JPH0346518A - 流速測定装置 - Google Patents
流速測定装置Info
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- JPH0346518A JPH0346518A JP18177489A JP18177489A JPH0346518A JP H0346518 A JPH0346518 A JP H0346518A JP 18177489 A JP18177489 A JP 18177489A JP 18177489 A JP18177489 A JP 18177489A JP H0346518 A JPH0346518 A JP H0346518A
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- current meter
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Links
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- 239000003595 mist Substances 0.000 abstract description 10
- 101100327917 Caenorhabditis elegans chup-1 gene Proteins 0.000 abstract description 8
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
見旦立且作
（産業上の利用分野）
本発明は、流速測定装置に関するものである。
（従来の技術）
レジスト処理における主な工程には、レジスト塗布と現
像工程を挙げることができる。このうちレジスト塗布工
程には、スピンコーティング方式が多く採用されいる。
像工程を挙げることができる。このうちレジスト塗布工
程には、スピンコーティング方式が多く採用されいる。
この方式は、第２図に示すように、ウェハ１１をコータ
ーカップ１２内に設けたスピンチャック１３上に吸着固
定し、ウェハ１１を高速回転させながらレジストを滴下
してスピンコーティングすることによりウェハ１１の表
面に均一にレジストを塗布するようにしたものである。
ーカップ１２内に設けたスピンチャック１３上に吸着固
定し、ウェハ１１を高速回転させながらレジストを滴下
してスピンコーティングすることによりウェハ１１の表
面に均一にレジストを塗布するようにしたものである。
この場合、レジストがミスト状になって飛散してレジス
ト表面に付着するので、通常、クリーンルーム内のダウ
ンフローとコータカップの下部に連通させた排気機構を
設けて外部に排気するようにしている。このような排気
管には、排気流量を測定するための圧力センサ例えばピ
トー管１４を配管１５内に設け、このピトー管１４に接
続された差圧計によって測定される大気圧と排気配管内
との差圧から排気流量、即ち排気流速を求める手段等に
より流量測定を行なっている。
ト表面に付着するので、通常、クリーンルーム内のダウ
ンフローとコータカップの下部に連通させた排気機構を
設けて外部に排気するようにしている。このような排気
管には、排気流量を測定するための圧力センサ例えばピ
トー管１４を配管１５内に設け、このピトー管１４に接
続された差圧計によって測定される大気圧と排気配管内
との差圧から排気流量、即ち排気流速を求める手段等に
より流量測定を行なっている。
（発明が解決しようとする課題）
然し乍ら、上記の従来例によると、スピンコーティング
の際に、レジストが飛散してレジストミスト１６が排気
配管１５内に排気されるので、配管１５内のピトー管１
４の流入口にミス１〜が付着してピトー管１４が目詰ま
りを生じ、流量測定の信頼性が低下する等の欠陥を有し
ていた。
の際に、レジストが飛散してレジストミスト１６が排気
配管１５内に排気されるので、配管１５内のピトー管１
４の流入口にミス１〜が付着してピトー管１４が目詰ま
りを生じ、流量測定の信頼性が低下する等の欠陥を有し
ていた。
本発明は、上記の従来の課題に鑑み、レジストミスト等
が測定系に接触しないようにして測定の信頼性の低下を
防止し、排気速度の設定を厳密に行なうことにより塗布
性能の再現性を向上させることを目的としたものである
。
が測定系に接触しないようにして測定の信頼性の低下を
防止し、排気速度の設定を厳密に行なうことにより塗布
性能の再現性を向上させることを目的としたものである
。
発明の構成
（Ｗ題を解決するための手段）
上記の目的を達成するため、本発明は、内部にスピンチ
ャックを配設したコーターカップの上方に位置する気体
流路に流速測定手段を設け、この流速測定結果に応じて
排気速度を制御するように構成した流速測定装置である
。
ャックを配設したコーターカップの上方に位置する気体
流路に流速測定手段を設け、この流速測定結果に応じて
排気速度を制御するように構成した流速測定装置である
。
また、流速測定手段として熱線流速計を用いることが好
ましい。
ましい。
（作 用）
本発明は、上述のようにスピンチャックを内部に設けた
コーターカップの上方の気体流路に流速測定手段を設け
