JPH03291469A - エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置 - Google Patents
エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置Info
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- JPH03291469A JPH03291469A JP9303090A JP9303090A JPH03291469A JP H03291469 A JPH03291469 A JP H03291469A JP 9303090 A JP9303090 A JP 9303090A JP 9303090 A JP9303090 A JP 9303090A JP H03291469 A JPH03291469 A JP H03291469A
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract description 38
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2400/00—General features or devices for refrigeration machines, plants or systems, combined heating and refrigeration systems or heat-pump systems, i.e. not limited to a particular subgroup of F25B
- F25B2400/07—Details of compressors or related parts
- F25B2400/075—Details of compressors or related parts with parallel compressors
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- Compression-Type Refrigeration Machines With Reversible Cycles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野］
本発明は、エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置に関し、さ
らに詳しくは２サクション方式の圧縮機を設けたエンジ
ン駆動熱ポンプ式暖房装置の改良に関する。
らに詳しくは２サクション方式の圧縮機を設けたエンジ
ン駆動熱ポンプ式暖房装置の改良に関する。
熱ポンプ式暖房装置の暖房能力を増大するため、２サク
ション方式の圧縮機を使用した暖房装置が提案されてい
る。この熱ポンプ式暖房装置は、２サクション方式の２
基の圧縮機のうち、一方の圧縮機の吸込み側を、エンジ
ン冷却水利用の温水熱交換器が接続された冷媒回路に接
続し、他方の圧縮機の吸込み側を外気利用の空気熱交換
器が接続された冷媒回路に接続するようにしている。二
つの熱交換器のうち温水熱交換器は、空気に比べて温度
の高いエンジン冷却水を使用するため熱効率が大きいと
いう特長を有している。
ション方式の圧縮機を使用した暖房装置が提案されてい
る。この熱ポンプ式暖房装置は、２サクション方式の２
基の圧縮機のうち、一方の圧縮機の吸込み側を、エンジ
ン冷却水利用の温水熱交換器が接続された冷媒回路に接
続し、他方の圧縮機の吸込み側を外気利用の空気熱交換
器が接続された冷媒回路に接続するようにしている。二
つの熱交換器のうち温水熱交換器は、空気に比べて温度
の高いエンジン冷却水を使用するため熱効率が大きいと
いう特長を有している。
したがって、高負荷暖房運転時には、２基の圧縮機を同
時運転すると共に、上記温水熱交換器と空気熱交換器と
を同時に使用して熱交換を行うことにより暖房能力を最
大にし、また低負荷暖房運転時には、空気熱交換器を接
続した圧縮機だけを運転して熱交換を行うことにより、
