JPH03249618A - Optical modulator - Google Patents

Optical modulator

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JPH03249618A
JPH03249618A JP4592590A JP4592590A JPH03249618A JP H03249618 A JPH03249618 A JP H03249618A JP 4592590 A JP4592590 A JP 4592590A JP 4592590 A JP4592590 A JP 4592590A JP H03249618 A JPH03249618 A JP H03249618A
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豊原 篤志
Yasuhisa Tanizawa
谷澤 靖久
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Abstract

PURPOSE:To return a switching curve, shifted by applying a modulating voltage, to its initial state in a short time by providing a switching means, and applying the electrode of a waveguide with a DC voltage having the opposite polarity from the modulating voltage outputted from a driving circuit by the switching of the switching means. CONSTITUTION:This device has a waveguide substrate 2, an input-side optical fiber 5 and an output-side optical fiber 6 which are connected optically to the waveguide 1, the driving circuit 7 which is connected to the electrode 3, and a DC voltage source 9 which outputs a positive DC voltage. Then a relay circuit 10 as the switching means is provided between the driving circuit 7 connected to the electrode 3 and the DC voltage source 9. Therefore, the DC voltage having the opposite polarity from the modulating voltage can be applied in a period wherein the application of the modulating voltage is stopped by the switching of the switching means 10. Consequently, the switching curve which is shifted by the application of the modulating voltage can be returned forcibly to its initial state.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光変調装置に係わり、特に導波路形の光装置を
用いた光変調装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an optical modulation device, and particularly to an optical modulation device using a waveguide type optical device.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

導波路形の光装置は、強誘電体材料や半導体材料からな
る基板中に、光を閉じ込めて導波させるための導波路と
して屈折率の高い部分が形成されており、この導波路の
近傍に変調電圧を印加するため電極が形成されている。
A waveguide type optical device has a high refractive index portion formed in a substrate made of ferroelectric material or semiconductor material as a waveguide for confining and guiding light. Electrodes are formed for applying a modulating voltage.

この電極に外部から変調電圧を印加することによって導
波路の屈折率を変化させ、光の位相や強度を変調させた
り、あるいは光路を切り換えたりする。この導波路形の
光装置の一例として、強誘電体材料の中で比較的高い電
気光学効果を有するニオブ酸リチウム基板を用いた光装
置がある。この光装置は、基板上にチタン膜を成膜し、
このチタン膜を導波路パターンにパターンニングした後
、1000°C前後の高温で数時間チタンを拡散させて
導波路を形成し、この導波路上に蒸着法により二酸化シ
リコンバッファ層を成膜し、その上面に金属膜により電
極を形成したものである。このような導波路形光装置は
、基板上に光を変調させたり光路切り換えを行うための
スイッチング機能を集積化することが可能である。また
、光を高速に変調することができるので、大容量光通信
用の外部変調器や破断点計測装置等における光路切換用
スイッチとして開発が進められている。
By applying a modulating voltage to this electrode from the outside, the refractive index of the waveguide is changed, modulating the phase and intensity of light, or switching the optical path. An example of this waveguide type optical device is an optical device using a lithium niobate substrate, which has a relatively high electro-optic effect among ferroelectric materials. This optical device forms a titanium film on the substrate,
After patterning this titanium film into a waveguide pattern, a waveguide is formed by diffusing titanium at a high temperature of around 1000°C for several hours, and a silicon dioxide buffer layer is formed on this waveguide by a vapor deposition method. An electrode is formed on the top surface using a metal film. Such a waveguide type optical device can integrate a switching function for modulating light and switching an optical path on a substrate. In addition, since light can be modulated at high speed, development is progressing as an external modulator for large-capacity optical communication, an optical path switching switch in a break point measuring device, and the like.

第4図および第5図は従来から広く知られているマツハ
ツエンダ型の高速光変調装置を示すものである。以下、
その構造と動作原理を説明する。
4 and 5 show a conventionally widely known Matsuhatsu Enda type high-speed optical modulator. below,
Its structure and operating principle will be explained.

