JPH03261382A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH03261382A JPH03261382A JP2058777A JP5877790A JPH03261382A JP H03261382 A JPH03261382 A JP H03261382A JP 2058777 A JP2058777 A JP 2058777A JP 5877790 A JP5877790 A JP 5877790A JP H03261382 A JPH03261382 A JP H03261382A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- vibration
- piezoelectric elements
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 1
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、圧電素子の振動を利用した圧電アクチュエー
タに関する。
タに関する。
（従来の技術）
圧電素子は、小形化、低電圧駆動化、大変位。
大発生力が望まれている。
積層圧電アクチュエータは、前述の小形化。
低電圧駆動化、大変位化を実現し、角柱圧電素子、スタ
ック形圧電素子に代わるものとして注目されている。
ック形圧電素子に代わるものとして注目されている。
一方、平板構造の圧電アクチュエータは、バイモルフと
呼ばれる圧電アクチュエータが主流で種々の改良が行わ
れている。
呼ばれる圧電アクチュエータが主流で種々の改良が行わ
れている。
積層圧電アクチュエータは縦方向の伸縮振動を、バイモ
ルフは屈曲振動を行うもので、前述の小形化、低電圧化
、大変位の他に異なる七ドの振動や多重振動の実現が望
まれている。
ルフは屈曲振動を行うもので、前述の小形化、低電圧化
、大変位の他に異なる七ドの振動や多重振動の実現が望
まれている。
（発明が解決しようとする課題）
この発明は、弾性進行波を用いずに定在波を用いること
によって平面部に複数の屈曲モードの振動を効率よく発
生させ、設計の自由度が高く、安定で出力効率のよい圧
電アクチュエータを提供するものである。
によって平面部に複数の屈曲モードの振動を効率よく発
生させ、設計の自由度が高く、安定で出力効率のよい圧
電アクチュエータを提供するものである。
［発明の構成］
（ｉ！題を解決するための手段）
この発明になる圧電アクチュエータは、振動板に圧電素
子を所定の間隔で複数個並べて配列固着して、圧電素子
と圧電素子の間に圧電素子に沿って不連続部を有するス
リットを振動板に設けてなるもので、この不連続部を振
動板の節となるような位置に設けた構成からなるもので
ある。
子を所定の間隔で複数個並べて配列固着して、圧電素子
と圧電素子の間に圧電素子に沿って不連続部を有するス
リットを振動板に設けてなるもので、この不連続部を振
動板の節となるような位置に設けた構成からなるもので
ある。
（作用）
この発明になる圧電アクチュエータは、定在波を用いて
いるので、振動板に固着配列された圧電素子が効率よく
振動し、振動板上に多数の屈曲モードの振動を発生させ
ることができるものである。
いるので、振動板に固着配列された圧電素子が効率よく
振動し、振動板上に多数の屈曲モードの振動を発生させ
ることができるものである。
（実施例）
実施例１
第１図は本発明の実施例を示す圧電アクチュエータの底
面からの斜視図である。１は振動板で平板圧電素子２ａ
、２ｂ、２ｃが固着されており、スリット３が不３１統
部４を挟んで振動板１の端面より平板圧電素子２ａ、２
ｂ、２ｃに沿い、平板圧電素子２ａ、２ｂ、２ｃの間に
設けられている。５は振動板１を固定するためのビス穴
である。
面からの斜視図である。１は振動板で平板圧電素子２ａ
、２ｂ、２ｃが固着されており、スリット３が不３１統
部４を挟んで振動板１の端面より平板圧電素子２ａ、２
ｂ、２ｃに沿い、平板圧電素子２ａ、２ｂ、２ｃの間に
設けられている。５は振動板１を固定するためのビス穴
である。
このような圧電アクチユエータは、第２図に示すように
屈曲振動を行い、節６が存在する。
屈曲振動を行い、節６が存在する。
前記不連続部４は節６と一致するように設けられている
。
。