暖房能力を落とすようにしていた。ところが、高負荷暖
房運転を行うほどではないが、低負荷暖房運転であって
は能力不足になるような中間負荷の場合には、上記暖房
能力を最大にする高負荷暖房運転を行いながら、圧縮機
のいずれか一方を運転したり、停止したりして、断続的
な運転を繰り返しながら調整しなければならなかった。
時運転すると共に、上記温水熱交換器と空気熱交換器と
を同時に使用して熱交換を行うことにより暖房能力を最
大にし、また低負荷暖房運転時には、空気熱交換器を接
続した圧縮機だけを運転して熱交換を行うことにより、
暖房能力を落とすようにしていた。ところが、高負荷暖
房運転を行うほどではないが、低負荷暖房運転であって
は能力不足になるような中間負荷の場合には、上記暖房
能力を最大にする高負荷暖房運転を行いながら、圧縮機
のいずれか一方を運転したり、停止したりして、断続的
な運転を繰り返しながら調整しなければならなかった。
しかし、圧縮機の運転と停止とを頻繁に繰り返すことは
運転管理を煩雑にするばかりでなく、装置の耐久性にも
悪影響を与える結果になっていた。
運転管理を煩雑にするばかりでなく、装置の耐久性にも
悪影響を与える結果になっていた。
本発明の目的は、２サクション方式の圧縮機を使用した
エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置において、高負荷運転
から低負荷運転までの暖房能力をスムーズに調整できる
ようにしたエンジン駆動熱ポンプ式暖房装置を提供せん
とすることにある。
エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置において、高負荷運転
から低負荷運転までの暖房能力をスムーズに調整できる
ようにしたエンジン駆動熱ポンプ式暖房装置を提供せん
とすることにある。
上記目的を達成するための本発明は、２サクション方式
の圧縮機を設け、一方の圧縮機の吸込み側を温水熱交換
器が接続された冷媒回路に、また他方の圧縮機の吸込み
側を空気熱交換器が接続された冷媒回路にそれぞれ並列
に連結したエンジン駆動熱ポンプ式暖房装置において、
前記温水熱交換器と空気熱交換器との間に、両熱交換器
を切換弁を介して互いに直列に接続する冷媒回路を形成
し、前記切換弁の切り換えにより直列接続と並列接続と
に交互に切換え可能にしたことを特徴とするものである
。
の圧縮機を設け、一方の圧縮機の吸込み側を温水熱交換
器が接続された冷媒回路に、また他方の圧縮機の吸込み
側を空気熱交換器が接続された冷媒回路にそれぞれ並列
に連結したエンジン駆動熱ポンプ式暖房装置において、
前記温水熱交換器と空気熱交換器との間に、両熱交換器
を切換弁を介して互いに直列に接続する冷媒回路を形成
し、前記切換弁の切り換えにより直列接続と並列接続と
に交互に切換え可能にしたことを特徴とするものである
。
このように温水熱交換器と空気熱交換器を直列に接続す
る冷媒回路を形成し、切換弁によって直列接続と並列接
続とに交互に切替え可能にしたことによって、中間負荷
の際に、いずれか一方の圧縮機だけを運転状態にして、
冷媒を温水熱交換器と空気熱交換器との両方に直列に流
すようにすることにより、程良い熱交換をさせることが
できる。また、これによって、従来のように圧縮機の運
転と停止とを頻繁に断続する必要がなくなる。
る冷媒回路を形成し、切換弁によって直列接続と並列接
続とに交互に切替え可能にしたことによって、中間負荷
の際に、いずれか一方の圧縮機だけを運転状態にして、
冷媒を温水熱交換器と空気熱交換器との両方に直列に流
すようにすることにより、程良い熱交換をさせることが
できる。また、これによって、従来のように圧縮機の運
転と停止とを頻繁に断続する必要がなくなる。
［実施例］
以下、図に示す実施例によって説明する。
第１図は、本発明の装置の一例を示し、冷暖房装置とし
て構成された場合のシステム図である。１は都市ガス、
プロパンガス等のガス燃料によって駆動されるエンジン
、２Ａ、２Ｂはこのエンジン１によって駆動される２サ
クション方式の圧縮機である。２基の圧縮機２Ａ、２Ｂ
