JPH0346611A - マルチビーム走査光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、レーザープロッタ、カラースキャナ等の画
像走査記録装置におけるマルチビーム走査光学装置に関
し、特に記録面」二における複数の光ビームの像（光点
）相互の間隔（ピッチ）を、光点径を変えることなく変
更することのできるビーム間隔調整手段を備えたマルチ
ビーム走査光学装置に関する。

（従来の技術） スキャナやプリンタなどの画像走査記録装置においては
、複製画像を記録する際の露光時間を短縮すること等の
ために、複数の光ビームを同時に感光材上に結像させて
露光するマルチビーム走査方式が用いられている。そし
て、記録される複製画像が網目版画像の場合には、個々
の網点は所定数の光ビームの走査によって形成されてい
る。

一方、特に製版用の画像走査記録装置では、複製画像の
網点のピッチを所定の範囲内で変更できる機能を有する
ことが必要で、その際網点のピッチを変更しても、１つ
の網点を形成するための光ビームの数は変わらないのが
普通である。従って、網点のピッチを変更する場合には
、光ビームの感光組上の像（以下、「光点」と呼ぶ。）
のピッチも網点ピッチに比例して変更する必要がある。

このような光点のピッチを変更する装置としては、例え
ば時開）１（（６０−１６９８２０号公開に開示された
ものなどが知られている。この装置では、ズームレンズ
を用いて光点のピッチを変化させているため、光点のピ
ッチを大きくすると、光点の直径（以下、「光点径」と
呼ぶ。）も大きくなる。

（発明が解決しようとする課題） ところが、光点が大きくなると、それに応して光点内の
強度分布か緩やかになる。従って、光点があまり大きく
なり過ぎると、露光された網点の境界がはけてくるとい
う問題がある。特に、１０の主走査の距離が長い平面走
査型スキャナなどでは光学系の制約から光点ピッチが小
さいときにも光点径をあまり小さくできないので、この
問題が大きい。すなわち、光点ピッチが小さいときに、
比較的大きな光点径（例えば約２０ｔ＝　ｍ　）の光点
て走査するように光学系を設定し、ズームレンズを用い
て光点ピッチを３倍にすると、光点径が約６０μｍとな
ってしまう。このような大きな光点径の光ビームで網点
を露光すれば、上述のように網点の境界かひどくはけて
しまうことになる。

槌って、このような平面走査型スキャナなどにおいては
、光点径を変えずに光点ピッチを変更できることが望ま
しい。

（発明の目的） この発明は従来技術における上述の課題を解決するため
になされたものであり、光点径を変えずに光点ピッチを
変更することのできるビーム間隔調整手段を備えたマル
チビーム走査光学装置を堤供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 上述の課題を解決するため、この発明では、複数の光ビ
ームを合成して合成ビームとするビーム合成手段と、前
記合成ビームを所定の記録面上に結像させる結像レンズ
とを備えたマルチビーム走査光学装置において、前記ビ
ーム合成手段の入射側にビーム間隔調整手段を設ける。

このビーム間隔調整手段は、前記複数の光ビームのすべ
ての光ビームの光路上、または１本を除くすべての光ビ
ームの光路上にそれぞれ配設されて前記光ビームの光軸
を所定の方向に所定の角度傾ける第１の偏向手段と、当
該第１の偏向手段の出射側にそれぞれ配設されて前記所
定の方向と逆方向に前記光軸を前記所定の角度傾ける第
２の偏向手段と、前記第１と第２の偏向手段を相対的に
平行移動させるための駆動手段とを備えている。

なお、当該第１と第２の偏向手段に入射する光ビーム自
体は平行ビームでないことが必要である。

そして、前記駆動手段によって、各光ビームの光路上に
それぞれ設けられた前記第１と第２の偏向手段の組のそ
れぞれを相対的に平行移動させることにより、前記記録
面上における複数の光点の間隔を調整する。

なお、第１と第２の偏向手段の組が光路上に設置された
光ビームが、２本以」二存在するとともに、駆動手段は
、前記第１と第２の偏向手段を相対的に平行移動させる
に際して、各光ビームにおける前記第１と第２の偏向手
段の移動量を互いに整数比に保つように構成されている
ことが好ましい。

さらに、第１と第２の偏向手段のそれぞれは、互いに等
しい偏角で光ビームを屈折するブリスムであって、かつ
、互いに近つけて重ね合わせると平行平板を構成するよ
うな位置関係で配置されていることが好ましい。

なお、偏向手段としては、ブリスムのほかに、鏡やＡＯ
Ｍ　（音響光学変調器）などを用いることもできる。

（作用） 第１と第２の偏向手段を相対的に平行移動させると、こ
れらを通過した後の光ビームは、通過前の光ビームから
平行移動する。そして、その移動量は偏向手段の移動量
に比例する。従って、例えば２木の光ビームのうち、１
本の光ビームをこのビーム間隔調整手段で平行移動させ
れば、記録面」二ての２個の光点のピッチが変わる。一
方、ズムレンスを用いていないので、記録面へ収束する
光ビームの収束角は変化せず、その結果光点径の大きさ
は変わらない。

また、第１と第２の偏向手段が光路上に設置された光ビ
ームが、２本以上あるときに、各光ビームにおける偏向
手段の移動量を整数比に保つようにすれば、各光ビーム
に対応する記録面上の光点のピッチも、その整数比に従
って変化する。

（実施例） Ａ、装置の全体構成 第１図は、この発明の一実施例としてのマルチビーム走
査光学装置ＭＳＡを示す概略斜視図である。図において
、レーザ発振器１から出射されたレーザービームＬｔは
、第１レンズ２により発散光となる。このレーサービー
ムＬ１はミラー３によって反射された後、マルチビーム
制御機構４に人別する。

マルチビーム制御機構４には、この発明の特徴部である
ビーム間隔調整手段が設けられている。

このマルチビーム制御機構４では、し−一す−ビームＬ
　が４本の光ビームＬ　　、Ｌ　　、Ｌ　　、Ｌｄｌ、
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　
　ｂ　　　　　　ｃに分割され、その０Ｎ１０ＦＦ状態
や、ビーム間隔調整手段を通過した光ビームＬ　　−Ｌ
ｄ相互のピッチが調整されるが、その詳細については後
述する。

４木の光ビームは、マルチビーム制御機構４内で見かけ
上１本の光ビームＬ２に合成されて出射する。この合成
光ビームＬ２はミラー５で反射された後、ポリゴンミラ
ー６によって偏向される。

