JPH0334383B2 - - Google Patents
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- JPH0334383B2 JPH0334383B2 JP60085055A JP8505585A JPH0334383B2 JP H0334383 B2 JPH0334383 B2 JP H0334383B2 JP 60085055 A JP60085055 A JP 60085055A JP 8505585 A JP8505585 A JP 8505585A JP H0334383 B2 JPH0334383 B2 JP H0334383B2
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- circulating water
- gas
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B16/00—Spray booths
- B05B16/60—Ventilation arrangements specially adapted therefor
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は塗装ブースの排熱回収方法に関する。
(従来の技術)
塗装ブース内においては、所定の作業状態を確
保すると共に塗料ミストを強制的に排出するため
に、一定状態(温度、湿度)の空気が連続して供
給されており、その一定状態の空気を連続して供
給するためにはかなり大きなエネルギーが要求さ
れることとなつている。このため、塗装ブース内
から排出される空気から排熱が回収されており、
その排熱の有効利用によりエネルギの低減が図ら
れている。
保すると共に塗料ミストを強制的に排出するため
に、一定状態(温度、湿度)の空気が連続して供
給されており、その一定状態の空気を連続して供
給するためにはかなり大きなエネルギーが要求さ
れることとなつている。このため、塗装ブース内
から排出される空気から排熱が回収されており、
その排熱の有効利用によりエネルギの低減が図ら
れている。
具体的には、塗装ブース内の床を剛性の格子と
し、その下方に水を含む床皿を配置し、その床皿
の底面に、該床皿の上下空間を連通させる複数の
筒体を立設する構成とし、床皿に循環水を連続的
に流し、その循環水が複数の筒体を通つて流下す
るときにおける排出空気と循環水との気液接触に
より、先ず、排出空気中から循環水に塗料ミスト
を除去し、その後、排出空気の排熱を熱交換器に
より回収する方法がとられている。
し、その下方に水を含む床皿を配置し、その床皿
の底面に、該床皿の上下空間を連通させる複数の
筒体を立設する構成とし、床皿に循環水を連続的
に流し、その循環水が複数の筒体を通つて流下す
るときにおける排出空気と循環水との気液接触に
より、先ず、排出空気中から循環水に塗料ミスト
を除去し、その後、排出空気の排熱を熱交換器に
より回収する方法がとられている。
(発明が解決しようとする問答点)
しかしながら、上記のような熱回収方法にあつ
ては、塗料ミスト気液接触法によつて完全に除去
できないため、熱交換器の伝熱面に塗料ミストが
付着することになり、伝熱性能が阻害されると共
に、熱交換器を通る空気の圧力損失が増大するこ
とになつて、排気フアン動力の増大を招くことに
なつていた。
ては、塗料ミスト気液接触法によつて完全に除去
できないため、熱交換器の伝熱面に塗料ミストが
付着することになり、伝熱性能が阻害されると共
に、熱交換器を通る空気の圧力損失が増大するこ
とになつて、排気フアン動力の増大を招くことに
なつていた。
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、そ
の目的は塗装ブース内から排出される空気からの
熱回収性能を一定に維持すると共に、排気フアン
動力の増大を防ぐことにある。
の目的は塗装ブース内から排出される空気からの
熱回収性能を一定に維持すると共に、排気フアン
動力の増大を防ぐことにある。
(問題点を解決するための手段)
かかる目的を達成するために本発明にあつて
は、塗装ブース7内からの排出空気Gと回収液
w1とを気液接触させ、その気液接触した回収液
w1から塗料ミストを除去し、その塗料ミスト除
去後の回収液w1の熱量を間接熱交換により回収
し、その後、その回収液w1を、再び、前記排出
