JPH03296608A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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- JPH03296608A JPH03296608A JP2100969A JP10096990A JPH03296608A JP H03296608 A JPH03296608 A JP H03296608A JP 2100969 A JP2100969 A JP 2100969A JP 10096990 A JP10096990 A JP 10096990A JP H03296608 A JPH03296608 A JP H03296608A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
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- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Metal Rolling (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧延鋼板等のシート材の凹凸形状を測定す
る形状測定装置に関するものである。
る形状測定装置に関するものである。
第５図は、例えば三菱電機技報Ｖｏ１．６０． Ｎｏ、
５Ｐ、４８〜５２に示された従来の形状測定装置を示し
、図において、１は被検査板、２は被検査板１に対向設
置した複数の検出ヘッド、３は処理装置である。また、
検出ヘッド２は第６図に示すように構成されており、４
は光源、５は投光レンズ、６は受光レンズ、７は光電変
換素子群からなる検出デバイス、８は被検査板１の走行
に応じたパルス列を発生するパルス発生器である。
５Ｐ、４８〜５２に示された従来の形状測定装置を示し
、図において、１は被検査板、２は被検査板１に対向設
置した複数の検出ヘッド、３は処理装置である。また、
検出ヘッド２は第６図に示すように構成されており、４
は光源、５は投光レンズ、６は受光レンズ、７は光電変
換素子群からなる検出デバイス、８は被検査板１の走行
に応じたパルス列を発生するパルス発生器である。
次に動作について説明する。第５図に示すように、被検
査板１は矢印■の方向に走行するが、この上方に設置さ
れた複数チャンネルＣＨＩ〜ＣＨｎ分の各検出ヘッド２
により、各々距離を計測し、この計測結果に基づいて、
処理装置３が被検査板１の凹凸形状を演算し、その結果
を出力する。一方、検出ヘッド２では、光源４から放射
された光束を投光レンズ５により集束し、光スポットと
して被検査板１に照射する。そして、この被検査板１で
反射された光スポットを、別の位置に設けた受光レンズ
６により撮像し、検出デバイス７上に結像する。従って
、被検査板１の変位ｌに対応して、光スポットの検出デ
バイス７上における結像位置が変化する。検出デバイス
７は光スポットの結像位置に比例した電気的出力を発生
するので、これにより被検査板１の位置が測定できる。
査板１は矢印■の方向に走行するが、この上方に設置さ
れた複数チャンネルＣＨＩ〜ＣＨｎ分の各検出ヘッド２
により、各々距離を計測し、この計測結果に基づいて、
処理装置３が被検査板１の凹凸形状を演算し、その結果
を出力する。一方、検出ヘッド２では、光源４から放射
された光束を投光レンズ５により集束し、光スポットと
して被検査板１に照射する。そして、この被検査板１で
反射された光スポットを、別の位置に設けた受光レンズ
６により撮像し、検出デバイス７上に結像する。従って
、被検査板１の変位ｌに対応して、光スポットの検出デ
バイス７上における結像位置が変化する。検出デバイス
７は光スポットの結像位置に比例した電気的出力を発生
するので、これにより被検査板１の位置が測定できる。
同様の動作により、各チャンネルＣＨＩ〜ＣＨｎごとの
検出ヘッド２により被検査板１の各点の位置が計測でき
、この結果から被検査板１の幅方向の凹凸形状が判明す
る。また、被検査板１が走行する毎にパルスを発生する
パルス発生器８の出力パルスと同期をとりながら、上記
動作を繰り返すことにより、２次元的な凹凸形状が測定
できる。
検出ヘッド２により被検査板１の各点の位置が計測でき
、この結果から被検査板１の幅方向の凹凸形状が判明す
る。また、被検査板１が走行する毎にパルスを発生する
パルス発生器８の出力パルスと同期をとりながら、上記
動作を繰り返すことにより、２次元的な凹凸形状が測定
できる。
従来の形状測定装置は以上のように構成されているので
、被検査板１の凹凸形状を細かく測定する場合には、検
出ヘッド２の数が増加して、装置が大形化するほか、コ
ストが高くなるなどの課題があった。
、被検査板１の凹凸形状を細かく測定する場合には、検
出ヘッド２の数が増加して、装置が大形化するほか、コ
ストが高くなるなどの課題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、検出ヘッドの個数を減らすことができ、これに
よって装置の小形化並びにローコスト化を図ることがで
きる形状測定装置を得ることを目的とする。
もので、検出ヘッドの個数を減らすことができ、これに
よって装置の小形化並びにローコスト化を図ることがで
きる形状測定装置を得ることを目的とする。
この発明に係る形状測定装置は、投光手段から被検査板
に投光した光束を、第１の半透明鏡により２分割し、上
