JP3585618B2

JP3585618B2 - 検出器の検査方法、及び検査装置

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Publication number: JP3585618B2
Application number: JP34736495A
Authority: JP
Inventors: 和男杉原
Original assignee: Nidec Tosok Corp
Current assignee: Nidec Tosok Corp
Priority date: 1995-12-14
Filing date: 1995-12-14
Publication date: 2004-11-04
Anticipated expiration: 2015-12-14
Also published as: JPH09166429A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、電気マイクロメータの検査を行う検出器の検査方法、及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、エンジンのボアー径を測定する際には、図６に示すように、測定器としての測定ヘッド８１が用いられている。該測定ヘッド８１は、円柱状の首部８２、及び該首部８２の下端に設けられた頭部８３からなり、該頭部８３には、検出器としての４つの電気マイクロメータ８４，・・・が設けられている。
【０００３】
該電気マイクロメータ８４は、図７に示すように、検出器本体８５と、該検出器本体８５より突出する測定子８６とからなり、該測定子８６に連設されたスピンドル８７中央には、コア８８が設けられている。前記検出器本体８５には、前記コア８８を包囲する１次コイル８９及び２次コイル９０，９０からなる検出手段としての差動変圧器９１が設けられており、この差動変圧器９１は、前記コア８８の変位量を電気信号に変換し、検出器本体８５の基端より延出したケーブル９２を介して出力するように構成されている。
【０００４】
前記スピンドル８７には、前記測定子８６側の先端部にストッパー９３が設けられており、基端部にはナット９４が設けられている。前記ストッパー９３には、縁部が検出器本体８５に固定されたダイヤフラム９５が設けられており、このダイヤフラム９５の先端側には気室９６が形成されている。該気室９６は、連通路９７を介して検出器本体８５の基端に設けられたパイプ９８に連通しており、加圧されたリトラクトエアーが、前記パイプ９８、前記連通路９７を介して前記気室９６内へ送り込まれた際に、このリトラクトエアーの圧力により前記測定子８６を後退させるような反付勢手段が形成されている。また、前記スピンドル８７の先端側及び基端側には、縁部が検出器本体８５に固定された付勢部材としてのリーフスプリング９９，９９が各々設けられており、これらによって、スピンドル８７は、先端方向に向けて付勢されている。
【０００５】
前記各リーフスプリング９９，９９は、同一形状であり、図８に示すように、０．１５ｍｍ厚の円板状の部材によって形成されている。このリーフスプリング９９には、前記スピンドル８７が貫通する円形の貫通穴１００が中央に開設されており、該貫通穴１００を中心とする同心円上には、互いに向き合う円弧状の第１及び第２のスリット１０１，１０２、第３及び第４のスリット１０３，１０４、第５及び第６のスリット１０５，１０６が互い違いに等間隔をおいて順次形成されている。前記第１及び第２のスリット１０１，１０２と、前記第５及び第６のスリット１０５，１０６は、リーフスプリング９９を中央より上下及び左右に分けるＸ軸１０７及びＹ軸１０８を想定した際に、Ｙ軸１０８を挟み対称に形成されており、前記第３及び第４のスリット１０３，１０４は、前記Ｘ軸１０７を挟み対称に形成されている。これによって、前記スピンドル８７は、上下方向に移動した際の左右方向へのずれが防止されるように構成されている。
【０００６】
