JPH0342588A - 多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計用ピックアップコイル - Google Patents
多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計用ピックアップコイルInfo
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- JPH0342588A JPH0342588A JP1178858A JP17885889A JPH0342588A JP H0342588 A JPH0342588 A JP H0342588A JP 1178858 A JP1178858 A JP 1178858A JP 17885889 A JP17885889 A JP 17885889A JP H0342588 A JPH0342588 A JP H0342588A
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- coils
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 5
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
多チャンネル５ＱＵＩＤ［束計用のピックアップコイル
に関し、 平面上／曲面上に複数個のコイルを配置／形成した共通
支持板を空間的に平行に配置して微分型ピンクアンプコ
イルを作威し、簡単な構造によって精度良好な多チャン
ネル５ＱＵＩＤｆｆｆ束計用のピックアップコイルを製
作することを目的とし、超伝導性のコイルを非磁性体上
に形成したコイル基板を複数個、平面上／曲面上に配置
、あるいは複数個のコイルを平面上／曲面上に直接に形
成した共通支持板を製作し、この共通支持板を複数枚、
平行に配置して超伝導線で相互に接続して複数の微分型
ピックアップコイルを形成するように構成する。
に関し、 平面上／曲面上に複数個のコイルを配置／形成した共通
支持板を空間的に平行に配置して微分型ピンクアンプコ
イルを作威し、簡単な構造によって精度良好な多チャン
ネル５ＱＵＩＤｆｆｆ束計用のピックアップコイルを製
作することを目的とし、超伝導性のコイルを非磁性体上
に形成したコイル基板を複数個、平面上／曲面上に配置
、あるいは複数個のコイルを平面上／曲面上に直接に形
成した共通支持板を製作し、この共通支持板を複数枚、
平行に配置して超伝導線で相互に接続して複数の微分型
ピックアップコイルを形成するように構成する。
本発明は、多チャンネル５ＱＵＩＤ［末社用のピックア
ップコイルに関するものである。近年、脳や心臓から発
生する生体磁気を計測し、脳機能や心機能の診断を行う
医療機器として、５ＱＵＩＤｉｉ束計が注目されている
。このＳ ＱＵ Ｉ Ｄｉ束末社は床に適用するために
、多点同時刻で生体磁気計測を行うことが要求されてい
る。このため、ピックアップコイル−３ＱＵＩＤセンサ
ーからなる磁気測定システムを複数チャンネル分、備え
た多チャンネル５ＱＵＩＤ［末社が考案され、特性のそ
ろったピックアップコイルを多数個、精度良好に簡単に
製作することが望まれている。
ップコイルに関するものである。近年、脳や心臓から発
生する生体磁気を計測し、脳機能や心機能の診断を行う
医療機器として、５ＱＵＩＤｉｉ束計が注目されている
。このＳ ＱＵ Ｉ Ｄｉ束末社は床に適用するために
、多点同時刻で生体磁気計測を行うことが要求されてい
る。このため、ピックアップコイル−３ＱＵＩＤセンサ
ーからなる磁気測定システムを複数チャンネル分、備え
た多チャンネル５ＱＵＩＤ［末社が考案され、特性のそ
ろったピックアップコイルを多数個、精度良好に簡単に
製作することが望まれている。
〔従来の技術と発明が解決しようとする課題〕従来の多
チャンネル５ＱＵＩＤ［末社用のピンクアンプコイルは
、第４ｒｙＪ（イ）に示すように、非磁性体のコイルボ
ビン２０に超伝導線２１を巻きつけたコイルを複数本並
べていた。この場合には、超伝導線２１をコイルボビン
２０に１つ１つ手巻きしなければならず、手間がかかる
と共に個々のコイルの特性を揃えて製作することが難し
く、多チヤンネル用のピンクアンプコイルとしては不向
きであるという問題があった。
チャンネル５ＱＵＩＤ［末社用のピンクアンプコイルは
、第４ｒｙＪ（イ）に示すように、非磁性体のコイルボ
ビン２０に超伝導線２１を巻きつけたコイルを複数本並
べていた。この場合には、超伝導線２１をコイルボビン
２０に１つ１つ手巻きしなければならず、手間がかかる
と共に個々のコイルの特性を揃えて製作することが難し
く、多チヤンネル用のピンクアンプコイルとしては不向
きであるという問題があった。
また、第４図（ロ）に示すように、リソグラフィ技術に
より、支持構造体３２上に図示ように複数個のコイル３
