JPH0340500A - Position aligning device - Google Patents

Position aligning device

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JPH0340500A
JPH0340500A JP1176164A JP17616489A JPH0340500A JP H0340500 A JPH0340500 A JP H0340500A JP 1176164 A JP1176164 A JP 1176164A JP 17616489 A JP17616489 A JP 17616489A JP H0340500 A JPH0340500 A JP H0340500A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
board
electronic component
component
positional deviation
optical system
Prior art date
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Pending
Application number
JP1176164A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Ikeda
池田 比呂志
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0340500A publication Critical patent/JPH0340500A/en
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the mounting of a component in positioning accuracy by a method wherein the positional deviation between an electronic component and a board is detected, and the intrinsic drive error of a device is corrected. CONSTITUTION:A board image sensing optical system 3 and a board position recognition section 5 are provided to a board 11 placed on an X-Y table, and a component image sensing optical system 4 and a component position recognition section 6 are provided to an electronic component 2 held by a mounting head 8. Positional deviation data Xb and Yb, and Xp, Yp, and thetap detected by the recognition sections 5 and 6 are sent to an offset memory 10. corrections X, Y, and theta are computed through the memory 10 basing on the data Xb and Xb, data Xp, Yp, and thetap, and data dx, dy, and dtheta of the table 7 and the head 8. The computed corrections X, Y, and theta are sent to a control 9 to correct the positional deviation between the table 7 and the head 8.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 電子部品を基板の所定個所に移送し、位置決めする位置
合わせ装置に関し、 電子部品および基板の両者の位置ずれを検出すると共に
、装置固有の駆動誤差による調整が行われるようにする
ことで実装の位置決め精度の向上を図ることを目的とし
、 基板のパターンを撮影する基板撮影用光学系を有し、該
基板撮影用光学系による画像によって該基板の位置ずれ
を検出する基板位置認識部と、電子部品の端子部を撮影
する部品撮影用光学系を有し、該部品撮影用光学系によ
る画像によって該端子部の位置ずれを検出する部品位置
認識部と、該基板位置認識部によって検出された位置ず
れデータと、該部品位置認識部によって検出された位置
ずれデータと、搭載ヘッドおよびX−Yテーブルの駆動
誤差データとによって補正値を演算、格納し、該補正値
によって該搭載ヘッドと該X−Yテーブルとの駆動が修
正されるよう該補正値を制御部に送出するオフセットメ
モリとを具備するように構成する。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding an alignment device that transfers and positions electronic components to a predetermined location on a board, the present invention detects misalignment of both the electronic components and the board, and also makes adjustments due to drive errors specific to the device. The purpose is to improve the positioning accuracy of mounting by making it possible to perform the positioning, and the system has a board photographing optical system that photographs the pattern of the board, and uses the image taken by the board photographing optical system to detect the positional deviation of the board. a component position recognition section that has a board position recognition section that detects a terminal section of the electronic component; a component position recognition section that has a component photographing optical system that photographs a terminal section of the electronic component, and detects a positional shift of the terminal section using an image taken by the component photographing optical system; A correction value is calculated and stored based on the positional deviation data detected by the board position recognition unit, the positional deviation data detected by the component position recognition unit, and the drive error data of the mounting head and the X-Y table, and the correction value is The offset memory is configured to send the correction value to the control unit so that the driving of the mounting head and the XY table is corrected according to the value.

(産業上の利用分野〕 本発明は電子部品を基板の所定個所に位置決めする位置
合わせ装置に関する。
(Industrial Application Field) The present invention relates to a positioning device for positioning electronic components at predetermined locations on a board.

ICなどの電子部品の高集積化が飛躍的に進む中で、こ
れらの電子部品を形成するパッケージの小型化並びに多
ビン化が高密度実装を行う上で重要な要素となってきた
As the integration of electronic components such as ICs has progressed dramatically, miniaturization of packages forming these electronic components and increase in the number of bins have become important factors for high-density packaging.

そこで、DIP形(Dual In−1ine Pac
kage)に変わる新しいパッケージとして、第7図の
パッケージの斜視図に示すPGA形(Pin Grid
 Array)と呼ばれるものが適用されるようになっ
た。
Therefore, DIP type (Dual In-1ine Pac
As a new package to replace the PGA type (Pin Grid) shown in the perspective view of the package in Figure 7.
Array) is now applied.

このような電子部品2では信号の入出力が行われるビン
2BのピッチPが狭く、しかも、ビン2Bが多数配列さ
れているため、直上からビン2Bの配列を目視すること
は困難となる。
In such an electronic component 2, the pitch P of the bins 2B through which signals are input/output is narrow, and since a large number of bins 2B are arranged, it is difficult to visually observe the arrangement of the bins 2B from directly above.

そこで、プリント基板などの基板11に電子部品2を実
装する場合は、画像認識技術による搭載機によって自動
的に実装することが行われるようにすように、筺体20
に電子部品2がセットされたコンテナ1と、基牟反11
が積載されたX−Yテーフ゛ル7とをそれぞれ配設する
と共に、駆動機構8Aによって駆動される搭載ヘッド8
が設けられることで形成されている。
Therefore, when mounting the electronic component 2 on the board 11 such as a printed circuit board, it is necessary to automatically mount the electronic component 2 on the board 11 using image recognition technology.
Container 1 with electronic parts 2 set in it, and base material 11
A loading head 8 driven by a drive mechanism 8A is provided with an X-Y table 7 loaded with
It is formed by providing

そこで、コンテナlにセットされた電子部品2を搭載ヘ
ッド8によって保持し、駆動機構8Aにより搭載ヘッド
8が駆動され、基板11に張架されたパターンlIAの
所定個所に電子部品2のビン2Bを位置決め、搭載する
ことが次々行われる。
Therefore, the electronic component 2 set in the container l is held by the mounting head 8, and the mounting head 8 is driven by the drive mechanism 8A, and the bin 2B of the electronic component 2 is placed at a predetermined location on the pattern lIA stretched on the board 11. Positioning and mounting are performed one after another.

