JPH0338606B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ａ 産業上の技術分野 本発明は、テーブル情報に基づいたパルスモー
タの駆動により流体の流量を調整するデイジタル
弁制御装置に関し、特に、弁を流れる流体の差圧
を検出して制御流量を補正するようにしたデイジ
タル弁制御装置に関する。

ｂ 従来技術 従来、油圧機器における流量制御は、一般にフ
イードバツク制御によるアナログ制御方式を採用
しているが、アナログ制御方式では、ノイズや温
度ドリフト等により高い制御精度か得られにく
く、また制御精度を高めるためには、PID等の複
雑な制御ら必要となり、当然のことながらフイー
ドバツク制御であることから制御系の発振に充分
注意を払わなければならなかつた。

そこで従来のアナログ制御方式の問題を解決す
るため、本願発明者等は、パルスモータの駆動で
開度が調整される所謂デイジタル弁を使用し、こ
のデイジタル弁を開度を決めるテーブル情報と、
設定開度に移行するまでの移動パターンを決める
テーブル情報とに基づいてモータ制御パルスを発
生し、パルスモータのステツプ数で定まる精度で
かつ任意の移動パターンに従つて流量を制御でき
るようにしたデイジタル弁制御装置を提案してい
る（例えば特開昭58−45057号）。

ところで、このデイジタル弁制御装置では、制
御パルス数に応じた開度に対する流量は、予め定
めた一定の条件の下での流量特性に基づいて一義
的に定めているが、同じ制御開度であつても、流
体の温度による弁の前後差圧の変動で制御流量が
変化する。

即ち、温度が低い時には流体の粘性が高いため
に流体が流れにくくなつて大きな差圧を生じ、予
定した流量より少な目の制御流量となり、一方、
温度が高い時には流体の粘性が低下して流れ易く
なることで差圧が下がり、同じ開度であつても予
定した流量より多めの流量となつてしまい、デイ
ジタル弁の制御開度のみの精度を高めても実際の
制御精度には温度変化の大きさに応じた誤差を生
ずるという問題があつた。

ｃ 発明の目的 本発明は、このような従来の問題点に鑑みてな
されたもので、流体の流れで生ずる弁の前後差圧
による制御誤差を防止するようにしたデイジタル
弁制御装置を提供することを目的とする。

ｄ 発明の構成及び作用 この目的を達成するため本発明は、デイジタル
弁の開度を決めるテーブル情報および制御開度に
移行するまでのデイジタル弁の移動パターンを決
めるテーブル情報に基づいて設定流量が得られる
ようにデジタル弁のパルスモータ駆動して流量制
御するデイジタル弁制御装置において、デイジタ
ル弁を通過する流体による弁の前後差圧を差圧検
出器で検出し、この検出差圧に基づいて前記テー
ブル情報に基づいて制御されたデイジタル弁の制
御流量を補正するようにし、弁の前後差圧が変化
してもデイジタルスイツチなどによりセツトされ
た設定流量に正確に制御できるようにしたもので
ある。

ｅ 実施例 第１図は本発明の一実施例を示したブロツク図
である。まず、構成を説明すると、１はテーブル
情報に基づいてデイジタル弁のパルスモータを駆
動するパルス信号を発生するコントロールユニツ
トであり、コントロールユニツト１に対してはデ
イジタル弁の制御手順を設定するプログラマブル
シーケンサ２の出力が与えられ、プログラマブル
シーケンサ２には流量設定用のデイジタルスイツ
チ３ａ〜３ｎと、移動パターン設定用のデイジタ
ルスイツチ４ａ〜４ｎの２つのデイジタルスイツ
チを備えたスイツチ群Ａ１〜Anが接続され、各
スイツチ群Ａ１〜Anのデイジタルスイツチ３ａ
〜３ｎにより制御手順に応じた流量を設定し、ま
た、デイジタルスイツチ４ａ〜４ｎにより設定流
量に移行するまでの移動パターンを設定しておく
ことにより、装置を起動した時にプログラマブル
シーケンサ２より予め定めた制御手順に従つた流
量設定信号及び移動パターン設定信号が２進化コ
ード信号に変換されてコントロールユニツト１に
出力される。

