JPH03268308A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH03268308A JPH03268308A JP6693990A JP6693990A JPH03268308A JP H03268308 A JPH03268308 A JP H03268308A JP 6693990 A JP6693990 A JP 6693990A JP 6693990 A JP6693990 A JP 6693990A JP H03268308 A JPH03268308 A JP H03268308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- substratum
- magnetic recording
- recording medium
- feco
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims 1
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 abstract description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 6
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000979 O alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000011120 plywood Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は垂直磁気記録媒体に関する。
［従来の技術］
近年、磁気記録の高密度化の要求にともない磁性層が磁
性材料のみによって形成される。いわゆる連続磁性薄膜
媒体（以下、連続媒体と呼ぶ）の研究が盛んになってき
た。
性材料のみによって形成される。いわゆる連続磁性薄膜
媒体（以下、連続媒体と呼ぶ）の研究が盛んになってき
た。
真空蒸着法、スパッタ法、あるいはメツキ法によって作
製される連続媒体は、磁性層が連続薄膜であるために長
手記録は無線のこと、垂直磁気記録方式に於いて特に記
録密度の飛躍的向上が期待されており、各種磁気テープ
あるいはディスク状磁気記録媒体等様々な製品形態への
応用開発が進められている。
製される連続媒体は、磁性層が連続薄膜であるために長
手記録は無線のこと、垂直磁気記録方式に於いて特に記
録密度の飛躍的向上が期待されており、各種磁気テープ
あるいはディスク状磁気記録媒体等様々な製品形態への
応用開発が進められている。
一方、最近のフロッピーディスクの小型化の要請ととも
に、磁気記録技術の向上によって、テレビ信号の１画面
分を表示するのに要する時間にあたる１／６０秒の周期
で回転させながら静止画の映像信号を記録する。いわゆ
る２″スチルビデオ用フロツピーデイスク（以下Ｓｖ用
ＦＤ）が登場した。
に、磁気記録技術の向上によって、テレビ信号の１画面
分を表示するのに要する時間にあたる１／６０秒の周期
で回転させながら静止画の映像信号を記録する。いわゆ
る２″スチルビデオ用フロツピーデイスク（以下Ｓｖ用
ＦＤ）が登場した。
この２″Ｓｖ用ＦＤに記録される映像信号は。
原理的にはＶＴＲに使用されているものと同じであり、
低周波数領域に色信号を、高周波領域に輝度信号を記録
している。
低周波数領域に色信号を、高周波領域に輝度信号を記録
している。
しかしながら、静止画であるＳｖは、動きのあるＶＴＲ
に比べ高い画質が要求されるため、記録帯域をＶＴＲよ
りも広く設定し、水平解像度を標準のベータＶＴＲの２
４０本に対して標準Ｓ■は３５７本となっている。さら
にＶＴＲ，ＳＶともに高画質化の要求は高くノ＼イバン
ド化が進められ。
に比べ高い画質が要求されるため、記録帯域をＶＴＲよ
りも広く設定し、水平解像度を標準のベータＶＴＲの２
４０本に対して標準Ｓ■は３５７本となっている。さら
にＶＴＲ，ＳＶともに高画質化の要求は高くノ＼イバン
ド化が進められ。
ＥＤベータＶＴＲとハイバンドＳＶが商品化されている
。
。
しかしながら、ＥＤベータＶＴＲの水平解像度は５６０
本であるのに対し、ハイバンドＳｖは５２０本とほぼ同
程度の解像度しか得られていない。
本であるのに対し、ハイバンドＳｖは５２０本とほぼ同
程度の解像度しか得られていない。
従って、さらに飛躍的な画質の向上を図るため。
２°Ｓｖ用ＦＤにスパッタリング法により作製された垂
直磁気記録媒体の採用が検討されている。
直磁気記録媒体の採用が検討されている。
ここで高画質ＳＶシステムを垂直磁気記録媒体で行う場
合において、従来の標準ＳＶシステムおよびハイバンド
ＳＶシステムに対して下位互換性をとることを考えた場
合、デジタル記録などの人きな記録方式の変更を行わず
９色信号および輝度信号の記録帯域のみ更に広くした高
画質化の方法が考えられる。
合において、従来の標準ＳＶシステムおよびハイバンド
ＳＶシステムに対して下位互換性をとることを考えた場
合、デジタル記録などの人きな記録方式の変更を行わず
９色信号および輝度信号の記録帯域のみ更に広くした高
画質化の方法が考えられる。
ところが、垂直磁気記録媒体の記録特性として。
非常に高い記録密度まで記録再生ができる反面。
低記録密度での再生出力が低いため、従来のＳＶ用映像