ポリゴンミラー６で偏向された合成光ビームＬ２は走査
レンズ８およびミラー９を介して記録面１０上で結像す
る。なお、図の記録面１０上には、合成光ビームＬ２が
結像した結果として得られる４つの隣接した光点の軌跡
Ｒ−Ｒｄが拡大して示されている。

この図からもわかるように、ポリゴンミラー６がモータ
７で駆動されて同転することによって、記録面１０上の
ｙ方向（主走査方向）に合成光ビームＬ２の主走査が行
われる。また、レーサビーム発振器１からミラー９まて
の機構と記録面１０とをＸ方向（副走査方向）に相対的
に移動させることにより、副走査が行われる。

Ｂ、マルチビーム制御機構の構成 第２Ａ図はマルチビーム制御機構４を拡大して示す概略
斜視図であり、第２Ｂ図はその概略平面図である。

マルチビーム制御機構４に入射されたレーザビームＬ１
は、集光レンズ４１０によって絞り込まれ、後述する音
響光学変調器（ＡＯＭ）４５１〜４５４内で結像する収
束光となる。このレーザビームＬｔは水平面と４５°の
方向に偏波面を持つ直線偏光である。

集光レンズ４１０を通過したレーザビームＬ１は４本の
光ビームに分割される。すなわち、まず無偏光ビームス
プリッタ４２］で互いに光量の等しい２木の光ビームＬ
Ｌ　　に分割される。こａｂ’　　ｃｄ のうち、無偏光ビームスプリッタ４２１を直進した光ビ
ームＬａ１）は、偏光ビームスプリッタ４２２によって
さらに２本の光ビームＬ、Ｌ、、に分割される。そして
、光ビームＬｂはさらにミラー４３１で反射されてＸ方
向に平行に進む光ビームになる。一方、無偏光ビームス
プリッタ４２］て反射された光ビームＬ。０は一旦ミラ
ー４３２で反射された後、偏光ビームスプリッタ４２３
て２木の光ビームＬ、Ｌｄに分割される。そして、光ビ
ームＬｄはさらにミラー４３３て反射されてＸ方向に平
行に進む光ビームになる。この結果、光量が互いに等し
い４本の光ビームＬ　　−Ｌｄが形成される。なお、こ
れらの光ビームＬ　　−Ｌｄをそれぞれ第１〜第４チヤ
ンネルの光ビームと呼ぶ。

Ｘ方向に進む４本の光ビームＬ　　−Ｌｄは、それぞれ
平行平面板４４１〜４４４を通過した後、ＡＯＭ４５１
〜４５４の中で集光する。すなわち、集光レンズ４］０
から各ＡＯＭ４５１〜４５４までの光路長が等しくなっ
ている。

平行平面板４４１〜４４４は、各ＡＯＭ４５１〜４５４
の内部におけるトランスデユーサ４５］ａ〜４５４ａか
ら光ビームＬ　　−Ｌｄの結像位置までの距離を調整す
るためのものである。これらの平行平面板４４１〜４４
４は、図示しない支持構造を個別に調節することによっ
て、光ビーム１ Ｌ　　−Ｌ　、＋の光軸と直交する水平な回転輔、ずな
わちＹ方向の軸を中心として互いに独立して傾けられる
ようになっている。そして、平行平面板４４１〜４４４
の傾きを調整すると、各光ビームＬ　　−Ｌ　、！がＡ
ＯＭ４５１〜４５４に入射する高さ（Ｚ方向の位置）が
変化する。トランスデユー４５１ａ−４５４ａはＡＯＭ
４５１−４５４の最上部に設けられており、光ビームＬ
　　−Ｌｄの入射高さが変化すると、各トランスデユー
サ４５１ａ−４５４ａから光ビームＬ　　−Ｌｄの結像
位置までの距離が変化する。従って、平行平面板４４１
〜４４４の傾きを個別に調整することによって、トラン
スデユーサ４５１．ａ　〜４５４ａにＯＮ・ＯＦＦ信号
を人力してから各光ビームＬａ〜Ｌｄが実際に０Ｎ１０
ＦＦされるまでの遅延時間を耳いに一致させることがで
きる。

各ＡＯＭ４５１〜４５４から出射された１次回折光Ｌ　
　−Ｌ、は水平面（ＸＹ平面）から傾いているので、偏
心レンズ４６１〜４６４によってそれぞれ水平な光ビー
ムに修正される。これらの光　２ ビームＬＡ−ＬＤは、ビーム間隔調整機構に入射する。

ビーム間隔調整機構は、第１プリズム６０１〜６０４と
、第２〜第４チヤンネルの第１プリズム６０２〜６０４
のためのホルダー６１２〜６］４と、第２プリズム６２
１〜６２４と、ビンガイド板４９０と、アーム板４つ］
と、ナツト部４９３と、モータ４９４と、ネジ部４９５
とを備えている。なお、ビンガイド板４９０．アーム板
４９］。

ナツト部４９３．モータ４９４およびネジ部４９５は、
図示の都合上第２Ｂ図では省略されている。

第２〜第４チヤンネルの光ビームＬ　−ＬＤの■ ための第１プリズム６０２〜６０４は、特別なホルダー
６１２〜６１４にそれぞれ入れられている。

第３図は、このうちの１つのホルダー６１３を示す斜視
図である。ホルダー６１３は外筒６１３ａの中に内筒６
］３ｂが滑らかに摺動できるように嵌入されている。内
筒６１３ｂの中には第１プリズム６０３か固定されてい
る。また、内筒６１３ｂは、その外面から外側に伸びる
駆動ピン６］３Ｃを有しており、駆動ピン６１３Ｃは、
外筒６１３ａに設けられた長平方向のスリット６１３ｄ
を貫通して外部に突出している。この駆動ピン６１３ｃ
を光軸方向くホルダー６１３の長平方向）に動かすこと
によって、第１プリズム６０３を光軸方向に沿って滑ら
かに平行移動させることができる。