したがって、このような位置決めには位置合わせ装置が
備えられ、電子部品2の搭載に際して、多数のビン2B
が正確に位置決めされるよう高精度であることが要求さ
れている。
Therefore, a positioning device is provided for such positioning, and when mounting the electronic components 2, a large number of bins 2B are used.
High precision is required to ensure accurate positioning.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来は第6図の従来の説明図に示すように構成されてい
た。第6図の(al)(bl)はブロック図、 (a2
)は基板の撮影構成図、 (b2)は電子部品の撮影構
成図である。
Conventionally, the configuration was as shown in the conventional explanatory diagram of FIG. 6. (al) and (bl) in Fig. 6 are block diagrams, (a2
) is a photographed configuration diagram of the board, and (b2) is a photographed configuration diagram of the electronic component.

第6図の(al)に示すように、制御部21によってヘ
ッド駆動部22を制御することで、搭載ヘッド8が駆動
され、コンテナ1から電子部品2を保持し、X−Yテー
ブル7に積載された基板11の所定個所に電子部品2を
位置決めし、電子部品2の搭載が行われるように構成さ
れないる。
As shown in (al) of FIG. 6, by controlling the head drive unit 22 by the control unit 21, the loading head 8 is driven to hold the electronic components 2 from the container 1 and load them onto the X-Y table 7. The configuration is not such that the electronic component 2 is positioned at a predetermined location on the board 11 and the electronic component 2 is mounted.

この場合の搭載ヘッド8としては、通常、エアの吸引に
よって先端部のノズルにより電子部品2を吸着する吸着
ヘッドが用いられている。
In this case, the mounting head 8 is usually a suction head that suctions the electronic component 2 with a nozzle at its tip by suctioning air.

また、制御部21によって制御されるテーブル駆動部2
3には基板撮影用光学系3によって撮影した基板11の
画像を基準画像データDlに比較する基板位置検出部2
4が接続され、基板位置検出部24によって基板11の
位置ずれ量を検出し、検出した位置ずれ量によってX−
Yテーブル7の位置調整が行われるように形成されてい
る。
Further, the table driving section 2 controlled by the control section 21
3 includes a board position detection unit 2 that compares the image of the board 11 photographed by the board photographing optical system 3 with reference image data Dl.
4 is connected, the board position detection unit 24 detects the positional deviation amount of the board 11, and the detected positional deviation amount determines the
It is formed so that the position of the Y table 7 can be adjusted.

更に、この場合の基板撮影用光学系3は(a2)に示す
ように、光源3Aからの照射光を集光レンズ3Bと、遮
光マスク3Cと、投影レンズ3Dとを通してXVテーブ
ル7に積載された基板11を照射し、その反射光を結像
レンズ3Eと遮蔽マスク3Fとを通してCC03Gによ
って受光し、基板11に張架されたパタ−ンIIAのシ
ルエツト像を撮影するように構成されている。(このよ
うな基板撮影用光学系に関しては、既に、特63−13
4440号にて出願済である。)そこで、搭載ヘッド8
の駆動によって電子部品2がコンテナ1から基板11に
移送される間に、XおよびY方向に基板11を移動する
ことで位置調整が行われ、電子部品2の搭載が所定個所
に行われるように配慮されていた。
Furthermore, as shown in (a2), the substrate photographing optical system 3 in this case is loaded on the XV table 7 by passing the irradiation light from the light source 3A through the condenser lens 3B, the light shielding mask 3C, and the projection lens 3D. The structure is such that the substrate 11 is irradiated, the reflected light is received by the CC03G through the imaging lens 3E and the shielding mask 3F, and a silhouette image of the pattern IIA stretched over the substrate 11 is photographed. (Such an optical system for photographing a board has already been disclosed in Patent No. 63-13.
The application has been filed under No. 4440. ) Therefore, the mounting head 8
While the electronic component 2 is being transferred from the container 1 to the board 11 by the drive of It was taken into consideration.

また、このような位置調整は(bl)に示すように構成
することでも行うことができる。
Moreover, such position adjustment can also be performed by configuring as shown in (bl).

(bl)の場合は、搭載ヘッド8によって電子部品2が
保持された時、部品撮影用光学系4により撮影し、撮影
した画像が部品位置検出部28によって基準画像データ
D2に比較され、位置ずれ量が検出され、ヘッド駆動部
27に通知されることで搭載ヘッド8の位置調整が行え
るように形成されている。
In the case of (bl), when the electronic component 2 is held by the mounting head 8, it is photographed by the component photographing optical system 4, and the photographed image is compared with the reference image data D2 by the component position detection section 28, and the positional deviation is detected. The mounting head 8 is configured so that the position of the mounting head 8 can be adjusted by detecting the amount and notifying the head driving section 27.

そこで、X−Yテーブル7に積載された基板11に電子
部品2を実装する場合はコンテナ1から電子部品2が搭
載ヘッド8によって保持されることで、部品撮影用光学
系4により撮影し、位置ずれ量が検出され、その位置ず
れ量によって搭載ヘッド8が調整され、調整後、搭載ヘ
ッド8の駆動によって電子部品2が基板11の所定個所
に実装されるようにしたものである。
Therefore, when mounting the electronic component 2 on the board 11 loaded on the The amount of deviation is detected, the mounting head 8 is adjusted according to the amount of positional deviation, and after the adjustment, the electronic component 2 is mounted at a predetermined location on the substrate 11 by driving the mounting head 8.

また、この場合の部品撮影用光学系4は(b2)に示す
ように、搭載ヘッド8の先端部のノズルによって吸着さ
れた電子部品2の端子部2Aに於けるピン2Bをレーザ
発生素子4^によるレーザ光によって四方から照射し、
カメラ4Fによって撮影を行うように構成されている。
In addition, as shown in (b2), the component photographing optical system 4 in this case moves the pin 2B of the terminal portion 2A of the electronic component 2 attracted by the nozzle at the tip of the mounting head 8 to the laser generating element 4^. Irradiates from all directions with laser light,
The camera 4F is configured to take pictures.

この場合のレーザ発生素子4^によるレーザ光の照射は
、シリンドリカルレンズ4Bと、旦う−4Cと、シリン
ドリカルレンズ4Dとによってピン2Bの側面に行い、
照射されたピン2Bがフィルタ4Eを通してカメラ4F
によって撮影するように形成されている。
In this case, the laser beam irradiation by the laser generating element 4^ is performed on the side surface of the pin 2B by the cylindrical lens 4B, the cylindrical lens 4C, and the cylindrical lens 4D.
The illuminated pin 2B passes through the filter 4E and passes through the camera 4F.
It is formed to be photographed by.

