JPH03295017A - Forming method for head slider of magnetic head - Google Patents
Forming method for head slider of magnetic headInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要］
この発明は、たとえばコンピュータシステムの外部記憶
装置である磁気ディスク装置に使用されるコンタクト・
スタート・ストップ・タイプの磁気ヘッドのヘッドスラ
イダ−の形成方法に関し、磁気ディスクとＣＳ Ｓ （
Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔ ５ｔｏｐ）する浮上面を
最終研磨する前の、浮上面の粗研磨の前およびあるいは
後に、時効硬化処理（エージング）を施すことにより、
浮上面の最終研磨の後に、浮上面の平面度が経時変化す
ることなく、高精度のヘッドスライダ−の浮上面の平面
度を出すことを目的とし、
磁気ディスク装置に使用されるコンタクト・スタート・
ストップ・タイプの磁気ヘッドの製造方法において、ヘ
ッドスライダの浮上面の最終研磨工程の前の、浮上面の
粗研磨工程の前およびあるいは後に、時効硬化処理工程
を介在させて、ヘッドスライダ−の浮上面の平面度を出
すことを特徴とするものである。[Detailed Description of the Invention] [Summary] The present invention relates to a contact lens used in a magnetic disk device, which is an external storage device of a computer system, for example.
Regarding the method of forming the head slider of a start-stop type magnetic head, it is related to magnetic disks and CSS (
By applying age hardening treatment (aging) before and/or after rough polishing of the air bearing surface before final polishing of the air bearing surface (Contact 5 tart 5 top),
After the final polishing of the air bearing surface, the flatness of the air bearing surface does not change over time, and the aim is to achieve a high precision air bearing surface flatness for the head slider.
In a method for manufacturing a stop type magnetic head, an age hardening process is interposed before and/or after a rough polishing process of the air bearing surface, which is before a final polishing process of the air bearing surface of the head slider. It is characterized by the flatness of the surface.
この発明は、たとえばコンピュータシステムの外部記憶
装置である磁気ディスク装置に使用されるコンタクト・
スタート・ストップ・タイプの磁気ヘッドのヘッドスラ
イダ−の形成方法に関するものである。This invention is a contact lens used in a magnetic disk device, which is an external storage device of a computer system, for example.
The present invention relates to a method of forming a head slider of a start-stop type magnetic head.
従来の磁気ヘッドのヘッドスライダ−の形成を、第５図
乃至第１４図に示す形成工程およびこの工程に関連する
図面にしたがって説明する。The formation of a head slider of a conventional magnetic head will be described with reference to the formation steps shown in FIGS. 5 to 14 and drawings related to this step.
第５図の（ａ）は第（１）の工程であるウェハーのパタ
ーンニング面の切断工程である。FIG. 5A shows the step (1) of cutting the patterned surface of the wafer.
この工程においては、第５図の（ｂ）に示すように、た
とえば直径３インチ（約７．６２ｃ１）、厚さ４．０〜
４．６ｍｍのウェハー１の表面に約４００程度度の多数
の電磁変換素子部２（第６図の（Ｃ）参照）が、フォト
リソグラフィ技術、電解めっき技術、真空蒸着技術など
の薄膜形成技術を組み合わせることにより形成されてお
り、これらの電磁変換素子部２がたとえば１０個程度並
設された長方形ブロック３に切断するが、次の加工がま
とめてできるように、第５図の（Ｃ）に示す拡大側面図
のように、ばらばらにならない程度に切り残す。In this step, as shown in FIG.
On the surface of a 4.6 mm wafer 1, a large number of electromagnetic transducer parts 2 (see FIG. 6 (C)) of about 400 degrees are formed using thin film forming techniques such as photolithography, electrolytic plating, and vacuum evaporation. These electromagnetic transducer parts 2 are cut into rectangular blocks 3 in which, for example, about 10 pieces are arranged in parallel. As shown in the enlarged side view, cut off just enough to keep it from falling apart.
