JPH03292479A - 弁装置およびこの弁装置を用いた流体制御弁装置 - Google Patents

弁装置およびこの弁装置を用いた流体制御弁装置

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JPH03292479A
JPH03292479A JP9429490A JP9429490A JPH03292479A JP H03292479 A JPH03292479 A JP H03292479A JP 9429490 A JP9429490 A JP 9429490A JP 9429490 A JP9429490 A JP 9429490A JP H03292479 A JPH03292479 A JP H03292479A
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JP
Japan
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valve
drive body
flow rate
box
pilot passage
Prior art date
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Pending
Application number
JP9429490A
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English (en)
Inventor
Eiichi Morozumi
諸角 栄一
Hiroyuki Inagaki
広行 稲垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
この発明は流体の流れを制御する弁装置およびこの弁装
置を用いた流体制御弁装置に関するものである。
【従来の技術】
第4図は従来の弁装置を示す断面図で、図において、1
は弁駆動体である電磁ソレノイドコイル、2は電磁ソレ
ノイドコイル1が励磁されると吸引されるプランジャー
で、このプランジャー2は常時スプリング3により突出
されている。4はプランジャー2の先端に取付けられた
ロッド、5は弁箱、6は弁箱5とロッド4との間に取付
けられたダイヤフラムで、このダイヤフラム6はロッド
4により揺動される。7は入力側案内通路8の出口を開
閉制御する弁体である。 次に作用について説明する。 電磁ソレノイドコイル1が非励磁状態にあるときは、ス
プリング3によりプランジャー2が押圧され、ロッド4
を介してダイヤフラム6は伸長し、入力側案内通路8の
出口を閉じる。また、電磁ソレノイドコイル1が励磁状
態にあるとき、スプリング3に抗してプランジャー2は
電磁ソレノイドコイル1内に吸引され、ロッド4を介し
てダイヤフラム6は収縮して入力側案内通路8の出口は
開かれる。
【発明が解決しようとする課題】
従来の弁装置は以上のように構成されているので、弁体
7の駆動には電磁ソレノイドコイル1による電磁気力を
必要とし、例えば流体制御弁においては、電磁ソレノイ
ドコイル1が弁体7を駆動するために所定の起磁力が必
要であることから、電磁ソレノイドコイル1を小形化、
さらには弁装置を小形化することには限界があり、この
ため、消費電力量を少なくすることができないという問
題点があった。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、弁駆動体を小形化し、消費電力を少なくした
弁装置およびこの弁装置を用いた流体制御弁装置を提供
することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
第1請求項に係る弁装置は、筒状の弁箱にジュール熱で
形状が変化する線状の形状記憶合金よりなる弁駆動体の
両端を架設し、弁座に対して弁体を接離させるように上
記弁駆動体に弁体を係止すると共に、上記弁体と弁座と
の間にスプリングを介在させたものである。 第2請求項に係る流体制御弁装置は、弁本体の主弁の開
閉を制御するサーボ弁を、上記弁本体の主弁を挟んで1
次側と2次側とを連通ずるパイロット通路に設けた流量
センサと、この流量センサで検知した流量信号に基づく
ジュール熱で形状が変化する形状記憶合金よりなる弁駆
動体と、上記主弁を駆動する主ダイヤフラムの駆動圧室
に連通する上記パイロット通路に流れる流量を上記弁駆
動体の形状の変化に伴って制御する制御ダイヤフラムと
で構成したものである。
