JPH03267326A - アモルファス合金粉末製焼結体の製造方法 - Google Patents

アモルファス合金粉末製焼結体の製造方法

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JPH03267326A
JPH03267326A JP6670790A JP6670790A JPH03267326A JP H03267326 A JPH03267326 A JP H03267326A JP 6670790 A JP6670790 A JP 6670790A JP 6670790 A JP6670790 A JP 6670790A JP H03267326 A JPH03267326 A JP H03267326A
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JP
Japan
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sintered body
amorphous alloy
alloy powder
capsule
temperature
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Pending
Application number
JP6670790A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Kimura
博 木村
Kazuhisa Toda
一寿 戸田
Tsutomu Tadane
勉 唯根
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Koyo Seiko Co Ltd
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、たとえば電動式パワーステアリング装置の
トルクセンサなどの磁気部品を製造するのに適したアモ
ルファス合金粉末製焼結体を製造する方法に関する。
従来の技術と発明の課題 電動式パワーステアリング装置のトルクセンサとして、
アモルファス合金よりなるものが考えられている。そし
て、トルクセンサなどの磁気部品の性能を高めるために
は、焼結体の空孔率を低く、換言すれば密度を高める必
要があることが分かっている。焼結体の空孔率が高いと
、磁気特性の温度依存性が高くなり、磁気特性の安定性
を損なう。しかも、焼結体の密度が低いと、強度が不足
して機械加工ができないという問題がある。
従来、アモルファス合金粉末製焼結体は、液体急冷法に
よりつくられた急冷凝固アモルファス合金粉末を用いて
のホットプレス法、圧延法、熱間押出法、爆発成形法な
どにより製造されている。しかしながら、ホットプレス
法の場合には、製造される焼結体の密度比が98.5%
程度であって高密度の焼結体を得ることができず、しか
も負荷応力が不均一のため形成された焼結体の密度にば
らつきがあるという問題がある。
圧延法および熱間押出法の場合には、高密度のものが得
られるが、厚さが5I[1II1以上、あるいは直径が
10mm以上の大型の焼結体をつくることができないと
いう問題がある。しかも、負荷応力が不均一のため形成
された焼結体の密度にばらつきがあるという問題がある
。爆発成形の場合には、大型の焼結体を形成すると、ク
ラックか発生するという問題がある。さらに、高密度の
焼結体を製造するのに適した粉末冶金法である熱間等方
圧プレス(HI P)によって焼結体を製造することも
考えられるが、急冷凝固アモルファス合金粉末の表面に
は、酸化皮膜が形成されているため、焼結体を製造する
ことができないという問題がある。その結果トルクセン
サのような磁気部品をつくるのに適するとともに、加工
を施すのに適した高密度の焼結体を得ることができない
という問題がある。
この発明の目的は、上記問題を解決したアモルファス合
金粉末製焼結体の製造方法を提供することにある。
課題を解決するだめの手段 この発明によるアモルファス合金粉末製焼結体の製造方
法は、 メカニカルアロイング法やメカニカルグライディング法
により製造されたアモルファス合金粉末を、内部が真空
となされたカプセル中に封入し、結晶化温度よりも10
0℃低い温度以上でかつ結晶化温度以下の温度に加熱し
、上記温度範囲において熱間等方圧プレスにより、アモ
ルファス合金が結晶化しない時間で圧縮成形することを
特徴とするものである。
上記において、メカニカルアロイング法またはメカニカ
ルグライディング法は、たとえばボールミルのような装
置を用いて行うものである。
すなわち、アモルファス合金を構成する金属の混合粉末
や合金粉末をミルの容器内に入れ、不活性ガス雰囲気中
または真空雰囲気中で、アジテータを所定時間回転させ
ることによりアモルファス合金粉末を得ることができる
。このメカニカルアロイング法やメカニカルグライディ
ング法は、上述のように不活性ガス雰囲気中または真空
雰囲気中で行われるとともに、破壊と冷間圧接との繰返
により粉末表面が常に新表面となされるので、これらの
方法により製造されたアモルファス合金粉末の表面には
酸化皮膜が存在しない。
内部が真空となされたカプセル中に封入し、HIPを行
うのは、カプセル中が真空となされていないと、焼結が
困難となるからである。カプセル中の真空度は10−3
Torr以下であるのかよい。
成形温度まで加熱するさいの昇温速度は5℃/分以上で
速ければ速いほど好ましい。
成形温度および時間は、予めアモルファス合金粉末を加
圧した場合の成形温度と結晶化時間との関係を求めてお
き、その結果から結晶化を起こさない条件を決定する。
たとえば、Co795N b 15Zr 5.5の場合
、上記成形温度と結晶化時間との関係は、第1図に示す
グラフのようになる。第1図のグラフにおいて、実線(
A)より下方の部分が、アモルファスの領域で、上方の
部分が結晶の領域である。また、成形温度の下限を結晶
化温度よりも100℃低い温度としたのは、この温度以
上であれば粘性流動を起こすからである。この下限温度
を図面に破線(B)で示す。また、成形終了まで一定温
度に保持しておいてもよいし、あるいは上記温度範囲で
