JPS623881B2 - - Google Patents
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- JPS623881B2 JPS623881B2 JP8747279A JP8747279A JPS623881B2 JP S623881 B2 JPS623881 B2 JP S623881B2 JP 8747279 A JP8747279 A JP 8747279A JP 8747279 A JP8747279 A JP 8747279A JP S623881 B2 JPS623881 B2 JP S623881B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、検出コイルと金属物体例えばモール
ド状金属との距離を、該金属物体に生じた渦電流
に基づく検出コイルのインピーダンス変化から求
める帰還増幅器を使用した帰還増幅型渦流距離計
に関するものである。
ド状金属との距離を、該金属物体に生じた渦電流
に基づく検出コイルのインピーダンス変化から求
める帰還増幅器を使用した帰還増幅型渦流距離計
に関するものである。
第１図には、従来の帰還増幅型渦流距離計の一
例が示されている。この図において、１は金属物
体、２は基準発振器、３は検出コイル、４は増幅
器、Zsは帰還インピーダンスである。基準発振
器２は、一定周波数、一定振幅の交流電圧が出力
し、これが増幅器４に供給されている。この増幅
器４の出力は、帰還インピーダンスZsを介して
検出力コイル３に加えられている。これによつ
て、検出コイル３に交流磁界が発生するが、この
交流磁界が金属物体１と交差すると、渦電流が生
ずることとなり、この反作用として検出コイル３
のインピーダンスＺが変化し、帰還率βｐ＝（β
ｐ＝Ｚ／（Ｚ＋Zs））が変化する。このため、増
幅器４の出力が変化することとなる。この出力変
化は、検出コイル３と金属物体１との距離に対応
しているため、該出力変化から金属物体１と検出
コイル３との距離を非接触で測定することができ
る。
例が示されている。この図において、１は金属物
体、２は基準発振器、３は検出コイル、４は増幅
器、Zsは帰還インピーダンスである。基準発振
器２は、一定周波数、一定振幅の交流電圧が出力
し、これが増幅器４に供給されている。この増幅
器４の出力は、帰還インピーダンスZsを介して
検出力コイル３に加えられている。これによつ
て、検出コイル３に交流磁界が発生するが、この
交流磁界が金属物体１と交差すると、渦電流が生
ずることとなり、この反作用として検出コイル３
のインピーダンスＺが変化し、帰還率βｐ＝（β
ｐ＝Ｚ／（Ｚ＋Zs））が変化する。このため、増
幅器４の出力が変化することとなる。この出力変
化は、検出コイル３と金属物体１との距離に対応
しているため、該出力変化から金属物体１と検出
コイル３との距離を非接触で測定することができ
る。
ところで、一般にコイルのインピーダンスは、
コイルの温度変化によつて多少変化する。そして
このインピーダンス変化の割合は、検出コイル３
のコイルボビンの材質、形状、あるいはコイルの
巻き方などによつても異なる。
コイルの温度変化によつて多少変化する。そして
このインピーダンス変化の割合は、検出コイル３
のコイルボビンの材質、形状、あるいはコイルの
巻き方などによつても異なる。
特に、従来用いられている強磁性体であるフエ
ライトコアのボビンでは、かかる温度変化によつ
てフエライトの誘磁率が変化し、その変化の割合
は温度変動に対してヒステリンス特性をも示す。
ライトコアのボビンでは、かかる温度変化によつ
てフエライトの誘磁率が変化し、その変化の割合
は温度変動に対してヒステリンス特性をも示す。
このように温度変化によつて検出コイル３のイ
ンピーダンスが変化すると、そのまま測定誤差と
なるため、何らかの手段で温度補償する必要があ
るが、かかる補償を高精度で行うことは従来非常
に困難であつた。
ンピーダンスが変化すると、そのまま測定誤差と
なるため、何らかの手段で温度補償する必要があ
るが、かかる補償を高精度で行うことは従来非常
に困難であつた。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであ
り、上述した従来技術の欠点を改善し、良好に温
度補償を行うことができる帰還増幅型渦流距離計
を提供することをその目的とするものである。
り、上述した従来技術の欠点を改善し、良好に温
度補償を行うことができる帰還増幅型渦流距離計
を提供することをその目的とするものである。
本発明によれば、増幅器に交流信号を加える発
振器として、電圧制御型の発振器が使用され、検
