JPH03288091A - 継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 コネクタと、ナツトと、スペーサとを含んで構成して管
（チューブ）を連結する継手に関し、管を高い信頼度で
もって連結することのできる継手の供給を目的とし、 管端部の外周面におねじを設けるとともに、管端部の内
径が管央に向かってなだらかに小さくなる貫通孔を設け
たコネクタと、 互いに連通し且つ内径が互いに異なる第１の貫通孔と第
２の貫通孔とを有し、第２の貫通孔の内周面に前記コネ
クタのおねじと螺合するめねじを設けるとともに、内周
面にリング状の突起を設けた第１の貫通孔と第２の貫通
孔の連結面と垂直に形成される段差面に第１の貫通孔を
周回する周溝を設けたナツトと、 貫通孔を有してなだらかに末拡がりになって前記ナット
の周溝に挿入される一端部と、なだらかに先細りになっ
て外周面が前記コネクタの管端部の貫通孔の内周面と接
触する他端部とを有するスリーブとを含んでなり、 ナットのリング状の突起を嵌着する第１の周溝とスリー
ブのなだらかに先細りになった端部を嵌着する第２０周
溝を外周面にそれぞれを離隔して設けた管を連結するよ
うに構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、継手、特に管を高い信頼度でもって連結する
ことのできる継手に関する。

昨今、半導体装置の電極等に使用される金属材料の多様
化にともなって、この金属材料をエッチソゲするために
使用されるエツチング液も多様化している。

このエツチング液は、通常、エツチング液を大量に貯蔵
するエツチング液貯蔵タンクからエツチング液により侵
されない材料により形成した配管により、エツチング液
を使用する作業現場に送られる。

そして、エツチング液貯蔵タンクからエツチング液を使
用する作業現場に至るまでの距離はかなり長くなること
や、作業現場は通常は複数となるために、継手を複数使
用して配管をブランチ状に連結した配管系を構成するこ
とが多い。

前記したように半導体装置の製造工程で使用されるエツ
チング液の中には有害なエツチング液があるために、液
漏れを発生させない高い信頼度を有する継手が強く要請
される。

〔従来の技術〕

次に、従来の継手について図面を参照しながら説明する
。

第２図は従来の継手を説明するための要部側断面図で、
同図（ａ）は未加工の管の断面図、同図（ｂ）は加工後
の管の断面図、同図（ｃ）は継手の構成部品と管との関
係を示す断面図、同図（ｄ）は継手と管の連結状態を示
す断面図である。

即ち、従来の継手は同図（ｃ）及び同図（ｄ）に示すよ
うに、管端部の外周面におねじ２１ａを設けるとともに
管端部の内径が管央に向かってなだらかに小さくなる貫
通孔２１ｂを設けたコネクタ２１と、互いに連通し且つ
内径が互いに異なる第１の貫通孔２２ａと第２の貫通孔
２２ｂとを有し、内径の大きい第２の貫通孔２２ｂの内
周面にコネクタ２１のおねし２１ａと螺合するめねし２
２ｃを設るとともに第１の貫通孔２２ａと第２の貫通孔
２２ｂの連結面と垂直に形成される段差面２２ｄを有す
るナツト２２と、貫通孔２３ａを有し外周面の研削量を
管軸方向に変化させる如くして管壁２３ｂの厚さを管軸
方向になだらかに薄＜シたスリーブ２３とで構成したも
のである。

なお、コネクタ２１、ナツト２２、及びスリーブ２３に
使用する材料は、この継手が使用される配管系に流れる
液体等の種類に依って変わることは勿論である。

斯かる構成の継手に、管２０を連結するには、通常次の
ような手順により行う。

まず、継手に連結すべき管２０の管壁２０ｂの外周面を
管軸に対して斜めに管壁２０ｂの途中まで切り込んだ後
に、更に次の切り込みを管軸に対して垂直且つ前記切り
込みの先端に一致するように行って、管２０の貫通孔２
０ｃを一周する楔状の周ｍ２０ａを設ける（同図（ａ）
及び同図（ｂ）参照）。

次に、同図（ｂ）に示す如く周溝２０ａを設けた管２０
を矢印Ａ方向に送り出して、ナツト２２の貫通孔２２ｂ
及びスリーブ２３の貫通孔２３ａとを通過させるととも
に、管２０の先端部をコネクタ２１の管端付近の貫通孔
２１ｂに挿入する。