信号をそのまま記録再生した場合１色信号のＣ／Ｎが足
りず、下位互換性がとれないという欠点があった。
信号をそのまま記録再生した場合１色信号のＣ／Ｎが足
りず、下位互換性がとれないという欠点があった。
このため、ＣｏＣｒ合金、又はＣｏ及びＣｒを主成分と
し耐久性向上や垂直配向性向上のためにＷ、Ｔａ、Ｍｏ
などを添加した合金からなるた垂直記録層と、ベースフ
ィルムとの間にＦｅＣｏからなる下地層を設けて特に低
周波数領域の再生出力を向上させる方法がとられている
。
し耐久性向上や垂直配向性向上のためにＷ、Ｔａ、Ｍｏ
などを添加した合金からなるた垂直記録層と、ベースフ
ィルムとの間にＦｅＣｏからなる下地層を設けて特に低
周波数領域の再生出力を向上させる方法がとられている
。
その効果は、第４図の記録周波数特性に示すように、Ｃ
ｏＣｒ層のみによって形成される垂直媒体に対し、すべ
ての周波数に渡って６ｄＢ程度再生出力が向上する。
ｏＣｒ層のみによって形成される垂直媒体に対し、すべ
ての周波数に渡って６ｄＢ程度再生出力が向上する。
ここで、ＦｅＣｏ膜の組成比は、はぼ５０νｔ％ずつで
あり、この比率にすることにより異方性エネルギーをほ
ぼ０にすることができるため、 Ｃ。
あり、この比率にすることにより異方性エネルギーをほ
ぼ０にすることができるため、 Ｃ。
Ｃｒｍの応力に対しても、磁気特性の劣化を防ぐことが
できる。
できる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上述した合金下地層に用いられるＦｅＣ
ｏ合金は耐食性に乏しく、従って磁気記録媒体の再生出
力や耐久性に経時的な劣化が起こり、実用化への大きな
障嘗となっていた。
ｏ合金は耐食性に乏しく、従って磁気記録媒体の再生出
力や耐久性に経時的な劣化が起こり、実用化への大きな
障嘗となっていた。
そこで１本発明の技術的課題は１合金下地層のＦｅＣｏ
の耐食性を改善し、再生出力や耐久性のすぐれた垂直磁
気記録媒体を提供することにある。
の耐食性を改善し、再生出力や耐久性のすぐれた垂直磁
気記録媒体を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は、支持基板と合金下地層と垂直磁気記録用の合
金薄膜とを備え垂直磁気記録媒体に関する。
金薄膜とを備え垂直磁気記録媒体に関する。
ここで、支持基板はガラス等のディスクや高分子フィル
ム等から形成されている。一方、この支持基板上には、
蒸着法、イオンブレーティング法。
ム等から形成されている。一方、この支持基板上には、
蒸着法、イオンブレーティング法。
スパッタリング法、メツキ法などにより合金下地層が形
成されている。
成されている。
更に、この合板下地層上には、ＣｏＣｒ合金又はＣｏ及
びＣ「を主成分とし、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏを添加元素として
含む合金からなる垂直記録用の合金薄膜が形成されてい
る。
びＣ「を主成分とし、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏを添加元素として
含む合金からなる垂直記録用の合金薄膜が形成されてい
る。
本発明は従来の合金下地層の耐食性が乏しいことによる
技術的課題を解決するために、この合金下地層を重量％
でＣｒｘ （Ｆｅ−Ｃｏ） １ｏｏ−ｘ（但し、５≦ｘ
＜２０ （νｔ％））で表わされる組成の合金としたこ
とを特徴としている。
技術的課題を解決するために、この合金下地層を重量％
でＣｒｘ （Ｆｅ−Ｃｏ） １ｏｏ−ｘ（但し、５≦ｘ
＜２０ （νｔ％））で表わされる組成の合金としたこ
とを特徴としている。
［実施例〕
本発明の実施例を図面を参照して説明する。
（合金下地層の特性）
ＦｅＣｏ系下地層の耐食性についての評価は。
ポリイミドフィルム支持基板上にＦｅＣｏ系スパッタ膜
を形成し、そのまま温度６０℃湿度９０％の高温高湿環
境で７２時間放置し、その後に密着強度と静磁気特性に
ついて評価を行った。
を形成し、そのまま温度６０℃湿度９０％の高温高湿環
境で７２時間放置し、その後に密着強度と静磁気特性に
ついて評価を行った。
ここで、ＦｅＣｏ系下地層の組成は、スパッタリングタ
ーゲットの組成により調整し、Ｆｅ：Ｃｏの組成比は１
：１のままて、Ｃｒの含有量を変化させた。
ーゲットの組成により調整し、Ｆｅ：Ｃｏの組成比は１
：１のままて、Ｃｒの含有量を変化させた。
即ち、Ｃｒの組成比を０〜４０［ｗｔ％］とし。
残りを１．１のＦｅ：Ｃｏとしｔ二。
密着強度の試験方法として、あらかしめＦｅＣ０系下地
膜に基盤の目にナイフで傷を付けておき。
膜に基盤の目にナイフで傷を付けておき。
粘着テープによる剥離試験を行い、薄膜が剥離するとき
の最小荷重を測定した。
の最小荷重を測定した。
また、静磁気特性の測定はＶＳＭにより行った。
第１図はＦｅＣｏ系下地層の高温高湿環境に放置する前
と後における密着強度の試験結果を示す図である。
と後における密着強度の試験結果を示す図である。
第１図に示すように、Ｃｒが含まれていないＦｅＣｏ下
地層は高温高湿環境に放置されることにより大幅に密着
強度が低下することが分かる。
地層は高温高湿環境に放置されることにより大幅に密着
強度が低下することが分かる。
一方、Ｃｒを含んだＦｅＣｏ下地層は＋ ５ｗｔ９６
までＣ「の組成比が増加するにしたがって高温高湿環境