第６図の（ａ）は第（２）の工程であるウェハーの裏面
の研削により複数の磁気ヘッド素子を有する長方形ブロ
ックの切り出し工程である。FIG. 6(a) shows the step (2) of cutting out a rectangular block having a plurality of magnetic head elements by grinding the back surface of the wafer.
この工程においては、第６図の（ｂ）に示すように、ウ
ェハー１のパターンニング面を下にしてこれを治具４に
接着ワックスで貼り付け、図示しないダイヤモンド砥石
でウェハー１の裏面を研削し、第６図の（Ｃ）に示すよ
うに、複数の電磁変換素子部２を有する長方形ブロック
３に切り出す。In this step, as shown in FIG. 6(b), the wafer 1 is attached with adhesive wax to the jig 4 with its patterned side facing down, and the back surface of the wafer 1 is ground with a diamond grindstone (not shown). Then, as shown in FIG. 6C, a rectangular block 3 having a plurality of electromagnetic transducer sections 2 is cut out.
第７図の（ａ）は第（３）の工程である長方形ブロック
の加工治具への貼り付は工程である。FIG. 7(a) shows the step (3) of attaching the rectangular block to the processing jig.
この工程においては、第７図の（ｂ）に示すように、磁
気ヘッド素子の大きさごとに切断案内溝５ａを有する加
工治具５に、長方形ブロック３の裏面を接着ワックスに
て貼り付ける。In this step, as shown in FIG. 7(b), the back surface of the rectangular block 3 is attached with adhesive wax to a processing jig 5 having cutting guide grooves 5a for each size of magnetic head element.
第８図の（ａ）は第（４）の工程である磁気ギャップ部
の研削工程である。FIG. 8(a) shows the step (4) of grinding the magnetic gap portion.
この工程においては、第８図の（ｂ）に示すように、磁
気ヘッドの電磁変換特性に重要な磁気ギャップ面６を、
基準パターンを測定しながら、回転砥石７で研削する。In this step, as shown in FIG. 8(b), the magnetic gap surface 6, which is important for the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head, is
Grinding is performed using the rotary grindstone 7 while measuring the reference pattern.
第９図の（ａ）は第（５）の工程であるヘッドスライダ
−の浮上面の形成工程である。FIG. 9(a) shows the step (5) of forming the air bearing surface of the head slider.
この工程においては、第９図の（ｂ）に示すように１図
示しないダイヤモンド砥石にてヘッドスライダ−８の浮
上面８ａを研削して形成するとともに、この浮上面８ａ
の両側に、狭い溝９を研削して形成する。In this step, as shown in FIG. 9(b), the air bearing surface 8a of the head slider 8 is ground and formed using a diamond grindstone (not shown).
Narrow grooves 9 are formed by grinding on both sides.
第１０図の（ａ）は第（６）の工程である浮上面間の溝
の形成工程である。FIG. 10(a) shows the step (6) of forming grooves between the air bearing surfaces.
この工程においては、第１０図の（ｂ）に示すように、
ヘッドスライダ−８の浮上面８ａの間に、前記狭い溝９
を含めて広い溝１０をダイヤモンド砥石にて形成する。In this step, as shown in FIG. 10(b),
The narrow groove 9 is formed between the air bearing surfaces 8a of the head slider 8.
A wide groove 10 is formed using a diamond grindstone.
第１１図の（ａ）は第（７）の工程である複数の磁気ヘ
ッド素子を有する長方形ブロックから個々の磁気ヘッド
素子を分離切断する工程である。FIG. 11(a) shows the step (7) of separating and cutting individual magnetic head elements from a rectangular block having a plurality of magnetic head elements.