(このよな部品撮影用光学系に関しては、既に、特開昭
63−275907号にて公開済である。)したがって
、電子部品2が保持された時、部品撮影用光学系4の撮
影画像によって位置ずれ量をチエツクし、位置ずれが検
出された場合は、搭載ヘッド8はXおよびY方向と、角
度θとの調整が行われ、位置調整後、基板11に電子部
品2の移送が行われ、実装される。
(Such an optical system for photographing parts has already been disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-275907.) Therefore, when the electronic component 2 is held, the image taken by the optical system for photographing parts 4 The amount of positional deviation is checked, and if a positional deviation is detected, the mounting head 8 is adjusted in the X and Y directions and the angle θ, and after the position adjustment, the electronic component 2 is transferred to the board 11. , implemented.

〔発明が解決しようとする課題] しかし、このような第6図の(al) (b2)に示す
構成では、基板11または電子部品2のいづれか一方の
位置ずれを検出するものであり、例えば、基板11の位
置ずれを検出し、位置調整を行っても実際には電子部品
2に位置ずれが生じている場合は、所定の位置に実装す
ることができない、また、逆に電子部品2の位置ずれを
調整しても、基板11に位置ずれがある場合は、同様に
所定の位置に実装することができない。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the configuration shown in (al) and (b2) of FIG. Even if the positional deviation of the board 11 is detected and the position is adjusted, if the electronic component 2 actually has a positional deviation, it may not be possible to mount it in the specified position, or conversely, the position of the electronic component 2 may be incorrect. Even if the deviation is adjusted, if there is a positional deviation in the substrate 11, it cannot be mounted in a predetermined position.

特に、基板撮影用光学系3および部品撮影用光学系4の
取り付けの位置ずれにより、X−Yテーブル7および搭
載ヘッド8の駆動に装置固有の駆動誤差がある場合は、
基板11の所定個所に電子部品2の移送が行われるよう
操作しても、駆動誤差によって所定個所に実装されない
場合が生じる。
In particular, if there is a device-specific drive error in the drive of the X-Y table 7 and mounting head 8 due to misalignment of the mounting of the optical system 3 for photographing the board and the optical system 4 for photographing the parts,
Even if the electronic component 2 is operated to be transferred to a predetermined location on the board 11, the electronic component 2 may not be mounted at the predetermined location due to a driving error.

したがって、基板11または電子部品2を所定の基準に
よって位置調整を行っても正確な位置決めが行えないこ
とになる問題を有していた。
Therefore, even if the position of the board 11 or the electronic component 2 is adjusted based on a predetermined standard, there is a problem in that accurate positioning cannot be performed.

そこで、本発明では、電子部品および基板の両者の位置
ずれを検出すると共に、装置固有の駆動誤差による調整
が行われるようにすることで実装の位置決め精度の向上
を図ることを目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to improve the positioning accuracy of mounting by detecting the positional deviation of both the electronic component and the board and making adjustments based on drive errors specific to the device.

(課題を解決するための手段) 第1図は本発明の原理説明図である。(Means for solving problems) FIG. 1 is a diagram explaining the principle of the present invention.

第1図に示すように、基板11のパターンを撮影する基
板撮影用光学系3を有し、該基板撮影用光学系3による
画像によって該基板の位置ずれを検出する基板位置認識
部5と、電子部品2の端子部2Aを撮影する部品撮影用
光学系4を有し、該部品撮影用光学系4による画像によ
って該端子部2Aの位置ずれを検出する部品位置認識部
6と、該基板位置認識部5によって検出された位置ずれ
データX b 、Y bと、該部品位置認識部6によっ
て検出された位置ずれデータX 111y、 +  θ
、と搭載ヘッド8およびX−Yテーブル7の駆動誤差デ
ータd 、 、dy+dθとによって補正値X、 Y、
θを演算、格納し、該補正値X、Y、θによって該搭載
ヘッド8と該X−Yテーブル7との駆動が修正されるよ
う該補正値XY、θを制御部9に送出するオフセットメ
モリ10とを具備するように構成する。
As shown in FIG. 1, a board position recognition unit 5 has a board photographing optical system 3 that photographs the pattern of the board 11, and detects a positional shift of the board based on the image taken by the board photographing optical system 3; A component position recognition unit 6 includes a component photographing optical system 4 that photographs the terminal portion 2A of the electronic component 2, and detects a positional shift of the terminal portion 2A using an image taken by the component photographing optical system 4; Positional deviation data X b , Y b detected by the recognition unit 5 and positional deviation data X 111y, + θ detected by the component position recognition unit 6
, and the drive error data d, , dy+dθ of the mounted head 8 and the X-Y table 7, the correction values X, Y,
an offset memory that calculates and stores θ and sends the correction values XY, θ to the control unit 9 so that the driving of the mounting head 8 and the X-Y table 7 is corrected according to the correction values X, Y, θ; 10.

このように構成することによって前述の課題は解決され
る。
With this configuration, the above-mentioned problem is solved.

(作用) 即ち、X−Yテーブル7に積載された基板11には基板
撮影用光学系3と基板位置認識部5とを、搭載ヘッド8
によって保持された電子部品2には部品撮影用光学系4
と部品位置認識部6とをそれぞれ設け、基板位置認識部
5と部品位置認識部6とによって検出された位置ずれデ
ータX b、Y bとXp+ Yst+  θ、とをオ
フセットメモリ10に送出し、オフセットメモリ10で
は位置ずれデータX b 、Y bとX、IYpl  
θ、とX−Yテーブル7および搭載ヘッド8の駆動誤差
データd 、 、d、 、dθとにより補正値X、 Y
、θを演算し、演算された補正値X、Y、θが制御部9
に通知され、X−Yテーブル7および搭載ヘッド8の両
者の位置ずれが調整されるようにしたものである。
(Function) That is, the board photographing optical system 3 and the board position recognition unit 5 are attached to the board 11 loaded on the X-Y table 7, and the mounting head
The electronic component 2 held by the electronic component 2 is equipped with an optical system 4 for photographing the component.
and a component position recognition unit 6 are respectively provided, and the positional deviation data X b, Y b and Xp + Yst + θ, detected by the board position recognition unit 5 and the component position recognition unit 6 are sent to the offset memory 10, and the offset In the memory 10, positional deviation data X b , Y b and X, IYpl
θ, and the drive error data d, , d, , dθ of the X-Y table 7 and the mounted head 8, the correction values X, Y
, θ are calculated, and the calculated correction values X, Y, θ are sent to the control unit 9.
is notified, and the positional deviation of both the XY table 7 and the mounting head 8 is adjusted.

