JPH03269363A - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

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JPH03269363A
JPH03269363A JP6821190A JP6821190A JPH03269363A JP H03269363 A JPH03269363 A JP H03269363A JP 6821190 A JP6821190 A JP 6821190A JP 6821190 A JP6821190 A JP 6821190A JP H03269363 A JPH03269363 A JP H03269363A
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sensor
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diaphragm
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Shogo Asano
浅野 勝吾
Takashi Morikawa
森川 貴志
Hideki Matsumoto
英樹 松本
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、内燃機関を備えた自動車等の走行加速度を測
定または検出するための加速度センサに関するものであ
る。
(従来の技術) 第5図ないし第15図は、従来の加速度センサの構成を
示している。これらの図において、101は基台であり
、その表面中央部に位置決め穴102を有する環状突起
103が形成されている。104は振動板であり、その
中央部が基台101の環状突起103に溶接等の手段に
より固定されている。105は振動板104の上面に固
定されたセンサ出力用の圧電セラミック素子である。圧
電セラミック素子105は、第10図に示すように、中
心部に丸穴106を有するドーナツ状に形成され、表面
がセンサ出力用のプラス電極107と圧電素子駆動用の
プラス電極108とに環状に2分割されている。
圧電セラミック素子105は、その裏面全体のマイナス
電極109が、振動板104の中央部に形成された環状
ビード110の外周に丸穴106を嵌め込んだ状態で、
振動板104の表面に導通接着されている。
111は焦電キャンセル用の圧電セラミック素子であり
、第11図に示すように、圧電セラミック素子105の
プラス電極107と同じ面積で、同様に中心部に丸穴1
12を有しており、表面のプラス電極113と、裏面の
マイナス電極114とを有している。圧電セラミック素
子111は、表面のプラス電極113側を振動板104
の裏面に、その中央部に形成された環状ビード115の
外周に丸穴112を嵌め込んだ状態で導通接着されてい
る。
振動板104は、第12図および第13図に示すように
、金属円板に中心部に基台101の位置決め穴102と
同径の位置決め穴116を有し、その回りに同心円状に
環状ビード110および115が、それぞれ表面および
裏面に径を順次大きくして形成されている。
振動板104は、第14図および第15図に示すように
その周縁に上向きのフランジ117を形成して加速度セ
ンサの出力アップを図るようにしてもよい。
圧電セラミック素子105のプラス電極107と圧電セ
ラミック素子111のマイナス電極114は、それぞれ
リードフレーム118.119に半田120.121に
より接続され、絶縁埋込みリードビン122および回路
基板123を介してセンサ出力用リードビン124へと
接続されている。これは、周囲温度の影響を受けて焦電
現象によってセンサ出力用圧電セラミック素子105の
プラス電極107に発生した電荷をキャンセルする役目
を果たすものである。
125は圧電セラミック素子駆動用のリードピンであり
、リードフレーム126を介して圧電セラミック素子1
05のプラス電極108に半田127により接続されて
いる。128は回路基板123の電源供給用リードビン
であり、129はグランド用リードビンであり、それぞ
れ回路基板123に接続されている。
130、131は回路基板123を支持するための絶縁
埋込みリードビンである。回路基板123には、インピ
ーダンス変換回路や出力増幅回路、濾波回路等が設けら
れている。
リードビンのうち122.124.125.128.1
30゜131は、基台101に封着ガラス132等の手
段により絶縁ハーメチック固定され、グランド用リード
ビン129だけがロウ付は等の手段により導通接続され
ている。133は基台101の位置決め穴102を封着
するための封着ガラスである。電源の供給は、電源供給
用リードピン128およびグランド用リードビン129
を通じて行われる。
134はキャップであり、その周縁のフランジ135− 4− が基台101に全周にわたって抵抗溶接または冷間圧接
等の手段によって固定されている。これにより、圧電セ
ラミック素子105.111および回路基板123を内
蔵する空間部136が密閉されている。
このような構成からなる加速度センサは、基台101に
形成された取付穴137を介してボルト138およびワ
ッシャ139により自動車の車体等に取り付けて使用さ
れる。
次に上記従来例の動作について説明する。自動車等の走