一方、コントロールユニツト１の出力段にはド
ライバ５が信号線接続され、このドライバ５の出
力は、流量制御用デイジタル弁６に供給され、流
量制御用デイジタル弁６はパルスモータ７のステ
ツプ回転により、絞り８の開度を調整して流量制
御を行なうようにしている。もちろん、ドライバ
５はコントロールユニツト１よりのパルス信号を
パルスモータ７に回転磁界を生じさせるための電
流に変換して出力する機能を有する。

次にコントロールユニツト１を説明すると、流
量制御用デイジタル弁６を制御するためのコント
ローラ９が設けられ、コントローラ９にはインタ
フエース１０を介して外部接続したプログラマブ
ルシーケンサ２よりの指令信号が入力され、プロ
グラマブルシーケンサ２よりの指令信号に従つて
弁の駆動を所定の操作手順に従つて行なう。ま
た、コントロールユニツト１にはデイジタル弁６
の前後差圧ΔPに基づいて流量を補正するための
差圧補正アダプタ１２が設けられ、この差圧補正
アダプタ１２に対しては流量制御用デイジタル弁
６の流入側と吐出側の管路に設けた圧力検出器１
３，１４の検出圧力Ｐ１，Ｐ２の差ΔPをΔP＝Ｐ
１−Ｐ２として検出する差圧検出器１５の出力信
号がＡ／Ｄ変換器１６でデイジタル変換されて入
力され、差圧補正アダプタ１２は検出差圧ΔPに
基づいて設定開度に制御された時の開度補正量を
演算してコントローラ９に出力し、コントローラ
９は差圧補正アダプタ１２よりの補正量に基づい
てパルスモータ７の補正パルスを発生するように
なる。

第２図は第１図の実施例におけるコントローラ
９の一実施例を示したブロツク図であり、インタ
フエースを介してプログラマブルシーケンサより
与えられた設定開度Ｍを入力して対応するテーブ
ル情報を読み出す分割パルス数発生品１７と、プ
ログラマブルシーケンサよりの移動パターンＫを
入力して対応するテーブル情報を読み出すパルス
間隔発生器１８とを有する。

分割パルス数発生器１７はデイジタルスイツチ
で設定した設定流量に対応したパルス数を例えば
Ｎ＝10分割した時の各分割区分における分割パル
ス数n0〜n9をACテーブル情報として記憶したメ
モリ１７ａを備える。

このメモリ１７ａのACテーブル情報としては、
流量制御用デイジタル弁６で最大流量が得られる
パルスモータ７の駆動パルス数を例えば255パル
スとすると、デイジタルスイツチ３ａ〜３ｎの
各々によつて１〜255種類の流量設定が可能であ
ることから、255種類の設定流量について各設定
流量をＮ＝10分割した10区分におけるパルス数
n0〜n9を１ブロツクとした255種類のテーブルブ
ロツクの形で構成されている。

一方、パルス間隔発生器１８には設定流量Ｎを
Ｎ＝10分割した各区分の分割パルス数n0〜n9の
それぞれに対応したパルス間隔T0〜T9を１ブロ
ツクとした複数ブロツクで構成されるTSテーブ
ル情報を記憶したメモリ１８ａが設けられ、この
TSテーブル情報におけるパルス間隔T0〜T9は
設定流量に向けてパルスモータを駆動する時の移
動パターンの形を決めており、例えば31種類のブ
ロツクテーブルで構成されている。従つてプログ
ラマブルシーケンサよりの設定流量Ｍ及び移動パ
ターンＫの指定は、メモリ１７ａにおけるACテ
ーブル情報のブロツクナンバー及びメモリ１８ａ
におけるTSテーブル情報のブロツクナンバーを
指定することとなる。

分割パルス数発生器１７の出力はアツプダウン
カウンタを用いたACカウンタ１９に供給され、
ACカウンタ１９は分割パルス数発生器１７にお
けるメモリ１７ａの指定されたテーブルブロツク
から読み出した分割パルス数n0〜n9が順次プリ
セツトされ、後の説明で明らかにするように、タ
イマ２１よりの出力パルスを計数し、プリセツト
した分割パルス数に達すると次段のPRカウンタ
２０に計数出力を生ずる。PRカウンタ２０はメ
モリ１７ａ，１８ａにおけるテーブル情報の分割
数Ｎ＝10を計数した時に出力して分割パルス数発
生器１７及びパルス間隔発生器１８にリセツトを
かける機能を有する。