たから、クリーンルーム内の垂直層流であるダウンフロ
ーのみが流速測定手段に接触してレジストミストが接触
する怖れがないので、測定系の目詰まり等がなく、長期
にわたって信頼性の高い流体の速度を測定することがで
きる。
コーターカップの上方の気体流路に流速測定手段を設け
たから、クリーンルーム内の垂直層流であるダウンフロ
ーのみが流速測定手段に接触してレジストミストが接触
する怖れがないので、測定系の目詰まり等がなく、長期
にわたって信頼性の高い流体の速度を測定することがで
きる。
（実施例）
以下に、本発明をレジスト塗布装置の排気速度の設定に
適用した実施例を図面を参照して説明する。
適用した実施例を図面を参照して説明する。
コーターカップ■の内部にスピンチャック３を設け、こ
のスピンチャック３の上面に半導体ウェハ２を吸着固定
して図示しない駆動機構により、ウェハ２を高速回転可
能に設けている。また、このコーターカップ１の上方に
位置するダウンフローの気体流路、即ち、ダウンフロー
のみが接触しレジストミスト等が接触しないコーターカ
ップ１の上方位置の内面に流速測定手段４を設ける。本
例における流速測定手段４は、例えば熱線流速計を用い
ている。この熱線流速計は、気体の流れの中に電気的に
熱せられた細いホットワイヤ或いは３− ホットフィルムを設け、電気抵抗値が気体の流れで冷却
されるとき、風速に応じた量だけ変わる原理を用いたも
ので、この熱線流速計は、ダウンフローの乱れや大きさ
を検出するものである。
のスピンチャック３の上面に半導体ウェハ２を吸着固定
して図示しない駆動機構により、ウェハ２を高速回転可
能に設けている。また、このコーターカップ１の上方に
位置するダウンフローの気体流路、即ち、ダウンフロー
のみが接触しレジストミスト等が接触しないコーターカ
ップ１の上方位置の内面に流速測定手段４を設ける。本
例における流速測定手段４は、例えば熱線流速計を用い
ている。この熱線流速計は、気体の流れの中に電気的に
熱せられた細いホットワイヤ或いは３− ホットフィルムを設け、電気抵抗値が気体の流れで冷却
されるとき、風速に応じた量だけ変わる原理を用いたも
ので、この熱線流速計は、ダウンフローの乱れや大きさ
を検出するものである。
また、コーターカップ１の下部には、コーターカップ１
内から排気を行なうための排気配管５を設け、この排気
配管５には、バタフライバルブ或はアイリスタープのバ
ルブ等の調整弁を設けた排気駆動機構を６を設け、流速
測定手段、本例においては熱線流速計によりダウンフロ
ーの気体の垂直層流の大きさを検出して、検出機構７よ
りその検出結果に応じて制御回路８を介して排気速度を
設定するようにする。
内から排気を行なうための排気配管５を設け、この排気
配管５には、バタフライバルブ或はアイリスタープのバ
ルブ等の調整弁を設けた排気駆動機構を６を設け、流速
測定手段、本例においては熱線流速計によりダウンフロ
ーの気体の垂直層流の大きさを検出して、検出機構７よ
りその検出結果に応じて制御回路８を介して排気速度を
設定するようにする。
次に、上記実施例の作用を説明する。
第１図に示すレジスト塗布装置では、コーターカップ１
の上方よりダウンフローによる気流と、排気駆動装置６
によりコーターカップ１内から排気を行なう状態におい
て、スピンチャック３に吸着固定したウェハ２を高速同
転させながら、ウェハ２の上面に設けたノズルよりレジ
ストを所定量滴４− 下し、遠心力によりウェハ２の全面に均一にレジストを
塗布する。
の上方よりダウンフローによる気流と、排気駆動装置６
によりコーターカップ１内から排気を行なう状態におい
て、スピンチャック３に吸着固定したウェハ２を高速同
転させながら、ウェハ２の上面に設けたノズルよりレジ
ストを所定量滴４− 下し、遠心力によりウェハ２の全面に均一にレジストを
塗布する。
この場合、コーターカップ１の上方の気体流路に熱線流
速計４を設けたから、クリーンルーム内の垂直層流であ
るダウンフローのみが熱線流速計に接触してレジストミ
スト等が接触する怖れがないので、測定系の目詰まり等
の生じることが全くなく、長期にわたって信頼性の高い
流体の速度を測定することができる。
速計４を設けたから、クリーンルーム内の垂直層流であ
るダウンフローのみが熱線流速計に接触してレジストミ
スト等が接触する怖れがないので、測定系の目詰まり等
の生じることが全くなく、長期にわたって信頼性の高い
流体の速度を測定することができる。
発明の効果
以上のことから明らかなように、本発明によると、次の
ような有用な効果がある。
ような有用な効果がある。
コーターカップ内に設けた流速測定手段に対してレジス
トミスト等が接触しないようにして測定の信頼性の低下
を防止し、しかも、排気速度の設定を厳密に行なうこと
により塗布性能の再現性を向上させることができる流速
測定装置を提供することができる。
トミスト等が接触しないようにして測定の信頼性の低下
を防止し、しかも、排気速度の設定を厳密に行なうこと
により塗布性能の再現性を向上させることができる流速
測定装置を提供することができる。
第１図は１本発明をレジスト塗布装置の排気速度の設定
に適用した一実施例を示す断面説明図、第２図は、レジ
