JPH03257301A - ブリツジ回路の出力値補正方法 - Google Patents
ブリツジ回路の出力値補正方法Info
- Publication number
- JPH03257301A JPH03257301A JP2055727A JP5572790A JPH03257301A JP H03257301 A JPH03257301 A JP H03257301A JP 2055727 A JP2055727 A JP 2055727A JP 5572790 A JP5572790 A JP 5572790A JP H03257301 A JPH03257301 A JP H03257301A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- resistor
- bridge circuit
- resistance body
- resistors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 32
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 16
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 3
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910006091 NiCrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は複数の薄膜抵抗体を基板上に形成して、抵抗体
相互を接続してブリッジ回路を構成したものに係わり、
特にそのブリッジ回路の出力値の補正方法に関するもの
である。
相互を接続してブリッジ回路を構成したものに係わり、
特にそのブリッジ回路の出力値の補正方法に関するもの
である。
（従来の技術）
本発明の従来技術として、以下に示すものがある。即ち
、従来技術では基板上に形成された絶縁体膜上に所定形
状に形成された薄膜抵抗が形成され、この薄膜抵抗体に
耐湿コーティングがされていた。そして薄膜抵抗体によ
ってブリッジ回路を組んで圧力変化に伴う抵抗値変化を
圧力変化に換算して圧力を測定しようとするものであっ
た。そして、ブリッジ回路の出力規格を補正するために
薄膜抵抗体と同時に形成したトリミング用の抵抗体部分
を物理的な方法（切削加工）によって所定の出力規格に
補正するといった方法が採られていた。
、従来技術では基板上に形成された絶縁体膜上に所定形
状に形成された薄膜抵抗が形成され、この薄膜抵抗体に
耐湿コーティングがされていた。そして薄膜抵抗体によ
ってブリッジ回路を組んで圧力変化に伴う抵抗値変化を
圧力変化に換算して圧力を測定しようとするものであっ
た。そして、ブリッジ回路の出力規格を補正するために
薄膜抵抗体と同時に形成したトリミング用の抵抗体部分
を物理的な方法（切削加工）によって所定の出力規格に
補正するといった方法が採られていた。
（発明が解決しようとする課題）
（１）
（２）
しかし、抵抗体の切削といった物理的な方法によって抵
抗値を調節する方法であると、薄膜抵抗体の抵抗値の調
節時に抵抗体が形成される絶縁体膜、あるいは基板その
ものをを損傷させてしまう可能性かあった。即ち、圧カ
センザとしての強度を十分に確保できないといった可能
性を生しさせるとともに、センサとしての耐久性能を１
゛分に確保できないという問題が生していた。
抗値を調節する方法であると、薄膜抵抗体の抵抗値の調
節時に抵抗体が形成される絶縁体膜、あるいは基板その
ものをを損傷させてしまう可能性かあった。即ち、圧カ
センザとしての強度を十分に確保できないといった可能
性を生しさせるとともに、センサとしての耐久性能を１
゛分に確保できないという問題が生していた。
また、従来挾術による出力規格の補正方法であると抵抗
体を切削する際に抵抗体の耐湿コーティングも同時に切
削してしまうことになり、切削端面での抵抗体の耐湿性
が得られなくなってしまいＪｌ（抗体の電力・１″腐蝕
１’ｔ：によって抵抗体が腐蝕してしまい、この結果圧
力センサ耐久性能が十分得られないといった問題があっ
た。
体を切削する際に抵抗体の耐湿コーティングも同時に切
削してしまうことになり、切削端面での抵抗体の耐湿性
が得られなくなってしまいＪｌ（抗体の電力・１″腐蝕
１’ｔ：によって抵抗体が腐蝕してしまい、この結果圧
力センサ耐久性能が十分得られないといった問題があっ
た。
木兄１９１は以上のような槌来技術が抱えた問題点を解
決するために成されたものであり、抵抗体薄膜のもった
