JPH03251373A - インゴット保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ＋１＋発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ノツチの形成もしくはオリエンテションフラ
ットの形成などの加工に際してインゴットを保持するイ
ンゴット保持装置に関し、特に、インゴットの両端部を
インゴット保持部材で回転可能に保持しかつその中間部
を位置決めののちインゴット固定部材で固定してなるイ
ンゴット保持装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来、この種のインゴット保持装置としては、工作テー
ブル上に適宜の間隔をおいて載置された２つの■ブロッ
クに対してシリコン単結晶などのインボッ１〜を載置し
たのち、手指によって杷持しつつインゴットを回転せし
めることにより予めＸ線装置によって測定された結晶方
位から決定された加工基／＄綿（いわゆる°°ケガキ線
°°なと）が工作只（回転砥石など）によるＴ作位置に
適合するよう位置決めし、２つのクランプ部Ｈによって
インゴットをＶブロックに対し同定してなるものが提案
されていた。

［解決すべき問題点］ しかしながら、従来のインゴット保持装置では、■ブロ
ック上に載置した状態で手指によって把持しつつインゴ
ットを回転せしめることにより位置決めしていたので、
（ｊ）インゴットの回転を円滑化できない欠点があり、
ひいては（１１）位置決めに多大の時間を要する欠点が
あり、また（ｊｉｉ）位置決め精度を確保し難い欠点が
あった。

そこで、本発明は、これらの欠点を除去すべく、インゴ
ットの両端部をインゴット保持部材で回転可能に保持す
ることにより位置決めを円滑化してなるインゴット保持
装置を提供せんとするものである。

（２）発明の構成 ［問題点の解決手段］ 本発明により提供される問題点の解決手段は、［ノツチ
の形成もしくはオリエンテーションフラットの形成など
の加工に際してインゴットを保持してなるインゴット保
持装置において、 ［ａ）インゴットの位置決めに際して回転可能となるよ
うインボッ１〜の両端部 をそれぞれ保持するための２つのイ ンゴット保持部材と、 ｆｂｌインゴットの位置決めののちインゴットの中間部
を固定するためのイ ンゴット固定部材と、 （Ｃ）２つのインゴット保持部材およびインゴット固定
部材か配設された本体 と を備えてなることを特徴とするインコ・ノー・保持装置
」 である。

［イ乍用］ 本発明にかかるインゴット保持装置は、」二連の［問題
点の解決手段］で明示したごとく、インゴットの両端部
をインゴット保持部材で回転可能に保持してなるので、 （１）位置決めに際してインゴットの回転を円滑化する
作用 をなし、ひいては （１１）位置決めに所要の時間を短縮する作用をなし、
併せて （ｉｉｉ）位置決め精度を向上する作用をなず。

［実施例コ 次に、本発明にかかるインゴット保持装置について、そ
の好ましい実施例を挙げ、添付図面を参照しつつ、具体
的に説明する。

」災血盟り講戒工 まず、第１図を参ｅ、＋７しつつ、本発明にかかるイン
ゴット保持装置の一実施例について、その構成を詳細に
説明する。

ｌＯは、本発明にかかるインゴット保持装置であって、
Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な工作テーブル２０
上に取外可能に固定されている。

本発明にかかるインゴット保持装置１０は、シリコンｍ
結晶などのインゴットＭの位置決めに際して回転可能と
なるようインボッｌ−Ｍの両端部をそれぞれ保持するた
めの２一つのインゴット（呆持部材土、珊と、インゴッ
トＭの位置決めののちインゴットＭの中間部を固定する
ためのインゴット固定部材並と、インゴット保持部材出
、典およびインゴット固定部材４０が配設された本体５
０とを備えている。

インゴット保持部材３０Ａ、　３０Ｂは、ともに、互い
に接近離間可能であってインゴットＭの一端部を把持す
るための２つ１組の■ブロック３１ａ、３１．ｂと、■
ブロック３１ａ、３１ｂに対し一端部がそれぞれ固着さ
れた案内ボルト３２ａ、　３２ｂと、案内ボルト３２ａ
、　３２ｂがそれぞれ挿通された案内スリット３３ａ。

３３ｂの形成された保持アーム３４と、保持アーム３４
の両端部に形成されたネジ孔に対して螺入されており先
端部で■ブロック３１ａ、　３１ｂをそれぞれ押圧する
ための押ボルト３５ａ、　３５ｂと、保持アーム３４に
対し一端部が固着されかつ他端部にハンドル３６が取イ
」けられたシャフト３７と、シャフト３７を回転可能に
支承するだめのベアリング３８とを包有している。案内
ボルト３２ａ、３２ｂは、インゴットＭを着脱するに際
して■ブロック３１ａ、　３１ｂを移動する必要かある
場合に、固定ナツト３９ａ、　３９ｂを緩めることによ
り、案内スリット３３ａ、３３ｂにそって移動される。

インゴット固定部材４０は、インゴットＭの中間部を支
持するための■ブロック４１ａと、■ブロック旧ａに対
して接近離間可能であって■ブロック４１ａに対しイン
ゴットＭを固定するための他の■ブロック４］、ｂと、
■ブロック４１ｂに対し一端部が固着された案内ボルト
４２と、案内ボルト４２が挿通された案内スリット４３
の形成された固定アーム４４と、固定アーム４４に形成
されたネジ孔に対して螺入されており先端部で■ブロッ
ク４１ｂを押圧するための押ボルト４５とを包有してい
る。

