JPH034400B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光ビームを回転鏡で偏向し主走査し感
光媒体の定速送りにより副走査行なう平面作画装
置に関する。

従来、光ビームを平面走査方式による平面作画
装置は感光媒体の定速送りにより副走査を行なう
ものにおいては、作画時の主走査線は主走査の間
の感光媒体送りの長さの分だけ傾く。この結果、
作画パターンは平行四辺形にゆがんだ形のパター
ンとなる。高精度な作画パターンを形成しようと
する場合、このゆがみが作画精度を下げる大きな
原因となるという欠点があつた。

本発明の目的は、かかる従来欠点を除去して作
画パターンのゆがみを補正した平面作画装置を提
供することにある。

本発明によれは、光ビームを変調する光変調器
と、光ビームを偏向主走査する回転鏡と、感光媒
体を保持し副走査方向に定速で送る送り機構とに
よる平面作画装置において、主走査タイミング信
号を発生する光点位置検出器と、前記信号から作
画信号を遅延させた光変調器に送付し、さらにあ
らかじめ任意に設定された主走査数ごとに遅延時
間を定時間づつ増減させる可変遅延回路を用いる
ことにより作画信号の送付タイミングを変えて各
主走査パターンを主走査方向に平行移動させるこ
とにより作画パターンのゆがみを補正する平面作
画装置が得られる。

以下、図面を参照にし本発明装置による作画パ
ターンを従来装置による作画パターンと比較して
説明する。

第１図は、従来の装置による作画パターンの説
明図である。平面テーブル１に固定した感光媒体
２に作画される主走査パターン３は、平面テーブ
ルの送り方向４に主走査時のテーブル送り長さ５
の分だけ傾く。このため作画パターンは全体とし
て平行四辺形にゆがんでしまう。高精度なパター
ンを作画しようとする場合、このゆがみが精度を
下げる大きな原因となる。

第２図は本発明装置による作画パターンの説明
図である。作画テーブル１に固定した感光媒体２
に作画される主走査パターン３は任意に設定した
主走査数ごとに作画信号送出のタイミングを変え
ることにより、主走査方向に補正ピツチ６づつず
れる。最初の主走査パターン７の始点および終点
から垂直に直線１および１′を引くと、各主走査
パターン３は直線１および１′から微少のずれし
かないように平行四辺形のゆがみが補正される。
作画パターンは全体として傾くが、作画パターン
の相対位置のゆがみが補正されるため、高精度な
作画パターンとして十分用いることができる。

また、あらかじめ感光媒体２を作画されるパタ
ーンの傾きと対応させ傾けて平面テーブル１に固
定するようにすれば作画パターンの全体としての
傾きも除去することができる。

テーブル１の副走査速度あるいは回転鏡の速度
を切換える場合には、平行四辺形のゆがみ量が変
化する。この場合、作画信号送出のタイミングを
変える主走査数の設定を変えるだけで、装置の動
作切換えに容易に追従しゆがみを補正することが
できる。

なお、本実施例では感光媒体２の送りは平面テ
ーブル１を送ることにより行なつたが、平面テー
ブル１の代りに、ローラーにより感光媒体２を送
ることも勿論可能である。

次に、第３図により本発明の一実施例の構成を
ブロツク図を参照して説明する。

光源８により射出した光ビームを光変調器９に
より変調した後、レンズ系１０により太くし、回
転数約600rpm〜2400rpmの回転鏡１１により偏
向させてfθレンズ等の集光レンズ１２の焦点位置
に置いた平面テーブル１の上に固定した塩化銀フ
イルムなどの感光媒体２に直径20〜100μｍに集
光した光点を長さ200〜800mm主走査する。平面テ
ーブル１は直結しているテーブルドライバー１３
により主走査方向に垂直に２cm／分〜10cm／分の
定速で送られる。

また、制御装置１４はテーブルドライバー１３
及び回転鏡ドライバー１５へのタイミング信号を
供給してさらに以下の機能を持つべくクロツク回
路とゲート回路とを組合わせて成るものである。

光点の主走査の終端部に配置した20μｍ〜100μ
ｍの微小幅スリツトフオトとダイオードの組合わ
せによる光点位置検出器１６に光点を主走査する
ことにより主走査タイミング信号を発生させ、制
御装置１４内の可変遅延回路１７に送付する。

可変遅延回路１７は、各主走査ごとに、データ
伝送路１８から受取つた作画信号を光変調器ドラ
イバ１９に送付する時間を主走査タイミング信号
発生時間に対して任意に遅らせることにより、そ
の時間遅れに対応して主走査パターン３を主走査
方向に平行移動させて作画する。