は、それぞれ吸込み口から吸い込んだ冷媒を圧縮して高
温高圧のガスにしたのち、一つの吐出管３に合体させて
吐出するようになっている。
て構成された場合のシステム図である。１は都市ガス、
プロパンガス等のガス燃料によって駆動されるエンジン
、２Ａ、２Ｂはこのエンジン１によって駆動される２サ
クション方式の圧縮機である。２基の圧縮機２Ａ、２Ｂ
は、それぞれ吸込み口から吸い込んだ冷媒を圧縮して高
温高圧のガスにしたのち、一つの吐出管３に合体させて
吐出するようになっている。
吐出管３はオイル分離器４を経て四方弁５に接続され、
さらに四方弁５から延長する循環用の配管６に複数個の
室内熱交換器７．−−−−−−、 ７を並列に接続して
いる。これら複数個の室内熱交換器７．−−−−−−．
７の出口側は配管８に集束され、レシーバ９に接続され
ている。レシーバ９を経た配管は、２個の膨張弁１０ａ
、１０ｂを介して二つの配管１１．１２に分岐されてい
る。
さらに四方弁５から延長する循環用の配管６に複数個の
室内熱交換器７．−−−−−−、 ７を並列に接続して
いる。これら複数個の室内熱交換器７．−−−−−−．
７の出口側は配管８に集束され、レシーバ９に接続され
ている。レシーバ９を経た配管は、２個の膨張弁１０ａ
、１０ｂを介して二つの配管１１．１２に分岐されてい
る。
このうち一方の配管１１は、室外熱交換器として設けら
れた温水熱交換器１３ａに接続され、さらに配管１４を
経て圧縮機２Ａの吸込み側に接続されている。この温水
熱交換器１３ａは、エンジン冷却水を利用するようにし
たもので、二重管構造からなっている。配管１４にはア
キュムレータ１５ａが接続されている。また、レシーバ
９から分岐した他方の配管１２は、もう一つの室外熱交
換器として設けられた空気熱交換器１３ｂに接続され、
さらに配管１６．四方弁５．配管１７を経て圧縮機２Ｂ
の吸込み側に接続されている。配管１７にはアキュムレ
ータ１５ｂが接続されている。
れた温水熱交換器１３ａに接続され、さらに配管１４を
経て圧縮機２Ａの吸込み側に接続されている。この温水
熱交換器１３ａは、エンジン冷却水を利用するようにし
たもので、二重管構造からなっている。配管１４にはア
キュムレータ１５ａが接続されている。また、レシーバ
９から分岐した他方の配管１２は、もう一つの室外熱交
換器として設けられた空気熱交換器１３ｂに接続され、
さらに配管１６．四方弁５．配管１７を経て圧縮機２Ｂ
の吸込み側に接続されている。配管１７にはアキュムレ
ータ１５ｂが接続されている。
また、配管１４と配管１７との間には、配管２３２４が
バイパスするように接続され、そのうちの配管２３に電
磁切換弁２１が設けられている。
バイパスするように接続され、そのうちの配管２３に電
磁切換弁２１が設けられている。
以上までの冷媒回路の構成は、従来の２サクション方式
の圧縮機を使用した熱ポンプ式冷暖房装置の場合と略同
様である。この構成では、温水熱交換器１３ａが配管１
４を介して一方の圧縮機２Ａの吸込み側に、また空気熱
交換器１３ｂが配管１６．１７を介して他方の圧縮機２
Ｂにそれぞれ並列に連結されている。また、四方弁５の
切り換えによって、冷媒を第２．３゜４図に示す実線矢
印のように循環させるとき暖房運転となり、またその逆
方向に循環させるとき冷房運転になるようになっている
。
の圧縮機を使用した熱ポンプ式冷暖房装置の場合と略同
様である。この構成では、温水熱交換器１３ａが配管１
４を介して一方の圧縮機２Ａの吸込み側に、また空気熱
交換器１３ｂが配管１６．１７を介して他方の圧縮機２
Ｂにそれぞれ並列に連結されている。また、四方弁５の
切り換えによって、冷媒を第２．３゜４図に示す実線矢
印のように循環させるとき暖房運転となり、またその逆
方向に循環させるとき冷房運転になるようになっている
。
本発明による熱ポンプ式空調装置は、暖房運転する装置
として使用するときのために、さらに配管１７に接続し
た配管２４と、膨張弁１０ａと温水熱交換器１３ａとの
間を連結する配管１１との間を配管２２によってバイパ
スし、これによって温水熱交換器１３ａと空気熱交換器
１３ｂとを直列に連結するようにしている。また、上記