出コイルには並列にコンデンサが接続されて共振
回路が構成される。発振器の出力と増幅器の出力
は、その位相差が位相検波器によつて検出され、
位相差に対応する直流電圧を得て、この電圧が制
御電圧として発振器に入力されて発振周波数が制
御される。
振器として、電圧制御型の発振器が使用され、検
出コイルには並列にコンデンサが接続されて共振
回路が構成される。発振器の出力と増幅器の出力
は、その位相差が位相検波器によつて検出され、
位相差に対応する直流電圧を得て、この電圧が制
御電圧として発振器に入力されて発振周波数が制
御される。
共振回路が共振していないと、発振器の出力と
増幅器の出力との間に位相差が生ずるが、これが
なくなるように、制御電圧が位相検波器から発振
器に出力される。このため、共振回路は共振状態
となる。
増幅器の出力との間に位相差が生ずるが、これが
なくなるように、制御電圧が位相検波器から発振
器に出力される。このため、共振回路は共振状態
となる。
かかる共振状態下では、検出コイルのインピー
ダンスは、温度が変化してインダクタンスや抵抗
分が変化しても全体としてはキヤンセルされて変
化しないようになる。
ダンスは、温度が変化してインダクタンスや抵抗
分が変化しても全体としてはキヤンセルされて変
化しないようになる。
以下、本発明の実施例を第２図ないし第７図に
基づいて詳細に説明する。
基づいて詳細に説明する。
第２図には、本発明にかかる帰還増幅型渦流距
離計の一実施例が示されている。この図におい
て、電圧制御型発振器（以下単に「発振器」とい
う）５の出力側は、増幅器４の入力側及び位相検
波器６の入力側に接続されている。この位相検波
器６には、増幅器４の出力側も接続されており、
位相検波器６の出力は、発振器５に入力されるよ
うになつている。
離計の一実施例が示されている。この図におい
て、電圧制御型発振器（以下単に「発振器」とい
う）５の出力側は、増幅器４の入力側及び位相検
波器６の入力側に接続されている。この位相検波
器６には、増幅器４の出力側も接続されており、
位相検波器６の出力は、発振器５に入力されるよ
うになつている。
前述した増幅器４の出力側は、帰還抵抗Rpを
介して入力側に接続されているとともに、検出コ
イル３及びコンデンサCoの並列回路に接続され
ている。なお、金属物体１は、検出コイル３に対
する通電によつて生ずる磁界によつてうず電流が
生ずる近接した位置に配置される。
介して入力側に接続されているとともに、検出コ
イル３及びコンデンサCoの並列回路に接続され
ている。なお、金属物体１は、検出コイル３に対
する通電によつて生ずる磁界によつてうず電流が
生ずる近接した位置に配置される。
以上のうち、検出コイル３及びコンデンサＣp
は、並列共振回路を構成しており、この部分を取
り出して示すと第６図のようになる。ここで検出
コイル３のインダクタンス分をＬ、抵抗分をｒと
して回路全体の合成インピーダンスを求めると、
合成アドミタンスをYoとして、 １／Ｚｏ＝Yo＝ｊωCo＋１／ｒ＋ｊωＬ＝ｊωCo ＋ｒ−ｊωＬ／ｒ２＋（ωＬ）２ ……(1) となる。ここで、ωは角周波数、ｊは虚数単位で
ある。回路の共振時においては、合成アドミタン
スYoの虚数成分が零となるから、共振時の角周
波数ωｏに対して、 ｊωoCo＝−ｊωｐＬ／ｒ２＋（ωｐＬ）２ ……(2) となる。従つて、共振時下における合成アドミタ
ンスYoは、 Yo＝ｒ／ｒ２＋（ωｐＬ）２ ……(3) となる。また、合成インピーダンスZoは、 Zo＝１／Ｙｏ＝ｒ２＋（ωｏＬ）２／ｒ＝ｒ＋（ωｐＬ
）２／ｒ…(4) となる。また、共振時においては、 １／ωｐＣｏ＝ωoL ……(5) であるから、これを(4)式に代入すると、 Zo＝ｒ＋ωｐＬ／ｒ・１／ωｐＣｏ＝ｒ＋Ｌ／ｒＣｐ…
…(6) となる。この回路は、並列共振であるから、共振
時においてインピーダンスZoが非常に大きくな
る。一方、検出コイル３の抵抗分ｒは、共振時の
インピーダンスZoと比較して十分小さい。従つ
て、(6)式は、次のように近似することができる。
は、並列共振回路を構成しており、この部分を取
り出して示すと第６図のようになる。ここで検出
コイル３のインダクタンス分をＬ、抵抗分をｒと
して回路全体の合成インピーダンスを求めると、
合成アドミタンスをYoとして、 １／Ｚｏ＝Yo＝ｊωCo＋１／ｒ＋ｊωＬ＝ｊωCo ＋ｒ−ｊωＬ／ｒ２＋（ωＬ）２ ……(1) となる。ここで、ωは角周波数、ｊは虚数単位で
ある。回路の共振時においては、合成アドミタン
スYoの虚数成分が零となるから、共振時の角周
波数ωｏに対して、 ｊωoCo＝−ｊωｐＬ／ｒ２＋（ωｐＬ）２ ……(2) となる。従つて、共振時下における合成アドミタ