記被検査板にて反射させた２つの光束を、第２の半透明
鏡を通して受光手段により受光し、この受光手段からの
出力に基づき、処理装置が被検査板の形状を演算するよ
にしたものである。
に投光した光束を、第１の半透明鏡により２分割し、上
記被検査板にて反射させた２つの光束を、第２の半透明
鏡を通して受光手段により受光し、この受光手段からの
出力に基づき、処理装置が被検査板の形状を演算するよ
にしたものである。
この発明における形状測定装置は、光源からの投光ビー
ムを第１の半透明鏡により２分割して被検査板の２箇所
に照射し、受光光路にも第２の半透明鏡を挿入すること
により、２箇所からの光スポットを１個の検出デバイス
で受光できるようにし、さらに被検査板上の測定点数Ｎ
を（Ｎ＋ １ ）７２組の検出ヘッド数で測定できるよ
うにする。
ムを第１の半透明鏡により２分割して被検査板の２箇所
に照射し、受光光路にも第２の半透明鏡を挿入すること
により、２箇所からの光スポットを１個の検出デバイス
で受光できるようにし、さらに被検査板上の測定点数Ｎ
を（Ｎ＋ １ ）７２組の検出ヘッド数で測定できるよ
うにする。
以下、この発明の一実施例を回について説明する。第１
図において１０．〜１０、はそれぞれ第２図に示すよう
な光源４と投光レンズ５からなる投光手段、１１．〜１
１７は同様に受光レンズ６と検出デバイス７からなる受
光手段、１２．〜１２１は透過率と反射率が１：１の比
率を有する半透明鏡で、投光側のものを第１の半透明鏡
とし、受光側のものを第２の半透明鏡とする。
図において１０．〜１０、はそれぞれ第２図に示すよう
な光源４と投光レンズ５からなる投光手段、１１．〜１
１７は同様に受光レンズ６と検出デバイス７からなる受
光手段、１２．〜１２１は透過率と反射率が１：１の比
率を有する半透明鏡で、投光側のものを第１の半透明鏡
とし、受光側のものを第２の半透明鏡とする。
次に動作について説明する。この発明は従来と同様に、
光源４から発せられた光束を投光レンズ５により集束し
て、光スポットを被検査板１へ投光するが、特に、投光
路中に第１の半透明鏡１２Ｉ。
光源４から発せられた光束を投光レンズ５により集束し
て、光スポットを被検査板１へ投光するが、特に、投光
路中に第１の半透明鏡１２Ｉ。
１２３、・・・１２イを設置して投光ビームを２分割し
、被検査板１上の２つずつの測定点Ｍｏ 、Ｍ＋、Ｍ２
．Ｍ３、・・・Ｍｅ−１，Ｍ１％に投光する。これによ
り投光手段１０１〜１０イは必要測定数の半数に低減で
きる。同様に、受光レンズ６と検出デバイス７から構成
される受光手段１１においても、受光光路中にそれぞれ
第２の半透明鏡１２゜。
、被検査板１上の２つずつの測定点Ｍｏ 、Ｍ＋、Ｍ２
．Ｍ３、・・・Ｍｅ−１，Ｍ１％に投光する。これによ
り投光手段１０１〜１０イは必要測定数の半数に低減で
きる。同様に、受光レンズ６と検出デバイス７から構成
される受光手段１１においても、受光光路中にそれぞれ
第２の半透明鏡１２゜。
１２４、・・・１２７゜１を設置し、被検査板１上の２
箇所で反射された投光スポットを受光する。この構成に
よって、受光手段１１１〜１１イの個数も必要測定数の
半数に低減できる。全体としては、必要測定数をＮとす
ると、投・受光手段の数ｍは、ｍ＝（Ｎ＋１）／２ となる。
箇所で反射された投光スポットを受光する。この構成に
よって、受光手段１１１〜１１イの個数も必要測定数の
半数に低減できる。全体としては、必要測定数をＮとす
ると、投・受光手段の数ｍは、ｍ＝（Ｎ＋１）／２ となる。
このような構成においての測定動作を第２図により説明
する。第２図は２箇所の測定を行う受光手段１１を中心
に示しである。まず、被検査板１が位置１ａの場合には
、２箇所の測定点Ｍ、Ａ。
する。第２図は２箇所の測定を行う受光手段１１を中心
に示しである。まず、被検査板１が位置１ａの場合には
、２箇所の測定点Ｍ、Ａ。
Ｍ２Ａの位置に投光された光スポットは、受光レンズ６
により検出デバイス７のＰで示す位置に結像される。ま
た、被検査板１が位置１ｂに変位した場合には、光スポ
ットは位置Ｑ、 Ｒの２点に結像される。ここで、投光
手段１０は時間的に交互に切替えられ投光光束を発生す
るので、従来装置の場合と同様の原理により、各測定点
Ｍ１＾、Ｍ２Ａ。
により検出デバイス７のＰで示す位置に結像される。ま
た、被検査板１が位置１ｂに変位した場合には、光スポ
ットは位置Ｑ、 Ｒの２点に結像される。ここで、投光
手段１０は時間的に交互に切替えられ投光光束を発生す
るので、従来装置の場合と同様の原理により、各測定点
Ｍ１＾、Ｍ２Ａ。
Ｍ、、、Ｍ、までの距離が測定できる。そして、処理装
置３により全ての測定点までの距離から被検査板１の形
状を算出することができる。
置３により全ての測定点までの距離から被検査板１の形
状を算出することができる。
なお、上記実施例では２つの投光手段１０を時間的に交
互に切替えて、２箇所の測定点を別々に計測できるもの
を示したが、第３図に示すように、光源４の発光波長を
λ１．λ２と変え、受光手段１１にて波長選別フィルタ
１３と、第１．第２の検出デバイス７ａ、７ｂを用い、
光源４からの光束を選択受光するようにしてもよい。
互に切替えて、２箇所の測定点を別々に計測できるもの
を示したが、第３図に示すように、光源４の発光波長を
λ１．λ２と変え、受光手段１１にて波長選別フィルタ
１３と、第１．第２の検出デバイス７ａ、７ｂを用い、
光源４からの光束を選択受光するようにしてもよい。