電解腐蝕性を利用して抵抗体を切断して所定の出力規格
として高精度な圧力センサとすること、および、抵抗体
の腐蝕を排除して高耐久性である圧力センサとすること
を技術的課題とする。
決するために成されたものであり、抵抗体薄膜のもった
電解腐蝕性を利用して抵抗体を切断して所定の出力規格
として高精度な圧力センサとすること、および、抵抗体
の腐蝕を排除して高耐久性である圧力センサとすること
を技術的課題とする。
（課題を解決するための手段）
このような課題を解決するために講した挾術的手段は、
薄板上に形成された絶縁層； 該絶縁層上に形成された複数の歪みケージ抵抗体；およ
び、 該歪みゲージ抵抗体と共に前記絶縁層上に形成され少な
くとも２つの補正抵抗体を並列接続した補正抵抗体群を
備えると共に、前記歪みケージ抵抗体と補正抵抗体群の
組合−已によってＡＪＩまれたブリッジ回路において、 前記並列接続した補正抵抗体群の少なくとも１つを電解
腐蝕によって切断させてブリッジ回路の出力値を補正し
た、ことである。
薄板上に形成された絶縁層； 該絶縁層上に形成された複数の歪みケージ抵抗体；およ
び、 該歪みゲージ抵抗体と共に前記絶縁層上に形成され少な
くとも２つの補正抵抗体を並列接続した補正抵抗体群を
備えると共に、前記歪みケージ抵抗体と補正抵抗体群の
組合−已によってＡＪＩまれたブリッジ回路において、 前記並列接続した補正抵抗体群の少なくとも１つを電解
腐蝕によって切断させてブリッジ回路の出力値を補正し
た、ことである。
（作用）
抵抗値の補正による出力規格の補正を抵抗体の電解腐蝕
性を利用することにより、抵抗体に物理的損傷を与える
ことなく補正することができる。
性を利用することにより、抵抗体に物理的損傷を与える
ことなく補正することができる。
また、抵抗値を補正した後に抵抗体に耐湿コーチ（３）
（４）
インタを施せば良いためセンサとしての耐久性を格段に
向上することができる。
向上することができる。
（実施例）
次に、本発明の圧力センサの出力値の補正方法について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
第１図は圧力センサのセンシング部分ｌの平面図で、第
２図は第１図のｌ−Ｉ線に沿った圧力センサの一部断面
図を示す。センシング部分１は、金属あるいはガラス製
の薄板２上に二酸化シリコンの絶縁層３を形成した後、
この絶縁層３」二に複数の薄膜抵抗体である歪みゲージ
抵抗体Ｒ，，Ｒ２Ｒ３およびＲ４をスパッタによって積
層形成することによって作成されている。抵抗体そのも
のの材質はアモルファス金属であり、本実施例ではその
一例で必るＮｉＣｒＳｉを使用した。また、薄板２の板
厚はガラスを用いたときは約０．５ ｒｎ ｍとして、
方金属を用いたときは約０．９ ｍ ｍとした。絶縁層
３の膜厚は３．５μｍ±０．５μｍとして、薄膜抵抗体
の）Ｈ４Ｈさは０．４μｍとした。
２図は第１図のｌ−Ｉ線に沿った圧力センサの一部断面
図を示す。センシング部分１は、金属あるいはガラス製
の薄板２上に二酸化シリコンの絶縁層３を形成した後、
この絶縁層３」二に複数の薄膜抵抗体である歪みゲージ
抵抗体Ｒ，，Ｒ２Ｒ３およびＲ４をスパッタによって積
層形成することによって作成されている。抵抗体そのも
のの材質はアモルファス金属であり、本実施例ではその
一例で必るＮｉＣｒＳｉを使用した。また、薄板２の板
厚はガラスを用いたときは約０．５ ｒｎ ｍとして、
方金属を用いたときは約０．９ ｍ ｍとした。絶縁層
３の膜厚は３．５μｍ±０．５μｍとして、薄膜抵抗体
の）Ｈ４Ｈさは０．４μｍとした。
第１図に月ぎした歪みゲージ抵抗体Ｒ，，Ｒ，，Ｒ３お
よびＲ４は、それぞれ電極４，５，６．７および８を介
してそれぞれ電気的に接続されている。
よびＲ４は、それぞれ電極４，５，６．７および８を介
してそれぞれ電気的に接続されている。
そして、歪みゲージ抵抗体ＲＩ＋ Ｒ２＋ Ｒ３および
Ｒ４はブリッジ回路を構成している。歪みゲージ抵抗体
Ｒ２およびＲ３との間には、互いに並列接続された補正
抵抗体ｒ、およびｒ２を直列に接続して補正抵抗体群を
接続した。同様に歪みゲージ抵抗体Ｒ３およびＲ４との
間には、互いに並列接続された補正抵抗体ｒ３およびｒ
４を直列に接続して補正抵抗体群を接続した。電極は歪
みゲージ抵抗体と比較して大きなパターンに形成されて
いるため、圧力変化に伴なう抵抗値の変化量は無視する
ことができる。各補正抵抗体ｒｌ＋ｒ２＋ｒｌおよびｒ
４は所定の抵抗値を持つように予め設定された幅をもっ
て薄板２上に歪みケージ抵抗体と同時に形成されている
。
