JPH0346396A - Formation of viahole of green sheet - Google Patents
Formation of viahole of green sheetInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子機器等に用いるクリーンシート多層法によ
り形成されるセラミック多層基板の製造方法の中で特に
グリーンシートのビア・ホール（Ｖｉａ Ｈｏ１）の成
形方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic multilayer substrate formed by a clean sheet multilayer method used for electronic devices, etc., and particularly relates to a method for manufacturing a ceramic multilayer board formed by a clean sheet multilayer method for use in electronic devices, etc. This relates to a molding method.
第２図（ａ）、（ｂ）は、従来のグリーンシートのビア
・ホール成形方法を説明するための図である。図におい
て、２はグリーンシートであり、該グリーンシート２は
ステージ９上に載置されている。グリーンシートの表裏
導通用のビア・ホールは、第２図（ａ）に示す如く、金
属粉末にバインダ等を加えてなる厚膜ペースト１をグリ
ーンシート２に形成されたビア・ホール形成用孔３にス
クリーン５を介してスキージ６によって印刷して形成し
ている。なお、スクリーン５にはグリーンシート２に形
成されたビア・ホール形成用孔３に対応したスクリーン
孔４が形成されている。FIGS. 2(a) and 2(b) are diagrams for explaining a conventional method for forming via holes in a green sheet. In the figure, 2 is a green sheet, and the green sheet 2 is placed on a stage 9. As shown in FIG. 2(a), the via holes for electrical conduction between the front and back sides of the green sheet are formed by forming via hole forming holes 3 in the green sheet 2 using a thick film paste 1 made by adding a binder to metal powder. It is formed by printing with a squeegee 6 through a screen 5. Note that screen holes 4 corresponding to the via hole forming holes 3 formed in the green sheet 2 are formed in the screen 5.
グリーンシート２はシート位置決孔７ａ、７ｂを通して
位置決ピン８ａ、８ｂでステージ９の上に位置決めされ
ている。位置決ピン８ａ、８ｂは第２図（ｂ）に示す如
く、印刷時に支障をきたさないように、スクリーン５及
びスキージ６の力により、ステージ９に沈み込み印刷後
はもとに戻るようにステージ９の中に形成された孔にバ
ネ１０ａ、１０ｂで支えられている。なお、スクリーン
５にはメタルやフィルムが使用されている。The green sheet 2 is positioned on the stage 9 by positioning pins 8a, 8b through sheet positioning holes 7a, 7b. As shown in FIG. 2(b), the positioning pins 8a and 8b sink into the stage 9 by the force of the screen 5 and squeegee 6 and return to the original position after printing so as not to cause any trouble during printing. 9 is supported by springs 10a and 10b. Note that the screen 5 is made of metal or film.
また、従来のグリーンシートのビア・ホール成形方法と
しては、特開昭６２−１９４６９８号公報に開示された
ものもある。該文献に開示された方法は、第３図に示す
如く、ビア・ホール形成用孔３をマイラフィルム１１上
に形成されたグリーンシート２と該マイラフィルム１１
とに一緒に穿孔し、マイラフィルム１１をスクリーンと
して加工台１２上でローラ１３により、厚膜ペースト１
を印刷し形成している。Further, as a conventional method for forming via holes in a green sheet, there is a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 194698/1983. As shown in FIG. 3, the method disclosed in this document includes a green sheet 2 in which via hole formation holes 3 are formed on a Mylar film 11 and a Mylar film 11.
With the Mylar film 11 as a screen, the thick film paste 1 is applied by rollers 13 on the processing table 12.
are printed and formed.
しかしながら、上記従来のビア・ホール成形方法のなか
で、メタルスクリーン５を使用する場合は、グリーンシ
ート２の積層数のスクリーン５を製版しなければならな
いので、その製版に長い時間がかかり、また、コストが
高くなるという問題があった。However, when using the metal screen 5 in the above-mentioned conventional via hole forming method, it is necessary to make as many screens 5 as there are stacked green sheets 2, which takes a long time. There was a problem of high cost.