ホルダー６１．２〜６］４のそれぞれの駆動ピン６１２
Ｃ〜６１４Ｃは、ホルダー６１２〜６１４の上方に設置
されたビンガイド板４９０のビンガイド穴４９０ｂ〜４
９０ｄにそれぞれ挿通されている。ビンガイド穴４９０
ｂ〜４９０ｄは光軸と平行なＸ方向に沿って伸びる長孔
である。第４図は、第１プリズム６（Ｉｌｌ〜６０４と
ホルダー６１２〜６１４とビンガイド板４９０とをＸ方
向から見た正面図である。この実施例では第１プリズム
６０１〜６０４が等間隔て配置されている。また、第２
チヤンネルと第４チヤンネルのホルダー６１２．６１４
は、それぞれの駆動ピン６１２ｃ、６１４Ｃが鉛直上向
きから時訓回りに所定の角度量　４ 転した位置になるように設置されている。そして、アー
ム板４９１の支点（連結ピン４９２の中心）から、駆動
ピン６１２　ｃ　−６１−４ｃの作用点Ｐａ２〜Ｐａ４
（駆動ピン６１２Ｃ〜６１４Ｃがアーム板４９１の端面
４９１ａ（第２Ａ図参照）によって押される点）までの
距離の比は２：５ニアになっている。このような作用点
Ｐａ２〜Ｐａ４の配列は、後述するインターレース走査
方法との関連で定められている。

アーム板４９１とビンガイド板４９０とは、連結ピン４
９２によって回転自在に連結されている。

また、アーム板４９１には、連結ピン４９２と反対側の
端部にナツト部４９３が固定されており、このナツト部
４９３は、モータ４９４の回転軸に連結されたネジ部４
９５と螺会されている。モタ４９４は、図示しない支持
構造によってマルチビーム制御機構４の粘合（図示せず
）側に固定されており、モータ４９４が回転すると、ア
ーム板４９］が連結ピン４９２を支点として同動する。

なお、ホルダー６１２〜６１４の駆動ピン６１２５ Ｃ〜６１４ｃは、ビンガイド板４９０の下面に設けられ
た図示しない支持構造と、バネ６１２ｅ〜６］、４ｅ（
第３図参照）によって連結されている。

この結果、駆動ピン６１２ｃ〜６１４ｃは常に（−Ｘ）
方向に付勢されてアーム板４９１に押しつけられている
。

連結ピン４９２の中心として規定されるアーム板４９１
の支点は、第１チヤンネルの光ビームＬ　の光軸の真上
にあり、この支点と３つの駆動ビン６１２Ｃ〜６１４ｃ
とは水平面内の一直線上に並んでいる。また、支点から
３つの駆動ピン６１、２　ｃ〜６１４Ｃの作用点Ｐａ２
〜”ａ４までの距離の比は前述したように２：５ニアで
ある。

モータ４９４の回転によりネジ部４９５が回転すると、
アーム板４９１が水平面内で同動し、駆動ピン６１２ｃ
〜６１４ｃがＸ方向に押される。

この結果、第１プリズム６０２〜６０４がＸ方向に平行
移動する。このように第１ブリスム６０２〜６０４を平
行移動させることによって、４本の光ビームＬＡ”Ｌｌ
）が記録面１０上に結像する像　６ （光点）のピッチを調整することができるが、その詳細
については後述する。なお、第１チヤンネルにおかれた
第１プリズム６０１はこの実施例では移動させる必要が
ないが、各チャンネルの光路長を備えるために配置して
あり、図示しない支持機構によって基台側に固定されて
いる。

第１プリズム６０１〜６０４を通過した各光ビームＬＡ
−ＬＤは、さらに第２プリズム６２１〜６２４をそれぞ
れ通過する。この第２ブリスム６２１〜６２４は、第１
プリズム６０１〜６０４によって傾いた光軸を再びＸ方
向に平行な方向に揃えるためのものである。

４本の光ビームＬ　ｔ、　−Ｌ　Ｄは、次のようにして
見かけ」−１本の合成光ビームＬ２に合成される。

まず、第１チヤンネルの光ビームＬＡはミラー４３４で
反射された後、偏光ビームスプリッタ４２４によって第
２チヤンネルの光ビーム”　＋３と合成されて合成光ビ
ームＬＡＢとなる。一方、第３チヤンネルの光ビームＴ
、ｃもミラー４３５で反１１、Ｊされた後、偏光ビーム
スプリッタ４２５によって第４７ チャンネルの光ビームＬＤと合成されて合成光ビームＬ
ｃＤとなる。さらに、２本の合成光ビームＬ　　、Ｌ　
　は無偏光ビームスプリッタ４２６によＡＩ’３　　　
ＣＤ って合成光ビームＬ２１に合成される。なお、無偏光ビ
ームスプリッタ４２６から出射されるもう１本の合成光
ビームＬ２２は記録面１０での露光に用いられない。従
って、合成光ビーム■、２１の光量は、合成前の４本の
光ビームＬ　〜Ｌ、の合羽の光量へ の約半分である。

合成光ビームＬ２１は、ＡＯＭ４５１〜４５４から出射
された０次光と１次光とをともに含むが、このうちＯ・
次光はＯ次光カッター５１．０によってカットされる。

０次光を露光に用いないのは、０次光がＡＯＭ４５１〜
４５４によって０Ｎ１０ＦＦ制御できない光だからであ
る。０次光は１次光の下方側を通っているので、Ｏ次光
カッター５１０は、１次光のみを通過させるように合成
光ビームＬ２１の下方側に設置されている。

このようにして、０次光がカットされた合成光ビームＬ
２は、コリメータレンズ５２０を通過し、平行光として
マルチビーム制御機構４から出射される。

なお、上記のマルチビーム制御機構４の中で制御される
４本の光ビームＬ　Ａ　”　Ｌ　ｎのうち、例えば第１
および第３チヤンネルの光ビームＬＡ。

Ｌｏの偏波面は水平であり、第２および第４チヤンネル
の光ビームＬ、ＬＤの偏波面は垂直てあ３ る。すなわち、隣接する２本の光ビームは互いに偏波面
が直交している。このようにするのは、記録面１０」二
の４つの光点の位置が互いに近接しているときに、隣接
する光点同士で干渉を起こさないようにするためである
。

