JPH0349634B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0349634B2 JPH0349634B2 JP62154457A JP15445787A JPH0349634B2 JP H0349634 B2 JPH0349634 B2 JP H0349634B2 JP 62154457 A JP62154457 A JP 62154457A JP 15445787 A JP15445787 A JP 15445787A JP H0349634 B2 JPH0349634 B2 JP H0349634B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- rotary pump
- aqueous solution
- caustic soda
- chemical solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本発明は真空蒸着法による半導体デバイスの製
造工程で使用した無機ガス、水素化物、ハロゲン
化物、有機金属化合物等の半導体材料ガスが付着
した油回転ポンプ（ロータリーポンプ）の該蒸着
残滓物を洗浄処理して再利用可能とした油回転ポ
ンプの洗浄処理方法に関する。
造工程で使用した無機ガス、水素化物、ハロゲン
化物、有機金属化合物等の半導体材料ガスが付着
した油回転ポンプ（ロータリーポンプ）の該蒸着
残滓物を洗浄処理して再利用可能とした油回転ポ
ンプの洗浄処理方法に関する。
＜従来の技術＞
半導体デバイスの高性能化に伴う製造技術の革
新に対して多種多様の半導体材料ガスが真空蒸着
法で使用されている。これらのガスはきわめて毒
性が強く、真空蒸着機器である油回転ポンプが非
常に高価であるにかかわらず、極めて危険性が高
いため廃棄処分するか、あるいは保管の状態にあ
る。
新に対して多種多様の半導体材料ガスが真空蒸着
法で使用されている。これらのガスはきわめて毒
性が強く、真空蒸着機器である油回転ポンプが非
常に高価であるにかかわらず、極めて危険性が高
いため廃棄処分するか、あるいは保管の状態にあ
る。
＜発明が解決しようとする問題点＞
本発明は上記油回転ポンプに付着した有害な蒸
着残滓物を簡単かつ合理的に洗浄処理して無害な
状態となし新品同様の状態で再利用可能とした油
回転ポンプの洗浄処理方法を提供することを目的
とする。
着残滓物を簡単かつ合理的に洗浄処理して無害な
状態となし新品同様の状態で再利用可能とした油
回転ポンプの洗浄処理方法を提供することを目的
とする。
＜問題点を解決するための手段＞
本発明に係る油回転ポンプの洗浄処理方法は油
回転ポンプを解体して、各々の部品を苛性ソーダ
水溶液等の薬液に浸漬し、次いで溶解しない固
油・蒸着残滓物を除去した後、トリクレン等の溶
剤で洗浄し、さらに苛性ソーダ水溶液に浸漬後、
酸浴し、水洗後乾燥、油塗布したものである。
回転ポンプを解体して、各々の部品を苛性ソーダ
水溶液等の薬液に浸漬し、次いで溶解しない固
油・蒸着残滓物を除去した後、トリクレン等の溶
剤で洗浄し、さらに苛性ソーダ水溶液に浸漬後、
酸浴し、水洗後乾燥、油塗布したものである。
＜実施例＞
以下、本発明の一実施例を図面により説明す
る。第２図は油回転ポンプ１の断面図を示す。こ
のポンプ１を解体する。解体作業は次の順序で行
なわれる。即ち先ず、盲蓋２を取り残油を抜き取
る。次にエアーぐち３、オイルフイルター４、カ
バー支えナツト５、放熱カバー６、ピン７、羽根
８、ロータリーカバーナツト９、ロータリーカバ
ー１０、回転ロール１１、スプリング付きプラス
チツク板１２、フアンン羽根１３、モーター１４
及びベツト１５の順で取る。上記順序に従つて解
体した油回転ポンプ１の各部品を苛性ソーダ７〜
15％水溶液等の薬液Ｂ中に40分以上浸漬する。こ
の薬液Ｂへの浸漬中、該薬液Ｂを撹拌する。使用
する薬液Ｂの種類、濃度を選定するに当たつては
半導体材料ガスの種類によつて決定される。薬液
Ｂ濃度が薄すぎると、油回転ポンプ１の部品に付
着した固油がとれにくくなるし、反対に、薬液Ｂ