ンスYoは、 Yo＝ｒ／ｒ２＋（ωｐＬ）２ ……(3) となる。また、合成インピーダンスZoは、 Zo＝１／Ｙｏ＝ｒ２＋（ωｏＬ）２／ｒ＝ｒ＋（ωｐＬ
）２／ｒ…(4) となる。また、共振時においては、 １／ωｐＣｏ＝ωoL ……(5) であるから、これを(4)式に代入すると、 Zo＝ｒ＋ωｐＬ／ｒ・１／ωｐＣｏ＝ｒ＋Ｌ／ｒＣｐ…
…(6) となる。この回路は、並列共振であるから、共振
時においてインピーダンスZoが非常に大きくな
る。一方、検出コイル３の抵抗分ｒは、共振時の
インピーダンスZoと比較して十分小さい。従つ
て、(6)式は、次のように近似することができる。
Zo≒Ｌ／ｒＣｐ ……(7)
次に、発振器５は、位相検波器６から入力され
る電圧によつてその発振電圧の周波数が制御され
る電圧制御型の発振器である。発振器５の発振電
圧は、増幅器４、帰還抵抗Ｒp及び前記並列共振
回路から成る帰還増幅回路に印加されるようにな
つている。増幅器４で増幅された電圧は、一方に
おいて位相検波器６に印加されており、他方にお
いて、検出電圧として出力されている。
る電圧によつてその発振電圧の周波数が制御され
る電圧制御型の発振器である。発振器５の発振電
圧は、増幅器４、帰還抵抗Ｒp及び前記並列共振
回路から成る帰還増幅回路に印加されるようにな
つている。増幅器４で増幅された電圧は、一方に
おいて位相検波器６に印加されており、他方にお
いて、検出電圧として出力されている。
次に、位相検波器６は、両入力電圧の位相差を
検知し、この位相差に対応した直流電圧が制御電
圧として発振器５に入力されている。位相検波器
６には、増幅器４の出力と発振器５の出力とが各
各入力されており、両者の位相が比較されるよう
になつている。
検知し、この位相差に対応した直流電圧が制御電
圧として発振器５に入力されている。位相検波器
６には、増幅器４の出力と発振器５の出力とが各
各入力されており、両者の位相が比較されるよう
になつている。
次に、上記実施例の全体的作用について説明す
る。
る。
まず、温度変化、及び金属物体１と検出コイル
３との距離変化のない定常状態においては、位相
検波器６の作用により発振器５の出力と増幅器４
の出力との位相が一致するように制御され、発振
器５の発振周波数は、共振回路の共振周波数ｆp
となる。すなわち、位相検波器６の作用により、
検出コイル３とコンデンサＣpの共振回路が共振
状態となるように、別言すれば、上記(7)式が成立
するように発振器５の発振周波数が制御される。
従つて、例えば、検出コイル３の温度変化によ
り、検出コイル３のインダクタンスＬが△Ｌ変化
したとすると、温度変化前の共振周波数をf01と
し、温度変化後の共振周波数をf02とした場合、 △Ｌ／Ｌ＝（f01／f02）2−１ ……(8) となるように位相検波器６により発振器５が制御
される。
３との距離変化のない定常状態においては、位相
検波器６の作用により発振器５の出力と増幅器４
の出力との位相が一致するように制御され、発振
器５の発振周波数は、共振回路の共振周波数ｆp
となる。すなわち、位相検波器６の作用により、
検出コイル３とコンデンサＣpの共振回路が共振
状態となるように、別言すれば、上記(7)式が成立
するように発振器５の発振周波数が制御される。
従つて、例えば、検出コイル３の温度変化によ
り、検出コイル３のインダクタンスＬが△Ｌ変化
したとすると、温度変化前の共振周波数をf01と
し、温度変化後の共振周波数をf02とした場合、 △Ｌ／Ｌ＝（f01／f02）2−１ ……(8) となるように位相検波器６により発振器５が制御
される。
次に、検出コイル３のインダクタンスＬに着目
すると、このインダクタンスＬは、第３図に測定
例を示すように、温度変化に対して変化するとと
もに、第７図Ａに示すように、金属物体１に生じ
た渦電流による反作用により金属物体１と検出コ
イル３の距離Ｄに対応して変化する。すなわち、
インダクタンスＬは、巻線自体の本来のインダク
タンスLsと、渦電流による反作用によつて等価
的に発生するインダクタンスＬeとを含むもので
あり、Lsは前記温度によつて変化し、Ｌeは前記
距離Ｄによつて変化するものと考えることができ
る。なお、第７図Ａは、測定距離Ｄが無限大時に
おけるインダクタンスＬ∞と、測定距離Ｄにおけ
るインダクタンスＬDとの比を示すものである。
すると、このインダクタンスＬは、第３図に測定
例を示すように、温度変化に対して変化するとと
もに、第７図Ａに示すように、金属物体１に生じ
た渦電流による反作用により金属物体１と検出コ
イル３の距離Ｄに対応して変化する。すなわち、
インダクタンスＬは、巻線自体の本来のインダク
タンスLsと、渦電流による反作用によつて等価
的に発生するインダクタンスＬeとを含むもので