【作 用】
第1請求項における弁装置は、流体が流通する筒状の弁
箱に両端が架設され、ジュール熱により形状が変化する
形状記憶合金よりなる弁駆動体に、この弁駆動体とスプ
リングとにより弁座に接離する弁体を引っ掛けることに
よって直接弁の開閉を制御したもので、上記弁駆動体の
成分に偏りがあっても、弁体を確実に動作させることが
でき、かつ弁駆動体の通電電流を制御することにより流
体の流量を制御でき、さらに弁駆動体の小形化が可能と
なり、消費電力量を少なくすることができるものである
。 第2請求項における流体制御弁装置は、パイロット通路
を流れる流量を流量センサで検知し、この検知信号に基
づくジュール熱で弁駆動体の形状を変化させて上記パイ
ロット通路の流量を制御し、パイロット通路から主ダイ
ヤフラムの駆動圧室に流入する流量を可変させて上記主
弁の開口面積を制御するようにしたもので、機器の小形
化および消費電力量の削減を可能にしたものである。
【実施例】
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。 第1図はこの発明の一実施例を示す断面図、第2図は同
じく斜視図で、図において、10は流体が流通する筒状
の弁箱、11は弁箱10の内壁に突設された弁座、12
は弁箱10の対向する壁面に絶縁部材13を介して架設
された単線状の形状記憶合金よりなる弁駆動体で、この
弁駆動体12は通電によるジュール熱で形状が変化する
。14は弁駆動体12に係止するフック状の係止部14
aを有する弁体、15は一端が弁体14に取付けられた
弁杆で、この弁杆15の他端と上記弁座11との間には
スプリング16が張設されて通常は弁体14を弁座11
に係合させている。17は弁箱10の内壁に取付けられ
た流量センサで、この流量センサ17は弁箱10を流れ
る流体流量を検知して上記弁駆動体12の通電電流を制
御してジュール熱で弁駆動体12の形状を変化させて弁
体14の開閉割合を制御する。 次に動作を説明する。 筒状の弁箱10内を流れる流体の流量を流量センサ17
で検知してその検知信号を制御回路(図示せず)に供給
する。この制御回路は弁駆動体12に流す電流を制御し
、例えば通電電流を増やせば、ジュール熱により弁駆動
体12が伸長してスプリング16により弁体14を弁座
11に接触させるようにし、また、通電電流を減らせば
、弁駆動体12を収縮させてスプリング16によって弁
体14を弁座11より離開させるようにする。 次に弁装置を用いた流体制御弁装置を第3図により説明
する。 この第3図は弁装置をサーボ弁18として用いた一例を
示すもので、このサーボ弁18は弁駆動体12に制御ダ
イヤフラム19を係止させると共に、制御ダイヤフラム
19の一方側と弁座20との間にスプリング21を介在
させて弁駆動体12と共に制御ダイヤフラム19の他方
側に取付けられた弁体22によりオリフィス23を有す
る一方のパイロット通路24の出口を開閉制御するもの
である。また、サーボ弁18は弁本体25の主弁26を
挟んで1次側の圧力と2次側の圧力とを平均化するため
に主ダイヤフラム27により主弁26の動きを制御して
いる。この主ダイヤフラム27の一方の駆動圧室27a
は一方のパイロット通路24を介して1次側に連通して
いる。主ダイヤフラム27の他方は2次側に連通してい
る。この2次側には他方のパイロット通路28が連通し
、この他方のパイロット通路28には流量センサ17が
臨出している。なお、29は流量センサ17よりの検知
信号が供給される制御回路で、この制御回路29は検知
信号に基づいて弁駆動体12に流す通電電流を制御する
。30は復帰用スプリングである。 次に動作を説明する。 通常は弁駆動体12は収縮しており、スプリング21に
抗して制御ダイヤフラム19を引上げ、弁体22は一方
のパイロット通路24の出口を開口している。そこで、
主弁26を挾んで1次側の圧力が2次側の圧力より高く
なると、一方のパイロット通路24から制御ダイヤフラ
ム19を介して他方のパイロット通路28に流れる流体
の流量が増えることとなる。この流体の流れを流量セン
サ17が検知して制御回路29により弁駆動体12に流
す電流を増し、弁駆動体12を伸長させる。 このため、スプリング21により制御ダイヤフラム19
は押し下げられ、弁体22が一方のパイロット通路24
の出口を絞ることになる。したがって、主ダイヤフラム
27の駆動圧室27aに流入する流体の量が増えて内部
の圧力を上昇させ、主ダイヤフラム27を介して主弁2
6を復帰用スプリング30に抗して押し下げ、1次側の