Ｒ４はブリッジ回路を構成している。歪みゲージ抵抗体
Ｒ２およびＲ３との間には、互いに並列接続された補正
抵抗体ｒ、およびｒ２を直列に接続して補正抵抗体群を
接続した。同様に歪みゲージ抵抗体Ｒ３およびＲ４との
間には、互いに並列接続された補正抵抗体ｒ３およびｒ
４を直列に接続して補正抵抗体群を接続した。電極は歪
みゲージ抵抗体と比較して大きなパターンに形成されて
いるため、圧力変化に伴なう抵抗値の変化量は無視する
ことができる。各補正抵抗体ｒｌ＋ｒ２＋ｒｌおよびｒ
４は所定の抵抗値を持つように予め設定された幅をもっ
て薄板２上に歪みケージ抵抗体と同時に形成されている
。
第３図は、第１図で示したセンシング部分１を回路図と
して書き下したものである。電極４および６は給電電極
であり、その他の電極は検流用の端子電極として使用す
る。
して書き下したものである。電極４および６は給電電極
であり、その他の電極は検流用の端子電極として使用す
る。
一般に圧カセンザのセンシング部分１は薄板２上にマス
クワーキングによって作成される。しかしながら、同一
マスクによって歪みゲージ抵抗体を作成しても個々の歪
みゲージ抵抗体の抵抗値を均一にすることは雑しかった
。このため、歪みケージ抵抗体と同時に、前に述べた補
正抵抗体を同時に作成して、この補正抵抗体を切断する
ことによってブリッジ出力値を補正する方法が用いられ
ている。この補正には、薄板２」二に形成されるＮｉＣ
ｒＳｉによる抵抗体は電解腐蝕が起こりやすいとういう
性質を積極的に利用して行った。
クワーキングによって作成される。しかしながら、同一
マスクによって歪みゲージ抵抗体を作成しても個々の歪
みゲージ抵抗体の抵抗値を均一にすることは雑しかった
。このため、歪みケージ抵抗体と同時に、前に述べた補
正抵抗体を同時に作成して、この補正抵抗体を切断する
ことによってブリッジ出力値を補正する方法が用いられ
ている。この補正には、薄板２」二に形成されるＮｉＣ
ｒＳｉによる抵抗体は電解腐蝕が起こりやすいとういう
性質を積極的に利用して行った。
次にその方法に−ノいて第４．５．６図を用い°（説明
する。まず、ブリッジ回路に所定の電圧を印加してブリ
ッジ回路の抵抗値が規格内にあるかどうかについて測定
する。この測定と同時に、抵抗値が規格値からどの程度
の誤差があるかについても検出することができる。この
検出した値に基づいて、切断する補正抵抗体を選択して
切断後のブリッジ回路の出力値が規格内に収まるように
する。
する。まず、ブリッジ回路に所定の電圧を印加してブリ
ッジ回路の抵抗値が規格内にあるかどうかについて測定
する。この測定と同時に、抵抗値が規格値からどの程度
の誤差があるかについても検出することができる。この
検出した値に基づいて、切断する補正抵抗体を選択して
切断後のブリッジ回路の出力値が規格内に収まるように
する。
第４図を参照する。例えば、補正抵抗体ｒ、を選択した
とき、この補正抵抗体ｒ、上に補正抵抗体の幅と路間−
の直径を持つ水滴９を滴下する。
とき、この補正抵抗体ｒ、上に補正抵抗体の幅と路間−
の直径を持つ水滴９を滴下する。
次に、第５図に示したように、定電圧源１０に接続され
たコンタクトプローブピンＩｆ、１２の内、一方のコン
タクトプローブピン１１を水滴９に接触させると同時に
、他方のコンタクトプローブピン１２を電極４に接触さ
せて両者の導通を許容する状態とする。そして、所定電
圧を所定時間印加して補正抵抗体ｒ１に電解腐蝕を発生
させる。電解腐食を発生させた後は、補正抵抗体ｒ、は
実質的に切断した状態と同等となる。第６図は補正抵抗
体ｒ１を電解腐蝕によって切断した後の状態を示してい
る。点線によって示した部分が電解腐蝕によって切断さ
れた部分である。この操作によって電極４とゲージ抵抗
体Ｒ１は補正抵抗体ｒ２によってのみ導通状態が保たれ
ることになる。
たコンタクトプローブピンＩｆ、１２の内、一方のコン
タクトプローブピン１１を水滴９に接触させると同時に
、他方のコンタクトプローブピン１２を電極４に接触さ
せて両者の導通を許容する状態とする。そして、所定電
圧を所定時間印加して補正抵抗体ｒ１に電解腐蝕を発生
させる。電解腐食を発生させた後は、補正抵抗体ｒ、は
実質的に切断した状態と同等となる。第６図は補正抵抗
体ｒ１を電解腐蝕によって切断した後の状態を示してい
る。点線によって示した部分が電解腐蝕によって切断さ
れた部分である。この操作によって電極４とゲージ抵抗
体Ｒ１は補正抵抗体ｒ２によってのみ導通状態が保たれ
ることになる。
ブリッジ１１１路の出力値を補正した後、補正抵抗体、
および歪みゲージ抵抗体を洗浄する。この洗浄は電解腐
