JPH03293106A - Production of stamper - Google Patents
Production of stamperInfo
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、例えばマイクロフレネルレンズのような光学
部品用のスタンパ（成形型）の作製方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for producing a stamper (molding mold) for an optical component such as a micro Fresnel lens.
（従来の技術）
従来のマイクロフレネルレンズの成形型の作製方法につ
いて、第２図を参照して説明する。(Prior Art) A conventional method for manufacturing a micro Fresnel lens mold will be described with reference to FIG.
第２図（ａ）に示すように、マイクロフレネルレンズに
対応した凹凸形状のプロファイル形成面２を有する母型
４を用意する。プロファイル形成面２は、所要のガラス
上に電子線レジストを塗布し、その電子線レジストを電
子線を照射してのち現像して形成する、いわゆる電子ビ
ーム描画で形成する。ついで、第２図（ｂ）のように、
母型４のプロファイル形成面２に電鋳法でもって、金属
６を所要の厚みで電着するとともに、その金属６を母型
４から離型することにより、第２図（Ｃ）のような金属
でできたマイクロフレネルレンズ用のスタンパ８を得る
。As shown in FIG. 2(a), a matrix 4 having a profile forming surface 2 having an uneven shape corresponding to a micro Fresnel lens is prepared. The profile forming surface 2 is formed by applying an electron beam resist onto a desired glass surface, irradiating the electron beam resist with an electron beam, and developing the resist, so-called electron beam drawing. Then, as shown in Figure 2(b),
By electrodepositing the metal 6 to the required thickness on the profile forming surface 2 of the matrix 4 by electroforming and releasing the metal 6 from the matrix 4, a shape as shown in FIG. 2(C) is formed. A stamper 8 for a micro Fresnel lens made of metal is obtained.
（発明が解決しようとする課題）
従来のスタンパ作製方法においては、電鋳法を用いてい
るが、この電鋳法が、母型を陰極とし、金属塩溶液から
金属を析出させていくといった工程を要するものであり
、その工程における電鋳条件の最適化が困難で、かつ、
その金属を所要の厚みに電着することに何時間もかかり
、そのほとんどが経験則に拠っていることは、その詳細
は別として、よく知られているところである。(Problems to be Solved by the Invention) Conventional stamper manufacturing methods use electroforming, but this electroforming method involves a process in which a matrix is used as a cathode and metal is deposited from a metal salt solution. It is difficult to optimize the electroforming conditions in the process, and
Regardless of the details, it is well known that electrodepositing the metal to the required thickness takes many hours and relies mostly on empirical rules.
また、その他として、電鋳による場合はその作製コスト
が高くつくうえ、作業環境もたいへん悪化してくるとい
った問題がある。In addition, when using electroforming, the production cost is high and the working environment is also very poor.
この上うな電鋳法による様々な問題は周知であるから、
その詳細は譲るとしても、その電鋳法に代わり得るもの
で、電鋳法によるスタンパと同程度の強度を有するスタ
ンパを得ることができる一方で、そのスタンパを作製す
るに際しては、作製も容易でかつその作製に要する時間
も短時間で済むうえ、作業環境もそれより改善すること
ができるような作製方法が望まれていた。Moreover, various problems caused by electroforming are well known, so
Although I won't go into details, it is a method that can replace the electroforming method, and while it is possible to obtain a stamper that has the same strength as a stamper produced by electroforming, it is also easier to produce the stamper. Moreover, there has been a desire for a manufacturing method that not only takes a short time to manufacture, but also improves the working environment.
（課題を解決するための手段）
本発明は、このような課題を解決するためになされたも
のであって、プロファイル形成面を有する母型を用意す
る工程と、前記プロファイル形成面に対して、金属の薄
膜を形成する工程と、薄膜が形成された前記プロファイ
ル形成面に樹脂を充填して硬化することにより、該プロ
ファイル形成面上に樹脂を成形する工程と、母型から成
形樹脂を離型する工程と、該離型された成形樹脂は、プ
ロファイルを反転した形状のプロファイルを有するもの
であり、成形樹脂の前記反転プロファイル形成面に対し
て金属の薄膜を形成する工程とを有し、前記各工程をこ
の記載順序で行うことを特徴としている。(Means for Solving the Problems) The present invention has been made to solve the above problems, and includes a step of preparing a matrix having a profile forming surface, and a step of preparing a matrix having a profile forming surface, a step of forming a thin metal film; a step of molding the resin onto the profile forming surface by filling the profile forming surface on which the thin film is formed and curing the resin; and releasing the molded resin from the mother mold. and the released molded resin has a profile that is an inverted profile, and a step of forming a thin metal film on the inverted profile forming surface of the molded resin, It is characterized in that each step is performed in the order described.