Ｃ，ビーム間隔調整の原理 次に、ビーム間隔調整機構４におけるビーム間隔調整の
原理について説明する。

第５Ａ図および第５Ｂ図は、第１プリズムの平行移動に
よって光ビームが平行移動する様子を示す概念図である
。第５Ａ図において、光ビームＬ。がＸ方向に進行して
おり、その光路上に第１プリズム６０３と第２プリズム
６２３とが配置されている。第１プリズム６０３と第２
プリズム６２３はともにＸＺ断面がくさび形であり、４
ｒ７．いに等しい頂角αを有している。そして、第１ブ
リスム６０３の入射面６０３ａと、第２プリズム６２３
の出射面６２３ａとは、どちらも光ビームＬ。の光軸に
対して垂直になっている。さらに、第１プリズム６０Ｂ
の出射面６０３ｂと、第２プリズム６２３の入射面６２
３ｂとは互いに平行であり、光軸に垂直な面から、Ｙ方
向に平行な輔を中心として頂角αと等しい角度たけ傾い
ている。すなわち、第１ブリスム６０３と第２プリズム
６２３とは、重ね合わせると平行平板となるように配置
されている。さらに、第１プリズム６０３と第２プリズ
ム６２３とは等しい材質で作成されている。

このとき、第１プリズム６０３の出射光の偏角ｉは次式
で−ｊｊえられる。

ｉ　　４　α　（ｎ−１−）　　　　　　　　　　　　
　　　　　・・・（１）ここで、ｎニブリズムの屈折率 光ビームＬ。が第２プリズム６２３を通過するとその先
軸が再びＸ方向と平行になる。光ビーム９ Ｌｃが第１プリズム６０３と第２プリズム６２３とを通
過することによって下行移動するｍ　ｈ　ｏは、次式で
与えられる。

ｈｏ＝セ　ｔａｎｉ　　　　　　　　　　　　・・・（
２）ここで１．ｌ！：第１プリズム６０３の出射位置か
ら第２プリズム６２３の入射位置まで の距離（これは、第１プリズムと第 ２プリズムのそれぞれの内向面６０ ３ｂ、６２３ｂの距離投。にほぼ等 しい。） 第５Ａ図の状態から、第１プリズム６０３を第５Ｂ図に
示すようにＸ方向にΔＸだけ移動させると、光ビームの
平行移動量ΔＺ１は次式で与えられる。

Δｚ１＝ΔＸ　ｔａｎ　ｉ　　　　　　　　　−（３）
例えば第１．第２プリズム６０３，６２３の頂角αが５
°であり、その屈折率ｎの値が光ビームＬＣの波長に対
して１　、５１．５であれば、（］）式より１＝　２．
５８°となる。そして、第１プリズム６０３を１０ｍ＋
ｎ（＝ΔＸ）移動させれば、（３）式ヨリ、光ビームＬ
。の平行移動量ΔＺ１は０．４５ｍｍとなる。

　０ なお、第５Ａ図と第５Ｂ図とは第３チヤンネルのプリズ
ム６０３．６２３について説明したが、第２．第４チヤ
ンネルにおけるプリズムも、上記と同様に配置されてい
る。すなわち、第２．第４チヤンネルにおいても、それ
ぞれの第１プリズム６０２．６０４がＸ方向に平行移動
すると、光ビームＬ　　、　　Ｌｌ）がＸ方向に平行移
動するように第３ １プリズムと第２プリズムが配置されている。第２、第
４チヤンネルの駆動ピン６１．２ｃ、６１４Ｃは、前述
のように鉛直方向から傾いているが、第１プリズム６０
２，６０４と第２プリズム６２２．６２４は、他のチャ
ンネルの第１プリズム６０１、．６０３．第２プリズム
６２］、、６２３とそれぞれ同じ向きに配置されている
。さらに、アーム板４９］によって駆動ビン６］２ｃ〜
６１４ｃが押されていない状態では、第１〜第４チヤン
ネルの各々の第１プリズムと第２プリズムの距離セ０は
等しくなっている。

第６Ａ図および第６Ｂ図は、アーム板４９１の移動量と
第１プリズムの移動量の関係を示す概念図である。いま
、第６Ａ図に示すように、アーム板４９］の支点Ｐ、と
、ホルダー６１３の駆動ピン６］３ｃへのアーム板４９
］の作用点Ｐａ３とのｙ１離をｂとし、支点Ｐ　とアー
ム板４９１上のカ点Ｐｒ（ネジ部４９５がアーム板４９
１を押す点）とのＶ巨離をａとする。そして、第６Ｂ図
に示すように、力点Ｐｒを距離Ｓたけ動がすことにより
、作用点ＰＲ３を距離ΔＸだけ移動さげたとき、移動量
ΔＸは次式で＋５えられる。

ΔＸ　＝　ｂ　ｓ　／　ａ　　　　　　　　　　　・・
・（４）（１）〜（４〉式を使用ずれば、モータ４９４
によって、アーム板４９１の力点Ｐｒを距離ｓだけ移動
させたときの光ビームＬ。の高さ方向の移動量ΔＺ１を
算出できる。ずなわち、力点Ｐ、の移動距離Ｓと光ビー
ムＬ。の平行移動量ΔＺ１は次式％式％ （５） ここで、値ａ、ｂ、　　α、ｎは定数なので、（５）式
は次のように書換えられる。

ΔＺＩ　＝ｋｏ　ｓｂ　　　　　　　　　　　・・、（
６）タ　コ このように、平行移動量△Ｚ１は、（６）式のように、
距離Ｓに比例する一次関数で与えられる。

一方、第４図にも示したように、第１チヤンネルから、
第２〜第４チヤンネルの各駆動ビンの作用点Ｐａ２〜Ｐ
ａ４までのＹ方向の距離の比は、第１チヤンネルと第２
チヤンネルとの距離を２ｂｏで表わせば、２ｂ　　：５
ｂ　　ニアｂｏである。そこ０ て、（６）式の値すに２ｂ　　、５ｂ　　、７ｂｏを代
０ 人すれば、アーム板４９１を距離Ｓだけ動かしたときの
、第２〜第４チヤンネルの光ビームＬｎ〜ＬＩ）の平行
移動量ΔＺｒ３〜ΔＺＤが次のように表わされる。

ΔＺ　　＝２ｋ　　ｂ　　５＝２ｋ　　ｓ　　　−（７
ａ）＋３　　　０　０　　　　　１ ΔＺ　　＝５ｋ　　ｂ　　５＝５ｋ　　ｓ　　　・・・
（７ｂ）Ｃ００１ ΔＺ　　＝７ｋ　　ｂ　　５−７ｋ　　ｓ　　　・・・
（７ｃ）Ｄ　　　００　　　　１ 但し、ｋ　ｔ　　（””　ｋ　ｏ　ｂ　ｏ　）は定数で
ある。