この工程においては、第１１図の（ｂ）に示すように、
前記加工治具５の切断案内溝５ａに対向する、個々の磁
気ヘッド素子のヘッドスライダ−８に隣接する浮上面８
ａの間を、ダイヤモンド砥石にて、前記加工治具５の切
断案内溝５ａに至まで切断する。このようにして、加工
治具５の上では、個々の磁気ヘッド素子に分離切断され
るが、これらの磁気ヘッド素子は加工治具５の上に貼り
付けられたまま以後の加工を続行する。In this step, as shown in FIG. 11(b),
An air bearing surface 8 adjacent to the head slider 8 of each magnetic head element, facing the cutting guide groove 5a of the processing jig 5.
A is cut between a to the cutting guide groove 5a of the processing jig 5 using a diamond grindstone. In this way, the magnetic head elements are separated and cut into individual magnetic head elements on the processing jig 5, but these magnetic head elements continue to be processed thereafter while being stuck on the processing jig 5.
第１２図の（ａ）は第（８）の工程であるヘッドスライ
ダ−の浮上面の粗研磨および研磨仕上工程である。FIG. 12(a) shows the (8) step of rough polishing and polishing of the air bearing surface of the head slider.
この工程においては、第１２図の（ｂ）に示すように、
モータで研摩定盤１１を回転させ、ダイヤモンドスラリ
ーを供給しながら、ヘッドスライダ−８の浮上面８ａの
粗研磨を行い、次に研磨仕上を行う。粗研磨と研磨仕上
との違いは、ダイヤモンドスラリー中のダイヤモンドの
粒子が異なる。In this step, as shown in FIG. 12(b),
While rotating the polishing surface plate 11 by a motor and supplying diamond slurry, the flying surface 8a of the head slider 8 is roughly polished, and then polished. The difference between rough polishing and polished finish is that the diamond particles in the diamond slurry are different.
なお、前記加工治具５は研磨定盤１１上で揺動および自
転させる。Note that the processing jig 5 is oscillated and rotated on the polishing surface plate 11.
第１３図の（ａ）は第（９）の工程であるヘッドスライ
ダ−の浮上面のエア流入端の研磨工程である。FIG. 13(a) shows the (9) step of polishing the air inlet end of the air bearing surface of the head slider.
二の工程においては、第１３図の（ｂ）に示すように、
エア流入端角度（２０〜３０′）の付いた研磨機１２の
アーム１２ａの先に、前記多数の磁気ヘッド素子が接着
された加工治具５を取付け、この加工治具５に取り付け
た磁気ヘッド素子のヘッドスライダ−８の浮上面８ａの
エア流入端部８ｂを定盤１３の上で研磨する。第１３図
の（Ｃ）は研磨されたヘッドスライダ−８のエア流入端
部８ｂを示す図である。In the second step, as shown in FIG. 13(b),
The processing jig 5 to which a large number of magnetic head elements are bonded is attached to the end of the arm 12a of the polishing machine 12 with an air inflow end angle (20 to 30'), and the magnetic head attached to this processing jig 5 is attached. The air inlet end 8b of the air bearing surface 8a of the head slider 8 of the element is polished on a surface plate 13. FIG. 13C is a diagram showing the air inlet end 8b of the head slider 8 that has been polished.
第１４図の（ａ）は第００の工程であるヘッドスライダ
−の稜部の研磨工程である。FIG. 14(a) shows the polishing process of the ridge of the head slider, which is the 00th process.
この工程においては、第１４図の（ｂ）に示すように、
稜部研磨機１４の定盤１４ａの上にゴム板１５を敷き、
この上にダイヤモンドテープ１６を貼り付け、この上で
前記加工治具５に接着して取り付けた磁気ヘッド素子を
動かし、そのヘッドスライダ−８の稜部８Ｃを研磨した
後、個々の磁気ヘッド素子の加工治具５への接着を取り
外すと、第１４図の（Ｃ）に示すように、浮上面８ａの
稜部８ｃが研磨されたヘッドスライダ−８が、磁気ヘッ
ド素子Ｈに形成される。In this step, as shown in FIG. 14(b),
A rubber plate 15 is placed on the surface plate 14a of the ridge polisher 14,
A diamond tape 16 is pasted on top of this, and the magnetic head element adhesively attached to the processing jig 5 is moved on this, and after polishing the ridge 8C of the head slider 8, the individual magnetic head elements are polished. When the adhesion to the processing jig 5 is removed, the head slider 8 with the ridge 8c of the air bearing surface 8a polished is formed on the magnetic head element H, as shown in FIG. 14(C).
