JPH03286425A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH03286425A JPH03286425A JP8656090A JP8656090A JPH03286425A JP H03286425 A JPH03286425 A JP H03286425A JP 8656090 A JP8656090 A JP 8656090A JP 8656090 A JP8656090 A JP 8656090A JP H03286425 A JPH03286425 A JP H03286425A
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Landscapes
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録装置、例えば、磁気フロッピーディ
スク装置、磁気ハードディスク装置、磁気テープ装置、
磁気カード装置等に用いられる磁気記録媒体及びその製
造方法に関するものである。
スク装置、磁気ハードディスク装置、磁気テープ装置、
磁気カード装置等に用いられる磁気記録媒体及びその製
造方法に関するものである。
従来の技術
従来の磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム・
ポリイミドフィルムなどの高分子フィルムやアルミ合金
板・ガラス板などの基板上に酸化物強磁性体やＦｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉなどを主成分とする合金磁性粉末などをバイン
ダ内に拡散させた磁性塗料を濾布したいわゆる塗布型磁
気記録媒体が広く使用されてた。
ポリイミドフィルムなどの高分子フィルムやアルミ合金
板・ガラス板などの基板上に酸化物強磁性体やＦｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉなどを主成分とする合金磁性粉末などをバイン
ダ内に拡散させた磁性塗料を濾布したいわゆる塗布型磁
気記録媒体が広く使用されてた。
しかし、記録密度向上の要求から、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−
Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ、Ｃｏ−３
ｍ、Ｃｏ−Ｒｅ、Ｃｏ−Ｎｉ −Ｔａなどの強磁性金属
材料で槽底された磁性膜を有する強磁性薄膜型磁気記録
媒体が注目されている。この強磁性薄膜型磁気記録媒体
の磁性膜自体は潤滑性を有していないために、磁性膜状
に潤滑膜を形成する必要がある。その保護膜としてはス
パッタリングする事によって形成されるカーボン保護膜
等が用いられている。
Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ、Ｃｏ−３
ｍ、Ｃｏ−Ｒｅ、Ｃｏ−Ｎｉ −Ｔａなどの強磁性金属
材料で槽底された磁性膜を有する強磁性薄膜型磁気記録
媒体が注目されている。この強磁性薄膜型磁気記録媒体
の磁性膜自体は潤滑性を有していないために、磁性膜状
に潤滑膜を形成する必要がある。その保護膜としてはス
パッタリングする事によって形成されるカーボン保護膜
等が用いられている。
現在、浮上ヘッド型の磁気ハードディスク装置に於てコ
ンタクト・スタート・ストップ方式（以下Ｃ，Ｓ、Ｓ、
と称す）がディスク起動方式の主流を占めているが、こ
のＣ，Ｓ、Ｓ、方式では、ディスク回転の起動・停止を
記録再生磁気ヘッド〈以下ヘッドと称す〉が磁気記録媒
体表面上に接触した状態で行われ、この時ヘッドが磁気
記録媒体表面を摺動する。するとヘッドと磁気記録媒体
表面の摺動の繰り返しによって、ヘッドと磁気記録媒体
の間の摩擦係数が上昇し、磁気記録媒体表面の保護膜が
摩耗したり剥離したりして、ヘッドが磁性膜を傷付けて
しまう事があり、データの再生ができなくなる事があっ
た。これを回避するため、基板表面にテクスチャー加工
を施したり、保護膜の表面に潤滑膜を形成して、磁気記
録媒体とヘッド間の摩擦特性・摩耗特性の改善が試みら
れている。