あり、Lsは前記温度によつて変化し、Ｌeは前記
距離Ｄによつて変化するものと考えることができ
る。なお、第７図Ａは、測定距離Ｄが無限大時に
おけるインダクタンスＬ∞と、測定距離Ｄにおけ
るインダクタンスＬDとの比を示すものである。
次に、検出コイル３の抵抗分ｒに着目すると、
この抵抗分ｒには、コイル自身の巻線抵抗（以下
「直流抵抗」という）ＲDCと、金属物体１に生ず
る渦電流による反作用によつて等価的に発生する
損失抵抗（以下「交流抵抗」という）ｒACとが含
まれる。これらのうち、直流抵抗ＲDCは、周知の
ように温度上昇とともにその値が上昇し、 ＲDC＝ＲDC20（１＋αｔ） ……(9) で示される。ＲDC20は、温度ｔ＝20℃における抵
抗値、αは、温度係数である。このαは、銅線の
場合4.3×10-3程度となる。
この抵抗分ｒには、コイル自身の巻線抵抗（以下
「直流抵抗」という）ＲDCと、金属物体１に生ず
る渦電流による反作用によつて等価的に発生する
損失抵抗（以下「交流抵抗」という）ｒACとが含
まれる。これらのうち、直流抵抗ＲDCは、周知の
ように温度上昇とともにその値が上昇し、 ＲDC＝ＲDC20（１＋αｔ） ……(9) で示される。ＲDC20は、温度ｔ＝20℃における抵
抗値、αは、温度係数である。このαは、銅線の
場合4.3×10-3程度となる。
他方、金属物体１に渦電流が生ずると電力消費
を伴うが、この電力消費を等価的に表現したもの
が、交流抵抗ｒACである。従つて、交流抵抗ｒAC
は、うず電流の程度すなわち金属物体１と検出コ
イル３との距離Ｄによつて第７図Ｂに示すように
変化する。なお、第７図Ｂは、測定距離Ｄが無限
大時における交流抵抗ｒAC∞と、測定距離Ｄにお
ける交流抵抗ｒACDとの比を示す線図である。
を伴うが、この電力消費を等価的に表現したもの
が、交流抵抗ｒACである。従つて、交流抵抗ｒAC
は、うず電流の程度すなわち金属物体１と検出コ
イル３との距離Ｄによつて第７図Ｂに示すように
変化する。なお、第７図Ｂは、測定距離Ｄが無限
大時における交流抵抗ｒAC∞と、測定距離Ｄにお
ける交流抵抗ｒACDとの比を示す線図である。
次に、距離Ｄが変化せず、温度ｔが変化した場
合を考えると、まず、インダクタンスＬのうち、
本来のインダクタンスLsが温度上昇とともに上
昇し、全体としてもＬは増大する（第３図参
照）。他方、抵抗分ｒのうち、直流抵抗ＲDCが(9)
式に示すように、温度上昇とともに上昇し、全体
としてもｒは増大する。このため、検出コイル３
の巻数、導体長、電流値等を適当に設定すれば、
(7)式において、温度変化による分子の変化と分母
の変化がキヤンセルするようになり、インピーダ
ンスＺpは、ほぼ一定に保たれることとなる。従
つて帰還率βｐ（＝Ｚp／（Ｒp＋Ｚp））も一定と
なり、増幅器４の出力電圧は変化しない。この様
子は、第４図に測定例として示されており、実線
は本実施例を示し、破線は第１図の従来例を示
す。
合を考えると、まず、インダクタンスＬのうち、
本来のインダクタンスLsが温度上昇とともに上
昇し、全体としてもＬは増大する（第３図参
照）。他方、抵抗分ｒのうち、直流抵抗ＲDCが(9)
式に示すように、温度上昇とともに上昇し、全体
としてもｒは増大する。このため、検出コイル３
の巻数、導体長、電流値等を適当に設定すれば、
(7)式において、温度変化による分子の変化と分母
の変化がキヤンセルするようになり、インピーダ
ンスＺpは、ほぼ一定に保たれることとなる。従
つて帰還率βｐ（＝Ｚp／（Ｒp＋Ｚp））も一定と
なり、増幅器４の出力電圧は変化しない。この様
子は、第４図に測定例として示されており、実線
は本実施例を示し、破線は第１図の従来例を示
す。
次に、距離Ｄが変化した場合、例えばＤが大き
くなつたとすると、第７図Ａに示すようにインダ
クタンスＬは全体として増大する。これに対し抵
抗分ｒのうち交流抵抗ｒACは同図Ｂに示すよう
に、Ｄの増大とともに減少する。従つて(7)式にお
いて、距離Ｄが増大したときは、分子が増大し、
分母が減少する。よつてインピーダンスZoは全
体として増大することとなる。前述したように、
帰還率βｐは、Zo／Ｒp＋Ｚp）であるから、βｐ
が全体として変化し、増幅器４の出力電圧が変化
することとなる。第５図にはかかる出力の距離Ｄ
に対する変化の測定例が示されている。
くなつたとすると、第７図Ａに示すようにインダ
クタンスＬは全体として増大する。これに対し抵
抗分ｒのうち交流抵抗ｒACは同図Ｂに示すよう
に、Ｄの増大とともに減少する。従つて(7)式にお
いて、距離Ｄが増大したときは、分子が増大し、
分母が減少する。よつてインピーダンスZoは全
体として増大することとなる。前述したように、
