JPH0336134U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0336134U JPH0336134U JP9829689U JP9829689U JPH0336134U JP H0336134 U JPH0336134 U JP H0336134U JP 9829689 U JP9829689 U JP 9829689U JP 9829689 U JP9829689 U JP 9829689U JP H0336134 U JPH0336134 U JP H0336134U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- substrate
- cassette
- glove
- load lock
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の実施例に係る基板交換装置の
縦断正面図。第２図は基板交換前の状態の平面図
。第３図は、カセツト室扉を開きスライドテーブ
ルを後退させた状態の平面図。第４図はカセツト
を支持する回転機構を９０°回転した状態の平面
図。第５図はスライドテーブルを少し押し戻しロ
ードロツク室扉も開いて基板交換を行つている状
態の平面図。 １……基板、２……基板ホルダ、３……カセツ
ト、４……カセツト室、５……グローブ室、６…
…ロードロツク室、７……基板挿入口、８……ロ
ードロツク室扉、９……受皿、１０……カセツト
室扉、１１……受台、１２……シヤフト、１４…
…ベアリングケース、１６……スライドテーブル
、１８……レール、２０……回転ストツパ、２１
……ハツチボルト、２２……グローブ、２３……
覗窓、２５……当り、２６……取手、２７……メ
ンテナンステーブル、２８……基板キヤリヤ、３
１……横継板、３２……竪板、４０……支点ピン
、４１……ハツチボルト。
縦断正面図。第２図は基板交換前の状態の平面図
。第３図は、カセツト室扉を開きスライドテーブ
ルを後退させた状態の平面図。第４図はカセツト
を支持する回転機構を９０°回転した状態の平面
図。第５図はスライドテーブルを少し押し戻しロ
ードロツク室扉も開いて基板交換を行つている状
態の平面図。 １……基板、２……基板ホルダ、３……カセツ
ト、４……カセツト室、５……グローブ室、６…
…ロードロツク室、７……基板挿入口、８……ロ
ードロツク室扉、９……受皿、１０……カセツト
室扉、１１……受台、１２……シヤフト、１４…
…ベアリングケース、１６……スライドテーブル
、１８……レール、２０……回転ストツパ、２１
……ハツチボルト、２２……グローブ、２３……
覗窓、２５……当り、２６……取手、２７……メ
ンテナンステーブル、２８……基板キヤリヤ、３
１……横継板、３２……竪板、４０……支点ピン
、４１……ハツチボルト。
Claims (1)
- 真空に引くことができ、基板処理室に連続して
おり基板処理室との境界をゲートバルブによつて
開閉できるようにしてあり基板ボルダ２を複数枚
縦に積載できるカセツト３を収容できるカセツト
室４と、カセツト室４と基板処理室との間で基板
ホルダ２を搬送する搬送機構と、不活性ガス置換
ができカセツト室４に連続しておりカセツト室４
との境界をカセツト室扉１０によつて開閉できる
ようにしたグローブ室５と、真空に引くことがで
きグローブ室５に連続しておりグローブ室５との
境界をロードロツク室扉８によつて開閉でき基板
挿入口７を開閉することにより大気側と連通させ
或は遮断できるロードロツク室６と、カセツト３
とカセツト室扉１０とを直線方向に運搬する運搬
機構Ｑと、運搬機構Ｑの上に設けられカセツト３
及びカセツト室扉１０を回転させる事のできる回
転機構Ｒと、グローブ室５の壁面の開口に取り付
けられ作業者が腕を差し入れるためのグローブ２
２と、グローブ室５の中に設けられ一時的に基板
ホルダ２を置き基板ホルダ２の上の基板１を交換
するためのメンテナンステーブル２７と、ロード
ロツク室扉８のロードロツク室側の面に固着され
基板キヤリヤ２８を載せるべき受皿９とを含み、
基板交換時は、グローブを嵌めた作業者が、グロ
ーブ室５に於いてカセツト３と基板キヤリヤ２８
がメンテナンステーブル２７の前方左右に並ぶよ
うに移動させ、メンテナンステーブル２７上にカ
セツト３の基板ホルダ２を置きメンテナンステー
ブル上で基板１を交換できるようにした事を特徴
とする基板交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9829689U JP2501687Y2 (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | 基板交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9829689U JP2501687Y2 (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | 基板交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0336134U true JPH0336134U (ja) | 1991-04-09 |
| JP2501687Y2 JP2501687Y2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=31647402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9829689U Expired - Lifetime JP2501687Y2 (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | 基板交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501687Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009065858A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Daiwa Seiko Inc | 魚釣用リール |
| US8821101B2 (en) | 2009-01-05 | 2014-09-02 | Panasonic Corporation | Automatic pallet exchange device |
-
1989
- 1989-08-22 JP JP9829689U patent/JP2501687Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009065858A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Daiwa Seiko Inc | 魚釣用リール |
| US8821101B2 (en) | 2009-01-05 | 2014-09-02 | Panasonic Corporation | Automatic pallet exchange device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2501687Y2 (ja) | 1996-06-19 |
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