ンタクト・スタート・ストップ方式（以下Ｃ，Ｓ、Ｓ、
と称す）がディスク起動方式の主流を占めているが、こ
のＣ，Ｓ、Ｓ、方式では、ディスク回転の起動・停止を
記録再生磁気ヘッド〈以下ヘッドと称す〉が磁気記録媒
体表面上に接触した状態で行われ、この時ヘッドが磁気
記録媒体表面を摺動する。するとヘッドと磁気記録媒体
表面の摺動の繰り返しによって、ヘッドと磁気記録媒体
の間の摩擦係数が上昇し、磁気記録媒体表面の保護膜が
摩耗したり剥離したりして、ヘッドが磁性膜を傷付けて
しまう事があり、データの再生ができなくなる事があっ
た。これを回避するため、基板表面にテクスチャー加工
を施したり、保護膜の表面に潤滑膜を形成して、磁気記
録媒体とヘッド間の摩擦特性・摩耗特性の改善が試みら
れている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、前記従来の構成では、潤滑膜と保護膜の
付着力が弱いため、磁気記録媒体が高速で回転したりす
ると、磁気記録媒体表面から潤滑剤が飛散して潤滑膜厚
が薄くなってしまい、耐摩擦・耐摩耗特性の劣化が著し
くなってしまうという問題があった。又潤滑膜と保護膜
の付着力が弱いためにヘッドが磁気記録媒体上を摺動す
ると、保護膜上を潤滑剤がヘッドによって引っ張られて
移動して、磁気記録媒体とヘッド間の隙間に潤滑剤が凝
集して、ヘッドと磁気記録媒体が吸着してしまい、磁気
記録媒体が回転できなくなるなどの問題が発生している
。
付着力が弱いため、磁気記録媒体が高速で回転したりす
ると、磁気記録媒体表面から潤滑剤が飛散して潤滑膜厚
が薄くなってしまい、耐摩擦・耐摩耗特性の劣化が著し
くなってしまうという問題があった。又潤滑膜と保護膜
の付着力が弱いためにヘッドが磁気記録媒体上を摺動す
ると、保護膜上を潤滑剤がヘッドによって引っ張られて
移動して、磁気記録媒体とヘッド間の隙間に潤滑剤が凝
集して、ヘッドと磁気記録媒体が吸着してしまい、磁気
記録媒体が回転できなくなるなどの問題が発生している
。
本発明は前記従来の問題点を解決するもので、耐摩擦・
耐摩耗特性の優れ、ヘッドが吸着しにくい磁気記録媒体
及びその製造方法を提供する事を目的としている。
耐摩耗特性の優れ、ヘッドが吸着しにくい磁気記録媒体
及びその製造方法を提供する事を目的としている。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために、保護膜表面を酸化させ、そ
の上に極性基を有する潤滑膜を設けた。
の上に極性基を有する潤滑膜を設けた。
作 用
この構成により、保護膜の表面に極性基が形成されるの
で、その極性基が潤滑膜の極性基と結合して、潤滑膜と
保護膜の接合強度が強くなる。
で、その極性基が潤滑膜の極性基と結合して、潤滑膜と
保護膜の接合強度が強くなる。
実施例
第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体を示す
拡大断面図である。第１図において、ｌは基板で、基板
１は基台１ａの上にＣｒＴ地膜１ｂを形成して構成され
ている。２はＣｏＮｉＣｒ系合金によってできた磁性膜
、３はＣｒ保護膜、４はＣ保護膜、５は表面酸化層で、
表面酸化層５は、Ｃ保護膜４表面を温度６０℃・湿度４
０％ＲＨ環境下で熱処理することにより形成される。し
かしあまり酸化し過ぎると表面酸化層の特性が悪くなる
事があるので、加熱時間や加熱温度及び湿度等を調整す
る必要がある。６は極性基を有するパー７０ロポリエー
テルによって構成された潤滑膜である。
拡大断面図である。第１図において、ｌは基板で、基板
１は基台１ａの上にＣｒＴ地膜１ｂを形成して構成され
ている。２はＣｏＮｉＣｒ系合金によってできた磁性膜
、３はＣｒ保護膜、４はＣ保護膜、５は表面酸化層で、
表面酸化層５は、Ｃ保護膜４表面を温度６０℃・湿度４
０％ＲＨ環境下で熱処理することにより形成される。し
かしあまり酸化し過ぎると表面酸化層の特性が悪くなる
事があるので、加熱時間や加熱温度及び湿度等を調整す
る必要がある。６は極性基を有するパー７０ロポリエー
テルによって構成された潤滑膜である。
以上のように構成された本実施例の磁気記録媒体につい
て、以下その表面酸化層の構造・潤滑膜の結合形態につ