しかしながら、前記従来の磁気ヘッドのヘッドスライダ
−の形成方法においては、磁気ヘッド素子Ｈを加工治具
５に接着したままヘッドスライダ−８の浮上面８ａを研
磨して、この浮上面８ａの平面度を出しているが、加工
治具５への接着を取り外して個々の磁気ヘッド素子Ｈに
すると、今まで加工治具５への接着によって押さえられ
ていた、磁気ヘッド素子Ｈの加工歪みが解放され、前記
浮上面８ａの平面度が変化する、といった問題があった
。However, in the conventional method for forming a head slider of a magnetic head, the air bearing surface 8a of the head slider 8 is polished while the magnetic head element H is adhered to the processing jig 5, and the flatness of the air bearing surface 8a is However, when the adhesive to the processing jig 5 is removed and the magnetic head elements H are made into individual magnetic head elements, the processing distortion of the magnetic head element H, which had been suppressed by the adhesion to the processing jig 5, is released. There is a problem that the flatness of the air bearing surface 8a changes.
この発明は、このような従来の課題を解消するためにな
された発明であって、磁気ディスクとＣ３Ｓする浮上面
を最終研磨する前の、浮上面の粗研磨の前およびあるい
は後に、時効硬化処理を施すことにより、浮上面の最終
研磨の後に、浮上面の平面度が経時変化することなく、
高精度のヘッドスライダ−の浮上面の平面度を出すこと
を目的としたものである。This invention is an invention made to solve such conventional problems, and includes age hardening treatment before and/or after rough polishing of the air bearing surface, which is performed before final polishing of the air bearing surface that interacts with the magnetic disk. By applying this, the flatness of the air bearing surface does not change over time after the final polishing of the air bearing surface.
The purpose is to provide a high-precision head slider with a flat air bearing surface.
この発明は、前記のような課題を解決するため、磁気デ
ィスク装置に使用される、第１図に示すようなコンタク
ト・スタート・ストップ・タイプの磁気ヘッドの製造方
法において、第２図乃至第４図に示すように、ヘッドス
ライダ８の浮上面８ａの最終研磨工程の前の、浮上面８
ａの粗研磨工程の前およびあるいは後に、時効硬化処理
工程を介在させて、ヘッドスライダ−８の浮上面８ａの
平面度を出すことを特徴とする磁気ヘッドのヘッドスラ
イダ−の形成方法としたものである。In order to solve the above problems, the present invention provides a method for manufacturing a contact start-stop type magnetic head as shown in FIG. 1, which is used in a magnetic disk device. As shown in the figure, the air bearing surface 8a of the head slider 8 before the final polishing process.
A method for forming a head slider of a magnetic head, characterized in that an age hardening treatment step is provided before and/or after the rough polishing step of a) to improve the flatness of the air bearing surface 8a of the head slider 8. It is.
この発明のようにすると、すなわち、浮上面８ａを最終
研磨する前の、浮上面８ａの粗研磨の前およびあるいは
後に、時効硬化処理を施すことにより、浮上面８ａを最
終研磨した後に、加工治具から磁気ヘッド素子Ｈを取り
外しても、この磁気ヘッド素子Ｈに形成したヘッドスラ
イダ−８の浮上面８ａの平面度が変化することがなくな
る。According to the present invention, the aging hardening treatment is performed before and/or after the rough polishing of the air bearing surface 8a before the final polishing of the air bearing surface 8a. Even if the magnetic head element H is removed from the tool, the flatness of the air bearing surface 8a of the head slider 8 formed on the magnetic head element H will not change.