空気Gとの気液接触のために用いる構成としてあ
る。
は、塗装ブース7内からの排出空気Gと回収液
w1とを気液接触させ、その気液接触した回収液
w1から塗料ミストを除去し、その塗料ミスト除
去後の回収液w1の熱量を間接熱交換により回収
し、その後、その回収液w1を、再び、前記排出
空気Gとの気液接触のために用いる構成としてあ
る。
(作用)
上述の構成により、回収液w1に排出空気G中
の排熱と塗料ミストとが回収されることになる
が、塗料ミストは、回収液w1中の排熱の回収に
先立つて回収液w1中から除去されることになり、
水処理技術によりほぼ完全に塗料ミストを除去で
きることになる。このため、回収液w1中の排熱
の回収における間接熱交換に際して、伝熱面に塗
料ミストが付着することが防止される。
の排熱と塗料ミストとが回収されることになる
が、塗料ミストは、回収液w1中の排熱の回収に
先立つて回収液w1中から除去されることになり、
水処理技術によりほぼ完全に塗料ミストを除去で
きることになる。このため、回収液w1中の排熱
の回収における間接熱交換に際して、伝熱面に塗
料ミストが付着することが防止される。
また、排出空気Gと回収液w1との気液接触に
より、排出空気G中の排熱が回収液w1に回収さ
れることになり、排出空気Gの排出経路に熱交換
器を配置しなくてもよくなる。このため、熱交換
器の伝熱面に塗料ミストが付着し、熱交換器を通
る排出空気Gの圧力損失が増大することはなくな
る。
より、排出空気G中の排熱が回収液w1に回収さ
れることになり、排出空気Gの排出経路に熱交換
器を配置しなくてもよくなる。このため、熱交換
器の伝熱面に塗料ミストが付着し、熱交換器を通
る排出空気Gの圧力損失が増大することはなくな
る。
(実施例)
以下、本発明の第1実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
第1図は本発明に係る方法を実施する装置で、
この装置において、1は空調器で、この空調器1
内には、加湿シヤワー装置2と加熱コイル3とが
空気流入口4から空気流出口5に向けて順次配設
されている。
この装置において、1は空調器で、この空調器1
内には、加湿シヤワー装置2と加熱コイル3とが
空気流入口4から空気流出口5に向けて順次配設
されている。
空調器1の流出口5には給気フアン6を介して
塗装ブース7が接続されている。塗装ブース7内
には格子状の床8が設けられており、床8は塗装
ブース7内を区画している。この床8上において
は塗装作業が行う空間が確保されており、床8の
下方には気液接触装置9が設けられている。気液
接触装置9は、塗装ブース7側内壁に相対向して
設けたられた一対の樋10,10と、該一対の樋
10,10の上端縁から下方に向うに従つて互い
に近づく傾斜板11,11とからなつており、各
傾斜板11,11の先端部間には、いわゆるベン
チユリーシヤワーを形成するために一定の間隔が
あけられている。塗装ブース7内において、気液
接触装置9の下方には気液分離室12が設けられ
ており、この気液分離室12の上方部は排気フア
ン13を介して大気に連通し、気液分離室12の
底部は前記一対の樋10,10に配管14を介し
て連通している。配管14には循環ポンプ15が
設けられており、この循環ポンプ15により、一
対の樋10,10、気液分離装置9、気液分離室
12、配管14が構成する循環経路16を一定量
の循環水w1が循環することになる。循環経路1
6中には、循環ポンプ15と気液分離室12との
間に塗料ミスト除去装置17が設けられており、
この塗料ミスト除去装置17としては、沈殿池、
フイルタ等が用いられている。配管14にはま
た、樋10と循環ポンプ15との間において、バ
イパス管18が接続されており、このバイパス管
18は、途中、ヒートポンプ装置(冷凍機)19
を経由している。51,52はバイパス管18に
設けられた開閉弁である。
塗装ブース7が接続されている。塗装ブース7内
には格子状の床8が設けられており、床8は塗装
ブース7内を区画している。この床8上において
は塗装作業が行う空間が確保されており、床8の
下方には気液接触装置9が設けられている。気液
接触装置9は、塗装ブース7側内壁に相対向して
設けたられた一対の樋10,10と、該一対の樋
10,10の上端縁から下方に向うに従つて互い
に近づく傾斜板11,11とからなつており、各
傾斜板11,11の先端部間には、いわゆるベン