いて説明し、耐摩擦・耐摩耗特性の実験結果を示す。
て、以下その表面酸化層の構造・潤滑膜の結合形態につ
いて説明し、耐摩擦・耐摩耗特性の実験結果を示す。
第１式に表面酸化層５の構造図を示す。
第１式
％式％
形成直後のＣ保護膜は非常に活性で化学的に不安定であ
る。従ってこの不安定な表面に熱処理を施すことにより
表面には、−ＣＯＯＨ・−〇Ｈなどの極性基が形成され
る事になる。
る。従ってこの不安定な表面に熱処理を施すことにより
表面には、−ＣＯＯＨ・−〇Ｈなどの極性基が形成され
る事になる。
又第２式に酸化層を形成した表面に極性基を有する潤滑
剤を被膜した際の表面酸化層と潤滑剤との結合状態を示
す。
剤を被膜した際の表面酸化層と潤滑剤との結合状態を示
す。
第２式
％式％）
第２式でＲ基を有している方が潤滑膜を構成している材
料で、それに結合しているのは酸化層の表面である。第
２式から表面酸化層の極性基と潤滑剤が有する極性基と
が水素結合していることを示している。このように、表
面酸化層に極性基を有する潤滑膜が水素結合を伴い被膜
された場合、表面酸化層を形成せずに極性基を有する潤
滑膜を被膜した場合に比べ強い磁気記録媒体表面への結
合力を示す。
料で、それに結合しているのは酸化層の表面である。第
２式から表面酸化層の極性基と潤滑剤が有する極性基と
が水素結合していることを示している。このように、表
面酸化層に極性基を有する潤滑膜が水素結合を伴い被膜
された場合、表面酸化層を形成せずに極性基を有する潤
滑膜を被膜した場合に比べ強い磁気記録媒体表面への結
合力を示す。
第２図及び第３図はそれぞれ保護膜の表面を酸化して表
面酸化層を形成し極性基を有する潤滑膜を被膜した本実
施例の磁気記録媒体と、表面酸化層を形成せずに極性基
を有する潤滑膜を被膜した従来の磁気記録媒体の潤滑膜
と保護膜の結合力をＸ線光電子分析装置関係を示したグ
ラフである。
面酸化層を形成し極性基を有する潤滑膜を被膜した本実
施例の磁気記録媒体と、表面酸化層を形成せずに極性基
を有する潤滑膜を被膜した従来の磁気記録媒体の潤滑膜
と保護膜の結合力をＸ線光電子分析装置関係を示したグ
ラフである。
この第２図及び第３図の関係は以下の様な実験によって
求めた。本実施例の磁気記録媒体と従来の磁気記録媒体
を溶媒で洗浄し、洗浄後磁気記録媒体表面に残留した潤
滑膜をＸ線光電子分析装置を用いて測定した。第２図及
び第３図の縦軸は光電子のカウント数、横軸は光電子の
エネルギーである。第２図を見てわかるように、表面酸
化層を形成した磁気記録媒体にはエネルギーが６９０の
所、すなわち潤滑膜の結合エネルギーと等しいエネルギ
ーの所にピークが現われている。すなわち溶媒で洗浄し
たにもかかわらず、かなりの潤滑膜がまだ保護膜に付着
している事がわかる。しかし第３図をみると、エネルギ
ーが６９０の所にはピークが無く、潤滑膜が保護膜に付
着していない事がわかる。以上の事から表面酸化層を形
成したものは、表面酸化層を形成していないものに比べ
潤滑膜の結合力が強いということがわかる。これは、表
面酸化層を形成した磁気記録媒体の潤滑膜の結合形態が
第２式に示すような水素結合を伴う結果によるものであ
る。このように表面酸化層を形成し潤滑膜の結合力を強
くすることにより、耐摩擦・耐摩耗特性に優れた磁気記
録媒体を提供することが出来る。
求めた。本実施例の磁気記録媒体と従来の磁気記録媒体
を溶媒で洗浄し、洗浄後磁気記録媒体表面に残留した潤
滑膜をＸ線光電子分析装置を用いて測定した。第２図及
び第３図の縦軸は光電子のカウント数、横軸は光電子の
エネルギーである。第２図を見てわかるように、表面酸
化層を形成した磁気記録媒体にはエネルギーが６９０の
所、すなわち潤滑膜の結合エネルギーと等しいエネルギ
ーの所にピークが現われている。すなわち溶媒で洗浄し
たにもかかわらず、かなりの潤滑膜がまだ保護膜に付着
している事がわかる。しかし第３図をみると、エネルギ
ーが６９０の所にはピークが無く、潤滑膜が保護膜に付
着していない事がわかる。以上の事から表面酸化層を形
成したものは、表面酸化層を形成していないものに比べ
潤滑膜の結合力が強いということがわかる。これは、表
面酸化層を形成した磁気記録媒体の潤滑膜の結合形態が
第２式に示すような水素結合を伴う結果によるものであ