本体５０は、両端部に起立して形成された起立部５１Ａ
、５１Ｂの貫通孔によってそれぞれベアリング３８３８
を保持することによりインゴット保持部材３０Ａ、　３
０Ｂを保持し、更には、中間部５１Ｇに対し■ブロック
４１ａが下面より固定ボルト（図示せず）によって固定
されかつ固定アーム４４が適宜に（たとえば一体に）取
付けられることによりインゴット固定部材４０を保持し
ている。

ユ夾施盟Ω作皿上 更に、第１図を参照しつつ、本発明にかかるインゴット
保持装置の一実施例について、その作用を詳細に説明す
る。

インコ′ットＭの呆 本発明にかかるインゴット保持装置用は、予めＸ線装置
によって測定された結晶方位から決定された目印（ここ
では加工基４線℃）の付されたインゴットＭの両端部を
インゴット保持部材３０Ａ３０Ｂで保持する。

すなわち、インゴット保持部材３０Ａ、　３０Ｂは、案
内ボルト３２ａ、　３２ｂの固定ナツト３９ａ、　３９
ｂを緩めたのち押ボルト３５ａ、３５ｂを緩めることに
より■ブロック３１ａ、３１ｂを互いに離間せしめた状
態で、インゴットＭの端部を■ブロック３１ａ、　３１
ｂ間に配置し、押ボルト３５ａ、３５１〕を螺進して■
ブロック３１ａ３１ｂを互いに接近せしめることにより
、インゴットＭの両端部を保持する。

■ブロック３１ａ、３１ｂによるインゴットＭの固定の
のち、案内ボルト３２ａ、　３２ｂは、固定ナツト３９
ａ３９ｂを締めることにより、保持アーム３４に対して
固定する。

インゴットＭの立　？め ハンドル３６を手指によって把持しつつ矢印ＷＡＷ１１
で示すごとく回転せしめることにより、加工基準線ρを
加工具（たとえば回転砥石２１）の工作位置に適合する
よう位置決めする。

更に、ハンドル３６を手指で固定した状態で、インゴッ
ト固定部材４０の押ボルト４５を螺進してＶブロック４
１ｂを押え、■ブロック４１ａ　４１１）によってイン
ゴットＭを固定する。

■ブロック４１ｂは、そののち、案内ボルト４２を固定
ナツト（図示せず）によって固定することにより、固定
アーム４４に対して固定する。

インゴットＭの加工 以上により、位置決めの終了したとき、工作テーブル翻
を矢印ｘ１方向に移動せしめることにより、インゴット
Ｍを回転砥石２１に接触せしめス 更に、工作テーブル２０を矢印￥１方向に移動すること
により、回転龜石２１でインゴットＭを研削し、加工基
準線℃にそってノツチｍを形成する。

ノツチｍの形成ののち、工作テーブル２０を矢印Ｘ２．
Ｙ２方向に移動せしめることにより、回転砥石２１から
シリコンインボッｌ−Ｍを離間せしめる。

インゴットＭの取外 インゴット固定部材４０の案内ボルト４２を固定ナツト
を緩めてスリット４３にそって移動可能としたのち、押
ボルト４５を緩める。

更に、インゴット保持部材腸、側の案内ボルト３２ａ、
　３２ｂを固定ナツト３９ａ、　３９ｂを緩めて移動可
能としたのち、押ボルト３５ａ、３５ｂを緩める。

以上により、加工済のインボッｌ−Ｍを取り外し後続の
処理に供する。

（変形例） なお、上述においては、本体５０の起立部５１Ａ５１Ｂ
が中間部５１Ｃに対して移動不能である場合についての
み説明したが、本発明は、これに限定されるものではな
く、起立部が中間部に対して移動可能とされている場合
も包摂している。この場合は、インゴットの長さの変化
に対処可能とできる。

（３）発明の効果 上述より明らかなように、本発明にかかるインゴット保
持装置は、上述の［問題点の解決手段１で明示したごと
く、インゴットの両端部をインゴット保持部材で回転可
能に保持してなるので、 （１）位置決めに際してインゴットの回転を円滑化でき
る効果 を有し、ひいては （１１）位置決めに所要の時間を短縮できる効果を有し
、併せて ｆｉｉｉ）位置決め精度を向上できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明にかかるインゴット保持装置１ の一実施例を示すための斜視図である。 ０ ０ ２１　　　　・ ３０Ａ　　３０Ｂ　　・ ３１ａ　　３１ｂ ３２ａ　　３２ｂ ３３ａ　　３３ｂ ４ ３５ａ　　３５１〕 ６ ７ ３８　　・　・ ３９ａ　　３９１） ４０　・・ ４１ａ　　４１ｂ ２ ３ ４ インゴット保持装置 工作テーブル 回転砥石 インゴット保持部材 ■ブロック 案内ボルト 案内スリット 保持アーム 押ボルト ハンドル シャフト ベアリング 固定ナツト インゴット固定部材 ■ブロック 案内ボルト 案内スリット 固定アーム ０ ρ ５ ５１Ａ　　５１Ｂ １Ｃ 押ボルト ・・本体 起立部 中間部 ・・インゴット ・・　・ノツチ ケガキ線 特許出暉人東芝セラミックス株式会社 代　理　人　弁理士 工部 隆　　夫

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ノッチの形成もしくはオリエンテーションフラットの形
   成などの加工に際してインゴットを保持してなるインゴ
   ット保持装置において、（ａ）インゴットの位置決めに
   際して回転可能となるようインゴットの両端部をそれぞ れ保持するための２つのインゴット保持 部材と、 （ｂ）インゴットの位置決めののちインゴットの中間部
   を固定するためのインゴット固 定部材と、 （ｃ）２つのインゴット保持部材およびインゴット固定
   部材が配設された本体と を備えてなることを特徴とするインゴット保持装置。