蝕した補正抵抗体が他の抵抗体に付着して短絡を引き起
こさないために行われる。セン（７） （８） シング部分１を洗浄した後、従来と同様にセンシング部
分１全面に耐湿コーティングを施す。
および歪みゲージ抵抗体を洗浄する。この洗浄は電解腐
蝕した補正抵抗体が他の抵抗体に付着して短絡を引き起
こさないために行われる。セン（７） （８） シング部分１を洗浄した後、従来と同様にセンシング部
分１全面に耐湿コーティングを施す。
本実施例では、薄板２上に歪みゲージ抵抗体を作成した
圧力センサを用いてその出力値の補正方法について説明
した。しかし、この補正方法が用いることができるのは
実施例で挙げた圧カセンザに限られるものではない。即
ち、歪みゲージ抵抗体が薄板上に形成されるもので、そ
の抵抗体がブリッジ回路を組むもので必ればよい。この
例として、加速度センナ、あるいはトルクセンサ等があ
るが、これらのセンサにも適用することが可能である。
圧力センサを用いてその出力値の補正方法について説明
した。しかし、この補正方法が用いることができるのは
実施例で挙げた圧カセンザに限られるものではない。即
ち、歪みゲージ抵抗体が薄板上に形成されるもので、そ
の抵抗体がブリッジ回路を組むもので必ればよい。この
例として、加速度センナ、あるいはトルクセンサ等があ
るが、これらのセンサにも適用することが可能である。
（発明の効果］
以上の説明からも明らかなように、電解腐蝕をによって
抵抗体の一部を切断して、抵抗値の補正をしたことによ
って、抵抗体の切削といった物理的な方法を用いなくと
も抵抗値の補正が可能となった。抵抗体に電解腐蝕を誘
発させる媒体として水を用いるこができ、抵抗体の補正
も安価に済ませることができる。
抵抗体の一部を切断して、抵抗値の補正をしたことによ
って、抵抗体の切削といった物理的な方法を用いなくと
も抵抗値の補正が可能となった。抵抗体に電解腐蝕を誘
発させる媒体として水を用いるこができ、抵抗体の補正
も安価に済ませることができる。
さらに、従来のように切削といった物理的な方法によっ
て抵抗値を補正した場合、抵抗体が形成される薄板も同
時に削り取ることによりセンサの強度も低下させていた
が、電解腐食によるものであると切削による強度低下も
廃止することができる。電解腐食の後、耐湿コーティン
グを施すため、抵抗体部分は全て耐湿コーティングされ
るためセンサの耐久性も向上することができる。
て抵抗値を補正した場合、抵抗体が形成される薄板も同
時に削り取ることによりセンサの強度も低下させていた
が、電解腐食によるものであると切削による強度低下も
廃止することができる。電解腐食の後、耐湿コーティン
グを施すため、抵抗体部分は全て耐湿コーティングされ
るためセンサの耐久性も向上することができる。
第１図は本発明の一実施例である圧力センサの平面図、
第２図は第１図のＩ−１線に沿った圧力センサの部分断
面図、第３図は第１図で示した圧カセンザのセンシング
部分を回路図として害き下した回路図、第４．５．６図
は電解腐食による出力値の補正方法を説明する工程図で
ある。 ２・・・薄板、 ３・・・絶縁層、 Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４・・・歪みゲージ抵抗体、ｒ＋
＋ｒｚ＋ｒ：＋＋ｒ４ ・・・補正抵抗体、９・・・水
滴。 （９） （１０） 第 １ 図 ｓ２個 １３ＭＪ
第２図は第１図のＩ−１線に沿った圧力センサの部分断
面図、第３図は第１図で示した圧カセンザのセンシング
部分を回路図として害き下した回路図、第４．５．６図
は電解腐食による出力値の補正方法を説明する工程図で
ある。 ２・・・薄板、 ３・・・絶縁層、 Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４・・・歪みゲージ抵抗体、ｒ＋
＋ｒｚ＋ｒ：＋＋ｒ４ ・・・補正抵抗体、９・・・水
滴。 （９） （１０） 第 １ 図 ｓ２個 １３ＭＪ
Claims (2)
- （１）薄板上に形成された絶縁層； 該絶縁層上に形成された複数の歪みゲージ抵抗体；およ
び、 該歪みゲージ抵抗体と共に前記絶縁層上に形成され少な
くとも２つの補正抵抗体を並列接続した補正抵抗体群を
備えると共に、前記歪みゲージ抵抗体と補正抵抗体群の
組合せによつて組まれたブリッジ回路において、 前記並列接続した補正抵抗体群の少なくとも１つを電解
腐蝕によつて切断させてブリッジ回路の出力値を補正す
ることを特徴とするブリッジ回路の出力値補正方法。 - （２）前記補正抵抗体上に水滴を滴下した後、この前記
水滴に電界を印加した請求項１記載のブリッジ回路の出