この時、管２０の周溝２Ｏａ内にスリーブ２３の薄くな
った管壁２３ｂの先端部が位置するように配慮しするこ
とが肝要である。

この後、コネクタ２１のおねじ２１ａとナツト２２のめ
ねじ２２ｃを螺合すると、同図（ｄ）に示すようにスリ
ーブ２３はナツト２２の段差面２２ｄに押圧されて矢印
Ｂ方向の圧縮力を受ける。

この結果、スリーブ２３の前記先端部は、管２０の周溝
２０ａの隅に食い込むが如くなってスリーブ２３と管２
０との間が気密（気体若しくは液体の漏出が発生しない
状態〉になるとともに、スリーブ２３の前記先端部の外
周面とコネクタ２１のラッパ状になった貫通孔２１ｂの
内周面が強く密着して、スリーブ２３とコネクタ２１と
の間の気密状態が確立されることとなる。

斯くして、継手のコネクタ２１の貫通孔２１ｂと管２０
の貫通孔２０ｃは、液体若しくは気体の通過自在に連通
されるとともに、前記した如く丸印Ｃ及び丸印りで示す
部分で気密されて、液体若しくは気体の外部への漏出が
防止される。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、前記した従来の継手を使用して配管系を構成
した際に、第２図の（ｄ）図の丸印Ｃ，Ｄ部分の気密力
を低下させる外力（例えば、丸印Ｃ部の気密力を低下さ
せる外力としては管２０を紙面右方向に移動する外力、
また丸印り部の気密力を低下させる外力は管２０を紙面
左方向に移動する外力）を受けることがある。

従って、このような外力が作用すると、丸印Ｃ及びＤ部
分の気密力が低下することとなり、第２図の（ｄ）図の
点線Ｅ、Ｆで示すよう漏出経路により気体若しくは液体
が配管系外に漏出することも発生することもある。

本発明は、斯かる問題を解決するためになされたもので
あって、その目的は管を高い信頼度でもって連結するこ
とのできる継手の供給にある。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的は、第１図に示すように管端部の外周面におね
じ１１ａを設けるとともに、管端部の内径が青火に向か
ってなだらかに小さくなる貫通孔１１ｂを設けたコネク
タ１１と、 互いに連通し且つ内径が互いに異なる第１の貫通孔１２
ａと第２の貫通孔１２ｂとを有し、第２の貫通孔１２ｂ
の内周面に前記コネクタ１１のおねじ１１ａと螺合する
めねじ１２ｃを設けるとともに、内周面にリング状の突
起１２ｆを設けた第１の貫通孔１２ａと第２の貫通孔１
２ｂの連結面と垂直に形成される段差面１２ｄに第１の
貫通孔１２ａを周回する周溝１２ｅを設けたナツト１２
と、 貫通孔１３ａを有しなだらかに末拡がりになってナツト
１２の周溝１２ｅに挿入される一端部１３ｂと、なだら
かに先細りになって外周面が前記コネクタ１１の管端部
の貫通孔１１ｂの内周面と接触する他端部１３ｃとを有
するスリーブ１３とを含んで構成し、ナツト１２のリン
グ状の突起１２ｆを嵌着する第１の周溝１０ａとスリー
ブ１３のなだらかに先細りになった端部１３ｃを嵌着す
る第２の周溝１０ｂを外周面にそれぞれを離隔して設け
た管１０を連結することを特徴とする継手により遠戚さ
れる。

〔作　用〕

本発明の継手と管１０との連結は、ナツト１２の第１の
貫通孔１２ａから第２の貫通孔１２ｂと、スリーブ１３
の端部１３ｂから端部１３ｃと、そしてコネクタ１１の
管端部の貫通孔１１ｂをこの順に管１０を挿通させると
ともに、ナツト１２の突起１２ｆを管１０の第１の周溝
１０ａに嵌着且つ端部１３ｂをナツト１２の周溝１２ｅ
に挿入したスリーブ１３の端部１３ｃを第２の周溝１０
ｂに嵌着させた後に、コネクタ１１のおねじ１１ａとナ
ット１２のめねじ１２ｃを螺合して締めつけることによ
り行われる。