行により発生した加速度は、基台101を介して振動板
104に伝えられ、振動板104に撓みを与える。振動
板104の撓みは、圧電セラミック素子105および1
11に引張力と圧縮力とを交互に与えるため、圧電セラ
ミック素子105および111に電荷が発生する。この
電荷は、回路基板123のインピーダンス変換回路で電
圧に変換され、必要な帯域および最適な出力レベルにな
るように濾波回路および増幅回路を通って出力され、セ
ンサ出力が得られる。
また、圧電セラミックは、温度変化に対しても同様に電
荷を発生する焦電現象を有するので、これを減少するた
めに、この加速度センサは圧電セラミック素子105お
よび111を互いに逆極性同士で接続してあり、発生電
荷がキャンセルされるようになっている。
また、自動車等に使用される加速度センサは、特に高い
精度および品質が要求されるので、確実に動作するかど
うかをコントローラ側でチエツクできるように、圧電セ
ラミック素子105のプラス電極がセンサ出力用の電極
107と素子駆動用の電極108とに2分割されており
、コントローラ側の発信回路から駆動用電極に適当な信
号を入力することにより、センサ出力用電極107にそ
れに対応した駆動出力が現われ、センサの故障診断がで
きるようになっている・ このように上記従来の加速度センサでも、自動車等にお
ける加速度の測定または検出を行うことができる。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記従来の加速度センサでは、圧電セラ
ミック素子105.111のそれぞれ一方の電極109
.113が基台101に導出されているため、基台10
1やキャップ134を介して、ノイズを拾いやすいとい
う欠点があった。また、従来の加速度センサを車体に取
り付けた場合、車体自体が拾ったノイズもセンサ特性に
影響を及ぼしやすいという欠点があった。
また、組み付は作業上において、各リードピン124、
125.128.129のそれぞれにハーネスを接続し
なければならず、組み付は作業が非常に面倒になるとい
う問題があった。
本発明は、このような従来の欠点を解決するものであり
、外部ノイズの影響を受けにくい加速度センサを提供す
ると共に、加速度センサとしての品質を低下させること
なく、使用にあたっての組み付は作業が非常に簡単な加
速度センサを提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段) 本発明は、上記目的を達成するため、圧電セラミック素
子の正、食面電極を基台から電気的に絶縁するというバ
ランスタイプの構造とすると共に、圧電セラミック素子
と回路基板部とを金属ケースで全面覆うことによって電
磁波などの外部ノイズをシールドする構成とし、さらに
、配線用コネクタと固定部とを一体成形として成る外部
ケースに組み付け、かつ外部への取付用の固定部を一体
成形した構造としたものである。
(作 用) 本発明によれば、加速度感知部である圧電セラミック素
子の正、食面電極が、基台から絶縁されているバランス
タイプ構造および全面金属シールド構造としているため
外部ノイズの影響を受けにくいという効果を有すると共
に、コネクタ一体構造としているために、相手方のコネ
クタを装着するだけで加速度センサ本体部との接続が完
了するので、使用に当たっての組み付は作業が極めて簡
単になる。さらに、外部への取付用の固定部を一体成形
しているのでネジ化めするだけで車輌への組み付けが完
了するので、車輌への取り付けが極めて簡単になる。
7− (実施例) 第1図は本発明の一実施例を示す加速度センサの平面図
、第2図は同加速度センサの1−1線に沿う断面図、第
3図は同加速度センサの■−■線に沿う断面図、第4図
(イ)、(口)は振動板の平面図及び断面図である。
これらの図に示す加速度センサのうち振動板1に成形さ
れている圧電セラミック素子2および3の位置決め用環
状突起4,5およびセンタ六6については従来例と同じ
であるため説明を省略する。
第1図ないし第4図において、7はサブ基台であり、そ
の表面のほぼ中央部に環状突起8を有する。サブ基台7
は、ターミナル9,10と共に基台11に一体成形され
ている。1はサブ基台7の環状突起8に固定された振動
板であり、その表面に、センサ出力用の圧電セラミック
素子2が固定され、その裏面に焦電キャンセル用の圧電
セラミック素子3が固定されている。圧電セラミック素
子2はその裏面のマイナス電極が振動板1の表面に導通
接着され、圧電セラミック素子3は、その表面プラス電
極が振動板1の裏面に導通接着されている。
圧電セラミック素子2のセンサ出力用プラス電極12と
圧電セラミック3のマイナス電極は、それぞれリードフ
レーム13. 14および回路基板15を介してセンサ
出力用ターミナル16へと接続されている。
17、 18はそれぞれリードフレーム13. 14と
圧電セラミック素子2および3との半田付は部を示す。
19は回路基板15の電源供給用ターミナル、20はグ
ランド用ターミナルであり、それぞれ回路基板15に接
続されている。ターミナル16, 19. 20は、い
ずれもコネクタ21に一体成形されている.22は回路
基板■5を支持するためのピンである。23は金属シー
ルドケースであり、コネクタ21および固定部24と一
体成形された外部ケース25および基台11と接着など
によって固定されている。26は金属シールドケース2