スト塗布装置における従来例を示した説明図である。 １・・・・コーターカップ ２・・◆ｅウェハ ３・・・・スピンチャック ４・・・・流速測定手段 ５・・・・排気配管
に適用した一実施例を示す断面説明図、第２図は、レジ
スト塗布装置における従来例を示した説明図である。 １・・・・コーターカップ ２・・◆ｅウェハ ３・・・・スピンチャック ４・・・・流速測定手段 ５・・・・排気配管
Claims (2)
- （１）内部にスピンチャックを配設したコーターカップ
の上方に位置する気体流路に流速測定手段を設け、この
流速測定結果に応じて排気速度を制御するように構成し
たことを特徴とする流速測定装置。 - （２）流速測定手段として熱線流速計を用いた請求項１
記載の流速測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18177489A JPH0346518A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | 流速測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18177489A JPH0346518A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | 流速測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0346518A true JPH0346518A (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=16106651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18177489A Pending JPH0346518A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | 流速測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0346518A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04213815A (ja) * | 1990-12-11 | 1992-08-04 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置のフォトレジスト塗布装置 |
| JPH04130431U (ja) * | 1991-05-23 | 1992-11-30 | ヤマハ株式会社 | 回転塗布装置 |
| KR100714263B1 (ko) * | 2000-11-09 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 코팅설비의 풍속변화에 의한 에러감지장치 |
| WO2019181061A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62102854A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転処理装置 |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP18177489A patent/JPH0346518A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62102854A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転処理装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04213815A (ja) * | 1990-12-11 | 1992-08-04 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置のフォトレジスト塗布装置 |
| JPH04130431U (ja) * | 1991-05-23 | 1992-11-30 | ヤマハ株式会社 | 回転塗布装置 |
| KR100714263B1 (ko) * | 2000-11-09 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 코팅설비의 풍속변화에 의한 에러감지장치 |
| WO2019181061A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
| JP2019169642A (ja) * | 2018-03-23 | 2019-10-03 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
| TWI696836B (zh) * | 2018-03-23 | 2020-06-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置用之皮托管式流量計、基板處理裝置及基板處理方法 |
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