帰還率βｐは、Zo／Ｒp＋Ｚp）であるから、βｐ
が全体として変化し、増幅器４の出力電圧が変化
することとなる。第５図にはかかる出力の距離Ｄ
に対する変化の測定例が示されている。
なお、上記実施例において、第２図中の鎖線Ａ
で示した部分をPLLの集積回路などを用いて構成
すれば、回路構成や実装がより簡略化できる。ま
た、位相検波器６の出力電圧を測定するようにす
ると、検出コイル３のインダクタンスの変化量を
連続的に検知できる。発振器は、どのようなもの
を用いてもよく、特にクリスタル発振素子を用い
た高安定度のものを必要とするものではない。
で示した部分をPLLの集積回路などを用いて構成
すれば、回路構成や実装がより簡略化できる。ま
た、位相検波器６の出力電圧を測定するようにす
ると、検出コイル３のインダクタンスの変化量を
連続的に検知できる。発振器は、どのようなもの
を用いてもよく、特にクリスタル発振素子を用い
た高安定度のものを必要とするものではない。
以上説明したように、本発明によれば、検出コ
イルにコンデンサを接続して共振回路を構成する
とともに、電圧制御型発振器と位相検波器を用い
て共振回路を共振状態として距離測定を行うこと
としたので、検出コイルが温度変化してもその影
響が低減されて良好に測定を行うことができると
ともに、回路の調整も簡単になるという効果があ
る。
イルにコンデンサを接続して共振回路を構成する
とともに、電圧制御型発振器と位相検波器を用い
て共振回路を共振状態として距離測定を行うこと
としたので、検出コイルが温度変化してもその影
響が低減されて良好に測定を行うことができると
ともに、回路の調整も簡単になるという効果があ
る。
第１図は従来例を示すブロツク図、第２図は本
発明の実施例を示すブロツク図、第３図は検出コ
イルの温度変化に対するそのインダクタンスの変
化の測定値を示すグラフ、第４図は検出コイルの
温度変化に対する増幅器の出力電圧の測定値を示
すグラフ、第５図は測定すべき距離に対する本発
明の距離計の増幅器の出力電圧測定値を示すグラ
フ、第６図は共振回路を示す回路図、第７図Ａは
測定距離に対するインダクタンスの変化を示す線
図、同図Ｂは測定距離に対する交流抵抗の変化を
示す線図である。 １：金属物体、３：検出コイル、４：増幅器、
５：Ｖ−Ｆ型発振器、６：位相検波器、Co：コ
ンデンサ、Ｒp：帰還抵抗。
発明の実施例を示すブロツク図、第３図は検出コ
イルの温度変化に対するそのインダクタンスの変
化の測定値を示すグラフ、第４図は検出コイルの
温度変化に対する増幅器の出力電圧の測定値を示
すグラフ、第５図は測定すべき距離に対する本発
明の距離計の増幅器の出力電圧測定値を示すグラ
フ、第６図は共振回路を示す回路図、第７図Ａは
測定距離に対するインダクタンスの変化を示す線
図、同図Ｂは測定距離に対する交流抵抗の変化を
示す線図である。 １：金属物体、３：検出コイル、４：増幅器、
５：Ｖ−Ｆ型発振器、６：位相検波器、Co：コ
ンデンサ、Ｒp：帰還抵抗。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 増幅器の帰還回路に検出コイルが含まれてお
り、金属物体に生じたうず電流によつて検出コイ
ルのインピーダンスが変化すると帰還回路の帰還
率が変化する帰還増幅型渦流距離計において、 制御電圧によつて発振周波数が変化する交流信
号を、前記増幅器に出力する電圧制御型発振器
と、 前記検出コイルと並列に接続されて共振回路を
構成するコンデンサと、 前記電圧制御型発振器の出力と前記増幅器の出
力との位相差に対応した制御電圧を前記電圧制御
型発振器に加えて、前記共振回路が共振状態とな
るようにその発振周波数を制御する位相検波器と
を具備することを特徴とする帰還増幅型渦流距離
計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8747279A JPS5612502A (en) | 1979-07-12 | 1979-07-12 | Feedback amplification type vortex flow range finder |
| GB8022329A GB2054867B (en) | 1979-07-12 | 1980-07-08 | Eddy-current distance measuring apparatus |
| FR8015249A FR2461233A1 (fr) | 1979-07-12 | 1980-07-09 | Appareil de mesure de distance par courants de foucault utilisant un amplificateur a reaction positive |