に放置する前の密着強度に近づき、５νｔ％で放置前と
変わらなくなる。
までＣ「の組成比が増加するにしたがって高温高湿環境
に放置する前の密着強度に近づき、５νｔ％で放置前と
変わらなくなる。
第２図は高温高湿環境試験の前後でのＦｅＣ。
系下地層の飽和磁化とＨｃの測定結果を示す図である。
第２図に示すように、密着強度の試験と同様にＣｒを含
まないＦｅＣｏ下地層は高温高湿環境に放置することで
飽和磁化モーメントおよびＨｃは減少する。
まないＦｅＣｏ下地層は高温高湿環境に放置することで
飽和磁化モーメントおよびＨｃは減少する。
また、Ｃｒの組成比が５ｗｔ％以上になると飽和磁化、
Ｈｃともにほとんど変化しなくなった。
Ｈｃともにほとんど変化しなくなった。
従って、Ｃｒの組成比は５ｗｔ％以上あればよいことが
分かるが、Ｃｒの組成比が多くなるにしたがって飽和磁
化モーメントが減少するため、再生出力の増大に対する
効果が低下するため、２０νｔ％以下であることが望ま
しい。
分かるが、Ｃｒの組成比が多くなるにしたがって飽和磁
化モーメントが減少するため、再生出力の増大に対する
効果が低下するため、２０νｔ％以下であることが望ま
しい。
（垂直磁気記録媒体の特性）
厚さ３０μ−のポリイミドフィルム支持基板上に、Ｆｅ
：Ｃｏ：Ｃｒ＝４５：４５：１０ （ｗｔ％）として組
成比のＦｅＣｏ系下地層をスパッタリング法により形成
した。
：Ｃｏ：Ｃｒ＝４５：４５：１０ （ｗｔ％）として組
成比のＦｅＣｏ系下地層をスパッタリング法により形成
した。
このときのスバ・ツタ圧力１ ［ｗＴｏｒｒｌ 、 ス
バ・ツタパワー２００［Ｗコとし、膜厚を１００［Ａコ
とした。
バ・ツタパワー２００［Ｗコとし、膜厚を１００［Ａコ
とした。
その後、ＣｏＣｒ膜をスパッタ圧力１ ［ａ＋Ｔｏｒｒ
ｌ 。
ｌ 。
スパッタパワー５００［Ｗコ、膜厚０．２［μｍ］の条
件で形成し、更にその上に酸化物系の保護膜を１００［
Ａ］影形成て２インチサイズに打ち抜き２’ＳＶ用ＦＤ
とした（実施例）。
件で形成し、更にその上に酸化物系の保護膜を１００［
Ａ］影形成て２インチサイズに打ち抜き２’ＳＶ用ＦＤ
とした（実施例）。
比較のために、ＦｅＣｏ系下地層の組成をＦｅ：Ｃｏ：
Ｃｒ−４５：４５：１０ （ｗｔ％）として２５として
２”ＳＶ用ＦＤとした（比較例）。
Ｃｒ−４５：４５：１０ （ｗｔ％）として２５として
２”ＳＶ用ＦＤとした（比較例）。
実施例および比較例について、６０℃；９０％の環境に
１週間放置という高温高湿環境試験を行い、その前後で
の９ ［ＭＨｚ］における再生出力の変化を測定した結
果を第３図に示す。
１週間放置という高温高湿環境試験を行い、その前後で
の９ ［ＭＨｚ］における再生出力の変化を測定した結
果を第３図に示す。
第３図において、比較例では再生出力が３０％低下して
いるのに対し、実施例では再生出力の低下は見られない
。
いるのに対し、実施例では再生出力の低下は見られない
。
また、 ９ ［ＭＨｚ］における再生出力の測定を行
った後、室温２０℃；湿度５０％の環境でバスウェア耐
久試験を行った。
った後、室温２０℃；湿度５０％の環境でバスウェア耐
久試験を行った。
その結果、比較例は１０分後スクラッチが入りＣｏＣｒ
の磁性層が剥離したが、実施例は１時間後でもスクラッ
チも入らず再生出力も低下していなかった。
の磁性層が剥離したが、実施例は１時間後でもスクラッ
チも入らず再生出力も低下していなかった。
［発明の効果］
以上述べたように１本発明によれば耐食性に優れ、再生
出力に経時変化のないＦｅＣｏ系下地層を持つ垂直磁気
記録媒体か得られる。
出力に経時変化のないＦｅＣｏ系下地層を持つ垂直磁気
記録媒体か得られる。
第１図は合金下地層の環境試験前後の密着強度を評価し
た結果を示す図である。 第２図は合金下地層の環境試験前後の静磁気特性を評価
した結果を示す図である。 第３図は本発明の実施例と比較例により環境試験前後の
再生出力を比較した結果を示す図である。 第４図は従来の磁気記録媒体においてＦｅＣ。 系下地層を設置した時と設置しない時の記録周波数特性
を示す図である。 第１ 図 ｃｒの組成北Ｃｗｔ％〕 再午出力 〔相対値（９ＭＨ７）〕 第２図 Ｃｒの組成比 Ｃｗｔ ％） 第４図 記録同波数［：ＭＨ，＝］
た結果を示す図である。 第２図は合金下地層の環境試験前後の静磁気特性を評価
した結果を示す図である。 第３図は本発明の実施例と比較例により環境試験前後の
再生出力を比較した結果を示す図である。 第４図は従来の磁気記録媒体においてＦｅＣ。 系下地層を設置した時と設置しない時の記録周波数特性
を示す図である。 第１ 図 ｃｒの組成北Ｃｗｔ％〕 再午出力 〔相対値（９ＭＨ７）〕 第２図 Ｃｒの組成比 Ｃｗｔ ％） 第４図 記録同波数［：ＭＨ，＝］
Claims (1)
- １．支持基板上に形成された合金下地層の上にＣｏＣｒ
合金，又はＣｏ，Ｃｒを主成分とし，Ｗ，Ｔａ，Ｍｏを
添加元素として含む合金からなる垂直磁気記録用の合金
薄膜を形成してなる垂直磁気記録媒体において，前記合
金下地層は，重量％でＣｒ＿ｘ（Ｆｅ・Ｃｏ）＿１＿０
＿０＿−＿ｘ（但し，５≦Ｘ＜２０ｗｔ％）で表わされ