一方、パルス間隔発生器１８の出力はタイマ２
１に供給され、タイマ２１はパルス間隔発生器１
８より出力されるパルス間隔T0〜T9に基づいた
パルス間隔をもつ一定パルス幅のパルスモータ駆
動パルスを出力する。このタイマ２１の出力は、
マルチプレクサ２２に供給され、マルチプレクサ
２２には分割パルス数発生器１７よりパルスモー
タの回転方向、すなわち、弁の開閉方向を決める
信号が供給されており、例えばパルスモータを時
計回り方向に回転駆動して流量を増やすCWパル
ス、またはパルスモータを反時計回り方向に回転
して流量を減少させるCCWパルスを出力する機
能を有し、このマルチプレクサ２２の出力がコン
トロールユニツト１よりのパルス出力となり、第
１図に示したドライバ５に供給されている。

更に、パルス２１の出力はACカウンタ１９に
供給され、このパルス計数値がプリセツトされた
分割パルス数n0〜n9に達する毎にACカウンタ１
５がPRカウンタ２０に対し、出力を生ずるよう
にしている。

次に、第２図に示したコントローラ９の分割パ
ルス数発生器１７に設けたメモリ１７ａのACテ
ーブル情報、及びパルス間隔発生器１８のメモリ
１８ａのTSテーブル情報について具体的に説明
する。

第３図は本発明のAC及びTSテーブルの原理を
示した説明図であり、設定流量に対応した制御パ
ルス数を縦軸に示すようにＮ＝10分割して各分割
区分における分割パルス数n0〜n9を定め、この
分割パルス数n0〜n9に対応したメモリのアドレ
スA0〜A9に分割パルス数n0〜n9の値を記憶し、
これを１つのテーブルブロツクとし、最大設定流
量に対応したパルスモータの最大ステツプ数が例
えば255パルスであつたとすると、１〜255までの
255種類のブロツクテーブルが作成される。

第４図はこのようにして作成されたACテーブ
ルを示した説明図であり、AC−１〜255となる
255種類のテーブルブロツクが予め作成されてメ
モリ１７ａに記憶されている。

一方、TSテーブル情報は第３図の縦軸に示す
分割パルス数n0〜n9に対応して横軸に示すよう
に各分割区分のパルス間隔T0〜T9をメモリのア
ドレスa0〜a9に記憶することにより作り出され、
パルス間隔T0〜T9の値は制御負荷の特性に応じ
た任意のパルス間隔を決めることで設定流量に至
るまでの移動パターンを得ることができ、例えば
この実施例では31種類の移動パターンを決めてい
る。

第５図は、このようにして定められたACテー
ブル情報を示した説明図であり、TS−１〜31の
ブロツクナンバーで示される31種類のブロツクテ
ーブルがメモリ１８ａに記憶されており、第５図
においては、パルス間隔T0〜T9は10μs単位の値
が記憶されている。

この第４，５図のAC及びTSテーブルから明ら
かなように本発明によるデイジタル弁の制御は、
まず第１回目はパルス間隔TOでパルスをn0個発
生し、続いてパルス間隔T1でパルスをn1個発生
し、最終的にパルス間隔T9でパルスをn9個発生
することとなり、その結果、第３図の斜線部で示
す区分内での制御特性を決定し、これらの制御特
性を連続的に結んだ折れ線近似をもつて流量制御
用デイジタル弁の制御特性を得るものである。