前記測定ヘッド８１を製造ラインにて使用する際には、所定時間ごとに検査及び調整が行われる。すなわち、前記パイプ９８より前記気室９６内にリトラクトエアーを送り込み、この圧力により測定子８６を後退させる。そして、図５に示したように、基準径Ｃを有したゼロマスター１０９に挿入した後、前記リトラクトエアーを減圧する。この状態で、前記差動変圧器９１の出力が”０”となるように調整し、使用環境などによる基準値のずれを排除できるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記測定ヘッド８１にて測定を１０万〜４０万回繰り返すと、電気マイクロメータ８４のリーフスプリング９９が金属疲労を起こし、破損してしまうことがある。この場合には、差動変圧器９１の出力が”０”から大幅にずれるため、前述した検査方法により、これを発見することができるが、一方のリーフスプリング９９のみが破損している場合や、両リーフスプリング９９，９９が劣化して付勢力が低下している場合には、これを発見することが困難となる。この場合、測定ヘッド８１から全ての電気マイクロメータ８４，・・・を取り出した後、この各電気マイクロメータ８４，・・・を分解しなければならず、発見に至るまで時間を要してしまう。また、破損や劣化を発見した場合においても、修理に時間を要するため、製造ラインの停止時間が長くなり、生産性が悪化してしまう。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、検出器の異常の発見を容易に行うことができる検出器の検査方法、及び検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の検出器の検査方法においては、付勢部材により付勢された測定子の突出量を検出する検出器の検査を行う方法であって、前記測定子に、前記付勢部材の正常状態における付勢力より小さく、前記付勢部材による付勢方向と逆向の反付勢力を加え、前記測定子の突出量が変化した際に、この変化量に基づき前記付勢部材の状態を判断する。
【００１０】
すなわち、付勢部材により付勢された測定子に、前記付勢部材の正常状態における付勢力より小さい反付勢力を加える。このとき、前記付勢部材が正常状態にある場合には、付勢部材の付勢力は前記反付勢力よりも大きいので、前記測定子が動くことは無い。また、付勢部材が、破損あるいは劣化し、その付勢力が低下している場合には、前記反付勢力は前記付勢部材の付勢力に打ち勝ち、前記測定子が移動する。すると、この測定子の突出量が変化するので、この変化量に基づき、つまり、この変化量が０以外である、または、この変化量が予め定められた定量より大きい、などの条件に基づき前記付勢部材の状態が判断される。
【００１１】
また、本発明の検査装置は、付勢部材により付勢された測定子の突出量を検出する検出手段と、外部より供給される流体の圧力により、前記測定子に前記付勢部材による付勢方向と逆向の反付勢力を加える反付勢手段とを備えた検出器の検査装置であって、前記反付勢手段に、前記付勢部材の正常状態における付勢力より小さな前記反付勢力を生じさせる圧力の流体を供給する供給手段と、該供給手段が流体を供給する以前と以後とにおいて、前記検出器による検出結果に変化が生じた際に、この変化量に基づき報知信号を出力する出力手段と、を備えている。
【００１２】
この検査装置にて検出器の検査を行う際には、検出器の反付勢手段に、測定子を付勢する付勢部材の正常状態における付勢力より小さな反付勢力を生じさせる圧力の流体を、供給手段より供給する。このとき、検出器の付勢部材が正常状態にある場合には、付勢部材の付勢力は、前記流体の圧力により生じる反付勢力よりも大きいので、供給手段が流体を供給する以前と以後とにおいて、検出器の測定子が動くことは無く、検出器における検出手段の検出結果に変化が生じることも無い。また、検出器の付勢部材が、破損あるいは劣化し、その付勢力が低下している場合には、前記流体の圧力により生じる反付勢力は、前記付勢部材の付勢力に打ち勝ち、検出器の測定子が移動する。すると、供給手段が流体を供給する以前と以後とにおいて、前記検出手段の検出結果に変化が生じ、この変化量に基づき、つまり、この変化量が０以外である、あるいは、この変化量が予め定められた定量より大きい、などの条件に基づき、これを報知する報知信号が出力手段より出力される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面にしたがって説明する。図１は、本発明の実施の形態にかかる検査装置１を示すブロック図である。該検査装置１は、製造されたエンジンのボアー径を測定する際の制御を行うシーケンサーに接続されるものであり、図示しない前記シーケンサーに接続された制御装置２と、該制御装置２に接続されたエア回路３とにより構成されている。
【００１４】