配管２２には電磁切換弁２０が設けられ、配管２３に設
けた電磁切換弁２１と共に、不図示の制御部からの指令
によって、室内熱交換器７ 、−−−−−−−、 ７に
かかる負荷に応して作動することによって、冷媒が空気
熱交換器１３ｂと温水熱交換器１３ａとを直列に流れる
ようになっている。
として使用するときのために、さらに配管１７に接続し
た配管２４と、膨張弁１０ａと温水熱交換器１３ａとの
間を連結する配管１１との間を配管２２によってバイパ
スし、これによって温水熱交換器１３ａと空気熱交換器
１３ｂとを直列に連結するようにしている。また、上記
配管２２には電磁切換弁２０が設けられ、配管２３に設
けた電磁切換弁２１と共に、不図示の制御部からの指令
によって、室内熱交換器７ 、−−−−−−−、 ７に
かかる負荷に応して作動することによって、冷媒が空気
熱交換器１３ｂと温水熱交換器１３ａとを直列に流れる
ようになっている。
第２図、第３図、第４図は、上述した熱ポンプ式暖房装
置を暖房運転をするとき、その暖房負荷に応じて電磁切
換弁２０．２１や膨張弁１０ａ、１０ｂを切り換え、冷
媒の流れを変化させるように制御する要旨を示すもので
ある。
置を暖房運転をするとき、その暖房負荷に応じて電磁切
換弁２０．２１や膨張弁１０ａ、１０ｂを切り換え、冷
媒の流れを変化させるように制御する要旨を示すもので
ある。
第２図は高負荷暖房運転時の場合を示している。このと
き電磁切換弁２０．２１は二つとも閉止し、また膨張弁
１０ａ、１０ｂは二つとも開弁じている。さらに、２基
の圧縮機２人、２Ｂは共に運転される。
き電磁切換弁２０．２１は二つとも閉止し、また膨張弁
１０ａ、１０ｂは二つとも開弁じている。さらに、２基
の圧縮機２人、２Ｂは共に運転される。
圧縮機２Ａ、２Ｂから吐出管３に吐出された高温高圧の
冷媒ガスは、四方弁５を経て室内熱交換器７ 、−−−
−−−−、 ７に供給され、ここで室内の空気と熱交換
して放熱を行う。ここで冷却された冷媒は、それぞれ膨
張弁１０ａ、１０ｂで断熱膨張したのち、一方は熱交換
効率の大きい温水熱交換器１３ａにおいて熱交換により
吸熱して圧縮機２Ａに循環し、また他方は上記温水熱交
換器１３ａよりも熱交換効率の小さな空気熱交換器１３
ｂにおいて吸熱して圧縮機２Ｂに循環する。
冷媒ガスは、四方弁５を経て室内熱交換器７ 、−−−
−−−−、 ７に供給され、ここで室内の空気と熱交換
して放熱を行う。ここで冷却された冷媒は、それぞれ膨
張弁１０ａ、１０ｂで断熱膨張したのち、一方は熱交換
効率の大きい温水熱交換器１３ａにおいて熱交換により
吸熱して圧縮機２Ａに循環し、また他方は上記温水熱交
換器１３ａよりも熱交換効率の小さな空気熱交換器１３
ｂにおいて吸熱して圧縮機２Ｂに循環する。
すなわち、圧縮機２Ａ（Ａ）と温水熱交換器１３ａ （
ｂ）並びに圧縮機２Ｂ （Ｂ）と空気熱交換器１３ｂ（
ｂ）の二つの冷媒循環系（Ａ−ａ、Ｂ−ｂ）が同時に運
転されている。この二つの冷媒循環系（Ａ−ａ、Ｂ−ｂ
）による運転によって、エンジン回転数に応じて第５図
の■に示すように最も高い暖房能力が得られる。
ｂ）並びに圧縮機２Ｂ （Ｂ）と空気熱交換器１３ｂ（
ｂ）の二つの冷媒循環系（Ａ−ａ、Ｂ−ｂ）が同時に運
転されている。この二つの冷媒循環系（Ａ−ａ、Ｂ−ｂ
）による運転によって、エンジン回転数に応じて第５図
の■に示すように最も高い暖房能力が得られる。
第３図は中間負荷暖房運転時の場合を示す。
このときは、電磁切換弁２０が開き、２１が閉じ、また
膨張弁１０ａが閉じ、１０ｂが開いている。また、２基
の圧縮機２Ａ、２Ｂは、一方の圧縮機２Ａ（Ａ）の方だ
けが運転される。
膨張弁１０ａが閉じ、１０ｂが開いている。また、２基
の圧縮機２Ａ、２Ｂは、一方の圧縮機２Ａ（Ａ）の方だ
けが運転される。
圧縮機２Ａから吐出管３に吐出された冷媒は、四方弁５
を経て室内熱交換器７．−・−−−−−，７に供給され
、ここで室内の空気と熱交換を行う。ここで冷却された
冷媒は、膨張弁１０ｂで断熱膨張したのち、まず空気熱
交換器１３ｂにおいて吸熱を行い、さらにバイパスの配
管２４．２２を経て温水熱交換器１３ａに直列に流れ、