第３図にこの圧電アクチュエータの振動の様子を示すが
、■で示した部分が正方向に変位するとき、ｅで示した
部分が負方向に変位する。
、■で示した部分が正方向に変位するとき、ｅで示した
部分が負方向に変位する。
次の瞬間、■で示した部分が負方向に、Ｏで示した部分
が正方向に変位する。このような動作を連続的に行い、
振動板１は振動を行う。
が正方向に変位する。このような動作を連続的に行い、
振動板１は振動を行う。
Ｋ皇旦λ
第４図は本発明の他の実施例を示す圧電アクチュエータ
の振動板１１の斜視図である。スリット１３は振動板１
１の面内に設けられている。
の振動板１１の斜視図である。スリット１３は振動板１
１の面内に設けられている。
第５図はこの圧電アクチュエータの屈曲振動の状態を示
すもので、圧電素子１２により点線で示すような振動が
発生する。
すもので、圧電素子１２により点線で示すような振動が
発生する。
実施例３
第６図は第１図に示した実施例における振動板１の両端
面に第２の圧電素子７ａ、７ｂ。
面に第２の圧電素子７ａ、７ｂ。
７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆを固Ｉ Ｌ、 ｔｃ例ヲ示シタ
ものである。振動板１は前記第２図と同じ屈曲振動を行
い、節６が存在し不連続部４は節６と一致するように設
けられている。
ものである。振動板１は前記第２図と同じ屈曲振動を行
い、節６が存在し不連続部４は節６と一致するように設
けられている。
このような圧電アクチュエータの駆動方法は、圧電素子
２ｂに圧電素子２ａ、２ｃとは逆位相の屈曲振動を与え
、第２の圧電素子７ａ、７ｂ。
２ｂに圧電素子２ａ、２ｃとは逆位相の屈曲振動を与え
、第２の圧電素子７ａ、７ｂ。
７Ｃに第２の圧電素子７ｄ、７ｅ、７ｆとは逆位相の縦
振動を与え、更に第２の圧電素子７ｂ。
振動を与え、更に第２の圧電素子７ｂ。
７ｅには第２の圧電素子７ａ、７ｃ、７ｄ。
７ｆとは逆位相の縦振動を与える。
この結果、振動板１上に楕円振動あるいは斜めの振動を
発生させ、振動板上に加圧接触させたスライダを移動さ
せることができるものである。
発生させ、振動板上に加圧接触させたスライダを移動さ
せることができるものである。
実施例４
第７図は前記実施例３に示した実施例の変形例を示す圧
電アクチュエータの斜視図である。
電アクチュエータの斜視図である。
スリット２３は振動板２１の面内に設けられている。第
８図はこの圧電アクチュエータの屈曲振動の状態を示す
ものであり、圧電素子２２により点線で示すような三つ
の山と谷を有する屈曲振動を行う。第９図（ａ）、（ｂ
）は第２の圧電素子２７を駆動したときの振動板２１の
動きを示したもので、第２の圧電素子２７は縦モードの
伸縮振動を行うため、振動板２１は左右に振動する。す
ると振動板上には楕円振動あるいは斜めの振動が合成さ
れ、振動板２１上に加圧接触させたスライダ（回示せず
）を移動させることができる。２８は圧電アクチュエー
タの振動部を固定するサブベースであり、ベース２９に
固定される。
８図はこの圧電アクチュエータの屈曲振動の状態を示す
ものであり、圧電素子２２により点線で示すような三つ
の山と谷を有する屈曲振動を行う。第９図（ａ）、（ｂ
）は第２の圧電素子２７を駆動したときの振動板２１の
動きを示したもので、第２の圧電素子２７は縦モードの
伸縮振動を行うため、振動板２１は左右に振動する。す
ると振動板上には楕円振動あるいは斜めの振動が合成さ
れ、振動板２１上に加圧接触させたスライダ（回示せず
）を移動させることができる。２８は圧電アクチュエー
タの振動部を固定するサブベースであり、ベース２９に
固定される。
［発明の効果］
この発明になる圧電アクチュエータによれば、弾性進行
波を用いずに定在波を用いるために多数の屈曲モードの
振動を効率よく発生させることができ、設計の自由度が
高く、安定で高出力の圧電アクチュエータが実現でき、
非共振モードでも駆動できるために駆動回路も小形でシ
ンプルなものとなる。
波を用いずに定在波を用いるために多数の屈曲モードの
振動を効率よく発生させることができ、設計の自由度が
高く、安定で高出力の圧電アクチュエータが実現でき、
非共振モードでも駆動できるために駆動回路も小形でシ
ンプルなものとなる。
図面はいずれも本発明の実施例を示し、第１図は圧電ア
クチュエータを示す斜視図、第２図は第１図に示した圧