（作用）
プロファイル形成面を有する母型を用意してのち、プロ
ファイル形成面に対して、金属の薄膜を形成する。薄膜
が形成された前記プロファイル形酸量に樹脂を充填して
硬化することにより、該プロファイル形成面上に成形樹
脂を形成する。そののち、母型から成形品を離型する。(Operation) After preparing a master mold having a profile forming surface, a thin metal film is formed on the profile forming surface. A molded resin is formed on the profile-formed surface by filling the resin into the profile-shaped acid volume on which the thin film has been formed and curing the resin. Thereafter, the molded product is released from the mother mold.
離型された成形樹脂は、プロファイル形成面を反転した
形状のプロファイルを有するものとなる。ついで、成形
樹脂の反転プロファイル形成面に対して金属の薄膜を形
成することて、スタンパを得ることができる。The molded resin that has been released has a profile that is the inverse of the profile forming surface. Next, a stamper can be obtained by forming a thin metal film on the inverted profile forming surface of the molded resin.
（実施例）
以下、本発明の実施例に係るスタンパの作製方法を第１
図を参照して詳細に説明する。(Example) Hereinafter, a method for manufacturing a stamper according to an example of the present invention will be described.
This will be explained in detail with reference to the drawings.
まず、第１図（ａ）のように、マイクロフレネルレンズ
に対応したプロファイル形成面２０を有する母型２２を
用意する。この母型２２は、第２図（ａ）のそれと同様
の方法で作製することができる。つぎに、第２図（ｂ）
のように、プロファイル形成面２０に対して、真空蒸着
法とかスパッタリング法などの周知の手法で金属の薄膜
２４を形成する。この金属としては、例えばニッケル、
クロムなどの離型性に優れた金属であればよい。First, as shown in FIG. 1(a), a matrix 22 having a profile forming surface 20 corresponding to a micro Fresnel lens is prepared. This mother mold 22 can be produced by a method similar to that shown in FIG. 2(a). Next, Figure 2(b)
A thin metal film 24 is formed on the profile forming surface 20 by a well-known method such as a vacuum evaporation method or a sputtering method. Examples of this metal include nickel,
Any metal with excellent mold releasability such as chromium may be used.
また、薄膜２４の厚さは０．１ｍｍ程度でよい。Furthermore, the thickness of the thin film 24 may be approximately 0.1 mm.
このような厚さの薄膜２４であれば、それの形成に要す
る時間は電鋳による場合よりもきわめて短時間で済む。If the thin film 24 has such a thickness, the time required to form it is much shorter than that by electroforming.
ついで、第２図（Ｃ）のように、薄膜２４が形成された
プロファイル形成面２０に樹脂を充填して硬化すること
により、プロファイル形成面２０上に樹脂２６を注型ま
たは２Ｐ法でもって成形する。Next, as shown in FIG. 2(C), the profile forming surface 20 on which the thin film 24 has been formed is filled with resin and cured, thereby molding the resin 26 on the profile forming surface 20 by casting or 2P method. do.
そののち、第２図（ｄ）のように、母型２２から成形樹
脂２６を離型すると、離型された成形樹脂２６は、プロ
ファイル形成面２０に対して反転した形状のプロファイ
ル形成面２８を有するものとなっている。そして、第２
図（ｅ）のように、成形樹脂２６の反転プロファイル形
成面２８に対して、離型性に優れたニッケルとかクロム
などの金属の薄膜３０を、前記と同様に、真空蒸着法と
かスパッタリング法などで形成することにより、マイク
ロフレネルレンズのスタンパ３２が得ることができる。Thereafter, as shown in FIG. 2(d), when the molded resin 26 is released from the mother die 22, the released molded resin 26 forms a profile forming surface 28 with a shape that is inverted with respect to the profile forming surface 20. It has become something that we have. And the second
As shown in Figure (e), a thin film 30 of a metal such as nickel or chromium with excellent mold releasability is applied to the inverted profile forming surface 28 of the molded resin 26 using a vacuum evaporation method or a sputtering method in the same manner as described above. By forming the stamper 32 of the micro Fresnel lens, the stamper 32 of the micro Fresnel lens can be obtained.