０と、これらのコイル３０の間を接合する接合線３１と
を薄膜で製作するようにしていた（特開昭５９−１３３
４７４号）。この場合には、個々のコイルの特性を揃え
て製作でき、多チヤンネル用として適している。しかし
、以下の製作上の問題がある。
より、支持構造体３２上に図示ように複数個のコイル３
０と、これらのコイル３０の間を接合する接合線３１と
を薄膜で製作するようにしていた（特開昭５９−１３３
４７４号）。この場合には、個々のコイルの特性を揃え
て製作でき、多チヤンネル用として適している。しかし
、以下の製作上の問題がある。
＋１） 同一の体積ブロックの異なる面にリソグラフ
パターンを焼き付ける専用の装置が必要となる。
パターンを焼き付ける専用の装置が必要となる。
（２） 隣あう面にまたがる結線をリソグラフパター
ンで作製することが困難である。
ンで作製することが困難である。
（３） 心臓から生じる磁気を測定するために、例え
ば１５ｃｍ四方にわたりピンクアンプコイルを配置する
必要があり、この広さにわたって均一に精度良く薄膜を
形成する装置が非常に高価となる。
ば１５ｃｍ四方にわたりピンクアンプコイルを配置する
必要があり、この広さにわたって均一に精度良く薄膜を
形成する装置が非常に高価となる。
本発明は、平面上／曲面上に複数個のコイルを配置／形
成した共通支持板を空間的に平行に配置して微分型ピン
クアンプコイルを作威し、簡単な構造によって精度良好
な多チャンネルＳＱＵ Ｉ Ｄ磁束計用のピックアップ
コイルを製作することを目的としている。
成した共通支持板を空間的に平行に配置して微分型ピン
クアンプコイルを作威し、簡単な構造によって精度良好
な多チャンネルＳＱＵ Ｉ Ｄ磁束計用のピックアップ
コイルを製作することを目的としている。
第１図および第３図を参照して！Ｉ題を解決する手段を
説明する。
説明する。
第１図および第３図において、共通支持板２ば、超伝導
性のコイルを形成したコイル基板１を複数個、平面上／
曲面上に配置、あるいは複数個のコイルを平面上／曲面
上に直接に形成したものである。
性のコイルを形成したコイル基板１を複数個、平面上／
曲面上に配置、あるいは複数個のコイルを平面上／曲面
上に直接に形成したものである。
超伝導！５は、共通支持板２上に配ＩＦ／形成したコイ
ルを相互に接続して微分型ピックアップコイルを形成す
るものである。
ルを相互に接続して微分型ピックアップコイルを形成す
るものである。
支持構造体７は、共通支持板２を平行に複数枚、配置す
るものである。
るものである。
本発明は、第１図および第３図に示すように、超伝導性
のコイルを複数個、平面上／曲面上に配置、あるいは複
数個のコイルを平面上／曲面上に直接に形成した共通支
持板２を作製し、この共通支持板２を複数枚、平行に支
持構造体７に取付け、超伝導ｍ５で相互に接続して複数
の微分型ピックアップコイルを形成するようにしている
。
のコイルを複数個、平面上／曲面上に配置、あるいは複
数個のコイルを平面上／曲面上に直接に形成した共通支
持板２を作製し、この共通支持板２を複数枚、平行に支
持構造体７に取付け、超伝導ｍ５で相互に接続して複数
の微分型ピックアップコイルを形成するようにしている
。
従って、平面上／曲面上に複数個のコイルを製作した共
通支持板２を空間的に複数枚配置／形成して相互に超伝
導線５で結線して微分型ピックアップコイルを製作する
ことにより、簡単な構造によって精度良好な多チャンネ
ル５ＱＵＴＤ！束計用のピックアップコイルを製作する
ことが可能となる。
通支持板２を空間的に複数枚配置／形成して相互に超伝
導線５で結線して微分型ピックアップコイルを製作する
ことにより、簡単な構造によって精度良好な多チャンネ
ル５ＱＵＴＤ！束計用のピックアップコイルを製作する
ことが可能となる。
次に、第１図から第３図を用いて本発明の１実施例の構
成および動作を順次詳細に説明する。
成および動作を順次詳細に説明する。
第１図において、コイル基板ｌば、Ｆｉ４膜によって１
つのコイルを非磁性体く例えばシリコンウェハ〉上に形
成した基板である。このコイル基板１の中心には、図示
のように位置合わせ用の小さな穴３が設けられている。
つのコイルを非磁性体く例えばシリコンウェハ〉上に形
成した基板である。このコイル基板１の中心には、図示
のように位置合わせ用の小さな穴３が設けられている。
共通支持板２は、コイル基板１を複数枚配置したもの、
あるいは複数のコイルを直接に蒸着したものである。コ
イル基板ｌを配置する場合には、当該コイル基板ｌの中
心部の小さな穴３と、共通支持板２の小さな穴４とを一
致させて配置するように、位置合わせを行い易くしであ
る。
あるいは複数のコイルを直接に蒸着したものである。コ
イル基板ｌを配置する場合には、当該コイル基板ｌの中
心部の小さな穴３と、共通支持板２の小さな穴４とを一
致させて配置するように、位置合わせを行い易くしであ