る。このように表面酸化層を形成し潤滑膜の結合力を強
くすることにより、耐摩擦・耐摩耗特性に優れた磁気記
録媒体を提供することが出来る。
第４図磁気記録媒体のＣ，Ｓ、Ｓ、特性曲線図を示す。
横軸に表面酸化層形成時間（温度６０’Ｃ・湿度４０％
ＲＨ放置時間）、縦軸にＣ，Ｓ。
ＲＨ放置時間）、縦軸にＣ，Ｓ。
Ｓ、を２万回繰り返した後の摩擦係数を示す。なお、表
面酸化層形成時間がＯの所は表面酸化層が形成されてお
らず、従来の磁気記録媒体である。
面酸化層形成時間がＯの所は表面酸化層が形成されてお
らず、従来の磁気記録媒体である。
試験には、１８Ｍ３３７０タイプ（荷重９．５ｇ）のヘ
ッドを使用した。第５図に示す通り、表面酸化層を形成
した磁気記録媒体は、Ｃ，Ｓ、Ｓ。
ッドを使用した。第５図に示す通り、表面酸化層を形成
した磁気記録媒体は、Ｃ，Ｓ、Ｓ。
２万回後も摩擦係数が０．２１以下と非常に小さく、ま
たヘッド及び磁気記録媒体表面には全く物理的損傷がな
く優れた耐摩擦・耐摩耗特性を示す。一方、表面酸化層
が形成されていない従来の磁気記録媒体は、Ｃ，Ｓ、Ｓ
、２万回後０．４０と摩擦係数の上昇が認められる。ま
た、オゾンプラズマ処理や通常環境下に放置することに
より表面酸化層を形成した場合にも同様な効果が得られ
ることを確認した。
たヘッド及び磁気記録媒体表面には全く物理的損傷がな
く優れた耐摩擦・耐摩耗特性を示す。一方、表面酸化層
が形成されていない従来の磁気記録媒体は、Ｃ，Ｓ、Ｓ
、２万回後０．４０と摩擦係数の上昇が認められる。ま
た、オゾンプラズマ処理や通常環境下に放置することに
より表面酸化層を形成した場合にも同様な効果が得られ
ることを確認した。
以上のように本実施例によれば、磁気記録媒体表面に酸
化層を形成し極性基を有する潤滑剤を被膜することによ
り、磁気記録媒体表面の極性基と潤滑剤が有する極性基
とを水素結合させ、潤滑膜の磁気記録媒体表面への結合
力を強くするができるので、潤滑膜が飛散したりするの
を防止するとともに、ヘッドとの摺動によって、潤滑膜
がヘッドによって引っ張られて移動し、潤滑膜がヘッド
と磁気記録媒体の間に凝集してヘッドが磁気記録媒体に
吸着する事はない。
化層を形成し極性基を有する潤滑剤を被膜することによ
り、磁気記録媒体表面の極性基と潤滑剤が有する極性基
とを水素結合させ、潤滑膜の磁気記録媒体表面への結合
力を強くするができるので、潤滑膜が飛散したりするの
を防止するとともに、ヘッドとの摺動によって、潤滑膜
がヘッドによって引っ張られて移動し、潤滑膜がヘッド
と磁気記録媒体の間に凝集してヘッドが磁気記録媒体に
吸着する事はない。
さらに、磁気記録媒体表面の極性基と潤滑剤の極性基と
を水素結合させ潤滑膜を形成することは、潤滑剤を磁気
記録媒体表面に配向性よく被膜することとなり、磁気記
録媒体表面の潤滑膜がち密な膜となり、耐摩擦・耐摩耗
特性がよくなる。
を水素結合させ潤滑膜を形成することは、潤滑剤を磁気
記録媒体表面に配向性よく被膜することとなり、磁気記
録媒体表面の潤滑膜がち密な膜となり、耐摩擦・耐摩耗
特性がよくなる。
尚本実施例ではハードディスクの場合について説明した
が、磁気テープ装置などの磁気記録媒体とヘッドが常時
摺動する形で用いられるタイプの装置でも同様の効果を
得る事ができる。また潤滑材としてパーフロロポリエー
テルを用いたが極性基を持つ脂肪酸でも同様の効果をえ
る事ができる。
が、磁気テープ装置などの磁気記録媒体とヘッドが常時
摺動する形で用いられるタイプの装置でも同様の効果を
得る事ができる。また潤滑材としてパーフロロポリエー
テルを用いたが極性基を持つ脂肪酸でも同様の効果をえ
る事ができる。
発明の効果
本発明は保護膜表面を酸化させ、その上に極性基を有す
る潤滑膜を設けた事により、保護膜の表面に極性基が形
成されるので、その極性基が潤滑膜の極性基と結合して
、潤滑膜と保護膜の接合強度が強くなるので、潤滑膜が
ディスクの回転等により飛散するのを防止でき、耐摩耗
性を良くする事ができる。又潤滑膜がヘッドのとの摺動
によってヘッドに引っ張られて、ヘッドと保護膜の間に
潤滑膜が凝集する事はないので、ヘッドとの吸着が起こ
りにくい。
る潤滑膜を設けた事により、保護膜の表面に極性基が形