濃度が濃すぎると、コスト高となる上に作業上の
危険性が高まるばかりでなく次の工程で水洗いに
時間を要し、作業が大変となる。この薬液Ｂへの
浸漬により各部品に付着した半導体材料ガス、油
等の大部分が除去される。使用済みの薬液Ｂの廃
液は油水分離処理を行なつた後、更に、有害物の
安定化を図りコンクリートによる固形化後、埋立
処分する。薬液Ｂに浸漬後、上記各部品を取り出
し、まだ各部品の例えば溝や穴の中等に付着して
いる固油・蒸着残滓物をウエスやブラシあるいは
ガーゼ等により拭い取り除去する。次に、上記各
部品をトリクレン等の溶剤Ａに15分以上浸漬し、
油分の付着を完全に除去する。この浸漬中、溶剤
Ａをエアーにより強制的に対流撹拌させるか、あ
るいはウエス、毛ブラシなどを使用して汚れを落
す。使用後の溶剤Ａ及び前述の除去後の固油・蒸
着残滓物はいずれも焼却処分する。油分を除去し
た上記各部品を今度は苛性ソーダ３〜９％水溶液
Ｃに20分間以上浸漬し、最終有害物を洗浄除去す
る。使用済みの苛性ソーダ水溶液Ｃの廃液は上記
同様コンクリート固形化、埋立処分する。次い
で、各部品を酢酸２〜６％水溶液等の酸性水溶液
Ｄにより１分間浴洗し、PHを中性にする。浴洗
中、錆びの浮上に注意する。酸浴後、５分間以上
流水洗浄する。水洗に使用するものは水道水もし
くは井戸水を以つて行なう。錆び、汚れは水ペー
パー（＃1500）かナイロンタワシで研磨仕上げす
る。研磨仕上げ後、乾布で水分を取り乾燥させ
る。乾燥後ポンプ油に浸漬させるか拭き上げる。
サンプリング検査を行ない目的洗浄許容値以下例
えば0.05ppm未満であるかどうかを確認する。許
容値を超える場合は苛性ソーダ水溶液の薬剤で洗
浄を繰り返し行なう。以上の工程を終了後、各部
品をポリ袋、ビニル袋、エアーパツキング、発泡
材等により包装し、梱包する。
る。第２図は油回転ポンプ１の断面図を示す。こ
のポンプ１を解体する。解体作業は次の順序で行
なわれる。即ち先ず、盲蓋２を取り残油を抜き取
る。次にエアーぐち３、オイルフイルター４、カ
バー支えナツト５、放熱カバー６、ピン７、羽根
８、ロータリーカバーナツト９、ロータリーカバ
ー１０、回転ロール１１、スプリング付きプラス
チツク板１２、フアンン羽根１３、モーター１４
及びベツト１５の順で取る。上記順序に従つて解
体した油回転ポンプ１の各部品を苛性ソーダ７〜
15％水溶液等の薬液Ｂ中に40分以上浸漬する。こ
の薬液Ｂへの浸漬中、該薬液Ｂを撹拌する。使用
する薬液Ｂの種類、濃度を選定するに当たつては
半導体材料ガスの種類によつて決定される。薬液
Ｂ濃度が薄すぎると、油回転ポンプ１の部品に付
着した固油がとれにくくなるし、反対に、薬液Ｂ
濃度が濃すぎると、コスト高となる上に作業上の
危険性が高まるばかりでなく次の工程で水洗いに
時間を要し、作業が大変となる。この薬液Ｂへの
浸漬により各部品に付着した半導体材料ガス、油
等の大部分が除去される。使用済みの薬液Ｂの廃
液は油水分離処理を行なつた後、更に、有害物の
安定化を図りコンクリートによる固形化後、埋立
処分する。薬液Ｂに浸漬後、上記各部品を取り出
し、まだ各部品の例えば溝や穴の中等に付着して
いる固油・蒸着残滓物をウエスやブラシあるいは
ガーゼ等により拭い取り除去する。次に、上記各
部品をトリクレン等の溶剤Ａに15分以上浸漬し、
油分の付着を完全に除去する。この浸漬中、溶剤
Ａをエアーにより強制的に対流撹拌させるか、あ
るいはウエス、毛ブラシなどを使用して汚れを落
す。使用後の溶剤Ａ及び前述の除去後の固油・蒸
着残滓物はいずれも焼却処分する。油分を除去し
た上記各部品を今度は苛性ソーダ３〜９％水溶液
Ｃに20分間以上浸漬し、最終有害物を洗浄除去す
る。使用済みの苛性ソーダ水溶液Ｃの廃液は上記
同様コンクリート固形化、埋立処分する。次い
で、各部品を酢酸２〜６％水溶液等の酸性水溶液
Ｄにより１分間浴洗し、PHを中性にする。浴洗
中、錆びの浮上に注意する。酸浴後、５分間以上
流水洗浄する。水洗に使用するものは水道水もし
くは井戸水を以つて行なう。錆び、汚れは水ペー
パー（＃1500）かナイロンタワシで研磨仕上げす
る。研磨仕上げ後、乾布で水分を取り乾燥させ