次に第２図に示したコントローラ９による流量
制御弁の制御動作を第６図のプログラムフローに
従つて説明する。

まず、第１図に示したＡ１〜Anのスイツチ群、
例えばＡ１のデイジタルスイツチ３ａ，３ａによ
り設定流量に応じた制御パルス数Ｎ及び移動パタ
ーンＫをセツトした状態で装置をスタートさせる
と、ブロツクａでコントローラ９はインタフエー
ス１０を介して入力された制御パルス数Ｍ，移動
パターンＫを読み込み、ブロツクｂは進んでPR
カウンタ２０をPR＝０にプリセツトし、続いて
ブロツクｃにおいてACテーブルのブロツクＭ及
びTSテーブルのブロツクＫを選択する。続いて
ブロツクｄでACテーブルにおけるブロツクＭの
第１アドレスA0に記憶している分割パルス数n0
をACカウンタ１９にプリセツトし、次のブロツ
クｅでTSテーブルの指定ブロツクＫの第１アド
レスA0に記憶しているパルス間隔T0をタイマ２
１にセツトする。このようにパルス間隔T0がセ
ツトされたタイマ２１はブロツクｆに示すように
パルス間隔T0となる一定パルス幅のパルスを発
生し、このタイマ２１よりの出力パルスはマルチ
プレクサ２２を介して第１図に示すドライバ５に
供給され、流量制御用デイジタル弁６のパルスモ
ータ７をプログラマブルシーケンサ２だ設定され
た方向、例えば開方向に回転駆動する。同時にタ
イマ２１の出力はACカウンタ１９に供給され、
ブロツクｇに示すようにACカウンタ１９がイン
クリメントされる。続いて判別ブロツクｈにおい
てACカウンタ１９の計数値がブロツクｄでプリ
セツトした分割パルス数n0に一致するかどうか
を判別し、一致しなければブロツクｆにもどつて
パルス間隔T0で次のパルスを出力する。従つて
ブロツクｆ〜ｈにおいては、ACカウンタ１９に
ブロツクｄでプリセツトされた分割パルス数n0
に一致する数のパルスが出力されるまでタイマ２
１によるパルス出力を繰り返す。

続いて判別ブロツクｈでACカウンタ１９の計
数値がプリセツトした分割パルス数n0に一致し
たとすると、ACカウンタ１９が計数出力が生じ、
ブロツクｉに示すようにPRカウンタ２０がイン
クリメントされる。続いて判別ブロツクｊでPR
カウンタ２０の計数値が分割数Ｎ＝10に一致する
かどうかを判別し、PRカウンタ２０の計数値が
10未満の時には制御の途中であることからブロツ
クｋに進んだアドレスA0をインクリメントし、
再びブロツクｄにもどつて次のアドレスA1の分
割パルス数n1のACカウンタ１９に対するプリセ
ツト及びブロツクｅにアドレスA1のパルス間隔
T1のタイマ２１に対するセツトを行ない、同様
にブロツクｆ〜ｈでパルス間隔T1となるパルス
をn1個発生する。

以下、同様に指定したテーブルＭ，Ｋにおける
アドレスA2〜A9に基づいたタイマ２１よりのパ
ルス出力が行なわれ、アドレスA9によるパルス
出力が終了して判別ブロツクｊに致るとPRカウ
ンタ２０の計数値はPR＝10となつていることか
ら、指定されたPR及びTSテーブルに基づいたパ
ルスモータの制御を終了し、ブロツクｌに進んで
後の説明で明らかにする差圧補正を行なうように
なる。

第７Ａ図は第１図の実施例における差圧補正ア
ダプタ１２の一実施例を示したブロツク図であ
る。

まず構成を説明すると、差圧補正アダプタ１２
はプログラム制御により補正演算を行なうマイク
ロコンピユータで構成され、マイクロコンピユー
タの中央処理ユニツト２５に入出力インタフエー
ス２４を介して第２図に示したコントローラ９よ
りデイジタル弁６に出力されるモータ駆動パルス
Niおよびデイジタル弁６における絞り８の前後
差圧ΔPを入力し、更に中央処理ユニツト２５の
補正演算で得られた数の補正パルスΔNを出力す
るようにしている。中央処理ユニツト２５はモー
タ駆動パルスの数Niに基づいてデイジタル弁に
おける絞りの開口面積Aiを選択するテーブル情
報を記憶したテーブルメモリ２６と、中央処理ユ
ニツト２５に入力したパルス数Niおよび差圧ΔP
のそれぞれを一時記憶するデータメモリ２７が接
続されている。

次に第７Ａ図の差圧補正アダプタ１２で行なわ
れる演算処理を説明する。まず流量制御用デイジ
タル弁６の制御流量Ｑは次式で与えられる。

Ｑ＝CA√2 …(1) 但し、Ｃ：流量係数 Ａ：弁の開口面積［cm²］ ΔP：弁の前後差圧［Kg／cm²］ ρ：油の密度［Kg・s²／cm⁴］ この第(1)式から明らかなように制御流量Ｑは、
流量係数Ｃ，弁の開口面積Ａ，油の密度ρ，およ
び弁の前後差圧ΔPで定まり、弁の開口面積Ａは
デイジタル弁のパルスモータに対するパルス数に
絞りの開度が依存していることから、駆動パルス
数Ｎにより開口面積Ａが一義的に定まつており、
この開口面積Ａについてはテーブルメモリ２６に
第８図に示すような駆動パルス数N1〜Nnをアド
レスとした各パルス数に対応した開口面積A1〜
Anをテーブルデータとして記憶しておくことに
より、駆動パルス数Ｎに基づいたアドレス指定で
対応する弁の開口面積Ａをテーブルデータとして
求めることができる。

