放射輪郭線検出システムにおいて、前記読出し回路が、各列の前記Ｍ番目の検 出素子に接続されておりかつ各々が各列と対応するＮ個の出力を有するレベル検 出回路を含んでおり、また該レベル検出回路の出力が、前記Ｍ番目の行内の最大 量の光を受取った素子の位置を表わすディジタル・コードを発生することができ る回路に接続されていること、を特徴とする検出システム。
2. ２．ディジタル・コードを発生できる前記の回路がダイオード・マトリックスで あり、その入力数が該マトリックス内の列数と対応し、かつその出力数が該列数 の２進コード化に必要なビット数と対応していること、を特徴とする請求項１記 載の検出システム。
3. ３．前記レベル検出回路の出力には、第１のダイオード・マトリックスの入出力 数と等しい入出力数を有する別のダイオード・マトリックスが接続され、該別の ダイオード・マトリックスは、前記第１のダイオード・マトリックスの出力信号 と相補的な２進出力信号を発生するように構成されていること、を特徴とする請 求項２記載の検出システム。
4. ４．前記第１のダイオード・マトリックスの２進出力信号と第２のダイオード・ マトリックスの２進出力信号との間の平均値を決定する手段が設けられているこ と、を特徴とする請求項３記載の検出システム。
5. ５．前記レベル検出回路がｎ−フロップからなることを特徴とする請求項１記載 の検出システム。
6. ６．前記レベル検出回路が各列に対し１つのレベル検出器からなることを特徴と する請求項１記載の検出システム。
7. ７．全てのレベル検出器の出力信号を加算する手段が設けられており、該加算さ れた信号を基準電圧と比較する別のレベル検出器が設けられていること、を特徴 とする請求項６記載の検出システム。
8. ８．前記基準電圧が、前記列と接続された前記レベル検出器の高出力信号と実質 的に等しいこと、を特徴とする請求項７記載の検出システム。
9. ９．行の数が１に等しいことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の検 出システム。