以下、この発明の磁気ヘッドのヘッドスライダ−の形成
方法の実施例を第１図乃至第４図に基づいて詳細に説明
する。Hereinafter, an embodiment of a method for forming a head slider of a magnetic head according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4.
第１図はこの発明の方法によってヘッドスライダ−が形
成された磁気ヘッド素子Ｈの斜視図であり、その形状構
成は従来例のものと同じであり、その構成部には同一符
号を付け、その詳細な説明は省略する。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head element H in which a head slider is formed by the method of the present invention, and its shape and configuration are the same as those of the conventional example. Detailed explanation will be omitted.
第２図はこの発明の磁気ヘッドのヘッドスライダ−の形
成方法の第１の実施例の形成工程を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the formation process of the first embodiment of the method for forming a head slider of a magnetic head according to the present invention.
すなわち、第（１）の工程であるウェハーのパターンニ
ング面の切削工程と、第（２）の工程であるウェハーの
裏面の研削により複数の磁気ヘッド素子を有する長方形
ブロックの切り出し工程と、第（３）の工程である長方
形ブロックの治具への貼り付は工程と、第（４）の工程
である磁気ギャップ部の研削工程と、第（５）の工程で
あるヘッドスライダ−の浮上面の形成工程と、第（６）
の工程である浮上面間の溝の形成工程と、第（７）の工
程である複数の磁気ヘッド素子を有する長方形ブロック
から個々の磁気ヘッド素子の分離切断工程とは、前記従
来例と同じである。That is, the first step is cutting the patterned surface of the wafer, the second step is cutting out a rectangular block having a plurality of magnetic head elements by grinding the back surface of the wafer, and the second step is cutting the patterned surface of the wafer. Step 3) is the process of attaching the rectangular block to the jig, process (4) is the process of grinding the magnetic gap, and process (5) is the process of grinding the air bearing surface of the head slider. Forming step and (6)
The step (7) of forming a groove between the air bearing surfaces and the step (7) of separating and cutting individual magnetic head elements from a rectangular block having a plurality of magnetic head elements are the same as in the conventional example. be.
（８）は第（８）の工程である時効硬化処理工程である
。(8) is the age hardening treatment step which is the (8)th step.
この時効硬化処理の目的は、前記磁気ヘッド素子の形状
、加工による歪みが、接着ワックスによって磁気ヘッド
素子が加工治具５に固定されて押さえられているのを、
前記接着ワックスを軟化点（融点ではない）まで加熱し
、加工歪み、加工形状の変化による歪みを、ヘッドスラ
イダ−の浮上面を研磨する前に解放することである。The purpose of this age hardening treatment is to prevent distortions due to the shape and processing of the magnetic head element, which are fixed to the processing jig 5 by the adhesive wax.
The adhesive wax is heated to a softening point (not a melting point) to release processing distortions and distortions due to changes in processing shape before polishing the air bearing surface of the head slider.
この加熱手段として、第３図の（ａ）に示すように、ホ
ットプレート１７の上に、複数の磁気ヘッド素子を有す
る長方形ブロック３を置いて、この長方形ブロック３に
複数の磁気ヘッド素子を接着した接着ワックスの軟化点
まで加熱した後、ホットプレート１７の電源を切り、こ
の長方形ブロック３をホットプレート１７の上で常温ま
で徐々に下げる。または第３図の（ｂ）に示すように、
加熱された長方形ブロック３を、ホットプレート１７か
ら断熱台１８の上に置いて常温まで徐々に下げる。As this heating means, as shown in FIG. 3(a), a rectangular block 3 having a plurality of magnetic head elements is placed on a hot plate 17, and a plurality of magnetic head elements are bonded to the rectangular block 3. After heating the adhesive wax to the softening point, the hot plate 17 is turned off and the rectangular block 3 is gradually lowered to room temperature on the hot plate 17. Or as shown in Figure 3(b),
The heated rectangular block 3 is placed on a heat insulating table 18 from a hot plate 17 and gradually lowered to room temperature.