一方、流量係数Ｃは、レイノルズ数により変化
する値であり、また、油の密度ρも油の温度によ
り変動する値であるが、この実施例では流量係数
Ｃおよび油の密度ρを定数として取り扱う。

従つて、前記第(1)式は Ｑ＝Ｋ・Ａ√ …(2) 但し、Ｋ＝Ｃ√２で定数 と簡略化するとができ、この第(2)式の演算によ
り第６図のフローチヤートに従つて行なわれた流
量制御用デイジタル弁の設定開度における実流量
を演算することができる。そこで、前記第(2)式で
演算されたデイジタル弁の実流量と、駆動パルス
数のみ依存したデイジタルスイツチによりセツト
された流量との間には、弁の前後差圧ΔPに応じ
た誤差を生じていることから、この流量誤差ΔQ
を補正流量として計算し、補正流量ΔQに対応し
た駆動パルス数ΔNを補正パルス数として計算
し、デイジタル弁のパルスモータを補正制御する
ようになる。

第７Ｂ図は第７Ａ図の中央処理ユニツト２５を
機能ブロツクにて示した実施例構成図であり、中
央処理ユニツト２５は、開口面積演算部３０、実
流量演算部３１で、補正流量演算部３２及び補正
パルス演算部３３で構成される。

次に第９図のフローチヤートを参照して第７
Ａ，Ｂ図に示した差圧補正アダプタによる演算処
理を説明する。

まず、第６図のフローチヤートに示したよう
に、ブロツクｊでコントローラ９による流量制御
の終了が判別されたとすると、ブロツクｋに進
み、第９図に示す差圧補正ルーチンを実行する。

この差圧補正ルーチンにおいては、まず、ブロ
ツクＡでコントローラ９より出力されたデイジタ
ル弁６のパルスモータ７に対する駆動パルス数
Niから第８図に示したテーブル情報に基づいて
開口面積Aiをテーブル選択する。続いて、ブロ
ツクＢにおいて入出力インタフエース２４を介し
て検出差圧ΔPiを読込み、ブロツクＣにおいて予
め定めた定数Ｋ，開口面積Ai，および検出差圧
ΔPiを用いてパルスモータの駆動パルス数Niに対
応したデイジタル弁６の実流量Qrを計算する。

続いてブロツクＤにおいてデイジタルスイツチ
設定流量Ｑと実流量Qrとの差から補正流量ΔQを
計算する。勿論、補正流量ΔQは正または負の値
をもつ。

続いて、ブロツクＥにおいてブロツクＤで求め
補正流量ΔQから、補正流量ΔQを得るために必
要なパルスモータの駆動パルス数を補正パルス数
ΔNとして計算し、判別ブロツクＦにおいて補正
パルス数ΔNが１以上の時にはブロツクＧに進ん
で補正パルスを出力し、一方、補正パルス数ΔN
が小数桁の時にはパルスモータの駆動による流量
補正ができないことから、そのまま流量補正をを
行なわずに演算処理を終了する。

第１０図は本発明の差圧補正を行なつた時の時
間軸に対するデイジタル弁のパルスモータ回転量
を示したタイムチヤートであり、時刻Tnでコン
トローラ９による流量制御が指定された移動パタ
ーンに従つて終了したとすると、第９図に示した
演算処理により求められた補正パルス数−ΔNに
よりパルスモータが補正駆動され、デイジタル弁
の前後差圧ΔPによる誤差を取り除いたデイジタ
ルスイツチによる設定流量に一致する実流量が得
られる。

尚、上記の実施例では、第(2)式に示したように
流量係数Ｃおよび油の密度ρを定数として取り扱
つているが、更に制御精度を高めるためには、次
の演算処理を行なうようにすればよい。