この検査装置１には、従来例の図６〜図８に示したように、前記ボアー径を測定する測定ヘッド（測定器）８１に組み込まれた電気マイクロメータ（検出器）８４，・・・が接続されている。該電気マイクロメータ８４は、検出器本体８５と、該検出器本体８５より突出する測定子８６とからなり、該測定子８６に連設されたスピンドル８７は、付勢部材としてのリーフスプリング９９，９９により、先端方向に向けて付勢されている。前記スピンドル８７に中央には、コア８８が設けられており、前記検出器本体８５には、このコア８８を包囲する１次コイル８９及び２次コイル９０，９０からなる検出手段としての差動変圧器９１が設けられている。この差動変圧器９１は、コア８８の変位量、すなわち、前記測定子８６の突出量を電気信号に変換するとともに、この電気信号を、検出器本体８５より延出したケーブル９２を介して、検査装置１の前記制御装置２へ出力するように構成されている。
【００１５】
また、前記スピンドル８７の先端には、縁部が検出器本体８５に固定されたダイヤフラム９５が設けられており、このダイヤフラム９５の先端側には気室９６が形成されている。該気室９６は、検出器本体８５に形成された連通路９７を介して基端に設けられたパイプ９８に連通しており、該パイプ９８は、検査装置１の前記エア回路３に接続されている。
【００１６】
前記制御装置２は、ＣＰＵ４、ＲＯＭ５、ＲＡＭ６、及び制御回路７を備えており、前記ＣＰＵ４は、前記ＲＯＭ５の内容に従って動作するように構成されている。また、前記ＣＰＵ４は、作動中における記憶内容を前記ＲＡＭ６に随時読み書きできるように構成されている。
【００１７】
前記エア回路３には、エアポンプ８より送られて来るリトラクトエアを２回路に分岐する分岐点９が設けられており、一方の回路を形成する高圧供給回路１０には、送られて来るエアの圧力を減圧する第１のレギュレータ１１と、該第１のレギュレータ１１より送られて来るエアの通流を、前記制御装置２からの駆動信号を受けて開閉する第１の電磁弁１２とが設けられている。また、他方の回路を形成する供給手段としての低圧供給回路１３には、送られて来るエアの通流を、前記制御装置２からの駆動信号を受けて開閉する第２の電磁弁１４と、該第２の電磁弁１４から送られて来るエアを減圧する第２のレギュレータ１５が設けられており、前記高圧供給回路１０と合流した後、前記電気マイクロメータ８４に接続されている。
【００１８】
前記第１のレギュレター１１は、通流するエアの圧力を１．５〜２．０Ｋｇ／ｃｍに減圧するように設定されており、このエアが前記電気マイクロメータ８４に送られた際に、正常状態にある前記両リーフスプリング９９，９９の付勢力に抗して、前記測定子８６を後退させることができるように構成されている。これにより、前記測定ヘッド８１にてエンジンのボアー径を測定する際には、前記第１の電磁弁１２を開作動させて電気マイクロメータ８４の測定子８６を後退させることにより、測定ヘッド８１のボアーへの挿入が容易に行えるように構成されている。
【００１９】
また、前記第２のレギュレター１５は、通流するエアの圧力を０．５〜０．７Ｋｇ／ｃｍに減圧するように設定されており、前記両リーフスプリング９９，９９が正常状態にある場合には、このエアが前記電気マイクロメータ８４に送られた場合であっても、前記測定子８６を後退させることができないように構成されている。一方、前記両リーフスプリング９９，９９が劣化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労により破損し、その付勢力が低下している場合には、この付勢力に抗して、前記測定子８６を後退させることができるように構成されている。
【００２０】
このように構成された検査装置１は、図２に示すように、ゼロマスター１６と、該ゼロマスター１６に積層された感度マスター１７とからなる機付マスター１８を用いて検査を行うように構成されている。前記ゼロマスター１６の内径寸法は、測定ヘッド８１にて測定を行うボアー径の設計値と一致する基準寸法Ａに設定されており、前記感度マスター１７の内径寸法は、前記設計値に許容誤差量を加えた寸法よりやや大きめの大径寸法Ｂに設定されている。
【００２１】
以上の構成からなる本実施の形態における具体的な動作を、図３に示すフローチャートにしたがって説明する。なお、制御装置２のＲＯＭ６には、製造ライン上を搬送されるエンジンのボアー径を測定する際の制御プログラムと、検査装置１を制御する自動運転処理のプログラムとが組み込まれており、この自動運転処理ルーチンは、メインルーチンより１時間おきに呼び出されるように構成されている。
【００２２】