また、前記複数の磁気ヘッド素子を有する長方形ブロッ
ク３の加熱手段として、適度の熱容量のある加熱炉１９
の中に、この長方形ブロック３を収納した容器２０を入
れ、この加熱炉１９の中でこの長方形ブロック３に複数
の磁気ヘッド素子を接着した接着ワックスの軟化点まで
加熱した後、この長方形ブロック３をこの加熱炉１９の
中から取り出し、常温まで徐々に下げるか、または加熱
炉１９の電源を切り、加熱炉１９の中でこの長方形ブロ
ック３を常温まで徐々に下げる。Further, as a heating means for the rectangular block 3 having the plurality of magnetic head elements, a heating furnace 19 having an appropriate heat capacity is used.
A container 20 containing the rectangular block 3 is placed in the heating furnace 19, and heated to the softening point of the adhesive wax used to bond a plurality of magnetic head elements to the rectangular block 3. is taken out of the heating furnace 19 and gradually lowered to room temperature, or the heating furnace 19 is turned off and the rectangular block 3 is gradually lowered to room temperature in the heating furnace 19.
（９）は第（９）の工程であるヘッドスライダ−の浮上
面の粗研磨および研磨仕上工程である。Step (9) is the step (9) of rough polishing and polishing of the air bearing surface of the head slider.
この第（９）の工程においては、従来例の第１２図に示
したものと同様に、モータで研磨定盤１１を回転させ、
ダイヤモンドスラリーを供給しながら、ヘッドスライダ
−８の浮上面８ａの粗研磨を行い、次に研磨仕上を行う
。粗研磨と研磨仕上との違いは、ダイヤモンドスラリー
中のダイヤモンドの粒子が異なる。なお、前記加工治具
５は研磨定盤１１上で揺動および自転させる。In this (9) step, the polishing surface plate 11 is rotated by a motor, as in the conventional example shown in FIG.
While supplying diamond slurry, the air bearing surface 8a of the head slider 8 is roughly polished and then polished. The difference between rough polishing and polished finish is that the diamond particles in the diamond slurry are different. Note that the processing jig 5 is oscillated and rotated on the polishing surface plate 11.
００）は第００）の工程であるヘッドスライダ−の浮上
面のエア流入端の研磨工程であり、この工程においては
、従来例の第１３図に示したものと同様に、エア流入端
角度（２０〜３０′）の付いた研磨機１２のアーム１２
ａの先に、前記多数の磁気ヘッド素子が接着された加工
治具５を取付け、この加工治具５に取り付けた磁気ヘッ
ド素子のヘッドスライダ−８の浮上面８ａのエア流入端
部を定盤１３の上で研磨する。00) is the polishing process of the air inflow end of the air bearing surface of the head slider, which is the process 00). In this process, the air inflow end angle ( Arm 12 of polishing machine 12 with 20~30')
A processing jig 5 to which a large number of magnetic head elements are bonded is attached to the tip of the processing jig 5, and the air inflow end of the air bearing surface 8a of the head slider 8 of the magnetic head element attached to this processing jig 5 is placed on a surface plate. Polish on No. 13.
（ＩＩ）は第Ｏ１）の工程であるヘッドスライダ−の稜
部の研磨工程であり、この工程においては、従来例の第
１４図に示したものと同様に、稜部研磨機１４の定盤１
４ａの上にゴム板１５を敷き、この上にダイヤモンドテ
ープ１６を貼り付け、この上で前記加工治具５に接着し
て取り付けた磁気ヘッド素子を動かし、そのヘッドスラ
イダ−８の稜部を研磨する。(II) is a step of polishing the ridge of the head slider, which is the step O1), and in this step, the surface plate of the ridge polisher 14 is 1
A rubber plate 15 is placed on top of the rubber plate 15, a diamond tape 16 is pasted on top of the rubber plate 15, and the magnetic head element attached to the processing jig 5 is moved on top of the rubber plate 15, and the ridge of the head slider 8 is polished. do.