力値補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2055727A JPH03257301A (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | ブリツジ回路の出力値補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2055727A JPH03257301A (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | ブリツジ回路の出力値補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03257301A true JPH03257301A (ja) | 1991-11-15 |
Family
ID=13006890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2055727A Pending JPH03257301A (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | ブリツジ回路の出力値補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03257301A (ja) |
-
1990
- 1990-03-07 JP JP2055727A patent/JPH03257301A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20150023393A1 (en) | Large Area Temperature Sensor | |
| US6269534B1 (en) | Method for producing an electric resistor and a mechano-electric transducer | |
| AU758914B2 (en) | Mechanical-electrical transducer | |
| CN102735154A (zh) | 应变仪及其制造方法 | |
| WO2005124328A2 (en) | Electrochemical corrosion monitoring device and method | |
| US6512445B1 (en) | Strain-sensitive resistor | |
| CA2191347C (en) | A method of producing components on a metal film basis | |
| US20080191719A1 (en) | Device And Method For Measuring The Width Of Touch Between Rollers | |
| CN102507053A (zh) | 一种钢化玻璃压力传感器 | |
| JPH03257301A (ja) | ブリツジ回路の出力値補正方法 | |
| JP2003217903A (ja) | 抵抗器とその製造方法及びその抵抗器を用いた温度センサー | |
| GB2129565A (en) | Pressure and temperature transducer | |
| JPS5942402A (ja) | 歪センサの製造方法 | |
| CN202382889U (zh) | 一种钢化玻璃压力传感器 | |
| US6995575B2 (en) | Apparatus and methods for measuring resistance of conductive layers | |
| JPH06207866A (ja) | 荷重検出装置 | |
| JPH11340002A (ja) | チップ型抵抗器用集合基板 | |
| JPH0629015A (ja) | フレキシブル回路基板とその製造方法 | |
| JPS6212458B2 (ja) | ||
| JPH0755599A (ja) | 荷重検出装置 | |
| JPH03261564A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH08159706A (ja) | 間隔センサ | |
| KR101487150B1 (ko) | 금속 다이아프램형 압력센서의 제조방법 | |
| JPH03210404A (ja) | 形状センサ | |
| JPH0192652A (ja) | 大気腐食モニタ |