（７ａ）〜（７ｃ）式かられかるように、アーム板４９
］を距離Ｓたけ移動させたとき、第２〜第４チヤンネル
の光ビームＬ　　””　Ｌ　ＤのＺ方向の平行移動量Δ
Ｚｎ〜ΔＺＤは２・５ニアの比を保っている。

アーム板４９１を移動させると第２〜第４チヤンネルの
光ビームＬｎ〜ＬＤか平行移動し、後で詳しく述べるよ
うに、この平行移動量に応じて記録面１０」二の光点の
位置も変化する。徒って光ビームＬＡ−ＬＤの記録面１
０上の４つの光点の距離の比が常に２：５ニアに保たれ
るように光点相互のピッチが変化する。つまり、光点相
互のピッチは常に２：３：２に保たれる。

第７図は、ビーム間隔調整機構における光ビームの平行
移動量と、記録面上の光点位置のずれ量との関係を示す
概念図である。図に示すように、光ビームＬ　はＡＯＭ
４５３内で１度結像し、第１プリズム６０３．第２プリ
ズム６２３．コリメータレンズ５２０および走査レンズ
８を通過して記録面１０上で再び結像する。すなわち、
ＡＯＭ４５３内の結像面と記録面１０とは共役となって
いる。これは他のＡＯＭ４５１．．４５２，４５４も同
様である。なお、実際の光ビームＬ。の像１　　、Ｉ　
　は円形たが、本図では図示の都合上、２ 矢印で示している。

つへ 記録面］０上の像１２の大きさは、次に示すようにＡＯ
Ｍ４５３内の像１１の大きさの１／２となる。まず、Ａ
ＯＭ４５３内に絞り込まれる光ビームＬ　の開■数ＮＡ
、の値は］、　／　８０である。

一方、記録面１０上に絞り込まれる光ビームＬ２の開口
数Ｎ　Ａ　２の値は］／４０である。従って、これらの
光ビームＬ、Ｌ２の間の角倍率（＝ＮＡ　　／ＮＡ、）
の値は２であり、その横倍率（−１／（角倍率））の値
は１／２である。横倍率はＡＯＭ４５３内の像■１の大
きさに対する記録面１０上の像■２の大きさの比を示す
値である。従っで、像Ｉ　は像１１の１／２の大きさと
なる。

このように、光ビームＬ　とＬ２の間の横倍率が１／２
であるので、第１プリズム６０３を移動させて光ビーム
Ｌ。をＺ方向にΔＺ１だけ平行移動させると、記録面１
０上の光点の位置は１／２・Δｚ１だけ移動する。

すなわち、プリズム６０３，６２３を透過する光ビーム
が平行光でさえなければ（収束光または発散光であれば
）、プリズム６０３，６２３の位　６ 置と記録面１０の間の横倍率は零でなく、ブリスム６０
３．６２３を透過する光ビームの平行移動にともなって
記録面１０上の光点の位置は移動する。また、このプリ
スム６０３，６２３はＡＯＭ４５３からビーム合成手段
までの光路上の仔意の位置に配置できる。

なお、第１．第２プリズム６０３，６２３は光ビームＬ
。を平行移動させるたけであり、像Ｉの大きさを変えて
いないので、記録面１０上の像（光点）Ｉ２の大きさは
変わらない。また、ここで発生する球面収差、非点収差
は充分小さく、無視できる程度である。

第１および第２プリズムによる光ビー、ムの平行移動量
と記録面１０上の光点の移動量との関係は、第２〜第４
チヤンネルで共通である。従って、ビーム間隔調整機構
で第２〜第４チヤンネルの光ビームＬＢ−ＬＤが２＋５
ニアの比でＺ方向に平行移動すれば、記録面１０　Ｊ：
のそれぞれの光点の位置も２：５ニアの比で移動する。

第８図は、光点ピッチを変更した場合の記録面７ 上の光点の位置変化の例を示す図である。まず、状態Ｃ
］において、光ビームＬ１３〜Ｌ、Ｄの光点Ｉ　〜■　
は、光ビームＬＡの光点ＩＡからそれｌ３１） ぞれ副走査方向（Ｘ方向）に１１．２μｍ、　２８．０
μｍおよび３９２μｍの距離にある。そして、光点ピッ
チの比は２・３・２になっている。また、各光点１　−
１１）は直径的２０μｍの田である。

その後、ビーム間隔調整機構を動作させることによって
、状態Ｃ２になったとする。このとき、光点Ｉ　から光
点ＩＢ−ＩＤまでの距離はそれそれ３４２μｍ、　８５
．５μｍおよび１１９．７μｍである。

そして、光点ピッチの比は２：３・２に保たれている。

また、各光点ＩＡ−１，の直径も約２０μｍのままであ
る。

状態Ｃ１は例えばスクリーン線数が２００線／インチ、
状態Ｃ２は６５線／インチの場合に相当するが、このよ
うに、光点ピッチを約３倍に拡大しても光点径を一定に
保ったまま、かつ、相互の光点ピッチを−・定の化生に
保っておくことができる。

　８ 以上のように、この実施例では、アーム板４つ１をモー
タ４９４で移動させるだけで、第１〜第４チヤンネルの
光ビームＬ　　−Ｌｌ）の記録面１０上での光点１　−
ＩＤの大きさを変えずに、かつ、相互のピッチの比を一
定に保ったまま光点ピッチを拡大したり縮小したりする
ことかできるという利点がある。

Ｄ、インターレース走査方式 上述のように、この実施例では光点ＩＡ〜■。

のピッチの比を２：３：２としている。もちろん、この
比を：１．　：　１　：　］にしてもよく、この発明の
効果も変わらない。そして、最も１１１．純には、光点
ピッチの比を１　：　１．　：　１として、さらに、光
点ピッチの値を副走査方向の走査ピッチと等しくするこ
とも可能である。

このとき、第９Ａ図に示すように、走査ピッチｐ　が光
点１　　、Ｉ　　の直径ｄ、よりも十分太きＡ　　　　
　　　　　ａ　　　　　ｂ ｌときには問題はない。しかし、第９Ｂ図に示すように
、走査ピッチｐ　が光点径ｄ＋と同等以下■ になると、隣接する光点Ｉ、Ｔ、、同士が下池して光点
Ｉ　、Ｉｂの形状が乱れるという問題が生しる。