る。乾燥後ポンプ油に浸漬させるか拭き上げる。
サンプリング検査を行ない目的洗浄許容値以下例
えば0.05ppm未満であるかどうかを確認する。許
容値を超える場合は苛性ソーダ水溶液の薬剤で洗
浄を繰り返し行なう。以上の工程を終了後、各部
品をポリ袋、ビニル袋、エアーパツキング、発泡
材等により包装し、梱包する。
＜発明の効果＞
本発明は上記の説明から判るように、油回転ポ
ンプを解体して、各々の部品を苛性ソーダ水溶液
等の薬液に浸漬し、次いで溶解しない固油・蒸着
残滓物を除去した後、トリクレン等の溶剤で洗浄
し、さらに苛性ソーダ水溶液に浸漬後、酸浴し、
水洗後乾燥、油塗布したので、従来一回使用した
だけで使い捨てであつたものが繰り返し使用でき
るという優れた効果を奏する。従つて真空蒸着機
器の著しいコストの低減化が図られる。またスク
ラツプ業者によつて処理される時点で生ずる環境
汚染の問題は一挙に解消され、かつ資源確保上か
らも有意義である。
ンプを解体して、各々の部品を苛性ソーダ水溶液
等の薬液に浸漬し、次いで溶解しない固油・蒸着
残滓物を除去した後、トリクレン等の溶剤で洗浄
し、さらに苛性ソーダ水溶液に浸漬後、酸浴し、
水洗後乾燥、油塗布したので、従来一回使用した
だけで使い捨てであつたものが繰り返し使用でき
るという優れた効果を奏する。従つて真空蒸着機
器の著しいコストの低減化が図られる。またスク
ラツプ業者によつて処理される時点で生ずる環境
汚染の問題は一挙に解消され、かつ資源確保上か
らも有意義である。
第１図は本発明の一実施例を示す油回転ポンプ
の洗浄処理工程図、第２図は油回転ポンプの断面
図である。 １……油回転ポンプ、Ａ……溶剤、Ｂ……薬
液、Ｃ……苛性ソーダ水溶液、Ｄ……酸性水溶
液。
の洗浄処理工程図、第２図は油回転ポンプの断面
図である。 １……油回転ポンプ、Ａ……溶剤、Ｂ……薬
液、Ｃ……苛性ソーダ水溶液、Ｄ……酸性水溶
液。
Claims (1)
- １ 油回転ポンプを解体して、各々の部品を苛性
ソーダ水溶液等の薬液に浸漬し、次いで溶解しな
い固油・蒸着残滓物を除去した後、トリクレン等
の溶剤で洗浄し、さらに苛性ソーダ水溶液に浸漬
後、酸浴し、水洗後乾燥、油塗布したことを特徴
とする油回転ポンプの洗浄処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62154457A JPS63319093A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 油回転ポンプの洗浄処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62154457A JPS63319093A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 油回転ポンプの洗浄処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63319093A JPS63319093A (ja) | 1988-12-27 |
| JPH0349634B2 true JPH0349634B2 (ja) | 1991-07-30 |
Family
ID=15584648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62154457A Granted JPS63319093A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 油回転ポンプの洗浄処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63319093A (ja) |
-
1987
- 1987-06-23 JP JP62154457A patent/JPS63319093A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63319093A (ja) | 1988-12-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |