JPH0349872A - 台座付き湿式砥石及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、使用に際して水等の液体に浸漬する必要の
ある湿式砥石と板状台座との組合せからなる台座付き湿
式砥石及びその製造方法に関する。

従来の技術 例えば磁気ディスク用アルミニウム基板等の研磨加工に
おいては、研磨装置に取着する砥石として湿式砥石つま
り使用開始前に水等への浸漬を必要とする砥石が用いら
れることがある。

このような湿式砥石は板状の台座に接着され、この台座
を介して研磨装置へ取付けられるのが一般的である。

従来、上記のような湿式砥石の台座への接着は、作業の
簡便性から水等への浸漬前の乾燥状態で行われていた。

発明が解決しようとする課題 ところが、湿式砥石を乾燥状態で台座に接着すると次の
ような欠点があった。即ち、湿式砥石が例えばポリビニ
ルアルコール（ＰＶＡ）をベースとする砥石のように水
等の含浸により体積膨脹する性質を有するものである場
合、台座への接着後使用に際して水等へ浸漬すると、該
水等の含浸により砥石の体積が彫版しようとする。しか
るに、砥石と台座との膨脂率は異なるから、第７図に示
すように台座（２００）に反りを生じてしまうという欠
点があった。このため、かかる台座付き湿式砥石を第８
図に示すように研磨装置の定盤（２１０）に取着すると
、定盤（２１０）と台座（２００）との間に隙間（２２
０）を生じてしまい、この状態で研磨を行うと台座（２
００）が加工圧に応じて板ばねのように動作することか
ら、湿式砥石（２３０）から被研磨物（２４０）へ付与
される加圧力が不均一となり、結果として真直度、平面
度の良好な研磨製品が得られないという問題を派生する
ものであった。

この発明は、かかる技術的背景に鑑みてなされたもので
あって、台座の反りを防止しひいては真直度、平面度に
優れた研磨製品を得ることのできる台座付き湿式砥石及
びその製造方法の提供を目的とするものである。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために、この発明は、湿式砥石を乾
燥状態で台座に接着するのではなく、予め水等の液体に
含浸させ体積を膨脹させた状態で接着しようというもの
である。

即ち、この発明は、水等の液体の含浸により体積膨脂す
る湿式砥石（１）が、予め液体を含浸された状態で板状
台座（２）に接着されてなることを特徴とする台座付き
湿式砥石、及び水等の液体の含浸により体積膨脂する湿
式砥石（１）を板状台座（２）に接着して台座付き湿式
砥石を製造するに際し、砥石（１）に予め液体を含浸せ
しめ、この状態で台座（２）に接着することを特徴とす
る台座付き湿式砥石の製造方法を要旨とするものである
。

作用 湿式砥石（１）は水等の含浸により体積が膨脹する。こ
の状態で台座（２）に接着するから、台座（２）にはも
はや砥石の体積膨脂に起因する反りは生じない。

実施例 次にこの発明の詳細な説明する。

第１図及び第２図において、（１）は湿式砥石、（２）
は台座である。湿式砥石（１）はＰＶＡ等の合成樹脂を
ベースとして形成されたものであり、水等の液体を含浸
すると体積膨脂を来たす性質を有している。一方、台座
（２）は厚さ１０１顛程度のアルミニウム板から構成さ
れている。

而して、前記湿式砥石（１）はこれを台座（２）へ接着
して台座付き湿式砥石（３）とするが、接着前に予め水
等の液体中へ浸漬して該液体を砥石内部に含浸させる。

この含浸により、砥石（１）の体積は乾燥状態（第１図
に鎖線で示す）に較べて最大膨脂した状態となる。この
状態で台座（２）に接着する。接着手段は特に限定され
るものではなく、公知の接着剤等を用いれば良い。

上記により製作した台座付き湿式砥石（３）は、これを
第２図に示すように、研磨装置の取付は用定盤（４）に
ねじ止め等の手段で取付ける。湿式砥石（１）は既に水
等に浸漬しであるから、再度の浸漬は不要である。しか
も湿式砥石（１）をその体積が膨脹した状態で台座（２
）に接着しであるから、台座（２）には反りが発生せず
、従って台座（２）は第２図に示すように定盤（４）と
隙間なく密接する。

研磨加工は、被研磨物（５）に砥石（１）を圧接した状
態で、研磨面に研磨液を供給しつつ砥石（１）と被研磨
物（５）の一方または両方を移動させて行う。台座（２
）には反りが生じていないから、砥石（１）は均等圧力
で被研磨物に圧接し良好な研磨が遂行される。なお、上
記の湿式砥石（１）は、−旦水等を含浸するとその後は
常時含浸状態を維持して使用されるのが通例であり、使
用中再び乾燥状態となることはほとんどない。ちなみに
、第３図に示すように、短辺Ｃ０１）：　５５ｍｍ、長
辺（ｎ２）：１７０顛、厚さ（ｔｌ）：５０ｍの台形状
の湿式砥石（１′）を水に浸漬したのち、厚さ（ｔ２）
：１０ｍの台座（２′）に接着したところ、台座（２′
）の反りはほとんど認められなかった。

これに対し、同一形状の湿式砥石（１”）を乾燥状態で
台座（２”）に接むしたのち水を含浸させたところ、第
４図に示すように、台座（２″）は砥石側が凸となる反
りを生じ、台座（２″）の最も反った部分と端縁との差
（ｈ）は約１履であった。