チユリーシヤワーを形成するために一定の間隔が
あけられている。塗装ブース7内において、気液
接触装置9の下方には気液分離室12が設けられ
ており、この気液分離室12の上方部は排気フア
ン13を介して大気に連通し、気液分離室12の
底部は前記一対の樋10,10に配管14を介し
て連通している。配管14には循環ポンプ15が
設けられており、この循環ポンプ15により、一
対の樋10,10、気液分離装置9、気液分離室
12、配管14が構成する循環経路16を一定量
の循環水w1が循環することになる。循環経路1
6中には、循環ポンプ15と気液分離室12との
間に塗料ミスト除去装置17が設けられており、
この塗料ミスト除去装置17としては、沈殿池、
フイルタ等が用いられている。配管14にはま
た、樋10と循環ポンプ15との間において、バ
イパス管18が接続されており、このバイパス管
18は、途中、ヒートポンプ装置(冷凍機)19
を経由している。51,52はバイパス管18に
設けられた開閉弁である。
ヒートポンプ装置19においては、蒸発器2
0、凝縮器21、圧縮機22及び膨張弁23が、
図に示すように高知の一定の関係をもつて接続さ
れている。蒸発器20内には前記バイパス管18
が通つており、循環水w1の熱が蒸発器20に供
給されることになる。凝縮器21内には、該凝縮
器21が放熱する熱を受熱する配管24が通つて
おり、その配管24の一端側は、開閉弁25、循
環ポンプ26、蒸気等による熱を必要に応じて供
給する補助加熱装置27を介して加熱コイル3の
入口及び加湿シヤワー装置2に接続されている。
配管24の他端側は、開閉弁28を介して空調器
1内に設けられた凝縮水溜め29及び加熱コイル
3の出口に接続されている。
0、凝縮器21、圧縮機22及び膨張弁23が、
図に示すように高知の一定の関係をもつて接続さ
れている。蒸発器20内には前記バイパス管18
が通つており、循環水w1の熱が蒸発器20に供
給されることになる。凝縮器21内には、該凝縮
器21が放熱する熱を受熱する配管24が通つて
おり、その配管24の一端側は、開閉弁25、循
環ポンプ26、蒸気等による熱を必要に応じて供
給する補助加熱装置27を介して加熱コイル3の
入口及び加湿シヤワー装置2に接続されている。
配管24の他端側は、開閉弁28を介して空調器
1内に設けられた凝縮水溜め29及び加熱コイル
3の出口に接続されている。
また、蒸発器20内には配管30が通つてお
り、その配管30の一端側は、開閉弁31を介し
て、前記循環ポンプ26と開閉弁25との間にお
ける配管24に接続され、配管30の他端側は、
開閉弁32を介して、開閉弁28と加熱コイル3
との間における配管24に接続されている。凝縮
器21内には配管33が通つており、配管33の
一端側は、開閉弁34、冷却塔35を介して循環
ポンプ36の入口に接続され、配管33の他端側
は開閉弁37を介して循環ポンプ36の出口に接
続されている。
り、その配管30の一端側は、開閉弁31を介し
て、前記循環ポンプ26と開閉弁25との間にお
ける配管24に接続され、配管30の他端側は、
開閉弁32を介して、開閉弁28と加熱コイル3
との間における配管24に接続されている。凝縮
器21内には配管33が通つており、配管33の
一端側は、開閉弁34、冷却塔35を介して循環
ポンプ36の入口に接続され、配管33の他端側
は開閉弁37を介して循環ポンプ36の出口に接
続されている。
このような構成において、空調器1から所定温
度及び所定湿度(相対湿度70%以上)に調節され
た供給空気が塗装ブース7内に連続して供給され
ており、塗装ブース7内は一定の環境状態に維持
されている。その塗装ブース7内においては、塗
装作業に伴つて塗料ミストが発生するが、前記供
給空気が連続的に塗装ブース7内に供給されると
共に排気フアン13により塗装ブース7内の空気
が吸引されることから、気液接触装置9におい
て、排出空気Gと循環水w1とが気液接触するこ
とになる。このとき、塗装ブース7内への供給空
気量が非常に大きくて、塗装ブース7内の熱負荷
が無視できることから、塗装ブース7内の空気の
露点温度は、湿度(相対湿度70%以上)が高いこ
とに伴つて比較的高い状態で維持されている。こ
のため、循環水w1の温度に比べて空気の露点温
度が高くなり、塗装ブース7内からの排出空気G
と循環水w1とが気液接触すると、循環水w1中に、
塗料ミストが回収されるだけでなく、排出空気G
の排熱も容易に回収されることになる。