圧力と2次側の圧力とを平均化する。また、他方のパイ
ロット通路28に流れる流体の量が減ったことを流量セ
ンサ17が検知すると、制御回路29は弁駆動体12に
流す電流を減らすために弁駆動体12は収縮して制御ダ
イヤフラム19を引き上げ、−方のパイロット通路24
の出口の絞り度合いを広げる。 なお、上記実施例では、弁駆動体となる形状記憶合金を
単線状のもので説明したが、スプリングコイル状のもの
でも上記実施例と同様の効果がある。
【発明の効果】
以上説明したように、第1請求項によれば、流体が流通
する筒状の弁箱に両端が架設され、ジュール熱により形
状が変化する形状記憶合金よりなる弁駆動体に、この弁
駆動体とスプリングとにより弁座に接離する弁体を引っ
掛けることによって直接弁の開閉を制御した構成とする
ことにより、弁駆動体の成分に偏りがあっても弁体を確
実に動作させることができ、かつ弁駆動体の通電電流を
制御することにより流体の流量を制御できると共に、弁
駆動体の小形化が可能となり、消費電力量を少なくする
ことができるという効果が得られる。 また、第2請求項によれば、パイロット通路を流れる流
量を流量センサで検知し、この検知信号に基づくジュー
ル熱で弁駆動体の形状を変化させて上記パイロット通路
の流量を制御し、パイロット通路から主ダイヤフラムの
駆動圧室に流入する流量を可変させて上記主ダイヤフラ
ムにより駆動される上記主弁の開口面積を制御するよう
に構成したので、弁駆動体の小形化が可能となり、消費
電力量を少なくすることができるという効果が得られる
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係る弁装置の一実施例を示す断面図
、第2図は同じく第1図の弁装置を示す斜視図、第3図
はこの発明に係る他の実施例の流体制御弁装置を示す断
面図、第4図は従来の弁装置の一例を示す断面図である
。 10・・・弁箱、11・・・弁座、工2・・・弁駆動体
、14・・・弁体、16・・・スプリング、17・・・
流量センサ、18・・・サーボ弁、19・・・制御ダイ
ヤフラム、2428・・・パイロット通路、25・・・
弁本体、26・・・主弁、27・・・主ダイヤフラム。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)流体が流通する筒状の弁箱に両端を架設すると共
    に、ジュール熱で形状が変化することにより流体の流量
    を制御する線状の形状記憶合金よりなる弁駆動体と、こ
    の弁駆動体に引っ掛けられ、上記弁駆動体とスプリング
    とにより上記弁箱内に設けた弁座に接離する弁体とを備
    えた弁装置。
  2. (2)弁本体の主弁を挟んで1次側と2次側とを連通す
    るパイロット通路に上記主弁を駆動する主ダイヤフラム
    の駆動圧室を連通させ、上記パイロット通路から駆動圧
    室に流入する流体を制御して上記主弁の開口面積を制御
    するサーボ弁を備えた流体制御弁装置において、上記サ
    ーボ弁は、上記パイロット通路に設けた流量センサと、
    この流量センサで検知した流量信号に基づくジュール熱
    で形状が変化する形状記憶合金よりなる弁駆動体と、こ
    の弁駆動体の形状の変化に伴って上記パイロット通路を
    流れる流量を制御する制御ダイヤフラムとで構成されて
    いることを特徴とする流体制御弁装置。
JP9429490A 1990-04-10 1990-04-10 弁装置およびこの弁装置を用いた流体制御弁装置 Pending JPH03292479A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022542873A (ja) * 2019-07-22 2022-10-07 サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア 形状記憶合金制御素子を具備する平衡圧力2ゾーン流体弁

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022542873A (ja) * 2019-07-22 2022-10-07 サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア 形状記憶合金制御素子を具備する平衡圧力2ゾーン流体弁

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