すなわち、自動運転処理が呼び出されるた際には、始めに、圧力検査処理が行われる（Ｓ１）。この圧力検査処理は、図４に示すように、測定ヘッド８１の各電気マイクロメータ８４，・・・における差動変圧器９１の出力、すなわち、測定子８６の突出量を入力するとともに、この突出量をＲＡＭに記憶し（Ｓ２）、次のステップＳ３で低圧供給回路１３の第２の電磁弁１４に、駆動信号を出力して開作動させ、０．５〜０．７Ｋｇ／ｃｍに設定されたリトラクトエアを各電気マイクロメータ８４，・・・へ出力する。そして、各電気マイクロメータ８４，・・・の測定子８６の突出量を入力した後（Ｓ４）、この突出量と、前記ＲＡＭに記憶された突出量とを比較して、低圧供給回路１３がリトラクトエアを出力する以前と以後とにおいて、突出量に変化が生じたか否かを判断する（Ｓ５）。
【００２３】
このとき、電気マイクロメータ８４の測定子８６を付勢する両リーフスプリング９９，９９が劣化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労により破損し、その付勢力が低下している場合には、前記低圧供給回路１３より供給されたリトラクトエアによって前記測定子８６は後退するので、前記ステップＳ５にて、突出量に変化が生じたと判断され（ＹＥＳ）、この場合には、次のステップＳ６で、この変化量が３μｍを越えているか否かが判断される。前記変化量が３μｍを超えていない、つまり正常動作の範囲内である場合には（ＹＥＳ）、リーフスプリング９９が劣化しつつあることを示す予知信号をシーケンサーに出力して（Ｓ７）、次のステップＳ８へ進む一方、前記変化量が３μｍを超えていた、すなわち正常動作の範囲外である場合には（ＮＯ）、ステップＳ９に分岐して故障信号をシーケンサーに出力し、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。
【００２４】
また、前記両リーフスプリング９９，９９が正常状態にある場合には、前記低圧供給回路１３より、前記リトラクトエアが供給された場合であっても、前記測定子８６が動くことはないので、前記ステップＳ５にて、突出量に変化が生じないと判断され（ＮＯ）、前記ステップＳ８へ分岐する。
【００２５】
このステップＳ８では、高圧供給回路１０の第１の電磁弁１２に、駆動信号を出力して開作動させ、１．５〜２．０Ｋｇ／ｃｍに設定されたリトラクトエアを各電気マイクロメータ８４，・・・へ出力する。そして、各電気マイクロメータ８４，・・・の測定子８６の突出量を入力した後（Ｓ１０）、この突出量と、前記ＲＡＭに記憶された突出量とを比較して、高圧供給回路１０がリトラクトエアを出力する以前と以後とにおいて、突出量に変化が生じたか否かを判断する（Ｓ１１）。
【００２６】
このとき、前記両リーフスプリング９９，９９が正常である場合には、前記高圧供給回路１０からのリトラクトエアの圧力により、前記測定子８６は後退するので、前記ステップＳ１１にて、突出量に変化が生じたと判断され（ＹＥＳ）、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。また、突出量が変化してない、つまり測定子８６が後退しない場合には（ＮＯ）、何らかの故障が発生しているので、前記ステップＳ９に分岐して、故障信号をシーケンサーに出力した後、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。
【００２７】
そして、この自動運転処理ルーチンでは、ステップＳ１２にて、故障信号の出力の有無が判断され、故障信号が出力されている場合、すなわち、電気マイクロメータ８６に故障が発生している場合には（ＮＯ）、メインルーチンへ戻る。また、故障が発生していない場合には（ＹＥＳ）、マスター測定処理（Ｓ１３）を実行する。
【００２８】
該マスター測定処理では、図５に示すように、ステップＳ１４にて、前記圧力検査処理にて測定子８６が後退された測定ヘッド８４を、機付マスター１８に挿入し、ゼロマスター１６にセットする（図２参照）。そして、電気マイクロメータ８６に送られたリトラクトエアの圧力を減圧して各測定子８６，・・・をゼロマスター１６の内壁面に当接させ（Ｓ１５）、これら測定子８６，・・・の突出量、すなわち、差動変圧器９１，・・・の出力が”０”となるように各々調整する（Ｓ１６）。このように、１時間ごとに、”０”調整を行うことで、経時的な使用環境などの変化に伴う、基準値のずれを排除することができる。
【００２９】