| DE19803026389 DE3026389C2 (de) | 1979-07-12 | 1980-07-11 | Vorrichtung zur Abstandsmessung durch Wirbelströme mit einem rückgekoppelten Verstärker |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8747279A JPS5612502A (en) | 1979-07-12 | 1979-07-12 | Feedback amplification type vortex flow range finder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5612502A JPS5612502A (en) | 1981-02-06 |
| JPS623881B2 true JPS623881B2 (ja) | 1987-01-27 |
Family
ID=13915846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8747279A Granted JPS5612502A (en) | 1979-07-12 | 1979-07-12 | Feedback amplification type vortex flow range finder |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5612502A (ja) |
| DE (1) | DE3026389C2 (ja) |
| FR (1) | FR2461233A1 (ja) |
| GB (1) | GB2054867B (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3409448A1 (de) * | 1983-03-16 | 1984-09-20 | Thyssen Industrie Ag, 4300 Essen | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung des abstandes einer magnetischen sonde von einer leitfaehigen reaktionsschiene |
| GB2136580B (en) * | 1983-03-16 | 1987-11-18 | Thyssen Industrie | Method and apparatus for determining the distance from a conductor |
| JPS6093316A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-25 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 渦流式湯面レベル測定法 |
| DE3420330C1 (de) * | 1984-05-30 | 1985-12-05 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Induktiver Sensor und Verfahren zur beruehrungslosen,dreidimensionalen Positionserfassung von Loechern,Bohrungen,Bolzen,Niete u.ae. in bzw. an Metallteilen mittels eines solchen Sensors |
| JPS6114501A (ja) * | 1984-06-30 | 1986-01-22 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 渦流式距離計 |
| IT1209599B (it) * | 1984-11-15 | 1989-08-30 | Siette Spa | Sistema di rilevamento di livello per veicoli. |
| FR2575820B1 (fr) * | 1985-01-10 | 1992-07-24 | Equip Construction Electriq | Procede et dispositif pour mesurer la distance entre une cible et un capteur |