ここでさらに熱交換効率の大きな熱交換を行って吸熱を
行ったのち圧縮機２Ａに循環する。
を経て室内熱交換器７．−・−−−−−，７に供給され
、ここで室内の空気と熱交換を行う。ここで冷却された
冷媒は、膨張弁１０ｂで断熱膨張したのち、まず空気熱
交換器１３ｂにおいて吸熱を行い、さらにバイパスの配
管２４．２２を経て温水熱交換器１３ａに直列に流れ、
ここでさらに熱交換効率の大きな熱交換を行って吸熱を
行ったのち圧縮機２Ａに循環する。
すなわち、この中間暖房負荷では、冷媒がＡａ −ｂの
冷媒循環系で運転されるのである。
冷媒循環系で運転されるのである。
この冷媒循環系（Ａ−ａ−ｂ）は、エンジン回転数に応
じて第５図の■に示すような変化を行い、上記最大暖房
能力を出す冷媒循環系（Ａａ、Ｂ−ｂ）に準する暖房能
力を発揮する。
じて第５図の■に示すような変化を行い、上記最大暖房
能力を出す冷媒循環系（Ａａ、Ｂ−ｂ）に準する暖房能
力を発揮する。
第４図は低負荷暖房運転時の場合を示す。このときは、
電磁切換弁２０が閉し、２１が開き、また中間負荷の場
合と同様に、膨張弁１０ａが閉し、１０ｂが開いている
。また、２基の圧縮機２Ａ、２Ｂは、いずれか一方だけ
が運転される。図示の例では、圧縮機２Ａ（Ａ’）の方
が運転されるようになっている。
電磁切換弁２０が閉し、２１が開き、また中間負荷の場
合と同様に、膨張弁１０ａが閉し、１０ｂが開いている
。また、２基の圧縮機２Ａ、２Ｂは、いずれか一方だけ
が運転される。図示の例では、圧縮機２Ａ（Ａ’）の方
が運転されるようになっている。
冷媒は上述した中間暖房負荷の場合（第３図の場合）と
路間し循環であるが、最後の温水熱交換器１３ａを通過
しないようにした点だけが異なっている。この冷媒循環
系（Ａ−ｂ）では、エンジン回転数に応じて第５図の■
に示すような暖房能力を示し、最も低いものとなる。
路間し循環であるが、最後の温水熱交換器１３ａを通過
しないようにした点だけが異なっている。この冷媒循環
系（Ａ−ｂ）では、エンジン回転数に応じて第５図の■
に示すような暖房能力を示し、最も低いものとなる。
なお、この低負荷運転では、上記圧縮機２Ａ（Ａ）に代
えて圧縮機２Ｂ（Ｂ）の方を運転するようにしてもよい
。この場合には、冷媒循環系はＢ−ｂのようになる。
えて圧縮機２Ｂ（Ｂ）の方を運転するようにしてもよい
。この場合には、冷媒循環系はＢ−ｂのようになる。
（発明の効果〕
上述したように、本発明は２サクション方式の圧縮機を
使用したエンジン駆動熱ポンプ式暖房装置において、温
水熱交換器と空気熱交換器との間に、画然交換器を切換
弁を介して互いに直列に接続する冷媒回路を形成し、前
記切換弁の切り換えにより直列接続と並列接続とに交互
に切換え可能にしたので、中間暖房負荷のときには、い
ずれか一方の圧縮機の運転状態において、冷媒を温水熱
交換器と空気熱交換器とに直列に通すことによって程良
い熱交換をさせることができる。したがって、従来のよ
うに圧縮機の一方を頻繁に運転したり、停止したりする
必要がなくなり、高負荷運転から低負荷運転までの暖房
能力をスムーズに調整することができる。
使用したエンジン駆動熱ポンプ式暖房装置において、温
水熱交換器と空気熱交換器との間に、画然交換器を切換
弁を介して互いに直列に接続する冷媒回路を形成し、前
記切換弁の切り換えにより直列接続と並列接続とに交互
に切換え可能にしたので、中間暖房負荷のときには、い
ずれか一方の圧縮機の運転状態において、冷媒を温水熱
交換器と空気熱交換器とに直列に通すことによって程良
い熱交換をさせることができる。したがって、従来のよ
うに圧縮機の一方を頻繁に運転したり、停止したりする
必要がなくなり、高負荷運転から低負荷運転までの暖房
能力をスムーズに調整することができる。
第１図は本発明の実施例からなるエンジン駆動熱ポンプ
式暖房装置のシステム図、第２図〜第４図はそれぞれ高
負荷暖房運転時、中間負荷暖房運転時、低負荷暖房運転
時の冷媒循環を示す説明図、第５図は各運転におけるエ
ンジン回転数と暖房能力との関係を示すグラフである。 ■・・・エンジン、２Ａ、２Ｂ・・・圧縮機、５・・・