この結果、管１０内を流れる気体若しくは液体の漏出経
路は、管１０の外周面と、なだらかに先細りになったス
リーブ１３の端部１３ｃとで構成される気密部（丸印Ａ
ａで図示）、及び管ｌＯの外周面と、ナツト１２の第１
の貫通孔１２ａの内周面のリング状の突起１２ｆとで構
成される気密部（丸印Ａｂで図示）とを通過するもの（
点線Ａで図示）と、管端部の内径が青火に向かってなだ
らかに小さくなる貫通孔１１ｂの内周面と、ナツト１２
の末拡がりになった端部１３ｂとの間で構成される気密
部（丸印Ｂａで図示）、及びナツト１２の末拡がりにな
った端部１３ｂと、ナツト１２の段差面１２ｄに設けた
周溝１２ｅとで構成される気密部（丸印Ｂｂで図示）と
を通過するもの（点線Ｂで図示）となる。

従って、従来の継手に管を連結した際のそれぞれの漏出
経路は、−ケ所気密部となるが、本発明の継手に管を連
結すると、それぞれの漏出経路には二つの気密部が直列
になって存在する。

斯くして、本発明の継手は、高い信頼度で配管を連結す
ることが可能となる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例の継手を図面を参照しながら説
明する。

第１図は本発明の一実施例の継手を説明するための要部
側断面図で、同図（ａ）は継手の構成部品の断面図、同
図（ｂ）は管の断面図、同図（ｃ）は連結状態を示す断
面図である。

本発明の一実施例の継手は、管端部の外周面におねじ１
１ａを設けるとともに、管端部の内径が青果に向かって
なだらかにテーパ状に小さくなる貫通孔１１ｂを設けた
ステンレス網（以降、ステンレスと呼称）製のコネクタ
１１と、 互いに連通し且つ内径が互いに異なる第１の貫通孔１２
ａと第２の貫通孔１２ｂとを有し、第１の貫通孔１２ａ
より大きな内径の第２の貫通孔１２ｂの内周面に、コネ
クタ１１のおねし１１ａと螺合するめねじ１２ｃを設け
るとともに、内周面にリング状の突起１２ｆを設けた第
１の貫通孔１２ａと第２の貫通孔１２ｂの連結面と垂直
に形成される段差面１２ｄに第１の貫通孔１２ａを周回
する周溝１２ｅを設けたステンレス製のナツト１２と、 貫通孔１３ａを有し、なだらかに末拡がりになってナツ
ト１２の周溝１２ｅに挿入される一端部１３ｂ、及びな
だらかに先細りになって外周面がコネクタ１１の管端部
の貫通孔１１ｂの内周面と接触する他端部１３Ｃとを有
するステンレス製のスリーブ１３とで構成したものであ
る（同図（ａ）参照）。

次に、斯かる構成をした継手に、第２図で説明した管２
０の外周面に周溝２０ｃを形成する要領に従って第１の
周溝１０ａ及び第２の周溝１０ｂを外周面の管軸方向に
離隔して設けたテフロン製の管（以降、テフロン管、同
図（ｂ）参照）１０を連結する方法を説明する。

即ち、本発明の一実施例の継手とテフロン管１０との連
結は、テフロン管１０を、ナツト１２の第１の貫通孔１
２ａから第２の貫通孔１２ｂと、スリーブ１３の端部１
３ｂから端部１３ｃと、そしてコネクタ１１の管端部の
貫通孔１１ｂをこの順に挿通させるとともに、ナット１
２の突起１２ｆをテフロン管１０の第１の周溝１０ａに
嵌着且つ端部１３ｂをナツト１２の周溝１２ｅに挿入し
たスリーブ１３の端部１３ｃを第２の周溝１０ｂに嵌着
させた後に、コネクタ１１のおねし１１ａとナツト１２
のめねじ１２ｃを螺合して締めつけることにより行われ
る（同図（ｃ）参照）。

このような本発明の一実施例の継手とテフロン管１０が
連結されるとテフロン管１０内を流れる気体若しくは液
体の漏出経路は、テフロン管１０の外周面と、なだらか
に先細りになったスリーブ１３の端部１３ｃとで構成さ
れる気密部（丸印Ａａで図示）、及びテフロン管１０の
外周面と、ナツト１２の第１の貫通孔１２ａの内周面の
リング状の突起１２ｆとで構成される気密部（丸印Ａｂ
で図示）とを通過するもの（点線Ａで図示）と、 管端部の内径が管中央に向かってなだらかに小さくなる
貫通孔１１ｂの内周面と、ナット１２の末拡がりになっ
た端部１３ｂとの間で構成される気密部（丸印Ｂａで図
示）、及びナツト１２の末拡がりになった端部１３ｂと
、ナソ目２の段差面１２ｄに設けた周溝１２ｅとで構成
される気密部（丸印Ｂｂで図示）とを通過するもの（点
線Ｂで図示）となる。