また、フィルムスクリーンを使用する場合はフィルムが
薄い場合、スキージ６がフィルムの下に位置する位置決
ピン８ａ、８ｂに当り、厚膜ペースト１の印刷がスムー
ズにできない場合があるという問題もあった。Additionally, when using a film screen, if the film is thin, the squeegee 6 may hit the positioning pins 8a and 8b located under the film, making it impossible to print the thick film paste 1 smoothly. .
また、上記文献に開示している方法では、マイラフィル
ム１１をスクリーンとして使用するから、印刷機を大幅
に改善しなければならないという問題があり、また、マ
イラフィルム１１上に残った銀や金を含む高価な厚膜ペ
ースト１を廃棄することになり、効率が悪いという問題
もあった。本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、
メタルスクリーンを用いる場合のコスト高や、フィルム
スクリーンの印刷性の悪さを除去し、印刷機の改造を必
要とせず、簡単で安価に製版できる印刷性のよいスクリ
ーンを使用したグリーンシートのビア・ホール成形方法
を提供することにある。Further, in the method disclosed in the above-mentioned document, since the Mylar film 11 is used as a screen, there is a problem that the printing machine must be significantly improved, and the silver and gold remaining on the Mylar film 11 must be removed. There was also the problem that the expensive thick film paste 1 contained therein had to be discarded, resulting in poor efficiency. The present invention has been made in view of the above points, and
Green sheet via hole using a screen with good printability that eliminates the high cost of using a metal screen and the poor printability of a film screen, and allows easy and inexpensive plate making without the need for modification of the printing machine. The object of the present invention is to provide a molding method.
上記課題を解決するため本発明は、ビア・ホール成形用
メタルスクリーンの中央部に開口部を設け、グリーンシ
ートのビア・ホール形成孔に対応したスクリーン孔を有
するフィルムを前記開口部に固定してなるスクリーンを
使用し、ステージ上にバネで支えられた位置決めピンで
位置決めされているグリーンシートのビア・ホール形成
孔に厚膜ペーストを印刷してビア・ホールを成形し、印
刷時はスクリーンのメタルスクリーン部が位置決めビン
をステージに押し込むことを特徴とする。In order to solve the above problems, the present invention provides an opening in the center of a metal screen for forming via holes, and fixes a film having screen holes corresponding to the via hole forming holes in the green sheet to the opening. The via holes are formed by printing thick film paste into the via hole forming holes of the green sheet, which is positioned using positioning pins supported by springs on the stage. It is characterized in that the screen part pushes the positioning bin into the stage.
グリーンシートのビア・ホール成形方法を上記の如く、
ビア・ホール成形用メタルスクリーンの中央部に開口部
を設け、グリーンシートのビア・ホール形成孔に対応し
たスクリーン孔を有するフィルムを開口部に固定してな
るスクリーンを用いるので、グリーンシートの積層数だ
けこのフィルムを取り替えるだけで、ビア・ホール成形
用スクリーンを製造できる。The green sheet via hole forming method is as described above.
Since we use a screen in which an opening is provided in the center of a metal screen for forming via holes and a film with screen holes corresponding to the via hole forming holes of the green sheet is fixed to the opening, the number of laminated green sheets can be reduced. By simply replacing this film, a screen for forming via holes can be manufactured.
また、グリーンシートのビア・ホール形成孔に厚膜ペー
ストを印刷するとき、スクリーンのメタルスクリーン部
分が位置決ピンを確実にステージに押し込むので、フィ
ルムを用いても印刷時にスキージがこの位置決ピンに当
ることが皆無となり、印刷がスムーズにできる。In addition, when printing thick film paste into the via/hole forming holes of the green sheet, the metal screen part of the screen reliably pushes the positioning pins into the stage, so even if a film is used, the squeegee will not press the positioning pins when printing. There are no hits, and printing can be done smoothly.
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明に係るグリーン
シートのビア・ホール成形方法を説明するための図であ
る。同図において、第２図及び第３図と同一番号を付し
た部分は同一機能を有するものである。FIGS. 1(a), 1(b), and 1(c) are diagrams for explaining a method for forming via holes in a green sheet according to the present invention. In this figure, parts given the same numbers as in FIGS. 2 and 3 have the same functions.