次に、測定ヘッド８４を感度マスター１７にセットして（Ｓ１７）、このときの測定子８６の突出量から感度位置を演算した後（Ｓ１８）、ＲＡＭに感度位置が記憶されているか否かを判断する（Ｓ１９）。１回目の判断においては、前記ＲＡＭには、感度位置が記憶されていないので（ＮＯ）、ステップＳ２０へ分岐して演算した感度位置をＲＡＭに記憶し、前記自動運転処理へ戻る。一方、２回目の判断、つまり１時間後にこのステップ１９を通過する際には、前記ＲＡＭには、１時間前に測定された突出量から演算された感度位置が記憶されているので（ＹＥＳ）、次のステップＳ２１に進み、前記ＲＡＭに記憶された１時間前の感度位置と、現時点における突出量から演算した感度位置とを比較する。
【００３０】
このとき、前記両リーフスプリング９９，９９が正常であり、その付勢力が１時間前と比較して変化しない場合には、ゼロマスター１６を測定した際の前記測定子８６の突出量から感度マスター１８を測定した際の前記測定子８６の突出量までの増加量は、１時間前と現在とにおいて一致するので、前記”０”調整を行うことによって基準値のずれが各々排除された前記ＲＡＭに記憶された感度位置と現在の感度位置とは同じ値となる。したがって、前記ステップＳ２１での比較においては、（ＲＡＭに記憶された感度位置）＝（現在の感度位置）となり（ＮＯ）、前記ステップＳ２０に分岐して演算した感度位置をＲＡＭに記憶し、前記自動運転処理へ戻る。
【００３１】
また、前記両リーフスプリング９９，９９が劣化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労により破損し、その付勢力が１時間前と比較して低下している場合には、ゼロマスター１６から感度マスター１８へ移行した際の現在における測定子８６の増加量は、１時間前と比較して小さくなるので、前記ステップＳ２１の判断にて、（ＲＡＭに記憶された感度位置）＞（現在の感度位置）となり（ＹＥＳ）、次のステップＳ２２にて、この差が４μｍ以上ずれているか否かが判断される。前記差が４μｍ未満、つまり測定器の誤差範囲内である場合には（ＹＥＳ）、前記ステップＳ２０にて、演算した感度位置をＲＡＭに記憶して、前記自動運転処理へ戻る一方、前記差が４μｍ以上の場合、すなわち測定器の誤差範囲を超えている場合には（ＮＯ）、リーフスプリング９９，９９が劣化しているか、あるいは、前記両マスター１６，１７のいずれかにごみ等が付着しているか、等を示す予知信号をシーケンサーに出力して（Ｓ２３）、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。なお、前記差が大幅に（例えば１０μｍ以上）ずれている場合には、故障信号をシーケンサーに出力するようにしても良い。
【００３２】
このように、故障信号、または予知信号をシーケンサーに出力することにより、リーフスプリング９９，９９の破損のみならず、リーフスプリング９９，９９の劣化状態等を伝達することができるので、シーケンサーは、これらを容易に認識することができる。したがって、一方のリーフスプリング９９が破損している場合や、一方のリーフスプリング９９の付勢力が低下している場合であっても、測定ヘッド８１と、該測定ヘッド８１に組み込まれた電気マイクロメータ８４，・・・を分解することなく、これを発見することができる。
【００３３】
また、ＲＡＭが記憶する１時間前の感度位置と現在の感度位置とを比較することにより、リーフスプリング９９，９９の経時的な劣化訴権差することができる。これにより、この劣化の度合を判断してリーフスプリング９９，９９の破損時期を予想することができ、破損する前に新しい測定ヘッド８１、あるいは、新しい電気マイクロメータ８４，・・・を発注しておけば、電気マイクロメータ８４，・・・の故障による製造ラインの長時間にわたる停止を未然に防止することができる。
【００３４】
なお、本実施の形態においては、低圧供給回路１３よりリトラクトエアを供給した際の電気マイクロメータ８４の測定子８６の突出量の変化に基づき、リーフスプリング９９，９９の状態を判断する方法について説明したが、例えば、前記リーフスプリング９９，９９の付勢力よりも小さい反付勢力によって、前記測定子８６を直接付勢し、リーフスプリング９９，９９の状態を判断しても良い。
【００３５】
また、本実施の形態では、エンジンのボアー径を測定する電気マイクロメータ８４を備えた測定ヘッド８１を例に挙げて説明したが、例えば、被測定物を包囲するように電気マイクロメータが配置され、前記被測定物の外形寸法を測定する測定器であっても検査を行うことができる。
【００３６】
