JPH03295434A - 圧力センサー装置の測定装置 - Google Patents
圧力センサー装置の測定装置Info
- Publication number
- JPH03295434A JPH03295434A JP9863590A JP9863590A JPH03295434A JP H03295434 A JPH03295434 A JP H03295434A JP 9863590 A JP9863590 A JP 9863590A JP 9863590 A JP9863590 A JP 9863590A JP H03295434 A JPH03295434 A JP H03295434A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensor device
- pressure sensor
- regulator
- measured
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- Pending
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧力センサー装置の特性測定装置において
、より安定度の高い圧力供給を実現するためのものに関
する。
、より安定度の高い圧力供給を実現するためのものに関
する。
近年、圧力センサー装置の応用分野は、急速に拡大して
おり、圧力レンジも非常に微圧の領域から高圧力の領域
まで多様化してきている。この発明は、特に微圧領域で
の圧力センサー装置の特性測定における測定圧力の安定
度向上に関するものである。
おり、圧力レンジも非常に微圧の領域から高圧力の領域
まで多様化してきている。この発明は、特に微圧領域で
の圧力センサー装置の特性測定における測定圧力の安定
度向上に関するものである。
第４図は従来から使用されている圧力センサー装置の特
性測定装置の概要を示すブロック図であり、第５図は被
測定品の入力圧力Ｐ１の圧力状態を示す図である。
性測定装置の概要を示すブロック図であり、第５図は被
測定品の入力圧力Ｐ１の圧力状態を示す図である。
図において、圧力調整器１は入力圧力ＰＡなる正圧力と
入力圧力Ｐ、なる負圧力を入力源とし、圧力調整器１内
にてサーボ弁をアクチュエータとするフィードバック制
御を行い、圧力センサー装置３に任意圧力の供給を行っ
ている。そして、圧力調整器１から供給される圧力は圧
力配管６の距離が長い場合や、より高精度の圧力をモニ
ターする場合等、圧力配管６による圧力損失を考えて、
被測定物たる圧力センサー装置３により近い位置で圧力
計５により圧力モニターすることが多い。
入力圧力Ｐ、なる負圧力を入力源とし、圧力調整器１内
にてサーボ弁をアクチュエータとするフィードバック制
御を行い、圧力センサー装置３に任意圧力の供給を行っ
ている。そして、圧力調整器１から供給される圧力は圧
力配管６の距離が長い場合や、より高精度の圧力をモニ
ターする場合等、圧力配管６による圧力損失を考えて、
被測定物たる圧力センサー装置３により近い位置で圧力
計５により圧力モニターすることが多い。
以上のような圧力供給及び圧力モニターのもとで、任意
圧力に対する被測定圧力センサー装置３の出力電圧を電
圧計４で測定する方法が一般的である。
圧力に対する被測定圧力センサー装置３の出力電圧を電
圧計４で測定する方法が一般的である。
従来の圧力センザー装置の測定装置は以上のようであり
、測定の安定度を決定する要素の中で、圧力調整器１に
より被測定物に供給される測定圧力の安定度が、非常に
重要なポイントとなる。
、測定の安定度を決定する要素の中で、圧力調整器１に
より被測定物に供給される測定圧力の安定度が、非常に
重要なポイントとなる。
しかしながら、圧力調整器１の制御方法は、基本的に比
較制御によるサーボ弁の開閉方式であり、第５図に示ず
ΔＰ１なるリップル圧力分がレベルの大小はあるが存在
することになる。このリップル圧力分ΔＰ工は被測定圧
力センサー装置３の感度や、実使用レンジによって無視
出来るものもあるが、微圧を検出する用途の圧力センサ
ー装置では、高感度のためにこのリップル圧力分の影響
が無視出来ず、大きな測定誤差が生じるという問題点が
あった。
較制御によるサーボ弁の開閉方式であり、第５図に示ず
ΔＰ１なるリップル圧力分がレベルの大小はあるが存在
することになる。このリップル圧力分ΔＰ工は被測定圧
力センサー装置３の感度や、実使用レンジによって無視
出来るものもあるが、微圧を検出する用途の圧力センサ
ー装置では、高感度のためにこのリップル圧力分の影響
が無視出来ず、大きな測定誤差が生じるという問題点が
あった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たものであり、従来問題となっているリップル圧力分を
大幅に軽減することが可能であるより高精度な圧力セン
サー装置の測定装置を提供することを目的とする。
たものであり、従来問題となっているリップル圧力分を
大幅に軽減することが可能であるより高精度な圧力セン
サー装置の測定装置を提供することを目的とする。
この発明に俤る圧力センサー装置の測定装置は、圧力調
整器と被測定物たる圧力センサー装置との間の圧力配管
経路に、被測定物たる圧力センサー装置の内容積よりも
充分に大きな内容積を有するリザーブタンクを設置する
ことを特徴とする。
整器と被測定物たる圧力センサー装置との間の圧力配管
経路に、被測定物たる圧力センサー装置の内容積よりも
充分に大きな内容積を有するリザーブタンクを設置する
ことを特徴とする。
この発明の圧力センサー装置の測定装置において、圧力
配管経路に設置されたリザーブタンクにより、圧力調整
器から発生するリップル圧力分が大きく積分され、被測
定物たる圧力センサー装置の位置では、リップル圧が大
幅に軽減される。
配管経路に設置されたリザーブタンクにより、圧力調整
器から発生するリップル圧力分が大きく積分され、被測
定物たる圧力センサー装置の位置では、リップル圧が大
幅に軽減される。
以下、この考案の一実施例を図について説明する。第１
図において、圧力調整器１は入力圧力ＰＡなる正圧力と
入力圧力Ｐ、なる負圧力を入力源とし、圧力調整器１内
のサーボ弁にてフィードバック制御を行い任意圧力コン
トロールを行っている。
図において、圧力調整器１は入力圧力ＰＡなる正圧力と
入力圧力Ｐ、なる負圧力を入力源とし、圧力調整器１内
のサーボ弁にてフィードバック制御を行い任意圧力コン
トロールを行っている。
そして、圧力調整器１から供給される圧力は圧力配管６
ａによってリサーブタンク２に接続され、更にリザーブ
タンク２から圧力配管６ｂによって被測定圧力センサー
装Ｗ３及び圧力モニター用の圧力計５に接続されている