四方弁、７・・・室内熱交換器、１０ａ、１０ｂ・・・
膨張弁、１３ａ・・・温水熱交換器（室外熱交換器）、
１３ｂ・・・空気熱交換器（室外熱交換器）、２２゜２
３．２４・・・配管、２０．２１・・・電磁切換弁。
式暖房装置のシステム図、第２図〜第４図はそれぞれ高
負荷暖房運転時、中間負荷暖房運転時、低負荷暖房運転
時の冷媒循環を示す説明図、第５図は各運転におけるエ
ンジン回転数と暖房能力との関係を示すグラフである。 ■・・・エンジン、２Ａ、２Ｂ・・・圧縮機、５・・・
四方弁、７・・・室内熱交換器、１０ａ、１０ｂ・・・
膨張弁、１３ａ・・・温水熱交換器（室外熱交換器）、
１３ｂ・・・空気熱交換器（室外熱交換器）、２２゜２
３．２４・・・配管、２０．２１・・・電磁切換弁。
Claims (1)
- ２サクション方式の圧縮機を設け、一方の圧縮機の吸込
み側を温水熱交換器が接続された冷媒回路に、また他方
の圧縮機の吸込み側を空気熱交換器が接続された冷媒回
路にそれぞれ並列に連結したエンジン駆動熱ポンプ式暖
房装置において、前記温水熱交換器と空気熱交換器との
間に、両熱交換器を切換弁を介して互いに直列に接続す
る冷媒回路を形成し、前記切換弁の切り換えにより直列
接続と並列接続とに交互に切換え可能にしたエンジン駆
動熱ポンプ式暖房装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093030A JP2782547B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093030A JP2782547B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03291469A true JPH03291469A (ja) | 1991-12-20 |
| JP2782547B2 JP2782547B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=14071100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2093030A Expired - Fee Related JP2782547B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | エンジン駆動熱ポンプ式暖房装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2782547B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003056944A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 空気調和装置 |
| US7789962B2 (en) * | 2005-03-31 | 2010-09-07 | Tokyo Electron Limited | Device and method for controlling temperature of a mounting table, a program therefor, and a processing apparatus including same |
| US8410393B2 (en) | 2010-05-24 | 2013-04-02 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for temperature control of a semiconductor substrate support |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP2093030A patent/JP2782547B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
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