したがって、従来のような基板11または電子部品2の
いづれか一方の位置ずれ調整に比較し、調整の精度が向
上され、更に、X−Yテーブル7および搭載ヘッド8の
駆動誤差データd 、 、d、 、dθが加えられるこ
とで、より正確な移送が行えることになり、確実な実装
による品質の向上が図れる。
Therefore, compared to the conventional positional deviation adjustment of either the substrate 11 or the electronic component 2, the accuracy of the adjustment is improved, and furthermore, the drive error data d, d, of the X-Y table 7 and the mounting head 8, By adding , dθ, more accurate transfer can be performed, and quality can be improved through reliable mounting.

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明を第2図〜第5図を参考に詳細に説明する。 The present invention will be explained in detail below with reference to FIGS. 2 to 5.

第2図は本発明による一実施例のブロック図、第3図は
本発明のフローチャート図、第4図は本発明のピンの位
置ずれ認識の説明図で、(a)はカメラの配置図、(b
)は濃度グラフ、 (c) (d)は画素数の集計説明
図、 (e) (f)はピンの配列説明図、(g)(j
)はウィンドウの平1面図、(h)はウィンドウの画素
数の集計説明図、(k)はフローチャート図、第5図は
本発明の基板の位置ずれ認識の説明図で、(al) (
a2)は基板の要部平面図、(b)は濃度グラフ、(C
)は画素数の集計説明図、(d)はフローチャート図で
ある。全図を通じて、同一符号は同一対象物を示す。
FIG. 2 is a block diagram of an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a flowchart of the present invention, and FIG. 4 is an explanatory diagram of pin position deviation recognition of the present invention. (a) is a camera arrangement diagram; (b
) is a density graph, (c) (d) is an explanatory diagram of totaling the number of pixels, (e) (f) is an explanatory diagram of pin arrangement, (g) (j
) is a plan view of the window, (h) is an explanatory diagram of counting the number of pixels in the window, (k) is a flowchart diagram, and FIG.
a2) is a plan view of the main part of the substrate, (b) is a concentration graph, (C
) is an explanatory diagram for counting the number of pixels, and (d) is a flowchart diagram. The same reference numerals indicate the same objects throughout the figures.

第2図に示すように、ヘッド駆動部13によって駆動さ
れる搭載ヘッド8に保持された電子部品2のピン2Bが
部品撮影用光学系4によって撮影され、撮影した画像デ
ータDPがCPU6Aによって制御されるROM6Bと
RAM6Gとを内設した部品位置認識部6に送出され、
また、テーブル駆動部12によって駆動されるX−Yテ
ーブル7に積載された基板11が基板撮影用光学系3に
よって撮影され、撮影した画像データDBがCPU5^
によって制御されるROM5Bと1’lAM5cとを内
設した基板位置認識部5に送出され、部品位置認識部6
によって算出された位置ずれデータx、、y、、  θ
、および基板位置認識部5によって算出された位置ずれ
データX b 、Y bがオフセットメモリ10の記録
領域E2とE3にそれぞれ格納されるように形成され、
また、オフセットメモリ10の記録領域E4には基板撮
影用光学系3および部品撮影用光学系4の取り付は誤差
と、搭載ベツド8およびX−Yテーブル7の駆動誤差と
を測定したd 、 、d、 、dθの誤差データD3が
格納され、これらの位置ずれデータX 11+ yp、
  θ、とX 、 、Y 、および駆動誤差データd 
、 、d、 、dθを集計することで記録領域Elに補
正値x、 y、θが演算され、補正値X、Y、θを珈j
御部9に送出し、ヘッド駆動部13およびテーブル駆動
部12を制御することで搭載ヘッド8およびx−yテー
ブル7の位置311整が行われるように構成したもので
ある。
As shown in FIG. 2, the pin 2B of the electronic component 2 held by the mounting head 8 driven by the head drive unit 13 is photographed by the component photographing optical system 4, and the photographed image data DP is controlled by the CPU 6A. The information is sent to the component position recognition unit 6 which includes a ROM 6B and a RAM 6G.
Further, the board 11 loaded on the X-Y table 7 driven by the table drive section 12 is photographed by the board photographing optical system 3, and the photographed image data DB is sent to the CPU 5^.
The output is sent to the board position recognition section 5 which includes a ROM 5B and a 1'lAM 5c controlled by the component position recognition section 6.
Positional deviation data x, y, θ calculated by
, and the positional deviation data X b , Y b calculated by the substrate position recognition unit 5 are stored in recording areas E2 and E3 of the offset memory 10, respectively,
In addition, in the recording area E4 of the offset memory 10, the installation error of the board photographing optical system 3 and the component photographing optical system 4 and the driving error of the mounting bed 8 and the X-Y table 7 were measured. Error data D3 of d, , dθ is stored, and these positional deviation data X 11+ yp,
θ, and X, , Y, and driving error data d
, , d, , dθ are calculated in the recording area El, and the correction values X, Y, θ are
The configuration is such that the positions 311 of the mounting head 8 and the x-y table 7 are adjusted by sending the information to the control unit 9 and controlling the head drive unit 13 and table drive unit 12.