| SE456606B (sv) * | 1987-02-18 | 1988-10-17 | Tornbloms Kvalitetskontroll Ab | Anordning for metning och/eller provning av dimension och/eller form via avstandsmetning |
| DE3815010A1 (de) * | 1988-04-30 | 1989-11-09 | Leybold Ag | Schaltungsanordnung fuer den kombinierten einsatz einer induktiven und einer kapazitiven einrichtung fuer die zerstoerungsfreie messung des ohmschen wiederstands duenner schichten |
| FR2638837A1 (fr) * | 1988-11-10 | 1990-05-11 | Phytrans | Procede de detection de la derive en temperature du signal de reponse d'un capteur inductif et dispositif pour sa mise en oeuvre |
| US5854553A (en) * | 1996-06-19 | 1998-12-29 | Skf Condition Monitoring | Digitally linearizing eddy current probe |
| AU1145797A (en) * | 1995-12-05 | 1997-06-27 | Skf Condition Monitoring | Driver for eddy current proximity probe |
| JP2017054354A (ja) | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 株式会社東芝 | 厚さ検出装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3213694A (en) * | 1963-03-11 | 1965-10-26 | Palomar Scient Corp | Stabilized transducer system for measuring displacement and acceleration |
| US3851242A (en) * | 1972-06-27 | 1974-11-26 | J Ellis | Frequency-modulated eddy-current proximity gage |
| GB1512799A (en) * | 1974-11-06 | 1978-06-01 | Nippon Kokan Kk | Apparatus for non-contact measurement of distance between a metallic body and a detection coil |
| US4160204A (en) * | 1974-11-11 | 1979-07-03 | Kaman Sciences Corporation | Non-contact distance measurement system |
-
1979
- 1979-07-12 JP JP8747279A patent/JPS5612502A/ja active Granted
-
1980
- 1980-07-08 GB GB8022329A patent/GB2054867B/en not_active Expired
- 1980-07-09 FR FR8015249A patent/FR2461233A1/fr active Granted
- 1980-07-11 DE DE19803026389 patent/DE3026389C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2054867B (en) | 1983-06-29 |
| FR2461233B1 (ja) | 1983-05-13 |
| FR2461233A1 (fr) | 1981-01-30 |
| DE3026389A1 (de) | 1981-01-15 |
| DE3026389C2 (de) | 1984-04-19 |
| JPS5612502A (en) | 1981-02-06 |
| GB2054867A (en) | 1981-02-18 |
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