第１図（ａ）において、１４ａ、１４ｂはビア・ホール
成形用のメタルスクリーンであり、該メタルスクリーン
１４ａ、１４ｂ中央部にはグリーンシート２に形成され
たビア・ホール形成用孔３が存在する部分の面積より大
きい開口部１５が形成されている。また、１６はグリー
ンシート２のビア・ホール形成用孔３に対応したスクリ
ーン孔４を有するフィルムであり、該フィルム１６の外
径寸法及び厚さ寸法は開口部１５のハーフエッチング部
１７ａ、１７ｂと同一寸法である。In FIG. 1(a), 14a and 14b are metal screens for forming via holes, and holes 3 for forming via holes formed in the green sheet 2 are present at the center of the metal screens 14a and 14b. An opening 15 larger than the area of the portion is formed. Further, 16 is a film having screen holes 4 corresponding to the via hole forming holes 3 of the green sheet 2, and the outer diameter and thickness of the film 16 are the same as the half-etched portions 17a and 17b of the opening 15. The dimensions are the same.
第１図（ｂ）に示す如く、フィルム１６はテープ１８ａ
、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄによって、ハーフエツチング
部１７ａ、１７ｂに固定される。フィルム１６は、グリ
ーンシート２の位置決ピン８ａ、８ｂが位置する範囲内
に収まる寸法としておく。As shown in FIG. 1(b), the film 16 is attached to the tape 18a.
, 18b, 18c, and 18d are fixed to the half-etched portions 17a and 17b. The film 16 has a size that falls within the range where the positioning pins 8a and 8b of the green sheet 2 are located.
この状態で第１図（ｃ）に示す如く、厚膜ペースト１の
印刷時にメタルスクリーン１４ａ、１４ｂ４よ、バネ１
０ａ、１０ｂで支持された位置決ピン８ａ、８ｂをステ
ージ９内に形成され孔内に押し込む様になっている。In this state, as shown in FIG. 1(c), when printing the thick film paste 1, the metal screens 14a, 14b4 and the spring 1
Positioning pins 8a and 8b supported by 0a and 10b are formed inside the stage 9 and are pushed into the holes.
上記メタルスクリーン１４ａ、１４ｂの開口部１５にフ
ィルム１６を固定してなるスクリーンを使用し、位置決
ピン８ａ、８ｂでステージ９上に位置決め固定されグリ
ーンシート２のビア・ホール形成用孔３内に厚膜ペース
ト１をスキージ６で印刷して、グリーンシートのビア・
ホールを形成する。A screen formed by fixing the film 16 to the openings 15 of the metal screens 14a and 14b is used, and the screen is positioned and fixed on the stage 9 using the positioning pins 8a and 8b, and is inserted into the via hole forming hole 3 of the green sheet 2. Print the thick film paste 1 with the squeegee 6 and press the vias on the green sheet.
Form a hole.
上記のように、グリーンシートのビア・ホールを形成す
るのに用いるスクリーンが、メタルスフノーン１４ａ、
１４ｂの中央部に開口部１５を設け、該開口部１５にグ
リーンシート２のビア・ホール形成用孔３に対応したス
クリーン孔４を有するフィルム１６を固定してなる構成
であるのテ、クリーンシート２の積層数に応じてフィル
ム１６を取り替えるだけでスクリーンが製造できる。As mentioned above, the screen used to form the via hole in the green sheet is the metal sulfonone 14a,
The clean sheet has a structure in which an opening 15 is provided in the center of the green sheet 14b, and a film 16 having screen holes 4 corresponding to the via hole forming holes 3 of the green sheet 2 is fixed to the opening 15. A screen can be manufactured by simply replacing the film 16 according to the number of laminated layers.
以上、説明したように本発明によれば下記のような優れ
た効果が得られる。As explained above, according to the present invention, the following excellent effects can be obtained.
■ ビア・ホール成形用スクリーンがビア・ホール成形
用メタルスクリーンの中央部に開口部を設け、グリーン
シートのビア・ホール形成孔に対応したスクリーン孔を
有するフィルムを該開口部に固定しているだけの構成な
ので、グリーンシートの積層数だけこのフィルムを取り
替えるだけで、ビア・ホール成形用スクリーンを製造で
き、その製造時間が非常に短くなると共に、安価となる
。■ The screen for forming via holes has an opening in the center of the metal screen for forming via holes, and a film with screen holes corresponding to the via hole forming holes of the green sheet is fixed to the opening. With this structure, a screen for forming via holes can be manufactured by simply replacing this film as many times as the number of stacked green sheets, and the manufacturing time is extremely short and the cost is low.