また、第４図に示すように、投光手段１０を平面的に配
置せず、進行方向にＸだけ少しずらし、これに対応する
ように第１．第２の検出デバイス７ａ、７ｂを置くよう
にしてもよい。
置せず、進行方向にＸだけ少しずらし、これに対応する
ように第１．第２の検出デバイス７ａ、７ｂを置くよう
にしてもよい。
さらに、上記実施例では被検査板１を走行するものとし
て説明したが、逆に被検査板１を固定し、投光手段１０
．受光手段１１を移動させてもよく、上記実施例と同様
の効果を奏する。
て説明したが、逆に被検査板１を固定し、投光手段１０
．受光手段１１を移動させてもよく、上記実施例と同様
の効果を奏する。
以上のように、この発明によれば、投光手段から被検査
板に投光した光束を、第１の半透明鏡により２分割し、
上記被検査板にて反射させた２つの光束を、第２の半透
明鏡１２を通して受光手段により受光し、この受光手段
からの出力に基づき処理装置が被検査板の形状を演算す
るように構成したので、所定の測定精度を得るために使
用する検出ヘッドの数を、これまでの半分にすることが
できるので、装置全体の小形化とローコスト化を共に図
れるものが得られる効果がある。
板に投光した光束を、第１の半透明鏡により２分割し、
上記被検査板にて反射させた２つの光束を、第２の半透
明鏡１２を通して受光手段により受光し、この受光手段
からの出力に基づき処理装置が被検査板の形状を演算す
るように構成したので、所定の測定精度を得るために使
用する検出ヘッドの数を、これまでの半分にすることが
できるので、装置全体の小形化とローコスト化を共に図
れるものが得られる効果がある。
第１回はこの発明の一実施例による形状測定装置を示す
概念図、第２図は第１図の詳細を示す構成図、第３図お
よび第４図はこの発明の他の実施例による形状測定装置
を示す構成図、第５図は従来の形状測定装置を示す斜視
図、第６図は第５図の一部の詳細を示す構成図である。 １は被検査板、３は処理装置、１０は投光手段、１１は
受光手段、１２１，１２３．・・・１２．は第１の半透
明鏡、１２□、１２４．・・・＋２．、、は第２の半透
明鏡。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
概念図、第２図は第１図の詳細を示す構成図、第３図お
よび第４図はこの発明の他の実施例による形状測定装置
を示す構成図、第５図は従来の形状測定装置を示す斜視
図、第６図は第５図の一部の詳細を示す構成図である。 １は被検査板、３は処理装置、１０は投光手段、１１は
受光手段、１２１，１２３．・・・１２．は第１の半透
明鏡、１２□、１２４．・・・＋２．、、は第２の半透
明鏡。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 被検査板に対して光束を投光する投光手段と、上記投光
された光束を２分割する第１の半透明鏡と、上記被検査
板にて反射させた２つの上記光束を、第２の半透明鏡を
通して受光する受光手段と、この受光手段からの出力を
受けて上記被検査板の形状を演算する処理装置とを備え
た形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2100969A JPH0674973B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2100969A JPH0674973B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03296608A true JPH03296608A (ja) | 1991-12-27 |
| JPH0674973B2 JPH0674973B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=14288181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2100969A Expired - Fee Related JPH0674973B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0674973B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011007633A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Bridgestone Corp | 帯状部材の形状検出方法とその装置及び変位量計測装置 |
-
1990
- 1990-04-16 JP JP2100969A patent/JPH0674973B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011007633A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Bridgestone Corp | 帯状部材の形状検出方法とその装置及び変位量計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0674973B2 (ja) | 1994-09-21 |
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Legal Events
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