隣接する光点Ｉ、Ｉ、の偏光方向を互いに直交させれば
、第９Ｂ図のような場合にも光点Ｉ　。

■＋）の形状か乱れることはない。しかし、走査ピッチ
ｐＢがさらに小さくなると、１つおきの光点同士が違い
に干渉し合うようになる。

そこで、このような問題を回避するために、この実施例
では光点’Ａ−Ｉ＋）のピッチを、副走査方向の走査線
ピッチの整数倍にしている。すなわち、走査線ピッチを
ｐとずれば、光点ＩＡ　＝　Ｉｌ）間の光点ピッチを２
ｐ、３ｐ、２ｐとしている（第８図参照）。このように
、光点線ピッチを走査線ピッチｐよりも大きくして走査
する方式を、インターレース走査方式と、一般に呼んで
いる。

第１０図は、この実施例におけるインターレース走査の
方法を示す概念図である。図に示すように、第１−〜第
４チャンネルの光点■Ａ−ＩＤは、光点ピッチが２ｐ、
　　３ｐ、　　２ｐとなるように配列されている。従っ
て、１１す１１−１の走査では、光点　０ ■　〜Ｉ　がそれぞれ副走査方向位置Ｘ。、ｘ２Ａ　　
　　　　Ｉ） Ｘ　およびｘ７において主走査方向ｙに沿って走査され
る。なお、この主走査に什い、必要に応じてＡＯＭ４５
１〜４５４によって光ビームＬ　〜Ｌｄが独立に０Ｎ１
０ＦＦ制御され、主走査線上の露光位置が決定されるこ
とは言うまでもない。

２回１ユ１の走査ては光点ＩＡ〜’　Ｉ）がそれぞれ副
走査方向位置Ｘ４、Ｎ６．Ｘ　　およびＸ１１に配列さ
れる。１回口と２回「−１の走査ザイクルの間に送られ
る副走査方向の送りピッチは４ｐである。一般に、チャ
ンネル数をＮ。とすると、１走査サイクルの間に送られ
る副走査方向の距離はＮ。Ｘｐで表わされる。なお、第
１−０図では図示の都合」二１回目〜４回目の主走査の
開始位置をずらせて書いているが、実際には同じ主走査
方向位置から走査を開始することは言うまでもない。

第１０図に示すように、主走査と副走査送りを繰り返し
ていくと、各副走査位置における主走査が必ず１回行わ
れ、しかも同じ副走査位置で主走査が２回行われること
か無い。副ｉＪ＝査方向の座標Ｘの左に示されたクラス
Ａ−Ｄは、それぞれの副走査位置ｘ　　−ｘ　　が光点
ＩＡ−ＩＤのうちのい０　　　　１９ すれによって走査されるかを示している。このように、
インターレース走査方式では、光点同士の干渉を防止し
つつ、複数の光点を用いて効率的に走査を行っていくこ
とができる。

なお、本実施例の走査レンズ８としては、疋弦歪曲特性
を持つレンズ（すなわちｒｓｌｎθレンズ）が用いられ
ている。これは、主走査をする間に副走査方向の走査ピ
ッチｐか変わらないようにするためである。（ｆθレン
ズを使用すると画角端て各光ビーム間の副走査方向のピ
ッチが変わる。）さらに、第１０図では、複数の光点■
Ａ−ＩＤを副走査方向Ｘに一列に並べて主走査を行って
いる。こうずれば、光点Ｉ　Ａ”’−Ｉ　ｎの主走査位
置は常に互いに同じなので、各チャンネルの光ビームＬ
　　−Ｌ、、をＡＯＭ４５１〜４５４でそれぞれＯＮ１
０　Ｆ　Ｆ制御するための４つの制御信号を、常に互い
に同期させておけばよいからである。逆に言えば、光点
■　〜ＩＤを互いに主走査方向ｙに３　つ すらせて走査すると、そのずれ量に応じてＡＯＭ４５１
〜４５４の制御信号を遅延させることかできるように４
つの遅延回路を設けておかなくてはならない。

従って、マルチビームの走査方法としては、副走査方向
Ｘに沿って一列に光点■　〜ＩＤを配列し、かつ走査レ
ンズ８としてｆｓｉｎθレンズを用いて走査を行うのが
最も好ましい。そして、この実施例では、このような走
査方法を維持しつつ、かつ、光点径を変化させずに光点
ピッチを変えることができるという利点がある。

第１１．　Ａ図〜第１．１−　Ｅ図は、光点数を変えた
場合の種々のインターレース走査方式における光点の配
列を示す図である。このように、インターレス走査方式
は、光点の数Ｎ　と光点ピッチの取り方によって多数の
変形が考えられる。

なお、このような他のインターレース走査方式を使用し
ても、上記実施例と同様のピッチ間隔調整機構を用いれ
ば、光点径を変えずに光点ピッチを変更できることは言
うまでもない。

　３ Ｅ、変形例 この発明は、上記実施例に限らず、次のような変形も可
能である。

■　第１図、第２Ａ図および第２Ｂ図に示す例では、１
本のレーザービームＬ１を、４本の光ビームＬ　　−Ｌ
ｄに分割したが、４本の光ビームＬ　−Ｌｄを形成する
ためのレーザ発振器を４つ用いてもよい。第１２図は、
４つのレーザーダイオード１ａ〜１ｄをレーザ発振器と
して用いた場合の例を示す図である。各レーザーダイオ
ード］ａ〜１ｄから出射された光ビームＬ　　−Ｌｄは
、それぞれ集光レンズ４１０ａ〜４１．　Ｏｄで収束光
とされた後、ビーム間隔調整機構の第１プリズム６０１
〜６０４に入射する。第１２図の装置では、レーザ光を
４本の光ビームに分割するためのビームスプリツタやミ
ラーなどが不要であるばかりでなく、第２Ａ図および第
２Ｂ図に示した要素のうちで、平行平面板４４１〜４４
４．ＡＯＭ４５１〜４５４．偏心レンズ４６１〜４６４
、および０次光力ツタ−５１０が不要である。これは、
レー　４ ザーダイオード］、　ａ　〜１．　ｄの０Ｎ１０ＦＦを
レザーダイオード自体で個別に制御てきるのて、ＡＯＭ
４５１〜４５４が不要になるからである。また、平行平
面板４４１〜４４４や偏心レンズ４６１〜４６４および
０次光力ツタ−５１０はＡＯＭがなければ不要だからで
ある。