度及び所定湿度(相対湿度70%以上)に調節され
た供給空気が塗装ブース7内に連続して供給され
ており、塗装ブース7内は一定の環境状態に維持
されている。その塗装ブース7内においては、塗
装作業に伴つて塗料ミストが発生するが、前記供
給空気が連続的に塗装ブース7内に供給されると
共に排気フアン13により塗装ブース7内の空気
が吸引されることから、気液接触装置9におい
て、排出空気Gと循環水w1とが気液接触するこ
とになる。このとき、塗装ブース7内への供給空
気量が非常に大きくて、塗装ブース7内の熱負荷
が無視できることから、塗装ブース7内の空気の
露点温度は、湿度(相対湿度70%以上)が高いこ
とに伴つて比較的高い状態で維持されている。こ
のため、循環水w1の温度に比べて空気の露点温
度が高くなり、塗装ブース7内からの排出空気G
と循環水w1とが気液接触すると、循環水w1中に、
塗料ミストが回収されるだけでなく、排出空気G
の排熱も容易に回収されることになる。
そして気液接触装置9で気液接触された循環水
w1と放出空気Gとは、気液分離室12に導びか
れ、両者w1,Gはその気液分離室12で分離さ
れる。そのうち排出空気Gは排気フアン13によ
り気液分離室12から大気に放出され、循環水
w1は塗料ミスト除去装置17に導びかれる。塗
料ミスト除去装置17においては、沈降分離、薬
剤処理、過等の物理化学的処理がなされ、塗料
ミストは循環水w1からほぼ完全に除去される。
w1と放出空気Gとは、気液分離室12に導びか
れ、両者w1,Gはその気液分離室12で分離さ
れる。そのうち排出空気Gは排気フアン13によ
り気液分離室12から大気に放出され、循環水
w1は塗料ミスト除去装置17に導びかれる。塗
料ミスト除去装置17においては、沈降分離、薬
剤処理、過等の物理化学的処理がなされ、塗料
ミストは循環水w1からほぼ完全に除去される。
その後、循環水w1の一部若しくは全てが蒸発
器20にバイパス管18を介して送られ、循環水
w1の熱は蒸発器20により奪われる。これによ
り、循環水w1は、排出空気の排熱を回収するに
充分な程度まで冷却されることになり、この状態
で、循環水w1は樋10,10に再び戻される。
器20にバイパス管18を介して送られ、循環水
w1の熱は蒸発器20により奪われる。これによ
り、循環水w1は、排出空気の排熱を回収するに
充分な程度まで冷却されることになり、この状態
で、循環水w1は樋10,10に再び戻される。
ヒートポンプ装置19においては季節に応じた
運転がなされる。すなわち、冬季等においては、
開閉弁25,28,51,52が開弁され、開閉
弁31,32,34,37が閉弁される。これに
より、ヒートポンプ装置19は、蒸発器20が受
熱した循環水w1の熱を圧縮機で昇温し、その熱
を凝縮器21で放熱する。その熱は配管24を流
れる循環水w2に伝達され、その循環水w2の温度
は昇温される。この昇温された循環水w2加湿シ
ヤワー装置2と加熱コイル3に導びかれ、循環水
w2の熱は、塗装ブース7内に供給する供給空気
の調節に利用される。
運転がなされる。すなわち、冬季等においては、
開閉弁25,28,51,52が開弁され、開閉
弁31,32,34,37が閉弁される。これに
より、ヒートポンプ装置19は、蒸発器20が受
熱した循環水w1の熱を圧縮機で昇温し、その熱
を凝縮器21で放熱する。その熱は配管24を流
れる循環水w2に伝達され、その循環水w2の温度
は昇温される。この昇温された循環水w2加湿シ
ヤワー装置2と加熱コイル3に導びかれ、循環水
w2の熱は、塗装ブース7内に供給する供給空気
の調節に利用される。
一方、夏季等においては、開閉弁25,28,
51,52が閉弁され、開閉弁31,32,3
4,37が開弁される。これにより、ヒートポン
プ装置19は、蒸発器20において循環水w2の
熱を奪い、その熱凝縮器21において配管33中
の循環水に放熱する。そして、その循環水は、冷
却塔35に導びかれ、その冷却塔35において、
凝縮器21から受熱した熱を放熱する。このた
め、循環水w2は夏季等に応じた所定温度に維持
され、循環水w2の熱は空調器1内の供給空気の
減温・減湿のために利用される。
51,52が閉弁され、開閉弁31,32,3
4,37が開弁される。これにより、ヒートポン
プ装置19は、蒸発器20において循環水w2の
熱を奪い、その熱凝縮器21において配管33中
の循環水に放熱する。そして、その循環水は、冷
却塔35に導びかれ、その冷却塔35において、