る組成の合金からなることを特徴とする垂直磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6693990A JPH03268308A (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6693990A JPH03268308A (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03268308A true JPH03268308A (ja) | 1991-11-29 |
Family
ID=13330478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6693990A Pending JPH03268308A (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03268308A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8313848B2 (en) | 2005-03-02 | 2012-11-20 | Seagate Technology Llc | Perpendicular media with Cr-doped Fe-alloy containing soft underlayer (SUL) |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP6693990A patent/JPH03268308A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8313848B2 (en) | 2005-03-02 | 2012-11-20 | Seagate Technology Llc | Perpendicular media with Cr-doped Fe-alloy containing soft underlayer (SUL) |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4789598A (en) | Thin film medium for horizontal magnetic recording having an improved cobalt-based alloy magnetic layer | |
| JP3099790B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH0714142A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JPH09212855A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気ヘッド並びにこれらを用いた磁気記録再生装置 | |
| JP2513893B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS63237210A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH03268308A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH10228620A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US6045931A (en) | Magnetic recording medium comprising a cobalt-samarium magnetic alloy layer and method | |
| JP2836779B2 (ja) | コバルト系磁性合金及び磁気記録用磁性合金薄膜材料 | |
| JP3200787B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| US5266418A (en) | Magnetic recording medium | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| KR890004255B1 (ko) | 자기 기록 매체 | |
| JPS5868234A (ja) | 複合磁気記録媒体 | |
| JP2715783B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2527618B2 (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH053655B2 (ja) | ||
| JPS6387612A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH01208720A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6037528B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造法 | |
| JPH03154222A (ja) | 磁気記録体 | |
| JPS6087436A (ja) | 磁気記録フレキシブルデイスク | |
| JPS61113124A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05189740A (ja) | 磁気記録媒体 |