θ力は第０２）の工程である個々の磁気ヘッド素子の洗
浄工程であり、加工治具から個々の磁気ヘッド素子を取
り外し、図示しない洗浄手段によって洗浄する。The θ force is step 02), which is a step of cleaning the individual magnetic head elements, in which the individual magnetic head elements are removed from the processing jig and cleaned by a cleaning means (not shown).
側は第０３）の工程である個々の磁気ヘッド素子の検査
工程であり、図示しない検査装置でこの磁気ヘッド素子
の性能を検査する。On the other hand is step 03), which is an inspection step for each magnetic head element, in which the performance of this magnetic head element is inspected using an inspection device (not shown).
第４図はこの発明の磁気ヘッドのヘッドスライダ−の形
成方法の第２の実施例の形成工程を示す図である。この
第２の実施例が前記第１の実施例と相違する点は、第（
９）の工程であるヘッドスライダ−の浮上面の粗研磨工
程の前後に、前記同様の時効硬化処理工程を介在させて
、前記磁気ヘッド素子を加工治具に接着した接着ワック
スを軟化点まで加熱して、加工歪み、加工形状の変化に
よる歪みを、ヘッドスライダ−の浮上面を粗研磨する前
および仕上研磨する前に解放するようにしだものである
。FIG. 4 is a diagram showing the forming process of a second embodiment of the method for forming a head slider of a magnetic head according to the present invention. The difference between this second embodiment and the first embodiment is that
Before and after the step of rough polishing of the air bearing surface of the head slider, which is step 9), an age hardening treatment step similar to that described above is interposed, and the adhesive wax that adheres the magnetic head element to the processing jig is heated to its softening point. Thus, processing distortions and distortions due to changes in processing shape are released before rough polishing and final polishing of the air bearing surface of the head slider.
このように、時効硬化処理を施すことにより、ヘッドス
ライダ−８の浮上面８ａを最終研磨した後に、加工治具
から磁気ヘッド素子Ｈを取り外しても、この磁気ヘッド
素子Ｈに形成したヘッドスライダ−８の浮上面８ａの平
面度が変化することがなくなる。By performing the age hardening treatment, even if the magnetic head element H is removed from the processing jig after the final polishing of the air bearing surface 8a of the head slider 8, the head slider formed on the magnetic head element H remains intact. The flatness of the air bearing surface 8a of No. 8 does not change.
この発明は、以上説明したように、磁気ディスク装置に
使用されるコンタクト・スタート・ストップ・タイプの
磁気ヘッドの製造方法において、ヘッドスライダの浮上
面の最終研磨工程の前の、浮上面の粗研磨工程の前およ
びあるいは後に、時効硬化処理工程を介在させて、ヘッ
ドスライダ−の浮上面の平面度を出すことを特徴とする
磁気ヘッドのヘッドスライダ−の形成方法としたので、
浮上面の最終研磨の後に、加工治具から磁気ヘッド素子
を取り外しても、この磁気ヘッド素子に形成したヘッド
スライダ−の浮上面の平面度が変化することがなく、ま
た、浮上面の平面度が経時変化しなくなり、ヘッドスラ
イダ−の浮上面の平面度を高精度にした磁気ヘッドを提
供すことができる。As described above, the present invention provides rough polishing of the air bearing surface of a head slider before the final polishing step of the air bearing surface of the head slider in a method of manufacturing a contact start-stop type magnetic head used in a magnetic disk drive. The method for forming a head slider of a magnetic head is characterized in that an age hardening process is performed before and/or after the process to improve the flatness of the air bearing surface of the head slider.