さらに、本実施の形態にあっては、自動運転処理にて、電気マイクロメータ８４に低圧のリトラクトエアを供給する圧力検査処理と、各マスター１６，１７を用いて測定を行うマスター測定処理と行い、電気マイクロメータ８４のリーフスプリング９９，９９の異常を、より正確に検査したが、前記圧力検査処理のみにより検査を行っても良い。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の検出器の検査方法においては、付勢部材により付勢された測定子に、前記付勢部材の正常状態における付勢力より小さな反付勢力を加えることにより、付勢部材の付勢力の低下を検査することができるので、付勢部材が破損して付勢力が無くなった場合のみならず、付勢部材が劣化して付勢力が低下した場合であっても、測定子の突出量の変化に基づき、これを容易に発見することができる。
【００３８】
したがって、複数の付勢部材により測定子が付勢された検出器を検査する際に、１つの付勢部材が破損している場合や、１つの付勢部材の付勢力が低下している場合であっても、検出器を分解することなく、これを発見することができる。また、検出器が製造ラインで使用されている場合には、付勢部材が破損する前に、付勢部材の劣化による異常を発見することができるので、劣化の度合によって新しい検出器を発注することにより、検出器の故障による製造ラインの長時間にわたる停止を未然に防止することができる。
【００３９】
また、本発明の検査装置にあっては、検出器の反付勢手段に、測定子を付勢する付勢部材の正常状態における付勢力より小さな反付勢力を生じさせる圧力の流体を供給し、流体を供給する以前と以後とにおいて、検出器における検出手段の検出結果に変化が生じた際に、この変化量に基づき出力手段より報知信号が出力されるので、これにより、付勢部材の付勢力の低下を発見することができる。つまり、前述と同様に、付勢部材が破損して付勢力が無くなった場合のみならず、付勢部材が劣化して付勢力が低下した場合であっても、検出結果の変化に基づき、これ容易に発見することができる。
【００４０】
したがって、複数の付勢部材により測定子が付勢された検出器を検査する際に、１つの付勢部材が破損している場合や、１つの付勢部材の付勢力が低下している場合であっても、検出器を分解することなく、これを発見することができる。また、検出器が製造ラインで使用されている場合には、付勢部材が破損する前に、付勢部材の劣化による異常を発見することができるので、劣化の度合によって新しい検出器を発注することにより、検出器の故障による製造ラインの長時間にわたる停止を未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示すブロック図である。
【図２】同実施の形態における検査の様子を示す一部断面図である。
【図３】同実施の形態における動作を示すフローチャートである。
【図４】同実施の形態の圧力検査処理を示すフローチャートである。
【図５】同実施の形態のマスター測定処理を示すフローチャートである。
【図６】従来の検査方法を示す側面図である。
【図７】従来例及び本実施の形態の電気マイクロメータを示す断面図である。
【図８】従来例及び本実施の形態のリーフスプリングを示す平面図である。
【符号の説明】
１検査装置
２制御装置
４ＣＰＵ
５ＲＯＭ
６ＲＡＭ
７制御回路
１３低圧供給回路（供給手段）
１６ゼロマスター（第１のマスター）
１７感度マスター（第２のマスター）
８１測定ヘッド（測定器）
８４電気マイクロメータ（検出器）
８６測定子
９１差動変圧器（検出手段）
９９リーフスプリング（付勢部材）
Ａ基準寸法
Ｃ大径寸法

Claims

付勢部材により付勢された測定子の突出量を検出する検出器の検査を行う方法であって、
前記測定子に、前記付勢部材の正常状態における付勢力より小さく、前記付勢部材による付勢方向と逆向の反付勢力を加え、前記測定子の突出量が変化した際に、この変化量に基づき前記付勢部材の状態を判断することを特徴とした検出器の検査方法。
付勢部材により付勢された測定子の突出量を検出する検出手段と、外部より供給される流体の圧力により、前記測定子に前記付勢部材による付勢方向と逆向の反付勢力を加える反付勢手段とを備えた検出器の検査装置であって、
前記反付勢手段に、前記付勢部材の正常状態における付勢力より小さな前記反付勢力を生じさせる圧力の流体を供給する供給手段と、
該供給手段が流体を供給する以前と以後とにおいて、前記検出器による検出結果に変化が生じた際に、この変化量に基づき報知信号を出力する出力手段と、
を備えたことを特徴とした検出器の検査装置。