■　光ビームの本数は４本に限らず、２本以」−であれ
ば何本であってもこの発明か適用可能である。

■　ビンガイド板４９０とアーム板４９１との支点（連
結ピン４９２）は、第１チヤンネルの光軸上にあるとし
たが、これに限らず、他の位置に支点をずらせてもよい
。（７ａ〉〜（７ｃ）式の導出の際に述べたように、記
録面１０上における各光点Ｉ　〜ＩＤの移動量は、支点
から各チャンネルの駆動ピンの作用点までの距離に比例
する。従って、支点から各チャンネルの駆動ピンの作ｍ
点までの比が整数倍になるようにすればよい。例えば、
支点の位置を第２〜第４チヤンネルのいずれかの光軸上
に決めてもよく、第１〜第４チヤンネルの光　５ 輔以外の位置にしてもよい。

しかし、上記実施例のように１つのチャンネルの光軸上
に支点を位置させるようにすれば、そのチャンネルのプ
リズムを移動させる必要がないという利点がある。さら
には、そのチャンネルの記録面１０上の光点の位置が、
光点ピッチを調整しても変化しないという利点もある。

なお、支点から各チャンネルの駆動ピンの作用点までの
比が整数倍になっていればよいので、各チャンネルの駆
動ピンをすべて鉛直上向きにしてもよい。このとき、各
チャンネルの光ビームＬＡ〜Ｌ、は整数比のピッチで配
列される。

■　さらに、プリズムを平行移動させる機構は、ビンガ
イド板４９０やアーム板４９１を用いたものに限らず、
他の機構や手段でもよい。特に、光ビームが２木の場合
には、そのうちの少なくとも１本の光ビームに対応した
プリズムを平行移動させて、その移動量を調整できるよ
うな駆動手段であればよい。但し、」二記実施例のよう
に、作用点Ｐａ２〜Ｐａ４（第４図参照）を光軸と平行
な方向に移動させれば、その移動量と記録面上での光点
の移動量が比例するので、ビーム間隔調整機構の構造が
簡単になるという利点がある。さらに、２本以上の光ビ
ームに対応したプリズムを平行移動させるときに、それ
らを所定の整数比で移動させるようにすれば、その整数
比に従って走査面」二の光点ピッチが変わるという利点
がある。

■　上記実施例では、第５Ａ図に示すように第１プリズ
ムの入射面６０３ａと第２プリズムの出＃１面６２３ａ
とが光軸に対して垂直であるとしたが、これらの面は光
軸に対して垂直でなくともよい。第１３図は、第１プリ
ズム６００の入剃面と第２プリズム６２０の反射面が光
軸に対して垂直でない場合を示す概念図である。第１３
図の場合、第１プリズム６００の出射光の偏角ｌは次式
で！ｊえられる。

ｉ−φ−ａ＋　５ｉｎ−’（（ｎ２−　．２　　”２Ｓ
ｉｎ　　φ） Ｘ　　ｓｌｎα−ａｏｓａ　　ｓｉｎφ）ｌ　　　　＝
・（８）ここで、φ：第１プリズム６００への光ビーム
Ｌの入射角 ３　も なお、前記（１）式は（８）式においてφ−０と置いた
場合の近似式である。プリズムの頂角αが小さい場合に
は、（Ｉ）式による誤差は無視できる。

なお、このように第１プリズム６００の人１１面６００
ａを光軸に垂直な面から傾けたときにも、光ビームＬが
第１プリズム６００の出ｎ＝を面６００ｂで全反射され
ることがないように、頂角αや角度φが設定される。但
し、頂角αは５°〜１０゜が好ましく、このような場合
、通常は光ビームＬが出射面６００ｂて全反射されるこ
とはない。

以上のように、第１−プリズムと第２プリズムとはＪｌ
いに等しい偏角で光ビームを屈折するプリズムであれば
よく、また、互いに近づけて重ね合わせたときに平行平
板を構成するように配置されていればよい。

■　上記実施例では、第５Ａ図および第５Ｂ図に示すよ
うに、第１プリズムをＸ方向に移動させたが、第１プリ
ズムを（−Ｘ）方向に移動させてもよく、また、第２プ
リズムをＸ方向または（Ｘ）方向に移動させてもよい。

さらには、どちらか一方をＺ方向に移動させてもよい。

第１４図は、第１ブリスム６００をＺ方向に平行移動さ
せた場合の概念図である。図において、第１ブリスム６
００のＺ方向の移動量ΔＺ　と、光ビームのＺ方向の移
動量ΔＺ１との関係は次式で与えられる。

ΔＺｌ＝ΔＺ　ｐｔａｎαｔａｎ　ｉ　　　　　−（９
）ここで、α：第１−プリズム６００の出射面６００ｂ
が入射光りの光軸となす角（＝頂 角） このように、第１プリズムと第２プリズムとの組を用い
たときには、それぞれのプリズムの内向面（第１４図の
面６００ｂと６２０ｂ）の相互距離が変化するように、
第１プリズムと第２プリズムとを相対的に平行移動させ
れば、光ビームの光点ピッチを調整することができる。

なお、この平行移動は、光軸Ｘを含む任意の平面（例え
ばＸＹ＼Ｉξ面やＸＺ平面）上の所定の直線に沿って行
えば容易である。

■　１組のプリズムのうち、１つのプリズムを　９ ＡＯＭに置換えてもよい。第１５図は、第１プリズムの
かわりにＡＯＭ４５０を配置した場合の例を示す概念図
である。この場合には、第１図、第２Ａ図および第２Ｂ
図から、偏心レンズ４６１〜４６４と、第１プリズム６
０１〜６０４を省略できる。第１５図では、ＡＯＭ４５
０による光ビームＬの回折角ｌと、プリズム６２０によ
る偏角ｉとが等しくなるようにプリズム６２０を作成し
、配置している。こうすれば、ＡＯＭ４５０への入射光
の光軸とプリズム６２０からの出射光の光軸とが平行に
なる。そして、プリズム６２０の入射面６２０ｂとＡＯ
Ｍ４’５０内の結像位置との相互距離夏が変化するよう
に、プリズム６２０を平行移動させることにより、光点
ピッチを調整することができる。