あれば、一定でなくてもよい。
また、この発明の方法は、Ni−Ti、TiAΩ、Nb
−3nSBi−3r−Ca−Cuなどのアモルファス合
金にも適用できる。この中で、たとえばN i 5oT
i 5゜の場合、上記成形温度と結晶化時間との関係は
、第2図に示すグラフのようになる。第2図のグラフに
おいて、実線(A1)より下方の部分が、アモルファス
の領域で、上方の部分が結晶の領域である。また、成形
温度の下限温度を図面に破線(Bl)で示す。
なお、上記のようにして製造された焼結体を、さらに結
晶化しない温度で圧縮成形してもよい。
この場合、アモルファス合金の結晶化を促進させること
なく、焼結体の密度を高めることができる。
発明の効果 この発明の方法によれば、メカニカルアロイング法やメ
カニカルグライディング法により製造されたアモルファ
ス合金粉末を使用するので、該アモルファス合金粉末の
表面には酸化皮膜が存在せず、しかもHIPにより、上
記アモルファス合金粉末に、圧力を等方的に加えること
ができるので、高密度でかつ密度の均一な大型の焼結体
が得られる。また、この発明の方法によればアモルファ
ス合金の結晶化が防止される。
したがって、この発明の方法で製造された焼結体は、従
来のものよりも高密度で、しかもアモルファス状態に保
たれることとなり、電動式パワーステアリング装置のト
ルクセンサのような磁気部品として高性能のものを製造
することが可能となる。さらに、得られた焼結体が高密
度であるから、その強度が大きくなり、機械加工を施す
ことが可能となる。
実  施  例 以下、この発明の実施例を比較例とともに説明する。
実施例1 平均粒径50μmのCo粉末と、平均粒径45μmのN
b粉末と、平均粒径40umのZr粉末とを、Co7e
、Nb15Z rs、sの原子量割合となるように混合
し、得られた混合粉末を、メディア撹拌型ボールミルを
用いてメカニカルアロイング法やメカニカルグライディ
ング法によりアモルファス化し、アモルファス合金粉末
をつくった。ついで、このアモルファス合金粉末を、A
rガス雰囲気中で一端が閉鎖された内径29mmのステ
ンレスバイブ内に、パイプ内容積の80%程度充填し、
粉末の充填密度を高めるために150℃で振動を与えた
。その後、パイプ内部から真空脱気しながらパイプの他
端開口を閉鎖してカプセル封入した。カプセル内部の真
空度は10−6Torrであった。そして、昇温速度1
3℃/分で565℃まで加熱し、この温度に保持してH
IPにより、時間30分、Arガス圧20 kg/ m
m2の条件でアモルファス合金粉末を圧縮成形し、直径
28mm、長さ2On+mの焼結体を製造した。
このようにして製造された焼結体の密度比を測定したと
ころ、99.9%であった。また、この焼結体にデイフ
ラクトメータを用いてX線回折を施したところ、アモル
ファス状態が保たれていた。
実施例2 上記実施例1と同様にして得られたアモルファス合金粉
末を、Arガス雰囲気中で一端が閉鎖された内径10+
nmのCuバイブ内に、パイプ内容積の80%程度充填
し、粉末の充填密度を高めるために150℃で振動を与
えた。その後、パイプ内部から真空脱気しながらバイブ
の他端開口を閉鎖してカプセル封入した。カプセル内部
の真空度は10−5Torrであった。そして、昇温速
度13℃/分で580℃まで加熱し、この温度に保持し
てHIPにより、時間5分、Arガス圧20 kg/ 
■2の条件でアモルファス合金粉末を圧縮成形し、直径
9■、長さ100■の焼結体を製造した。
このようにして製造された焼結体にはワイヤ放電加工を
施してリング状に成形することが可能であった。また、
この焼結体にデイフラクトメータを用いてX線回折を施
したところ、アモルファス状態が保たれていた。
実施例3 平均粒径45μmのNb粉末と、平均粒径40μmのS
n粉末とを、Nb、Snの原子量割合となるように混合
し、得られた混合粉末を、メディア撹拌型ボールミルを
用いてメカニカルアロイング法やメカニカルグライディ
ング法によりアモルファス化し、アモルファス合金粉末
をつくった。ついで、このアモルファス合金粉末を、A
rガス雰囲気中で一端が閉鎖された内径IC1mのステ
ンレスパイプ内に、パイプ内容積の80%程度充填し、
粉末の充填密度を高めるために150℃で振動を与えた
。その後、パイプ内部から真空脱気しながらバイブの他
端開口を閉鎖してカプセル封入した。カプセル内部の真
空度は10−’Torrであった。そして、昇温速度1
3℃/分で1000℃まで加熱し、この温度に保持して
HIPにより、時間10分、Arガス圧20 kg/ 
mm2の条件でアモルファス合金粉末を圧縮成形し、直
径9 wmx長さ110C1の焼結体を製造した。
このようにして製造された焼結体にはワイヤ放電加工を
施してリング状に成形することが可能であった。また、
この焼結体にデイフラクトメータを用いてX線回折を施
したところ、アモルファス状態が保たれていた。
【図面の簡単な説明】
第1図はCO79,5N b +sZ r s、sアモ
ルファス合金粉末をHIPにより加圧するさいの成形温
度と結晶化時間との関係を示すグラフ、第2図はN i
 5oT j soアモルファス合金粉末をHIPによ
り加圧するさいの成形温度と結晶化時間との関係を示す
グラフである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. メカニカルアロイング法やメカニカルグライディング法
    により製造されたアモルファス合金粉末を、内部が真空
    となされたカプセル中に封入し、結晶化温度よりも10
    0℃低い温度以上でかつ結晶化温度以下の温度範囲に加
    熱し、上記温度範囲において熱間等方圧プレスにより、
    アモルファス合金が結晶化しない時間で圧縮成形するこ
    とを特徴とするアモルファス合金粉末製焼結体の製造方
    法。
JP6670790A 1990-03-15 1990-03-15 アモルファス合金粉末製焼結体の製造方法 Pending JPH03267326A (ja)

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