また、画像データDPはカメラインターフェイス6Dに
よって入力され、その画像データDPがA/D変換後フ
レームメモリ部6Eに格納される。この場合、部品撮影
用光学系4はズームコントローラ6Fによってズーム機
構4Jを駆動させ、撮影像の倍率を増減さセると共に、
移動テーブルコントローラ6Gによって移動テーブル4
Hを移動させ、所定個所の拡大画像が得られるように形
成されており、画像デークDPにより位置ずれデークx
、、 Y’l)+  θ、がハード演算プロセッサ6■
によって演算され、演算の結果が外部インタフェース6
Jを介してオフセットメモリ10に送出され、同様に、
画像データDBはカメラインターフェイス5Dによって
入力され、その画像データDBがA/D変換後フレーム
メモリ部5Eに格納され、画像データDBにより位置ず
れデータXb、Ybがハード演算プロセッサ5Fによっ
て演算され、演算の結果が外部インタフェース5Gを介
してオフセットメモリ10に送出されるように形成され
ている。
Further, the image data DP is inputted by the camera interface 6D, and the image data DP is stored in the frame memory section 6E after A/D conversion. In this case, the parts photographing optical system 4 drives the zoom mechanism 4J by the zoom controller 6F to increase or decrease the magnification of the photographed image, and
The moving table 4 is moved by the moving table controller 6G.
It is formed so that an enlarged image of a predetermined location can be obtained by moving the image data H, and the positional deviation data x is determined by the image data DP.
,, Y'l) + θ, is the hard calculation processor 6■
The result of the calculation is sent to the external interface 6.
J to the offset memory 10, and similarly,
The image data DB is inputted by the camera interface 5D, the image data DB is stored in the frame memory section 5E after A/D conversion, and the positional deviation data Xb, Yb is calculated by the hard calculation processor 5F from the image data DB. The result is configured to be sent to the offset memory 10 via the external interface 5G.

そこで、所定の電子部品2を基板11に搭載する場合は
、第3図に示すように、先づ、搭載の開始指令によって
所定の電子部品2が搭載ヘッド8によって保持され、部
品撮影用光学系4の所定個所に移動する部品セットを行
う。
Therefore, when mounting a predetermined electronic component 2 on the board 11, as shown in FIG. Set the parts to be moved to the predetermined location in Step 4.

一方、フロッピ9Aに格納された実装データによって電
子部品2が搭載される基板11の個所を基板撮影用光学
系3に位置させるようx−Yテーブル7の移動を行う。
On the other hand, the x-y table 7 is moved so that the part of the board 11 on which the electronic component 2 is mounted is located in the board photographing optical system 3 according to the mounting data stored in the floppy disk 9A.

次に、部品撮影用光学系4と部品位置認識部6とによっ
て電子部品2の位置の認識が行われ、基板撮影用光学系
3と基板位置認識部5とによって基板11の位置の認識
が行われる。
Next, the component photographing optical system 4 and the component position recognition unit 6 recognize the position of the electronic component 2, and the board photographing optical system 3 and the board position recognition unit 5 recognize the position of the board 11. be exposed.

この電子部品2および基板11の位置の認識による位置
ずれがオフセットメモリ10に送出され、オフセットメ
モリ10によって補正値X、Y、θが算出される。
The positional deviations resulting from the recognition of the positions of the electronic component 2 and the board 11 are sent to the offset memory 10, and the offset memory 10 calculates correction values X, Y, and θ.

この算出された補正値x、 y、θによって搭載ヘッド
8およびX−Yテーブル7の駆動が制御され、位置調整
を行うように駆動され、部品搭載が行われる。
The drive of the mounting head 8 and the X-Y table 7 is controlled by the calculated correction values x, y, and θ, and are driven to perform position adjustment, and component mounting is performed.

また、電子部品2の搭載が終了すると次の電子部品2の
搭載の有無が前述の実装データによって確認され、有り
の場合は繰り返すことで実行され、無しの場合は終了と
なる。
Further, when the mounting of the electronic component 2 is completed, the presence or absence of the mounting of the next electronic component 2 is confirmed based on the mounting data described above, and if it is present, the process is repeated, and if not, the process ends.

したがって、電子部品2を基板11の所定個所に実装す
る際、補正値X、 Y、θにより電子部品2の位置ずれ
が修正され、正確な位置決めにより搭載が行われること
になる。
Therefore, when mounting the electronic component 2 at a predetermined location on the board 11, the positional deviation of the electronic component 2 is corrected by the correction values X, Y, and θ, and the electronic component 2 is mounted with accurate positioning.

また、この場合の部品撮影用光学系4のカメラ4Fは、
第4図の(a)に示すように、撮影する電子部品2の端
子部2Aにハーフミラ4Gを配設し、ハーフミラ4Gに
直交するようAの個所と、Bの個所にそれぞれ設け、例
えば、Aの個所に設けられたカメラ4Fは広視野で、低
倍率のもので、Bの個所に設けられたカメラ4Fは狭視
野で、高倍率のものを配設すると、^とBとを切り替え
ることで前述のようなズーム機構4Jを設けることなく
端子部2Aの全体または部分を拡大した画像を得ること
が自在に行える。
In addition, the camera 4F of the optical system 4 for photographing parts in this case is
As shown in FIG. 4(a), a half mirror 4G is disposed on the terminal portion 2A of the electronic component 2 to be photographed, and is provided at a location A and a location B so as to be orthogonal to the half mirror 4G. The camera 4F installed at location B has a wide field of view and low magnification, and the camera 4F installed at location B has a narrow field of view and high magnification. By switching between ^ and B, It is possible to freely obtain an enlarged image of the entire terminal portion 2A or a portion thereof without providing the zoom mechanism 4J as described above.

更に、部品撮影用光学系4によって撮影された画像デー
タDPは部品位置認識部6により以下の要領によって位
置認識が行われる。
Further, the position of the image data DP photographed by the component photographing optical system 4 is recognized by the component position recognition section 6 in the following manner.

牛 先づ、画像データDPは第合図の(b)に示すように、
所定の濃度0〜255に対応する画素数がカウントされ
、濃度ヒストグラムを作成する。
First, the image data DP is as shown in (b) of the first diagram.
The number of pixels corresponding to predetermined densities 0 to 255 is counted to create a density histogram.

この場合、電子部品2に於ける全体の総画素数は設計値
によって既知であるからその値に最も近くなる面積を濃
度ヒストグラムの明るい方から積算して才め、その時の
濃度tを2値化スライスレベルとする。
In this case, since the total number of pixels in the electronic component 2 is known from the design value, the area closest to that value is integrated from the brightest side of the density histogram, and the density t at that time is binarized. Slice level.

そこで、濃度tを境界として濃度tより暗のものを0 
′、濃度tより明のものを1 ゛として画像データOP
を2値化することでA/D変換し、変換後、フレームメ
モリ6Eに格納する。
Therefore, with the density t as the boundary, those darker than the density t are 0
′, image data OP with density t as 1 ゛
A/D conversion is performed by digitizing the data, and after conversion, the data is stored in the frame memory 6E.