さらに第４図により、可変遅延回路１７につい
て詳細に説明する。光点位置検出器１６により発
生させた主走査タイミング信号は第１制御信号発
生回路２０に送付され、第１制御信号発生回路２
０は第１カウンタ２１に各主走査ごとに１パルス
を送付する。第１カウンタ２１は第１プリセツト
端子２２に設定された値までパルスをカウントし
たら再び最初の状態にもどり、出力パルスを出す
ことにより、主走査パターン３の平行移動量を補
正ピツチ６だけ換えるための合図とする。第１カ
ウンタ２１の出力パルスを第２カウンタ２３によ
りカウントし、第２プリセツト端子２４に設定さ
れた値を１つづつ変えて出力していくことにより
主走査パターン３の平行移動量を順次変えてい
く。第２カウンタ２３は作画終了時に第１制御信
号発生回路２０からのパルスより第２プリセツト
端子２４に設定された値を読み込み待機する。各
主走査ごとに第２カウンタ２３の出力を第３カウ
ンタ２５にプリセツトすることにより遅延時間を
セツトする。第３カウンタ２５は基準クロツク引
込み線２６から基準クロツクを受取り、光点位置
検出器１６からの主走査タイミング信号をトリガ
ーとしてサウントをはじめてプリセツト値までカ
ウントし、次の主走査タイミング信号により再ス
タートされるまで動作を停止する。第３カウンタ
２５の動作停止時点から第２制御信号発生回路２
７が動作を開始し、データ伝送路１８から作画信
号を受取り、光変調器ドライバー１９に作画信号
を送付する。第２制御信号発生回路２７の動作開
始が第３カウンタ２５のカウント時間分だけ遅れ
ることに対応し主走査パターン３が平行移動す
る。このようにして、主走査タイミング信号から
作画信号を遅延させ光変調器９に送付する回路
で、あらかじめ任意に設定された主走査数ごとに
遅延時間を定時間づつ増減させる可変遅延回路１
７を構成することができる。

すなわち、作画信号をこの可変遅延回路１７で
予め大きく遅延させておき、任意に設定された主
走査線数毎に作画信号の遅延時間を減少させて作
画信号送出のタイミングを早めることにより第２
図に示すごとく主走査方向の左側に走査開始点が
平行移動した主走査パターン３の集合として作画
パターンを形成することができる。この場合、第
４図のカウンタとして逆進カウンタが用いられる
ことは言うまでもない。順進カウンタを用いると
遅延時間が増加し走査開始点は右側に平行移動す
るので、走査パターンが第１図とは逆の右上りの
場合に対しての補正となる。

なお、各主走査ごとに光点位置検出器１６に光
が入るよう光変調器９を動作させることにより光
点位置検出器１６が主走査タイミング信号を発生
することができるようにする。

以上、本説明によれば、感光媒体２の定速送り
による作画パターンの平行四辺形のゆがみを補正
することにより高精度なパターンを作画すること
ができる効果がある。また、装置の動作に容易に
追従し、ゆがみを補正できるという利点を有し、
本発明の実用性は著しく大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来例および本発明によ
る作画パターンの平面図をそれぞれ示す。第３図
は本発明の一実施例の構成を説明するブロツク
図。第４図は、本発明の可変遅延回路部分の一実
施例を示すブロツク図。 １……平面テーブル、２……感光媒体、８……
光源、９……光変調器、１０……レンズ系、１１
……回転鏡、１２……集光レンズ、１３……テー
ブルドライバー、１４……制御装置、１５……回
転鏡ドライバ、１６……光点位置検出器、１７…
…可変遅延回路、１８……データ伝送路、１９…
…光変調器ドライバ、２０……第１制御信号発生
回路、２１……第１カウンタ、２２……第１プリ
セツト端子、２３……第２カウンタ、２４……第
２プリセツト端子、２５……第３カウンタ、２６
……基準クロツク引込み線、２７……第２制御信
号発生回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 光ビームを変調する手段と、光ビームを偏向
   する手段と、感光媒体と前記偏向手段との相対的
   位置を定速で変化させる手段とを有する平面作画
   装置において、前記感光媒体上の光ビーム走査開
   始点の位置をあらかじめ任意に設定された走査線
   ごとに定時間づつ走査方向に平行移動させる手段
   を有することを特徴とする平面作画装置。