成されるので、その極性基が潤滑膜の極性基と結合して
、潤滑膜と保護膜の接合強度が強くなるので、潤滑膜が
ディスクの回転等により飛散するのを防止でき、耐摩耗
性を良くする事ができる。又潤滑膜がヘッドのとの摺動
によってヘッドに引っ張られて、ヘッドと保護膜の間に
潤滑膜が凝集する事はないので、ヘッドとの吸着が起こ
りにくい。
第１図は、本発明の一実施例における磁気記録媒体の膜
構成図、第２図は本実施例の有機高分子被膜の結合力を
しめずグラフ、第３図は従来の表面酸化層を形成してい
ない磁気記録媒体の有機高分子被膜の結合力を示すグラ
フ、第４図はＣ，Ｓ。 Ｓ、特性曲線図である。 １・・・・・・基板 １ａ・・・・・・基台 １ｂ・・・・・・Ｃｒ下地膜 ２・・・・・・ＣｏＮ ｉ Ｃｒ磁性膜３・・・・・・
Ｃｒ保護膜 ４・・・・・・Ｃ保護膜 ５・・・・・・表面酸化層 ６・・・・・・潤滑膜 第１図
構成図、第２図は本実施例の有機高分子被膜の結合力を
しめずグラフ、第３図は従来の表面酸化層を形成してい
ない磁気記録媒体の有機高分子被膜の結合力を示すグラ
フ、第４図はＣ，Ｓ。 Ｓ、特性曲線図である。 １・・・・・・基板 １ａ・・・・・・基台 １ｂ・・・・・・Ｃｒ下地膜 ２・・・・・・ＣｏＮ ｉ Ｃｒ磁性膜３・・・・・・
Ｃｒ保護膜 ４・・・・・・Ｃ保護膜 ５・・・・・・表面酸化層 ６・・・・・・潤滑膜 第１図
Claims (4)
- （１）基板と、前記基板の上に設けられた磁性膜と、前
記磁性膜の上に設けられ、表面を酸化した保護膜と、前
記保護膜の上に設けられ、極性基を有する材料で構成さ
れた潤滑膜とを備えた事ことを特徴とする磁気記録媒体
。 - （２）基板の上に磁性膜を形成し、前記磁性膜の上に保
護膜を形成し、前記保護膜表面を酸化させ、表面酸化層
を形成し、前記表面酸化層の上に極性基を有する潤滑剤
を塗布して潤滑膜を形成する事を特徴とする磁気記録媒
体の製造方法。 - （３）熱処理することにより表面酸化層を形成する請求
項第２項記載の磁気記録媒体の製造方法。 - （４）オゾンプラズマ処理することにより表面酸化層を
形成することを特徴とする請求項第２項記載の磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8656090A JPH03286425A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8656090A JPH03286425A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03286425A true JPH03286425A (ja) | 1991-12-17 |
Family
ID=13890401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8656090A Pending JPH03286425A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03286425A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9312141B2 (en) | 2013-11-21 | 2016-04-12 | HGST Netherlands B.V. | Vapor phase chemical mechanical polishing of magnetic recording disks |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP8656090A patent/JPH03286425A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9312141B2 (en) | 2013-11-21 | 2016-04-12 | HGST Netherlands B.V. | Vapor phase chemical mechanical polishing of magnetic recording disks |
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