凝縮器21から受熱した熱を放熱する。このた
め、循環水w2は夏季等に応じた所定温度に維持
され、循環水w2の熱は空調器1内の供給空気の
減温・減湿のために利用される。
第2図は第2実施例、第3図は第3実施例を示
すもので、前記第1実施例と同一構成要素につい
ては同一符号を付してその説明を省略する。
すもので、前記第1実施例と同一構成要素につい
ては同一符号を付してその説明を省略する。
第2実施例は、蒸発器20に熱量の供給する配
管38と、バイパス管18との間に熱交換器39
を介装したもので、バイパス管18を流れる循環
水w1の熱量は、熱交換器39を介して、配管3
8を流れる熱媒体(水、不凍液等)に伝達され
る。これにより、バイパス管18中の循環水w1
の流量と蒸発器20への熱媒体の定格流量とが著
しく異なる場合であつても対応することができる
ことになる。
管38と、バイパス管18との間に熱交換器39
を介装したもので、バイパス管18を流れる循環
水w1の熱量は、熱交換器39を介して、配管3
8を流れる熱媒体(水、不凍液等)に伝達され
る。これにより、バイパス管18中の循環水w1
の流量と蒸発器20への熱媒体の定格流量とが著
しく異なる場合であつても対応することができる
ことになる。
第3実施例においては、気液分離室12の底部
と一対の樋10,10とを塗料ミスト除去装置4
0、循環ポンプ41を介して接続し、排出空気G
の排出路にシヤワー室42を設け、そのシヤワー
室42にシヤワー装置43を設け、シヤワー装置
43とシヤワー室42の底部とを循環水を流す配
管44で接続し、その配管44に塗料ミスト除去
装置17、循環ポンプ41を介装してある。この
実施例によれば、気液接触装置9に導びかれる循
環水が蒸発器20により冷却されないため、その
循環水の温度は塗装ブース7内の温度と略等しく
なつており、気液接触装置9において排出空気G
と循環水とを気液接触させても、塗料ミストだけ
が循環水に回収され、排出空気の熱量はほとんど
その循環水に回収されない。このため、その循環
水は、塗料ミストの回収のためにだけ機能し、熱
の授受には関与しない。
と一対の樋10,10とを塗料ミスト除去装置4
0、循環ポンプ41を介して接続し、排出空気G
の排出路にシヤワー室42を設け、そのシヤワー
室42にシヤワー装置43を設け、シヤワー装置
43とシヤワー室42の底部とを循環水を流す配
管44で接続し、その配管44に塗料ミスト除去
装置17、循環ポンプ41を介装してある。この
実施例によれば、気液接触装置9に導びかれる循
環水が蒸発器20により冷却されないため、その
循環水の温度は塗装ブース7内の温度と略等しく
なつており、気液接触装置9において排出空気G
と循環水とを気液接触させても、塗料ミストだけ
が循環水に回収され、排出空気の熱量はほとんど
その循環水に回収されない。このため、その循環
水は、塗料ミストの回収のためにだけ機能し、熱
の授受には関与しない。
一方、気液接触装置9を通過した排出空気G
は、未だ充分な保有熱を有した状態でシヤワー室
42に導びかれることになり、そのシヤワー室4
2で、シヤワー装置43から噴出される循環水と
排出空気Gとが気液接触される。これにより、そ
の循環水には排出空気Gの排熱と微量の塗料ミス
トが回収されることになるが、微量の塗料ミスト
は、途中、塗料ミスト除去装置17で循環水から
除去され、排熱は、塗料ミストの除去後、蒸発器
20に運ばれることになる。
は、未だ充分な保有熱を有した状態でシヤワー室
42に導びかれることになり、そのシヤワー室4
2で、シヤワー装置43から噴出される循環水と
排出空気Gとが気液接触される。これにより、そ
の循環水には排出空気Gの排熱と微量の塗料ミス
トが回収されることになるが、微量の塗料ミスト
は、途中、塗料ミスト除去装置17で循環水から
除去され、排熱は、塗料ミストの除去後、蒸発器
20に運ばれることになる。
(発明の効果)
本発明は以上述べたように、回収液中の排熱の
回収における間接熱交換に際して、伝熱面に塗料
ミストが付着することが防止されることから、伝
熱性能が良好な状態で維持されることになり、熱
回収性能を一定に維持することができる。
回収における間接熱交換に際して、伝熱面に塗料
ミストが付着することが防止されることから、伝
熱性能が良好な状態で維持されることになり、熱
回収性能を一定に維持することができる。
また、排出空気の排出経路中に熱交換器を配置