電アクチュエータの屈曲状態を示す側面図、第３図は第
１図の圧電アクチュエータの振動の状態を示す説明図、
第４図は他の実施例に係る振動板を示す斜視図、第５図
は第４図の振動板を用いたときの屈曲状態を示す側面図
、第６図は他の実施例になる圧電アクチュエータを示す
斜視図、第７図は他の実施例に係る圧電アクチュエータ
を示す斜視図、第８図は第７図の振動板を用いたときの
屈曲状態を示′す側面図、第９図は同じく振動板の動き
を示す説明図である。 １・・・振動板 ２ａ、２ｂ、２Ｃ・ｆｆ電電子 子・・・スリット ４・・・不連続部 ６・・・節 ７ａ、７ｂ、７ｃ。 ７ｄ、７ｅ、７ｆ−・・第２の圧電素子圧電アクチュエ
ータの屈曲状態の側面図用 ２ 図 圧電アクチュエータの撮動状態の説明同第 ３ 図 圧電アクチュエータの斜視図 第 １ 図 圧電アクチュエータの斜視図 第 ６ 図 屈曲状態を示す側面図 第 ８ 図 ンリ 振動板の動きを示す説明図 第 ９ 図
クチュエータを示す斜視図、第２図は第１図に示した圧
電アクチュエータの屈曲状態を示す側面図、第３図は第
１図の圧電アクチュエータの振動の状態を示す説明図、
第４図は他の実施例に係る振動板を示す斜視図、第５図
は第４図の振動板を用いたときの屈曲状態を示す側面図
、第６図は他の実施例になる圧電アクチュエータを示す
斜視図、第７図は他の実施例に係る圧電アクチュエータ
を示す斜視図、第８図は第７図の振動板を用いたときの
屈曲状態を示′す側面図、第９図は同じく振動板の動き
を示す説明図である。 １・・・振動板 ２ａ、２ｂ、２Ｃ・ｆｆ電電子 子・・・スリット ４・・・不連続部 ６・・・節 ７ａ、７ｂ、７ｃ。 ７ｄ、７ｅ、７ｆ−・・第２の圧電素子圧電アクチュエ
ータの屈曲状態の側面図用 ２ 図 圧電アクチュエータの撮動状態の説明同第 ３ 図 圧電アクチュエータの斜視図 第 １ 図 圧電アクチュエータの斜視図 第 ６ 図 屈曲状態を示す側面図 第 ８ 図 ンリ 振動板の動きを示す説明図 第 ９ 図
Claims (2)
- （１）不連続なスリットを１本以上設けた振動板と、該
振動板上に前記スリットを挟んで固着した圧電素子とか
らなり、前記の不連続部を振動板の節となるよう構成し
た圧電アクチュエータ。 - （２）前記振動板の両端面に第２の圧電素子を固着した
請求項（１）記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2058777A JPH03261382A (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2058777A JPH03261382A (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | 圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03261382A true JPH03261382A (ja) | 1991-11-21 |
Family
ID=13093988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2058777A Pending JPH03261382A (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03261382A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012210092A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Fujifilm Corp | 圧電アクチュエータ、可変容量コンデンサ及び光偏向素子 |
-
1990
- 1990-03-08 JP JP2058777A patent/JPH03261382A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012210092A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Fujifilm Corp | 圧電アクチュエータ、可変容量コンデンサ及び光偏向素子 |
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