る。
超伝導線５は、共通支持板２に配置／形成したコイルを
相互に接続し、微分型のピックアンプコイルを形成する
ものである。
相互に接続し、微分型のピックアンプコイルを形成する
ものである。
支持構造体７は、共通支持板２を複数枚、平行に配置す
るためのものである。
るためのものである。
以上のように、コイル基板１を複数枚配置あるいはコイ
ルを複数直接に形成した共通支持板２を作製し、この共
通支持板２を支持構造体７に取りつけて平行に配置し、
更に超伝導線５によって相互に接続することにより、微
分型ピックアップコイルを容易に作製することが可能と
なる。
ルを複数直接に形成した共通支持板２を作製し、この共
通支持板２を支持構造体７に取りつけて平行に配置し、
更に超伝導線５によって相互に接続することにより、微
分型ピックアップコイルを容易に作製することが可能と
なる。
第２図は、本発明の１実施例構戒図を示す。
第２図（イ）は、本実施例によって形成した複数の２次
微分型ピックアップコイルのうちの１組を示す、これは
、共通支持板２に配置したコイル基板ｌ上のコイルを、
超伝導線５で２次微分型ピックアップコイルを形成する
ように順次結線すると共にコイル以外の部分で磁束が入
り込むことを防止するために撚っている。
微分型ピックアップコイルのうちの１組を示す、これは
、共通支持板２に配置したコイル基板ｌ上のコイルを、
超伝導線５で２次微分型ピックアップコイルを形成する
ように順次結線すると共にコイル以外の部分で磁束が入
り込むことを防止するために撚っている。
第２図（ロ）は、第２図（イ）の２次微分型ピックアッ
プコイルの結線を判り易く模式的に示したものである。
プコイルの結線を判り易く模式的に示したものである。
第２図（ハ）は、１つのコイル基板例を示す。
このコイル基板ｌ上にパッド８を設け、これらのパッド
８の部分に超伝導線５を半田付けするようにしている。
８の部分に超伝導線５を半田付けするようにしている。
この半田は超伝導性のものである。
第２図（ニ）は、複数の共通支持板２を平行にかつ一定
の間隔で固定するための支持構造体例を示す、この支持
構造体７ば、図示のように、共通支持板２を中心軸９お
よびスペーサ１０によって平行かつ一定の間隔に固定す
るようにしている。
の間隔で固定するための支持構造体例を示す、この支持
構造体７ば、図示のように、共通支持板２を中心軸９お
よびスペーサ１０によって平行かつ一定の間隔に固定す
るようにしている。
第３図は、本発明の他の実施例構成図を示す。
第３図（イ）は、コイル基板例を示す、これは、コイル
のループ部分と、パッド８の部分との間の空間１）．１
２に磁束の鎖交によってノイズが混入することを防止す
るため、ａＴ、線を図示のように交差させて鎖交した磁
束による誘導起電力を打ち消すようにしたものである。
のループ部分と、パッド８の部分との間の空間１）．１
２に磁束の鎖交によってノイズが混入することを防止す
るため、ａＴ、線を図示のように交差させて鎖交した磁
束による誘導起電力を打ち消すようにしたものである。
第３図（ロ）は、他の支持構造体例を示す、これば、複
数の共通支持板２を平行かつ一定の間隔で固定するため
に、図示のような箱にスリット１０を設け、このスリッ
トｌＯに対して共通支持板２を挿入して固定するように
したものである。
数の共通支持板２を平行かつ一定の間隔で固定するため
に、図示のような箱にスリット１０を設け、このスリッ
トｌＯに対して共通支持板２を挿入して固定するように
したものである。
第３図（ハ）は、共通支持板例を示す、これは、支持構
造体７に曲面状の共通支持板２を図示のように固定した
ものである。このように共通支持板２を曲面状にするこ
とにより、人の頭部のように、磁気測定部位が曲面であ
る場合にも通用できる。
造体７に曲面状の共通支持板２を図示のように固定した
ものである。このように共通支持板２を曲面状にするこ
とにより、人の頭部のように、磁気測定部位が曲面であ
る場合にも通用できる。
以上説明したように、本発明によれば、平面上／曲面上
に複数個のコイルを作製した共通支持板２を、空間的に
複数枚配置／形成して相互に超伝導線で結線して微分型
ピンクアンプコイルを形成する構成を採用しているため
、簡単な構造によって精度良好な多チャンネル５ＱＵＩ
Ｄ［末社用のピックアンプコイルを製作することができ
る。
に複数個のコイルを作製した共通支持板２を、空間的に
複数枚配置／形成して相互に超伝導線で結線して微分型
ピンクアンプコイルを形成する構成を採用しているため
、簡単な構造によって精度良好な多チャンネル５ＱＵＩ
Ｄ［末社用のピックアンプコイルを製作することができ
る。
第１図は本発明の原理構成図、第２図は本発明の１実施
例＊＊図、第３図は本発明の他の実施例構成図、第４図
は従来技術の説明図を示す。 図中、１はコイル基板、２ば共通支持板、３．４．６は
穴、５は超伝導線、７は支持構造体、８はパッドを示す