次に、このフレームメモリ6Eに格納されたデータを基
に、1 ′の画素数を(c)および(d)に示すように
、X軸上の垂直投影分布およびY軸上の水平投影分布を
作威し、垂直投影分布のxlと垂直投影分布のv2との
交点Pを(e)(f)に示すように設定し、交点Pを原
点としてX方向およびY方向にスキャンを行い、最初に
l ′の画素となる個所の1番ビンPlを検出し、交点
Pから1番ピンP1までの距離alとblとを算出する
Next, based on the data stored in the frame memory 6E, the vertical projection distribution on the X axis and the horizontal projection distribution on the Y axis are calculated for the number of pixels of 1' as shown in (c) and (d). The intersection point P of the vertical projection distribution xl and the vertical projection distribution v2 is set as shown in (e) and (f), and scanning is performed in the X and Y directions using the intersection P as the origin. The first bin Pl, which is the pixel of l', is detected, and the distances al and bl from the intersection P to the first pin P1 are calculated.

この算出したalとbiとの両者の大きさを比較するこ
とによってat<blの時は(e)に示す十〇方向の傾
きで、al>biO時は(f)に示す一θ方向の傾きで
あることが確認され、この場合の傾斜角θは下記の(1
)および(2)の式によって算出することができる。
By comparing the calculated magnitudes of al and bi, when at<bl, the slope is in the 10 direction shown in (e), and when al>biO, the slope is in the 1θ direction shown in (f). It is confirmed that the inclination angle θ in this case is (1
) and (2).

十θ−Tanal/b1・・・・・(1)−θ=Tan
  b1/a1 ・ ・ ・ ・ ・(2)更に、この
ようにして得られた1番ビンP1と傾斜角θとピン2B
のピッチLとによって(g)に示す点線で区切ったピン
2Bを中心としたウィンドウWl。
10θ-Tanal/b1...(1)-θ=Tan
b1/a1 ・ ・ ・ ・ ・(2) Furthermore, the first bin P1, the inclination angle θ, and the pin 2B obtained in this way
A window Wl centered on the pin 2B separated by the dotted line shown in (g) by the pitch L of the window Wl.

W2.W3・・・を設定し、カメラ4Fの倍率を大きく
することにより各ウィンドウWl、 W2.W3  ・
・・の拡大画像の入力を行う。
W2. By setting W3... and increasing the magnification of the camera 4F, each window Wl, W2. W3・
Enter the enlarged image of...

その拡大画像のウィンドウ−に於けるX軸、およびV軸
方向の画素数を集計し、(h)に示す垂直投影分布と水
平投影分布とを作威し、垂直投影分布と水平投影分布の
斜線で示す面積Sl、S2が2分割される重心位置XG
とYGとを算出することでウィンドウ−の重心点−Gを
算出する。
The number of pixels in the X-axis and V-axis directions in the window of the enlarged image is totaled, and the vertical projection distribution and horizontal projection distribution shown in (h) are created, and the diagonal line of the vertical projection distribution and horizontal projection distribution is The center of gravity XG where the areas Sl and S2 are divided into two
By calculating and YG, the center of gravity of the window -G is calculated.

最後に、(j)に示すように、全てのウィンドウ囚に於
ける重心点WGI、WG2.・・・の最も近接される直
線式V+とy2を最小二乗法により算出し、y、とy2
の交点を三等分する直線yを求め、直線yがX軸と交わ
る角度αを算出する。
Finally, as shown in (j), the centroids WGI, WG2 . Calculate the linear equations V+ and y2 that are closest to each other by the least squares method, and calculate y, and y2
Find a straight line y that divides the intersection point into thirds, and calculate the angle α at which the straight line y intersects the X axis.

この場合、直線y上に電子部品2の設計値に於ける対角
線の1/2となる座標XO,YOを算出し、電子部品2
の位置ずれデータX Gl+  1>1  θ、は下記
の(3) (4) (5)式によって得ることができる
In this case, calculate the coordinates XO, YO that are 1/2 of the diagonal line in the design value of the electronic component 2 on the straight line y, and
The positional deviation data X Gl+ 1>1 θ can be obtained by the following equations (3), (4), and (5).

χG、=XO−xν・・・・・(3) Y 、 =YO−Y k  ・・・・・(4)θ、=4
5−α・・・・・・(5) 但し、この場合のX k rYk + は設計値を基に
位置ずれが零の時の座標で、予め算出された値である。
χG, =XO-xν...(3) Y, =YO-Yk...(4) θ, =4
5-α (5) However, in this case, X k rYk + is a coordinate when the positional deviation is zero based on the design value, and is a value calculated in advance.

したがって、電子部品2の位置ずれの認識は(k)に示
す動作によって行うことができる。
Therefore, the positional shift of the electronic component 2 can be recognized by the operation shown in (k).

先づ、カメラ4Fによる初期撮像範囲を選択するセレク
トを行い、撮像による画像データDPの濃度ヒストグラ
ムの作成を行い、2値化のスライスレベルの設定を行い
、画像データDPの2値化を実行し、画素数の垂直およ
び水平投影分布を作威し、1番ピンP1のサーチを行う
ことで、傾斜角θの算出を行う。
First, a selection is made to select the initial imaging range by the camera 4F, a density histogram of the image data DP obtained by imaging is created, a slice level for binarization is set, and the binarization of the image data DP is executed. , the vertical and horizontal projection distributions of the number of pixels are used to search for the first pin P1, thereby calculating the inclination angle θ.

次に、それぞれのピンに対応したウィンドウ圓を設定し
、ウィンドウ−に於ける拡大画像を入力し、拡大画像を
2値化し、各ピン211の重心点WGを検出する。全ピ
ンの重心点WGが検出されることで電子部品2の姿勢を
認識し、部品の位置ずれデータXp+Yp+θ、が算出
される。
Next, a window circle corresponding to each pin is set, an enlarged image in the window is inputted, the enlarged image is binarized, and the center of gravity WG of each pin 211 is detected. By detecting the center of gravity WG of all the pins, the attitude of the electronic component 2 is recognized, and component positional deviation data Xp+Yp+θ is calculated.

また、基板撮影用光学系3によって撮影された画像デー
タDBは部品位置認識部6により以下の要領によって位
置認識が行われる。
Further, the position of the image data DB photographed by the board photographing optical system 3 is recognized by the component position recognition section 6 in the following manner.