しなくてもよくなり、その熱交換器の伝熱面に塗
料ミストが付着して、熱交換器を通る排出空気の
圧力損失が増大することがなくなることから、排
気フアン動力の増大を防止することができる。
しなくてもよくなり、その熱交換器の伝熱面に塗
料ミストが付着して、熱交換器を通る排出空気の
圧力損失が増大することがなくなることから、排
気フアン動力の増大を防止することができる。
第1図は本発明に係る第1実施例を示す概念
図、第2図は第2実施例を示す概念図、第3図は
第3実施例を示す概念図である。 7……塗装ブース、w1……循環水、G……排
出空気。
図、第2図は第2実施例を示す概念図、第3図は
第3実施例を示す概念図である。 7……塗装ブース、w1……循環水、G……排
出空気。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 塗装ブース内からの排出空気と回収液とを気
液接触させ、 その気液接触した回収液から塗料ミストを除去
し、 その塗料ミスト除去後の回収液の熱を間接熱交
換により回収し、 その後、その回収液を、再び、前記排出空気と
の気液接触のために用いることを特徴とする塗装
ブースの排熱回収方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60085055A JPS61242663A (ja) | 1985-04-20 | 1985-04-20 | 塗装ブ−スの排熱回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60085055A JPS61242663A (ja) | 1985-04-20 | 1985-04-20 | 塗装ブ−スの排熱回収方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61242663A JPS61242663A (ja) | 1986-10-28 |
JPH0334383B2 true JPH0334383B2 (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=13847959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60085055A Granted JPS61242663A (ja) | 1985-04-20 | 1985-04-20 | 塗装ブ−スの排熱回収方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61242663A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62277172A (ja) * | 1986-05-23 | 1987-12-02 | Taikisha Ltd | 塗装ブ−ス |
JPS62277174A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-02 | Taikisha Ltd | 塗装ブ−ス |
JPS63190671A (ja) * | 1987-02-03 | 1988-08-08 | Taikisha Ltd | 塗装ブ−ス |
JP5351707B2 (ja) * | 2009-10-21 | 2013-11-27 | 株式会社大気社 | 塗装設備 |
JP6049067B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-12-21 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線形成装置、メンテナンス方法および配線形成方法 |
DE102015009214A1 (de) * | 2015-07-15 | 2017-01-19 | Dürr Systems Ag | Beschichtungsanlage und entsprechendes Betriebsverfahren |
-
1985
- 1985-04-20 JP JP60085055A patent/JPS61242663A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61242663A (ja) | 1986-10-28 |
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