JPH0341995B2 - - Google Patents
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- JPH0341995B2 JPH0341995B2 JP4841287A JP4841287A JPH0341995B2 JP H0341995 B2 JPH0341995 B2 JP H0341995B2 JP 4841287 A JP4841287 A JP 4841287A JP 4841287 A JP4841287 A JP 4841287A JP H0341995 B2 JPH0341995 B2 JP H0341995B2
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- Japan
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- voltage
- current
- laser
- current transformer
- output voltage
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器の出力電圧検出装置に関
し、特に低電圧で安価に構成できるようにしたレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置に関する。
し、特に低電圧で安価に構成できるようにしたレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置に関する。
レーザ管は内部のガスの状態等によつて、電気
的なインピーダンスが変化し、このためにレーザ
管に供給される電圧が変動する。例えば、レーザ
管への電流帰還ループを有するレーザ発振器にお
いて、電気的インピーダンスが変動すれば、電流
を一定になるように制御していれば当然に供給電
圧が変動する。これをそのまま放置すれば、高周
波電源内のインバータを構成している半導体、レ
ーザ管等を損傷する原因となる。また、安定な供
給電圧を得るために出力電圧を監視する必要もあ
る。
的なインピーダンスが変化し、このためにレーザ
管に供給される電圧が変動する。例えば、レーザ
管への電流帰還ループを有するレーザ発振器にお
いて、電気的インピーダンスが変動すれば、電流
を一定になるように制御していれば当然に供給電
圧が変動する。これをそのまま放置すれば、高周
波電源内のインバータを構成している半導体、レ
ーザ管等を損傷する原因となる。また、安定な供
給電圧を得るために出力電圧を監視する必要もあ
る。
このため従来より、レーザ管に供給される電圧
を検出し、基準の電圧を越えるときはアラームを
上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停止す
る等の制御を行い、さらに、出力電圧を一定に制
御するために、出力電圧を検出して監視する必要
があつた。従つて、レーザ発振器において、レー
ザ管への供給電圧監視、測定は重要な測定項目の
一つである。従来これらの測定は計器用変圧器ま
たは分割コンデンサを使用して行われてきた。
を検出し、基準の電圧を越えるときはアラームを
上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停止す
る等の制御を行い、さらに、出力電圧を一定に制
御するために、出力電圧を検出して監視する必要
があつた。従つて、レーザ発振器において、レー
ザ管への供給電圧監視、測定は重要な測定項目の
一つである。従来これらの測定は計器用変圧器ま
たは分割コンデンサを使用して行われてきた。
しかし、計器用変圧器を使用するときは、電圧
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
また、コンデンサで電圧を分圧する方法ではレ
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
本発明の目的は上記問題点を解決し、低電圧で
安価に構成できるようにしたレーザ発振器の出力
電圧検出装置を提供することにある。
安価に構成できるようにしたレーザ発振器の出力
電圧検出装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第
１図に示すように、 高周波電源用インバータ１とレーザ管５の間に
高いＱを有するタンク回路２を有するレーザ発振
器の出力電圧検出装置において、 前記タンク回路２のインダクタスＬのアース側
に電流を検出する変流器６を設け、 該変流器６の電流からインバータの出力電圧を
検出するように構成したことを特徴とするレーザ
発振器の出力電圧検出装置が、 提供される。
１図に示すように、 高周波電源用インバータ１とレーザ管５の間に
高いＱを有するタンク回路２を有するレーザ発振
器の出力電圧検出装置において、 前記タンク回路２のインダクタスＬのアース側
に電流を検出する変流器６を設け、 該変流器６の電流からインバータの出力電圧を
検出するように構成したことを特徴とするレーザ
発振器の出力電圧検出装置が、 提供される。
変流器をタンク回路のコイルのアース側に設け
たので、変流器の電圧は非常に低いものでたり
る。この変流器からの電流値とタンク回路のイン
ダクタンスインピーダンスとの積から出力電圧を
計算することができる。
たので、変流器の電圧は非常に低いものでたり
る。この変流器からの電流値とタンク回路のイン
ダクタンスインピーダンスとの積から出力電圧を
計算することができる。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図に本発明の一実施例のブロツク図を示
す。図において、１はインバータであり、商用電
源を整流して直流を高周波の電圧に変換する。２
はタンク回路であり、インバータ１の出力に並列
に接続され、並列に接続されたコイルＬとコンデ
ンサＣで構成されている。タンク回路は高いＱを
有しており、インバータ１側から見たときのイン
ピーダンスが実質的に純抵抗分となるようにＬ，
Ｃが選択されている。３は昇圧用のトランスであ
り、高周波電源装置からの高周波電源を必要な電
圧まで昇圧する。４はマツチング回路であり、ト
ランス３とレーザ管６とのインピーダンスマツチ
ングをとり、インバータ１からの電力を効率よく
レーザ管に供給する。本実施例ではπ型のマツチ
ング回路を使用している。Ｃ１及びＣ２は並列リ
アクタンスを構成するコンデンサであり、Ｌ１直
列リアクタンスを構成するインダクタスである。
す。図において、１はインバータであり、商用電
源を整流して直流を高周波の電圧に変換する。２
はタンク回路であり、インバータ１の出力に並列
に接続され、並列に接続されたコイルＬとコンデ
ンサＣで構成されている。タンク回路は高いＱを
有しており、インバータ１側から見たときのイン
ピーダンスが実質的に純抵抗分となるようにＬ，
Ｃが選択されている。３は昇圧用のトランスであ
り、高周波電源装置からの高周波電源を必要な電
圧まで昇圧する。４はマツチング回路であり、ト
ランス３とレーザ管６とのインピーダンスマツチ
ングをとり、インバータ１からの電力を効率よく
レーザ管に供給する。本実施例ではπ型のマツチ
ング回路を使用している。Ｃ１及びＣ２は並列リ
アクタンスを構成するコンデンサであり、Ｌ１直
列リアクタンスを構成するインダクタスである。
５はレーザ管である。５１は石英ガラス等で形
成された管であり、内部にレーザ媒質ガス５２が
循環されている。５３ａ及び５３ｂは電極であ