。なお、４は上記のような圧力供給及び圧力モニターの
もとで、任意圧力に対する被測定圧力センサー装置３の
出力電圧を測定する電圧計である。
ａによってリサーブタンク２に接続され、更にリザーブ
タンク２から圧力配管６ｂによって被測定圧力センサー
装Ｗ３及び圧力モニター用の圧力計５に接続されている
。なお、４は上記のような圧力供給及び圧力モニターの
もとで、任意圧力に対する被測定圧力センサー装置３の
出力電圧を測定する電圧計である。
以上の構成のように、圧力調整器１と被測定物たる圧力
センサー装置３の間の圧力配管経路に、リザーブタンク
２を設置することで、第２図に示す圧力調整器１から発
生するリップル圧力分ΔＰ１は、内容積の大きなリザー
ブタンク２により積分され、被測定物たる圧力センサー
装置３付近では、第３図に示すようにリップル分−Ｐ２
が大幅に軽減される。その結果、圧力センサー装置の精
度の高い測定を行うことが可能となる。
センサー装置３の間の圧力配管経路に、リザーブタンク
２を設置することで、第２図に示す圧力調整器１から発
生するリップル圧力分ΔＰ１は、内容積の大きなリザー
ブタンク２により積分され、被測定物たる圧力センサー
装置３付近では、第３図に示すようにリップル分−Ｐ２
が大幅に軽減される。その結果、圧力センサー装置の精
度の高い測定を行うことが可能となる。
以上のように、この発明によれば圧力調整器と被測定物
たる圧力センサー装置の間の圧力配管経路に、被測定物
たる圧力センサー装置の内容積よりも充分に大きな内容
積を有するリザーブタンクを設置することにより、圧力
調整器より発生するリップル圧力分が大幅に低減され、
その結果、測定精度の高い圧力センサー装置の測定装置
が簡単かつ安価に得られる効果がある。
たる圧力センサー装置の間の圧力配管経路に、被測定物
たる圧力センサー装置の内容積よりも充分に大きな内容
積を有するリザーブタンクを設置することにより、圧力
調整器より発生するリップル圧力分が大幅に低減され、
その結果、測定精度の高い圧力センサー装置の測定装置
が簡単かつ安価に得られる効果がある。
第１図はこの発明に俤る圧力センサー装置の測定装置を
示すブロック図、第２図は圧力配管６ｄの入力圧力ＰＡ
の圧力状態を示す図、第３図は圧力配管６ｂの入力圧力
Ｐ、の圧力状態を示す図、第４図は従来の圧力センサー
装置の測定装置を示すブロック図、第５図は入力圧力Ｐ
１の圧力状態を示す図である。 図中、１は圧力！ｌＩＮ器、２はリザーブタンク、３は
被測定圧力センサー装置、４は電圧計、５は圧力計、６
ａ、 ６ｂは圧力配管を示す。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
示すブロック図、第２図は圧力配管６ｄの入力圧力ＰＡ
の圧力状態を示す図、第３図は圧力配管６ｂの入力圧力
Ｐ、の圧力状態を示す図、第４図は従来の圧力センサー
装置の測定装置を示すブロック図、第５図は入力圧力Ｐ
１の圧力状態を示す図である。 図中、１は圧力！ｌＩＮ器、２はリザーブタンク、３は
被測定圧力センサー装置、４は電圧計、５は圧力計、６
ａ、 ６ｂは圧力配管を示す。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 測定対象物である圧力センサー装置と該圧力センサー
装置の測定入力圧力を発生させる圧力調整器との間の圧
力配管の経路に、該圧力センサー装置の内容積より充分
に大きな内容積を有するリザーブタンクを設けたことを
特徴とする圧力センサー装置の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9863590A JPH03295434A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 圧力センサー装置の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9863590A JPH03295434A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 圧力センサー装置の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03295434A true JPH03295434A (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=14224965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9863590A Pending JPH03295434A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 圧力センサー装置の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03295434A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7472494B2 (en) * | 2004-10-19 | 2009-01-06 | Moretto S.P.A. | Adsorption dehumidifier for granules of plastics materials |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62209331A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-14 | Shimadzu Corp | 空気圧設定装置 |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP9863590A patent/JPH03295434A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62209331A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-14 | Shimadzu Corp | 空気圧設定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7472494B2 (en) * | 2004-10-19 | 2009-01-06 | Moretto S.P.A. | Adsorption dehumidifier for granules of plastics materials |
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