（発明の効果）
以上説明したことから明らかなように本発明によれば、
母型のプロファイル形成面に対して、金属の薄膜を形成
するとともに、そのプロファイル形成面に樹脂を充填硬
化することにより、プロファイル形成面上に樹脂を成形
し、そののち、母型から成形樹脂を離型するものである
から、離型された成形樹脂は、プロファイルを反転した
プロファイルを存するものとなっている。ついで、成形
樹脂の反転プロファイル形成面に対して金属の薄膜を形
成することで、スタンパを得るようにしたから、従来の
スタンパ作製方法において問題となる電鋳法が不要とな
り、その結果として、この電鋳法特有の作製に多大な時
間がかかるとか、作製コストが高くつくとか、作業環境
が悪化するといった問題のすべてを解消することができ
る。(Effects of the Invention) As is clear from the above explanation, according to the present invention,
A thin metal film is formed on the profile-forming surface of the mother mold, and the resin is filled and cured on the profile-forming surface, thereby molding the resin onto the profile-forming surface.Then, the molding resin is removed from the mother mold. Since the resin is released from the mold, the molded resin that has been released has an inverted profile. Next, the stamper was obtained by forming a thin metal film on the inverted profile formation surface of the molded resin, eliminating the need for electroforming, which is a problem in conventional stamper production methods. All of the problems inherent to electroforming, such as the long production time, high production costs, and deterioration of the working environment, can be solved.
第１図は本発明の実施例に係るスタンパの作製方法の説
明に供する図、第２図は従来例に係るスタンパの作製方
法の説明に供する図である。
２０・プロファイル形成面、２２・母型、２４・・・薄
膜、２６・・・成形樹脂、２８・・・反転プロファイル
形成面、３０・・・マイクロフレネルレンズ用スタンパ
。FIG. 1 is a diagram for explaining a method for manufacturing a stamper according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram for explaining a method for manufacturing a stamper according to a conventional example. 20. Profile forming surface, 22. Mother mold, 24... Thin film, 26... Molding resin, 28... Inverted profile forming surface, 30... Stamper for micro Fresnel lens.
Claims (1)
）を用意する工程と、 前記プロファイル形成面（２０）に対して、金属の薄膜
（２４）を形成する工程と、 薄膜（２４）が形成された前記プロファイル形成面（２
０）に樹脂を充填して硬化することにより、該プロファ
イル形成面（２０）上に樹脂（２６）を成形する工程と
、 母型（２２）から成形樹脂（２６）を離型する工程と、
該離型された成形樹脂（２６）は、前記プロファイル形
成面（２０）を反転した形状のプロファイル形成面（２
８）を有するものであり、成形樹脂（２６）の前記反転
プロファイル形成面（２８）に対して金属の薄膜（３０
）を形成する工程と、 を有し、 前記各工程をこの記載順序で行うことを特徴とするスタ
ンパの作製方法。(1) A matrix (22) having a profile forming surface (20)
), a step of forming a metal thin film (24) on the profile forming surface (20), and a step of forming a metal thin film (24) on the profile forming surface (20), on which the thin film (24) is formed.
a step of molding the resin (26) on the profile forming surface (20) by filling and curing the resin into the mold 0); and a step of releasing the molded resin (26) from the mother mold (22).
The released molded resin (26) forms a profile forming surface (2) having a shape that is an inversion of the profile forming surface (20).
8), and a metal thin film (30
), and performing each of the steps in the stated order.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9674390A JPH03293106A (en) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | Production of stamper |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9674390A JPH03293106A (en) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | Production of stamper |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03293106A true JPH03293106A (en) | 1991-12-24 |
Family
ID=14173175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9674390A Pending JPH03293106A (en) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | Production of stamper |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03293106A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1156138A2 (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-21 | Pioneer Corporation | Electrode material for forming stamper and thin film for forming stamper |
-
1990
- 1990-04-11 JP JP9674390A patent/JPH03293106A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1156138A2 (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-21 | Pioneer Corporation | Electrode material for forming stamper and thin film for forming stamper |
| EP1156138A3 (en) * | 2000-05-12 | 2004-07-14 | Pioneer Corporation | Electrode material for forming stamper and thin film for forming stamper |
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