■　また、プリズムをミラーで置換えてもよい。

第１．６Ａ図は、第２プリズムのかわりにミラー４３０
を配置した場合の例を示す概念図である。この場合には
、第１−図、第２Ａ図および第２Ｂ図から、第２プリス
ム６２１〜６２４を省略すること　０ ができる。第１６　Ａ図のミラー４３０は、これらの図
のミラー４３４，４３５とビームスプリッタ４２４．４
２５とに対応している。第１６　Ａ図に示すように、プ
リズム６００によって偏角１て廂折した光ビームＬはミ
ラー４３０で反射され、これによって光軸がプリズム６
００に入射する前の光軸と平行になる。プリズム６００
の移動量ΔＸと、光ビームの平行移動量ΔＺ１の関係は
、次式％式％ （） 第１．６　Ｂ図は、ミラー４３０によって、光ビームの
光軸を平行に戻す方法を示す概念図である。

図に示すように、ミラー４３０を輔Ａ　を中心に■ 回転させてその角度を調整することにより、プリズム６
００への入射光りの光軸と、ミラー４３０の反射光Ｌ　
の光軸が平行になる。Ｍ　Ａ　　は、ミＯｍ ラー４３０の反射面４３０ａの法線に垂直な第１の平面
と、ミラー４３０への入射光り、と反射光Ｌ　とが形成
する平面に平行な任意の第２の平面とが交わる直線であ
る。第１図、第２Ａ図および第２Ｂ図に対応して言えば
、ミラー４３４，４３５、およびビームスプリッタ４２
４，４２５の角度をそれぞれ第１．６　Ｂ図のように調
整することにより、各チャンネルの光ビームの光軸を平
行に戻すことができる。なお、プリズム６００の偏角ｉ
は、プリズム６００を平行移動しても変わらないので、
ミラー４３０は第１６　Ｂ図のようにして１度調整した
後、固定される。

■　第１図に示す走査レンズ８と第２Ａ図および第２Ｂ
図に示すコリメータレンズ５２０は、まとめて↑つの結
像レンズにしてもよい。すなわち、これらのレンズ系は
合成光ビームＬ２を記録面］０上に結像させる結像レン
ズ系を構成していればよい。

」−記した実施例はいずれも記録面を平面として図示し
、説明したが、例えば第１７図に示す様な静止円筒（又
は円筒の一部）内面走査にも適用することができる。

（発明の効果） 以」二説明したしたように、この発明によれば、複数の
光ビームを合成光ビームとする前に、第１と第２の偏向
手段を通過させるようにし、これらの偏向手段を相対的
に平行移動させることによって結像面上での光ビームの
像（光点）のピッチを変えるように、マルチビーム光学
装置を構成したので、ズームレンズを用いずに光点ピッ
チを変えることができる。従って、光点径を変えずに光
点ピッチを変更することができるという効果がある。

また、請求項２に記載したように構成すれば、偏向手段
が設置された光ビームが２木以」二ある場合に、結像面
上の光点のピッチが整数比を保つように変化するので、
複数の光点ピッチの比を常にその整数比に保ちつつ、光
点ピッチを変更することかできるという効果がある。

さらに、請求項３に記載したように、偏向手段をプリズ
ムで構成すれば、ビーム間隔調整手段を簡単な構成で実
現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２Ａ図はこの発明の一実施例としてのマ
ルチビーム光学装置を示す概略斜祖図、　３ 第２Ｂ図は第２Ａ図の平面図、 第３図はプリズムのホルダーを示す斜視図、第４図はホ
ルダーとその駆動ピンの配置関係を示す正面図、 第５Ａ図および第５Ｂ図はプリズムの移動と光ビームの
平行移動量の関係を示す説明図、第６Ａ図および第６Ｂ
図はビーム間隔調整機構の動きとプリズムの移動量の関
係を示す説明図、第７図は光ビームの平行移動量と走査
面上の光点の移動量の関係を示す概念図、 第８図は光点ピッチの調整の例を示す説明図、第９Ａ図
および第９Ｂ図は光点同士の干渉の有無を示す説明図、 第１０図および第１１　Ａ図ないし第１１Ｅ図はインタ
ーレース走査方式を示す説明図、第１２図はこの発明の
他の実施例としてのマルチビーム光学装置を示す概略斜
視図、 第１３図ないし第１５図、第１．６　Ａ図および第１、
６　Ｂ図は偏向手段の他の実施例を示す図、第１７図は
記録面の変形例を示す概念図である。 　４ １・・・レーザ発振器、 ４・・・マルチビーム制御機構、 ６・・・ポリゴンミラー　　　　８・・・走査レンズ、
１０．１０ａ・・・記録面、 ４５１〜４５４・・・音響光学変調器（ＡＯＭ）、６０
１〜６０４・・・第１プリズム、 ６１２〜６１４・・・ホルダー ６２１〜６２４・・・第２プリズム、 ６１２Ｃ〜６１４Ｃ・・・駆動ピン、

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の光ビームを合成して合成ビームとするビー
   ム合成手段と、前記合成ビームを所定の光ビーム偏向手
   段を介して記録面上に結像させる結像レンズとを備えた
   マルチビーム走査光学装置において、 前記ビーム合成手段の入射側に、それぞれ非平行光であ
   る複数の光ビームが入射するビーム間隔調整手段を設け
   、 前記ビーム間隔調整手段は、前記複数の光ビームのすべ
   ての光ビームの光路上、または１本を除くすべての光ビ
   ームの光路上にそれぞれ配設されて前記光ビームの光軸
   を所定の方向に所定の角度傾ける第１の偏向手段と、当
   該第１の偏向手段の出射側にそれぞれ配設されて前記所
   定の方向と逆方向に前記光軸を前記所定の角度傾ける第
   ２の偏向手段と、前記第１と第２の偏向手段を相対的に
   平行移動させるための駆動手段とを備えており、前記駆
   動手段によって、各光ビームの光路上にそれぞれ設けら
   れた前記第１と第２の偏向手段の組のそれぞれを相対的
   に平行移動させることにより、前記記録面上における複
   数の光点の間隔を調整することを特徴とするマルチビー
   ム走査光学装置。
2. （２）第１と第２の偏向手段が光路上に設置された光ビ
   ームが２本以上存在するとともに、駆動手段は、前記第
   １と第２の偏向手段を相対的に平行移動させるに際して
   、各光ビームにおける前記第１と第２の偏向手段の移動
   量を互いに整数比に保つように構成されている請求項１
   記載のマルチビーム走査光学装置。
3. （３）第１と第２の偏向手段は、互いに等しい偏角で光
   ビームを屈折するプリズムであって、かつ、互いに近づ
   けて重ね合わせると平行平板を構成するような位置関係
   で配置されている請求項２記載のマルチビーム走査光学
   装置。