まず、流量係数Ｃは修正レイノルズ数Rmの関
数として Ｃ＝ｆ（Rm） …(2) 但し、Rmは修正レイノルズ数 で与えられ、ここで修正レイノルズ数Rmは弁の
変位、即ち開口面積Ａで変わる係数ｋでレイノル
ズ数Reを修正した値、即ち Rm＝ｋ・Re …(3) 但し、Re：レイノルズ数 ｋ：弁の変位で変る係数 で与えられ、更にレイノルズ数Reは Rc＝vA／ν …(4) 但し、ｖ：油の流速［cm／ｓ］ ν：粘度係数（温度Ｔで変る） で与えられることから、これらの演算により流量
係数Ｃを求めるようにすればよい。

また、油の密度ρについては温度により変るこ
とから、デイジタル弁を流れる油の温度を検出し
て温度に応じた密度ρを求める。そして、上記の
演算により求めた流量係数Ｃおよび密度ρを前記
第(1)式に代入し、開口面積Ａおよび前後差圧ΔP
を用いて実流量Qrを演算すればよい。

また、上記の実施例ではテーブル情報に基づい
たデイジタル弁の流量制御が終了した時に、検出
差圧ΔPに基づいた流量補正を行なうようにして
いるが、この差圧ΔPに基づいた流量補正のタイ
ミングは、コントローラ９による制御中の任意の
タイミングで行なうようにしてもよい。

ｆ 発明の効果 次に本発明の効果を説明すると、デイジタル弁
の開度を決めるテーブル情報および設定開度に移
行するまでのデイジタル弁の移動パターンを決め
るテーブル情報に基づいて設定流量が得られるよ
うにデイジタル弁のパルスモータを駆動して流量
制御するデイジタル弁制御装置において、デイジ
タル弁の前後差圧を検出し、この検出差圧に応じ
て前記テーブル情報により制御されたデイジタル
弁の制御開度を補正するようにしたため、デイジ
タル弁の前後差圧に依存してバラ付く流量誤差を
除去することができ、極めて精度の高い流量制御
を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示したブロツク
図、第２図は第１図におけるコントローラの具体
的構成を示したブロツク図、第３図は第２図のコ
ントローラで用いるテーブル情報の原理を示した
説明図、第４図はコントローラで用いるACテー
ブル情報の一例を示した説明図、第５図は第２図
のコントローラで用いるTSテーブル情報の一例
を示した説明図、第６図は第２図のコントローラ
によるデイジタル弁の制御処理を示したフローチ
ヤート図、第７Ａ，Ｂ図は第１図の実施例におけ
る差圧補正アダプタの具体例を示したブロツク
図、第８図は第７Ａ，Ｂ図の差圧補正アダプタで
用いるテーブル情報を示した説明図、第９図は第
７Ａ，Ｂ図の差圧補正アダプタによる補正演算処
理を示したフローチヤート図、第１０図は本発明
による流量制御を示したタイムチヤート図であ
る。 １：コントロールユニツト、２：プログラマブ
ルシーケンサ、３ａ〜３ｎ：開度設定用デイジタ
ルスイツチ、４ａ〜４ｎ：パターン設定用デイジ
タルスイツチ、５：ドライバ、６：流量制御用デ
イジタル弁、７：パルスモータ、８：絞り、９：
コントローラ、１０：インタフエース、１２：差
圧補正アダプタ、１３，１４：圧力検出器、１
５：差圧検出器、１６：Ａ／Ｄ変換器、１７：分
割パルス数発生器、１８：パルス間隔発生器、１
９：ACカウンタ、２０：PRカウンタ、２１：タ
イマ、２２：マルチプレクサ、２４：入出力イン
タフエース、２５：中央処理ユニツト、２６：テ
ーブルメモリ、２７：データメモリ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ デイジタル弁の開度を決めるテーブル情報お
   よび設定開度に移行するまでのデイジタル弁の移
   動パターンを決めるテーブル情報に基づいて設定
   流量が得られるようにデイジタル弁のパルスモー
   タを駆動して流量制御するデイジタル弁制御装置
   において、 前記デイジタル弁を通過する流体による弁前後
   差圧を検出する差圧検出器と、 該差圧検出器の検出差圧に基づいて制御された
   デイジタル弁の制御開度を補正する差圧補正手段
   とを設けたことを特徴とするデイジタル弁制御装
   置。