3に圧入固定され、外部ケース25と接着部27で接着
固定された上部ケースである。28は振動板lから切起
しで形成された端子であり、半田付は部29などの手段
によって、リードフレーム30に接続されている。
以上の構成から成る加速度センサは、固定部24と一体
成形された金属部31により補強されたネジ穴部32を
ネジ止めして車体に装着されることになる。
上記実施例における加速度センサ本体部の動作について
は、従来のものと同じである。すなわち、自動車等の走
行により発生した加速度は、外部ケース25.基台11
およびサブ基台7を介して振動板lに伝えられ、振動板
1に撓みを与える。振動板1の撓みは、圧電セラミック
素子2および3に引張力と圧縮力とを交互に与えるため
、圧電セラミック素子2および3に電荷が発生する。こ
の電荷は、回路基板15のインピーダンス変換回路で電
圧に変換され、必要な帯域および最適な出力レベルにな
るように濾波回路および増幅回路を通って出力され、セ
ンサ出力が得られる。
(発明の効果) 本発明は上記実施例から明らかなように、圧電セラミッ
ク素子の正、食面電極を基台から電気的に絶縁するとい
うバランス構造としていることおよび、圧電セラミック
素子と回路基板部とを金属ケースでシールドしているこ
とのために、センサ特性が外部ノイズの影響を受けにく
くなり、特性の安定した極めて信頼性の高い加速度セン
サを提供できるものである。
また、加速度センサにコネクタを一体化したので、組み
付は作業時には、このコネクタに対になった相手側のコ
ネクタを差し込むだけで接続ができ、組み付は作業が極
めて簡単になる。
さらに、センサの車輌への組み付けがセンサ固定部をネ
ジ止めするだけで完了するので極めて簡単になり、その
実用上の効果は大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における加速度センサの平面
図、第2図は同センサで第1図のI−I線に沿う断面図
、第3図は同センサで第1図および第2図に示す■−■
線に沿う断面図、第4図(イ)は同センサの振動板の平
面図、(ロ)は断面図、第5図は従来の加速度センサの
平面図、第6図は第5図のVl−VI線に沿う断面図、
第7図は第5図1− 12− の■−■線に沿う断面図、第8図は同センサにおける主
要部の平面図、第9図は同センサにおける主要部の正面
断面図、第10図は同センサにおけるセンサ出力用圧電
セラミック素子の平面図、第11図は同センサにおける
焦電キャンセル用圧電セラミック素子の平面図、第12
図は同センサにおける振動板の平面図、第13図は第1
2図に示す振動板の断面図、第14図は同センサにおけ
る振動板の別の例を示す平面図、第15図は第14図に
示す振動板の断面図である。 1 ・・・振動板、 2,3・・・圧電セラミック素子
、 4,5・・・位置決め用環状突起、6・・・センタ
穴、 7・・・サブ基台、 8・・・環状突起、9.1
0・・・ターミナル、11・・・基台、12・・・セン
サ出力用プラス電極、13.14.30・・・ リード
フレーム、15・・・回路基板、16・・・センサ出力
用ターミナル、17.18.29・・・半田付は部、1
9・・・電源供給用ターミナル、20・・・グランド用
ターミナル、 21・・・コネクタ、22・・・ピン、
23・・・金属シールドケース、24・・・固定部、2
5・・・外部ケース、26・・・上部ケース、27・・
・接着部、28端子、31・・・金属部、32・・・ネ
ジ穴部。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)加速度センサにおいて、樹脂を介して基台に固定
    したサブ基台により振動板を電気的に基台から絶縁せし
    め、圧電素子、回路基板を金属ケースによってシールド
    し、この金属ケースを包含する形状で配線コネクタを一
    体成形した外部ケースをもつことを特徴とする加速度セ
    ンサ。
  2. (2)外部への取付用の固定部を一体成形してなること
    を特徴とする請求項(1)記載の加速度センサ。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49125075A (ja) * 1973-03-09 1974-11-29
JPS61259174A (ja) * 1985-05-14 1986-11-17 Nissan Motor Co Ltd 力学量センサ
JPS63181917U (ja) * 1987-05-15 1988-11-24
JPH01197661A (ja) * 1988-02-02 1989-08-09 Tdk Corp 加速度センサ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49125075A (ja) * 1973-03-09 1974-11-29
JPS61259174A (ja) * 1985-05-14 1986-11-17 Nissan Motor Co Ltd 力学量センサ
JPS63181917U (ja) * 1987-05-15 1988-11-24
JPH01197661A (ja) * 1988-02-02 1989-08-09 Tdk Corp 加速度センサ

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