第５図及び第６図はこの発明に係る台座付き砥石を用い
た平面研磨機の一例を示すものである。同図において、
（Ａ）は平面研磨機であり、該研磨機は上下一対の対向
定盤（１０）　　（２０）と、各定盤の内面に取着され
た台座（２）付きの上下湿式砥石（１）（１）と、各砥
石（１）（１）の間において砥石の軸心に配置された太
陽歯車（５０）と、該太陽歯車（５０）の同心外方に配
置された内歯歯車（６０）と、前記太陽歯車（５０）と
内歯歯車（６０）のいずれにも外周面を噛合された状態
に配置された１または２以上の薄板平歯車状の被研磨物
保持器（７０）とを備えている。

また、各保持器（７０）には複数の孔が形成されており
、この孔に円板状被研磨物（Ｂ）が嵌め込み状態に保持
されるものとなされている。さらに、上下定盤（ｔｏ）
　　（２０）は駆動軸（１０ａ）（２０ａ　）及びスプ
ロケット（ｔａｂ　）　　（２０ｂ　）を介して第１モ
ーター（１１０）に接続され、該モーター（１１０）の
駆゛動により回転するものとなされている。なお、上側
定盤（１０）はシリンダー（図示せず）により昇降自在
に支持され、第５図に示す下降位置において駆動軸（１
０ａ　）の上端の係合部（１０ａ’）に係合して、下側
定盤（２０）と逆方向の回転力を付与されるものとなさ
れている。一方、太陽歯車（５０）は駆動軸（５０ａ　
）及びスプロケット（５０ｂ　）を介して第２モーター
（１２０）に、また内歯歯車（６０）は駆動軸（８０ａ
　）及びスプロケット（Ｂｏｂ　）を介して第３モータ
ー（１３０）にそれぞれ接続されており、これらモータ
ー（１２０）　　（１３０）の駆動によりそれぞれ異な
る回転数で回転し、これにより保持器（７０）を遊星歯
車状に自転させつつ公転させうるものとなされている。

なお、上下定盤（１０）　　（２０）　、太陽歯車（５
０）　、内歯歯車（６０）の回転数は、被研磨物（Ｂ）
の両面を等しく加工できるように予め所期する比率に設
定されている。

上記平面研磨機では、まず被研磨物（Ｂ）を被研磨物保
持器（７０）にセットしたのち、上下定盤（１０）　　
（２０）を接近させて湿式砥石（１）（１）を所定の加
圧力で被研磨物（Ｂ）に圧接させる。次に第１〜第３各
モーター（１１０’）（１２０）　　（１３０）を駆動
して、上下定盤（１０）（２０）　、太陽歯車（５０）
　、内歯歯車（６０）を回転させる。太陽歯車（５０）
と内歯歯車（６０）の回転により被研磨物保持器（７０
）は上下湿式砥石（１）（１）の回転中心のまわりを自
転しつつ公転し、回転する砥石（１）（１）との作用で
被研磨物（Ｂ）の研磨加工が遂行される。

図示した平面研磨機では、湿式砥石（１）を接着する台
座（２）として、第６図に示すように、ドーナツ状のア
ルミニウム円板が用いられる一方、湿式砥石（１）は複
数個の扇状単位砥石（１ａ）をもって構成され、各単位
砥石（１ａ）を水等に浸漬したのち台座（２）に沿って
ドーナツ状に配置し台座（２）に接着したものである。

発明の効果 この発明は、上述の次第で、予め水等の液体に含浸させ
体積を膨張させた状態で湿式砥石を台座に接着したもの
である。従って湿式砥石を乾燥状態で台座に接着しその
抜水等を含浸させた場合に砥石の体積膨脂に起因して生
ずる台座の反りをなくすことができる。その結果、研磨
加工時に砥石から被研磨物の加工面全体へ均一な加圧力
を付与することができ、ひいては真直度、平坦度に優れ
た研磨品の提供が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施に係る台座付き湿式砥石を、砥
石と台座とを接着する前の状態にて示す正面図、第２図
は第１図の台座付き湿式砥石を研磨機の定盤に取着した
状態を示す正面断面図、第３図は反りの発生の有無確認
試験に用いた台座付き湿式砥石の斜視図、第４図は同じ
く確認試験に用いた従来の湿式砥石の正面図、第５図は
本発明実施品を用いた平面研磨機の正面部分断面図、第
６図は第５図の研磨機の使用状態を示す要部斜視図、第
７図は従来の台座付き湿式砥石の正面図、第８図は第７
図の砥石を研磨機の定盤に取着した状態を示す正面断面
図である。 （１）・・・湿式砥石、（２）・・・台座、（３）・・
・台座付き湿式砥石。 以上

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）水等の液体の含浸により体積膨脹する湿式砥石（
   １）が、予め液体を含浸された状態で板状台座（２）に
   接着されてなることを特徴とする台座付き湿式砥石。
2. （２）水等の液体の含浸により体積膨脹する湿式砥石（
   １）を板状台座（２）に接着して台座付き湿式砥石を製
   造するに際し、砥石（１）に予め液体を含浸せしめ、こ
   の状態で台座（２）に接着することを特徴とする台座付
   き湿式砥石の製造方法。