先づ、基板1tの電子部品2が搭載される個所には第5
図の(at)に示すように、ピン2Bに対応したパター
ンIIA と、基準マークIIB とが配設されており
、画像データDBとしては基準マークIIBの画像を(
a2)のように人力する。
First, there is a fifth plate at the location where the electronic component 2 of the board 1t is mounted.
As shown in FIG.
Manually as in a2).

この画像データDBは、(b)に示すように、所定の濃
度0〜255に対応する画素数がカウントされ、濃度ヒ
ストグラムを作成する。
In this image data DB, as shown in (b), the number of pixels corresponding to predetermined densities 0 to 255 is counted to create a density histogram.

この場合、基準マークIIBの面積は設計値によって既
知であるからその値に最も近くなる画素数をヒストグラ
ムの明るい方から積算して求め、その時の濃度t ′を
2値化スライスレベルとする。
In this case, since the area of the reference mark IIB is known from the design value, the number of pixels closest to that value is found by integrating from the brightest side of the histogram, and the density t' at that time is taken as the binarization slice level.

そこで、濃度t ゛を境界として濃度t ′より暗のも
のをO′、濃度t ′より明のものを1として画像デー
タDBを2値化することでA/D変換し、変換後、フレ
ームメモリ5Eに格納する。
Therefore, A/D conversion is performed by binarizing the image data DB with the density t as a boundary, values darker than the density t' as O', and those lighter than the density t' as 1, and after conversion, the data is stored in the frame memory. Store in 5E.

次に、画像データDBの1 ′の画素を(c)に示すよ
うにX軸上およびV軸上に集計し、垂直投影分布と水平
投影分布とを作成し、垂直投影分布と水平投影分布の斜
線で示す面積Sll、5122が2分割される重心位置
XG′とYG′とを算出することで基準マークIIBの
重心点WG’を算出する。
Next, as shown in (c), the 1' pixel of the image data DB is aggregated on the X-axis and V-axis to create a vertical projection distribution and a horizontal projection distribution. The center of gravity WG' of the reference mark IIB is calculated by calculating the center of gravity XG' and YG' where the area Sll, 5122 shown by diagonal lines is divided into two.

そこで、基板11の位置ずれデータX 、 、Y 、は
基準マークIIBの位置ずれが零の時の座標X。
Therefore, the positional deviation data X, , Y of the substrate 11 is the coordinate X when the positional deviation of the reference mark IIB is zero.

Y、′を基に下記(6)(7)式によって得ることがで
きる。
It can be obtained by the following formulas (6) and (7) based on Y,'.

×5=XG′ Xm’ ・・・・・(6)’l b =
YG’  Y w  ’ ・・・・・(7)したがって
、基板11の位置ずれの認識は(d)に示す動作によっ
て行うことができる。
×5=XG'Xm'...(6)'l b=
YG' Y w ' (7) Therefore, the positional shift of the substrate 11 can be recognized by the operation shown in (d).

先づ、基板撮影用光学系3の撮像による画像データDB
の濃度ヒストグラムの作成を行い、2値化のスライスレ
ベルの設定を行い、画像データDBの2値化を実行し、
画素数の垂直および水平投影分布を作威し、基準マーク
llBの重心点WG’を検出する。
First, the image data DB captured by the optical system 3 for photographing the board.
Create a density histogram, set the binarization slice level, and execute binarization of the image data DB.
The vertical and horizontal projection distribution of the number of pixels is used to detect the center of gravity WG' of the reference mark 11B.

次に、その検出された重心点間の座標XG′とYG”と
によって位置ずれデータXb+  Ybが算出される。
Next, positional deviation data Xb+Yb is calculated from the detected coordinates XG' and YG'' between the centroid points.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明によれば、電子部品2を基
板11の所定個所に搭載する場合は予め、電子部品2の
位置ずれデータX、l  y、+θ、および基板11の
位置ずれデータX b 、Y 、および取付。
As explained above, according to the present invention, when mounting the electronic component 2 at a predetermined location on the board 11, the positional deviation data X, ly, +θ of the electronic component 2 and the positional deviation data X of the board 11 are determined in advance. b, Y, and mounting.

駆動の誤差データd 、 、d、 、dθがオフセット
メモリ10に格納され、これら位置ずれを修正する調整
値X、Y、θが容易に取り出すことができ、調整値X。
Driving error data d, , d, , dθ is stored in the offset memory 10, and adjustment values X, Y, and θ for correcting these positional deviations can be easily retrieved.

Y、θによって搭載ヘッド8およびX−Yテーブル7を
駆動させ、位置ずれをなくし、確実な搭載を行うことが
できる。
By driving the mounting head 8 and the X-Y table 7 by Y and θ, positional deviation can be eliminated and reliable mounting can be performed.