従って、従来の継手に管を連結した際のそれぞれの漏出
経路は、−ケ所だけ気密部となるが、本発明の継手に管
を連結すると、それぞれの漏出経路には二つの気密部が
直列になって存在する。

斯くして、本発明の一実施例の継手は、高い信頼度でテ
フロン管１０を連結することを可能ならしめるものであ
る。

なお、前記した本発明の一実施例の継手の構成部品、即
ちコネクタ１１と、ナツト１２と　、スリーブ１３はス
テンレスにより構成したものであるが、これらを全て合
成樹脂、例えばテフロンで構成することも可能であるし
、また各構成部品毎に適切な材料を選択することも当然
可能である。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明の継手を採用する
ことにより、高い信頼性を有する配管系を構成すること
が可能となる。

従って、斯かる配管系をエツチング液の液送に使用すれ
ば、エツチング液の漏出事故を防止することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の継手を説明するための要
部側断面図、 第２図は、従来の継手を説明するための要部断面図であ
る。 図において、 １０は管（テフロン管）、 １０ａは第１の周溝、 １０ｂは第２の周溝、 １１はコネクタ、 １１ａはおねし、 １１ｂは貫通孔、 １２はナツト、 １２ａは第１の貫通孔、 １２ｂは第２の貫通孔、 １２ｃはめねし、 １２ｄは段差面、 １２ｅは周溝、 １２ｆは突起、 １３はスリーブ、 １３ａは貫通孔、 １３ｂはスリーブの管端部、 １３ｃはスリーブの他方の管端部をそれぞれ示す。 ＬＱ）孝ｐσ工。’ｆ／ｌ　斯１！３　ｍ＋ｂ＋　’１
０　］：　２１　Ａ　奢／ｌ　ｌ’ｒ　Ｉｔ］ｒ’ｌＪ
０４ ＋ｂ＋着の財面閏 Ｏ！杆の績賎普Ｐ酌簀ピ硼佳を村ｌケ面閏（Ｃ１連ａｒ
ｔ黴を不■↑節閃 年ネ明呂−を譜σ・」の綽重勘明η銅票学的新面間第１
図 ｔｃｈ１１’チーｔり富ヒ４１１１ｆｊＸ’ｕＥｊ４４
到ｔｔｍｒＸＪ従来材軒ｔｉｔ何Ｔシた一〇を坪断面図
第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 管端部の外周面におねじ（１１ａ）を設けるとともに、
   管端部の内径が管央に向かってなだらかに小さくなる貫
   通孔（１１ｂ）を設けたコネクタ（１１）と、互いに連
   通し且つ内径が互いに異なる第１の貫通孔（１２ａ）と
   第２の貫通孔（１２ｂ）とを有し、第２の貫通孔（１２
   ｂ）の内周面に前記コネクタ（１１）のおねじ（１１ａ
   ）と螺合するめねじ（１２ｃ）を設けるとともに、内周
   面にリング状の突起（１２ｆ）を設けた第１の貫通孔（
   １２ａ）と第２の貫通孔（１２ｂ）の連結面と垂直に形
   成される段差面（１２ｄ）に第１の貫通孔（１２ａ）を
   周回する周溝（１２ｅ）を設けたナット（１２）と、 貫通孔（１３ａ）を有してなだらかに末拡がりになって
   前記ナット（１２）の周溝（１２ｅ）に挿入される一端
   部（１３ｂ）と、なだらかに先細りになって外周面が前
   記コネクタ（１１）の管端部の貫通孔（１１ｂ）の内周
   面と接触する他端部（１３ｃ）とを有するスリーブ（１
   ３）とを含んで構成し、 前記ナット（１２）のリング状の突起（１２ｆ）を嵌着
   する第１の周溝（１０ａ）と前記スリーブ（１３）のな
   だらかに先細りになった端部（１３ｃ）を嵌着する第２
   の周溝（１０ｂ）を外周面にそれぞれを離隔して設けた
   管（１０）を連結することを特徴とする継手。