り、この電極を介して管５１に高周波電源が印可
されいる。この管５１内にあるレーザ媒質ガス４
２に高周波電源による放電をおこない、レーザ光
を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙面
と直角方向である。
成された管であり、内部にレーザ媒質ガス５２が
循環されている。５３ａ及び５３ｂは電極であ
り、この電極を介して管５１に高周波電源が印可
されいる。この管５１内にあるレーザ媒質ガス４
２に高周波電源による放電をおこない、レーザ光
を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙面
と直角方向である。
６は変流器であり、タンク回路コイルＬのアー
スに設けられている。従つて、変流器６の電圧は
非常に低く、変流器６の絶縁電圧は低いものでた
りる。また、変流器６はアースがレーザ放電用の
電力ラインから分離されており、ノイズ等が混入
する可能性も低い。
スに設けられている。従つて、変流器６の電圧は
非常に低く、変流器６の絶縁電圧は低いものでた
りる。また、変流器６はアースがレーザ放電用の
電力ラインから分離されており、ノイズ等が混入
する可能性も低い。
７は制御装置であり、変流器６からの電流信号
値とトランスの一次側の入力インピーダンスの積
から高周波電源装置１から出力される高周波電源
の電圧を算出することができる。これは、変流器
６からの電流信号値をDAコンバータによつてデ
イジイタル値に変換し、予めタンク回路２のＬイ
ンピーダンス値をデイジイタル値として記憶して
おき、両者の積から求めることができる。この検
出電圧によつて、インバータ１内で使用されてい
るFET等を保護することができる。
値とトランスの一次側の入力インピーダンスの積
から高周波電源装置１から出力される高周波電源
の電圧を算出することができる。これは、変流器
６からの電流信号値をDAコンバータによつてデ
イジイタル値に変換し、予めタンク回路２のＬイ
ンピーダンス値をデイジイタル値として記憶して
おき、両者の積から求めることができる。この検
出電圧によつて、インバータ１内で使用されてい
るFET等を保護することができる。
これらの電圧値を予め定められた基準電圧値と
比較して、基準電圧値を所定の値以上越えている
ときはアラームを表示する。また、この電圧値が
危険電圧以上に達した場合は運動を停止する。さ
らに、この電圧を監視して、自動的に電圧を一定
に保つように制御することもできる。
比較して、基準電圧値を所定の値以上越えている
ときはアラームを表示する。また、この電圧値が
危険電圧以上に達した場合は運動を停止する。さ
らに、この電圧を監視して、自動的に電圧を一定
に保つように制御することもできる。
以上説明したように本発明では、電圧の検出を
タンク回路のコイルののアース側に設けた変流器
から検出した電流から得るように構成しているの
で、変流器の絶縁電圧が低く、安価な変流器を使
用でき、簡単な構成で出力電圧を測定することが
できる。
タンク回路のコイルののアース側に設けた変流器
から検出した電流から得るように構成しているの
で、変流器の絶縁電圧が低く、安価な変流器を使
用でき、簡単な構成で出力電圧を測定することが
できる。
第１図は本発明の一実施例のブロツク図であ
る。 １……インバータ、２……タンク回路、３……
トランス、４……マツチング回路、５……レーザ
管、６……変流器、７……制御回路。
る。 １……インバータ、２……タンク回路、３……
トランス、４……マツチング回路、５……レーザ
管、６……変流器、７……制御回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 高周波電源用インバータとレーザ管の間に高
いＱを有するタンク回路を有するレーザ発振器の
出力電圧検出装置において、 前記タンク回路のインダクタンスのアース側に
電流を検出する変流器を設け、 該変流器の電流からインバータの出力電圧を検
出するように構成したことを特徴とするレーザ発
振器の出力電圧検出装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4841287A JPS63213987A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
| PCT/JP1988/000183 WO1988006810A1 (fr) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Dispositif de detection de la tension de sortie d'un oscillateur laser |
| DE8888901930T DE3870086D1 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Anordnung zum nachweis der ausgangsspannung eines laser-oszillators. |
| EP91100898A EP0433266B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| DE3851896T DE3851896T2 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Ausgangsspannungsdetektionsvorrichtung in einem Laseroszillator. |
| EP88901930A EP0303712B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| US07/269,743 US4876689A (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4841287A JPS63213987A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213987A JPS63213987A (ja) | 1988-09-06 |
| JPH0341995B2 true JPH0341995B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=12802590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4841287A Granted JPS63213987A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63213987A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0323686A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-01-31 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
-
1987
- 1987-03-03 JP JP4841287A patent/JPS63213987A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63213987A (ja) | 1988-09-06 |
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