。
例＊＊図、第３図は本発明の他の実施例構成図、第４図
は従来技術の説明図を示す。 図中、１はコイル基板、２ば共通支持板、３．４．６は
穴、５は超伝導線、７は支持構造体、８はパッドを示す
。
Claims (2)
- （１）多チャンネルＳＱＵＩＤ磁束計用のピックアップ
コイルにおいて、 超伝導性のコイルを非磁性体上に形成したコイル基板（
１）を複数個、平面上に配置、あるいは複数個のコイル
を平面上に直接に形成した共通支持板（２）を製作し、 この共通支持板（２）を複数枚、平行に配置して超伝導
線（５）で相互に接続して複数の微分型ピックアップコ
イルを形成するように構成したことを特徴とする多チャ
ンネルＳＱＵＩＤ磁束計用ピックアップコイル。 - （２）上記共通支持板（２）を曲面状に作製したことを
特徴とする請求項第（１）項記載の多チャンネルＳＱＵ
ＩＤ磁束計用ピックアップコイル。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178858A JPH0342588A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計用ピックアップコイル |
| EP90307515A EP0408303B1 (en) | 1989-07-10 | 1990-07-10 | A Pick-up coil assembly for multi-channel squid magnetometer |
| DE69031505T DE69031505T2 (de) | 1989-07-10 | 1990-07-10 | Aufnehmerspulenanordnung für Mehrkanal-SQUID-Magnetfeld-Gradiometer |
| DE69022649T DE69022649T2 (de) | 1989-07-10 | 1990-07-10 | Aufnehmerspulenanordnung für Mehrkanalsquidmagnetometer. |
| EP94111856A EP0625712B1 (en) | 1989-07-10 | 1990-07-10 | A pick-up coil assembly for multi-channel SQUID magnetic gradiometer |
| US07/550,691 US5451871A (en) | 1989-07-10 | 1990-07-10 | Pick-up coil assemblies and system for use in a multi-channel squid magnetometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178858A JPH0342588A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計用ピックアップコイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0342588A true JPH0342588A (ja) | 1991-02-22 |
Family
ID=16055918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1178858A Pending JPH0342588A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 多チャンネルｓｑｕｉｄ磁束計用ピックアップコイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0342588A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009023303A3 (en) * | 2007-05-04 | 2009-08-13 | California Inst Of Techn | Geometries for superconducting sensing coils for squid-based systems |
-
1989
- 1989-07-10 JP JP1178858A patent/JPH0342588A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009023303A3 (en) * | 2007-05-04 | 2009-08-13 | California Inst Of Techn | Geometries for superconducting sensing coils for squid-based systems |
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