したがって、従来の電子部品2の位置ずれと基板11の
位置ずれの一方によって位置ずれを修正する構成に比較
して、高精度の位置決めが可能となり、特に、位置ずれ
調整値に取付、駆動の誤差データd 、 、d、 、d
θが加えられることで、多数の装置が準備される場合は
、それぞれの装置に対する固有の調整値が形成されるこ
とになり、装置による位置ずれも防ぐことができ、位置
決めの精度の向上および品質の向上が図れ、実用的効果
は大である。
Therefore, compared to the conventional configuration in which the positional deviation is corrected by either the positional deviation of the electronic component 2 or the positional deviation of the board 11, highly accurate positioning is possible. Data d , , d, , d
By adding θ, when a large number of devices are prepared, a unique adjustment value is created for each device, which prevents positional deviation due to the device, improving positioning accuracy and quality. The practical effect is significant.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の原理説明図。 第2図は本発明による一実施例のブロンク図第3図は本
発明のフローチャート図 第4図は本発明のピンの位置ずれ認識の説門図で、(a
)はカメラの配置図、(b)は濃度グラフ、 (c) 
(d)は画素数の集計説明図、(e)(f)はピンの配
列説明図、 (g) (j)はウィンドウの平面図、り
h)はウィンドウの画素数の集計説明図、(k)はフロ
ーチャート図。 第5図は本発明の基板の位置ずれ認識の説明図で、(a
l) (a2)は基板の要部平面図、(b)は濃度グラ
フ、(C)は画素数の集計説明図。 (d) はフローチャート図。 第6図は従来の説明図で、(al)(bl)はブロック
図、 (a2)は基板の撮影構成図、 (b2)は電子
部品の撮影構成図。 第7図はパッケージの斜視図。 第8図は搭載機の斜視図を示す。 図において、 ■はコンテナ 3は基板撮影用光学系 5は基板位置認識部。 7はX−Yテーブル。 9は制御部。 11は基板。 13はヘッド駆動部を示す。 2は電子部品。 4は部品撮影用光学系。 6は部品位置認識部。 8は搭載ヘッド。 lOはオフセットメモリ 12はテーブル駆動部。 (l′1) 第+図(ブの 2) 画素数 (諸) ’Q”<?の・;・(刊 (ν) 本冬明の基級のイ立夏すれ夕鑞f)艶明図平5図C才の
り (勾 木懇明のも4反のイπ置F白几認謙O説明図第50C士
の2) 従来の説明図 第6回(fの)) 従来の説明口 ′1!−6図(tの2) 従来の説明図 茅6図(′f/)l) 4部品撮影用/を中本 従来の暁ヨX図 寿写651(tの4)
FIG. 1 is a diagram explaining the principle of the present invention. FIG. 2 is a block diagram of an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a flowchart of the present invention. FIG.
) is the camera layout, (b) is the density graph, (c) is the density graph.
(d) is an explanatory diagram of counting the number of pixels, (e) and (f) is an explanatory diagram of pin arrangement, (g) (j) is a plan view of the window, h) is an explanatory diagram of counting the number of pixels in the window, ( k) is a flow chart diagram. FIG. 5 is an explanatory diagram of the recognition of positional deviation of the substrate according to the present invention, (a
l) (a2) is a plan view of the main part of the substrate, (b) is a density graph, and (C) is an explanatory diagram of counting the number of pixels. (d) is a flow chart diagram. FIG. 6 is a conventional explanatory diagram, in which (al) and (bl) are block diagrams, (a2) is a photographed configuration diagram of a board, and (b2) is a photographed configuration diagram of electronic components. FIG. 7 is a perspective view of the package. Figure 8 shows a perspective view of the onboard aircraft. In the figure, (2) is the container 3, and the board photographing optical system 5 is the board position recognition unit. 7 is the X-Y table. 9 is a control unit. 11 is the board. Reference numeral 13 indicates a head driving section. 2 is electronic parts. 4 is an optical system for photographing parts. 6 is a component position recognition unit. 8 is the installed head. 1O is an offset memory 12 which is a table drive unit. (l'1) Figure + (2) Number of pixels (various) 'Q'' Figure 5 C Sai-nori (Kanmei Sagaki's Momo 4 Tan's I π Place F Shiroken Ken O Explanatory Diagram No. 50 C Shi no 2) Conventional Explanatory Diagram No. 6 (f)) Conventional Explanatory Port '1 !-6 figure (t no 2) Conventional explanatory diagram 6 figure ('f/) l) 4 parts photograph / Nakamoto's conventional Akatsukiyo X figure Kotobuki 651 (t no 4)

Claims (1)

【特許請求の範囲】  コンテナ(1)にセットされた電子部品(2)と、該
電子部品(2)が実装される基板(11)を積載したX
−Yテーブル(7)を駆動するテーブル駆動部(12)
と、該電子部品(2)が保持される搭載ヘッド(8)を
駆動するヘッド駆動部(13)と、該テーブル駆動部(
12)および該ヘッド駆動部(13)の駆動を制御する
制御部(9)とを備え、該搭載ヘッド(8)と、該X−
Yテーブル(7)との駆動により、該電子部品(2)を
該基板(11)の所定個所に位置決めする位置合わせ装
置であって、 前記基板(11)のパターンを撮影する基板撮影用光学
系(3)を有し、該基板撮影用光学系(3)による画像
によって該基板(11)の位置ずれを検出する基板位置
認識部(5)と、 電子部品(2)の端子部(2A)を撮影する部品撮影用
光学系(4)を有し、該部品撮影用光学系(4)による
画像によって該端子部(2A)の位置ずれを検出する部
品位置認識部(6)と、 該基板位置認識部(5)によって検出された位置ずれデ
ータ(X_b,Y_b)と、該部品位置認識部(6)に
よって検出された位置ずれデータ(X_p,Y_p,θ
_p)と、前記搭載ヘッド(8)および前記X−Yテー
ブル(7)の駆動誤差データ(d_x,d_y,dθ)
とによって補正値(X,Y,θ)を演算,格納し、該補
正値(X,Y,θ)によって該搭載ヘッド(8)と該X
−Yテーブル(7)との駆動が修正されるよう該補正値
(X,Y,θ)を前記制御部(9)に送出するオフセッ
トメモリ(10)とを具備することを特徴とする位置合
わせ装置。
[Claims] An X loaded with an electronic component (2) set in a container (1) and a board (11) on which the electronic component (2) is mounted.
-Table drive unit (12) that drives the Y table (7)
, a head drive unit (13) that drives the mounting head (8) on which the electronic component (2) is held, and the table drive unit (
12) and a control section (9) that controls the drive of the head drive section (13), the mounting head (8) and the X-
A positioning device that positions the electronic component (2) at a predetermined location on the board (11) by driving with a Y table (7), the board photographing optical system photographing the pattern of the board (11). (3) and detects a positional shift of the board (11) using an image taken by the board photographing optical system (3); and a terminal part (2A) of the electronic component (2). a component position recognition unit (6) having a component photographing optical system (4) for photographing the component, and detecting a positional deviation of the terminal portion (2A) using an image taken by the component photographing optical system (4); The positional deviation data (X_b, Y_b) detected by the position recognition unit (5) and the positional deviation data (X_p, Y_p, θ) detected by the component position recognition unit (6)
_p) and drive error data (d_x, d_y, dθ) of the mounting head (8) and the X-Y table (7)
The correction values (X, Y, θ) are calculated and stored, and the mounting head (8) and the X
- an offset memory (10) for sending the correction values (X, Y, θ) to the control unit (9) so that the drive with the Y table (7) is corrected; Device.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05104354A (en) * 1991-06-25 1993-04-27 Canon Inc Device for assembling head for ink jet
JP2009018373A (en) * 2007-07-11 2009-01-29 Toyota Motor Corp Method and device for fitting in key member

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