■また、グリーンシートのビア・ホール形成孔に厚膜ペ
ーストを印刷するとき、スクリーンのメタルスクリーン
部分が位置決ピンを確実にステージに押し込むので、フ
ィルムを用いても印刷時にスキージがこの位置決ピンに
当ることが皆無となり、印刷がスムーズにできる。■Also, when printing thick film paste into the via/hole forming holes of the green sheet, the metal screen part of the screen reliably pushes the positioning pins into the stage, so even when printing with film, the squeegee can push the positioning pins into the stage. There is no need to hit anything, and printing can be done smoothly.
■ ビア・ホール形成孔に厚膜ペーストを印刷するのに
従来の印刷機を改造することなく、そのまま使用できる
。■ Conventional printing machines can be used as is without modification to print thick film paste on via holes.
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明に係るグリーン
シートのビア・ホール成形方法を説明するための図、第
２図（ａ）、（ｂ）及び第３図は従来のグリーンシート
のビア・ホール成形方法を説明するための図である。
図中、１・・・・厚膜ペースト、２・・・・グリーンシ
ート、３・・・・ビア・ホール形成用孔、４・・・・ス
クリーン孔、５・・・・スクリーン、６・・・・スキー
ジ、７ ａ 、 ７ ｂ−シート位置決孔、８ａ、８ｂ
・・・・位置決ピン、９・・・・ステージ、１０ａ、１
０ｂ・・・・バネ、１１・・・・マイラフィルム、１２
・・・・加工台、１３・・・・ローラ、１４ａ、１４ｂ
・・・・メタルスクリーン、１５・・・・開口部、１６
・・・・フィルム、１７ａ、１７ｂ・・・・ハーフエツ
チング部、１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ−テープ。FIGS. 1(a), (b), and (c) are diagrams for explaining the via hole forming method of a green sheet according to the present invention, and FIGS. FIG. 3 is a diagram for explaining a method of forming via holes in a green sheet. In the figure, 1... thick film paste, 2... green sheet, 3... hole for via hole formation, 4... screen hole, 5... screen, 6... ...Squeegee, 7a, 7b-Sheet positioning hole, 8a, 8b
...Positioning pin, 9...Stage, 10a, 1
0b...Spring, 11...Mylar film, 12
...Processing table, 13...Rollers, 14a, 14b
...Metal screen, 15...Opening, 16
. . . Film, 17a, 17b . . . Half-etched portion, 18a, 18b, 18c, 18d-Tape.
Claims (1)
ーンの中央部に開口部を設け、グリーンシートのビア・
ホール形成孔に対応したスクリーン孔を有するフイルム
を前記開口部に固定してなるスクリーンを使用し、ステ
ージ上にバネで支えられた位置決めピンにより位置決め
されているグリーンシートのビア・ホール形成孔に厚膜
ペーストを印刷してビア・ホールを成形し、印刷時は前
記スクリーンのメタルスクリーン部が位置決めピンをス
テージに押し込むことを特徴とするグリーンシートのビ
ア・ホール成形方法。An opening is provided in the center of the metal screen for forming via holes, and via holes in the green sheet are formed.
A screen formed by fixing a film having screen holes corresponding to the hole forming holes to the opening is used, and a screen is used to attach the via hole forming hole to the via hole forming hole of the green sheet, which is positioned by a positioning pin supported by a spring on the stage. A method for forming via holes in a green sheet, characterized in that via holes are formed by printing a film paste, and during printing, a metal screen portion of the screen pushes positioning pins into a stage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18226189A JPH0346396A (en) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | Formation of viahole of green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18226189A JPH0346396A (en) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | Formation of viahole of green sheet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0346396A true JPH0346396A (en) | 1991-02-27 |
Family
ID=16115160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18226189A Pending JPH0346396A (en) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | Formation of viahole of green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0346396A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007210525A (en) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Kooken Medical Kk | Seating type descending apparatus for evacuation from stairs |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP18226189A patent/JPH0346396A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007210525A (en) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Kooken Medical Kk | Seating type descending apparatus for evacuation from stairs |
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