Even if the magnetic head element is removed from the processing jig after the final polishing of the air bearing surface, the flatness of the air bearing surface of the head slider formed on this magnetic head element will not change. It is possible to provide a magnetic head in which the flatness of the air bearing surface of the head slider is highly accurate and does not change over time.
第１図はこの発明の方法によって製造された磁気ヘッド
素子の斜視図、第２図はこの発明の磁気ヘッドのヘッド
スライダ−の形成方法の第１の実施例の形成工程を示す
図、第３図は時効硬化処理工程の実施例を示す図、第４
図はこの発明の第２の実施例の形成工程を示す図、第５
図乃至第１４図は従来の磁気ヘッドのヘッドスライダ−
の形成方法の工程およびこの工程に関連する図面である
。
１・・・ウェハー
２・・・電磁変換素子
３・・・長方形ブロック
４・・・治具
５・・・加工治具
５ａ・・・切削案内溝
６・・・磁気ギャップ面
７・・・回転砥石
８・・・ヘッドスライダ−
８ａ・・・浮上面
８ｂ・・・エア流入端部
８ｃ・・・稜部
９・・・狭い溝
１０・・・広い溝
１１・・・研磨定盤
１２・・・研９機
°１２ａ・・・アーム
１３・・・定盤
１４・・・稜部研磨機
１４ａ・・・定盤
１５・・・ゴム板
１６・・・ダイヤモンドテープ
１７・・・ホットプレート
１８・・・断熱台
１９・・・加熱炉
２０・・・容器
この発明の方法によって製造された磁気ヘッド素子の斜
視仄第１図
（ａ）
（ｂ）
第７図
シ
（ａ）
（ｂ）
第８図
９狭い溝
（ａン
（ｂ）
第９図
」
（ａ）
（ｂ）
第１０図
」１［
（ａ）
（ｂ）
第１１図FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head element manufactured by the method of the present invention, FIG. Figure 4 shows an example of the age hardening process.
The figure shows the formation process of the second embodiment of this invention.
Figures 1 to 14 show the head slider of a conventional magnetic head.
2 is a step of a method for forming the same and drawings related to this step. 1... Wafer 2... Electromagnetic conversion element 3... Rectangular block 4... Jig 5... Processing jig 5a... Cutting guide groove 6... Magnetic gap surface 7... Rotation Grinding wheel 8... Head slider 8a... Air bearing surface 8b... Air inflow end 8c... Ridge 9... Narrow groove 10... Wide groove 11... Polishing surface plate 12...・Grinding machine 9°12a...Arm 13...Surface plate 14...Redge polisher 14a...Surface plate 15...Rubber plate 16...Diamond tape 17...Hot plate 18. ...Insulating table 19...Heating furnace 20...Container Perspective views of the magnetic head element manufactured by the method of the present invention (Fig. 1(a) (b)) Fig. 7(a) (b) Fig. 8 Figure 9 Narrow groove (a) (b) Figure 9 (a) (b) Figure 10 (a) (b) Figure 11
Claims (1)
ストップ・タイプの磁気ヘッドの製造方法において、 ヘッドスライダ（８）の浮上面（８ａ）の最終研磨工程
の前の、浮上面（８ａ）の粗研磨工程の前およびあるい
は後に、時効硬化処理工程を介在させて、ヘッドスライ
ダー（８）の浮上面（８ａ）の平面度を出すことを特徴
とする磁気ヘッドのヘッドスライダーの形成方法。[Claims] A contact start device used in a magnetic disk device.
In the method for manufacturing a stop type magnetic head, an age hardening treatment step is performed before and/or after a rough polishing step of the air bearing surface (8a) before a final polishing step of the air bearing surface (8a) of the head slider (8). A method of forming a head slider for a magnetic head, characterized in that the flatness of an air bearing surface (8a) of a head slider (8) is achieved by interposing the head slider (8).
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- 1990-04-12 JP JP9722690A patent/JP2811599B2/en not_active Expired - Fee Related
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