導波路1は、ニオブ酸リチウムからなる導波路基板2に
形成されている。この導波路lは2つの分岐部1a、l
bを有するとともに、中央に2本の平行路10.ldを
有している。この2本の平行路lc、ldの各々の上部
には、導波路基板2の表面全体に成膜された二酸化シリ
コンバッファ層8を介してクロムまたは金からなる金属
層の電極3および電極4が形成されている。導波路1の
両端面には入力側光ファイバ5と出力側光ファイバ6と
がそれぞれ光学的に結合されている。一方の電極3には
変調電圧を印加させるた約の駆動回路7の出力端が接続
され、この駆動回路7の入力端には正の直流電圧を供給
するための直流電圧源9が接続されている。他方の電極
4は接地されている。
The waveguide 1 is formed on a waveguide substrate 2 made of lithium niobate. This waveguide l has two branch parts 1a, l
b, and two parallel paths 10.b in the center. It has ld. On top of each of these two parallel paths lc and ld, electrodes 3 and 4 made of metal layers made of chromium or gold are provided via a silicon dioxide buffer layer 8 formed over the entire surface of the waveguide substrate 2. It is formed. An input optical fiber 5 and an output optical fiber 6 are optically coupled to both end faces of the waveguide 1, respectively. An output terminal of a drive circuit 7 for applying a modulation voltage is connected to one electrode 3, and a DC voltage source 9 for supplying a positive DC voltage is connected to an input terminal of this drive circuit 7. There is. The other electrode 4 is grounded.

このような構成において、電極3に外部から電圧を印加
すると、第7図(a)に示すように導波路1に矢印で表
示するような方向の電界が発生し、ニオブ酸リチウムの
もつ電気光学効果により導波路1の屈折率が変化する。
In such a configuration, when a voltage is externally applied to the electrode 3, an electric field is generated in the waveguide 1 in the direction indicated by the arrow as shown in FIG. 7(a), and the electro-optic property of lithium niobate is The effect changes the refractive index of the waveguide 1.

導波路1の屈折率が変化すると、そこを伝搬する光の位
相が変化するが、これは屈折率が高くなるか低くなるか
で互いに逆方向に印加された電圧に応じて変化する。電
極3に第6図に示すようなパルス電圧を印加したとき、
導波路1の平行路1c、ldに発生する電界は互いに逆
方向であり、このたt各年行路1c、ldを伝搬される
光の位相は互いに逆方向に変化する。
When the refractive index of the waveguide 1 changes, the phase of light propagating there changes, and this changes depending on whether the refractive index becomes high or low, depending on the voltages applied in opposite directions. When a pulse voltage as shown in FIG. 6 is applied to the electrode 3,
The electric fields generated in the parallel paths 1c and ld of the waveguide 1 are in opposite directions, and the phases of the light propagated through the respective paths 1c and ld change in opposite directions.

なお、第6図に右いて、aで示す期間は変調電圧(Vπ
)が印加され、またbで示す期間は変調を休止している
期間となる。
In addition, on the right side of FIG. 6, the period indicated by a is the modulation voltage (Vπ
) is applied, and the period indicated by b is a period during which modulation is suspended.

第8図の実線31はこの印加した電圧と光出力との関係
を示すスイッチング曲線を表すものである。電圧を印加
しない状態では一旦分岐され、再び合流した光は位相差
がないため伝搬損や分岐損を除き、再び光が出力される
が、印加電圧を増加させると光に位相差が生じる。この
ため、丁度2つの光の位相が反転するように電圧を印加
すると光は出力されなくなる。マツハツエンダ型の高速
光変調装置は、以上説明した原理をもとに印加電圧をオ
ン、オフさせることによって光を変調するものである。
A solid line 31 in FIG. 8 represents a switching curve showing the relationship between the applied voltage and the optical output. When no voltage is applied, the light that is once branched and recombined has no phase difference, so propagation loss and branching loss are removed, and the light is output again. However, when the applied voltage is increased, a phase difference occurs in the light. Therefore, if a voltage is applied so that the phases of the two lights are exactly reversed, no light will be output. The Matsuhatsu Enda type high-speed optical modulator modulates light by turning on and off an applied voltage based on the principle explained above.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上述したように従来の光変調装置は、電圧を印加しない
v=00状態と変調電圧(Vπ)を印加した状態との間
で電圧変調が行われるが、長時間使用し続けると第7図
(b)に示したように、二酸化シリコンバッファ層8あ
るいは導波路基板2中に含まれる不純物イオンのうち、
ナトリウムイオン(Na+)等の可動イオンが電極4方
向に移動し始める。この結果、同じ電圧を印加しても導
波路1に発生する電界強度は弱まってしまい、所望の変
調に必要な光の消光比が得られなくなってしまう。この
ことは第8図に破線30で示すように、印加電圧と光出
力との関係を示すスイッンチング曲線が印加電圧と同じ
極性の方向にシフトを起こしてしまう(ドリフト現象)
のと等価である。
As mentioned above, in the conventional optical modulation device, voltage modulation is performed between the v=00 state where no voltage is applied and the state where a modulation voltage (Vπ) is applied. As shown in b), among the impurity ions contained in the silicon dioxide buffer layer 8 or the waveguide substrate 2,
Mobile ions such as sodium ions (Na+) begin to move in the direction of the electrode 4. As a result, even if the same voltage is applied, the electric field strength generated in the waveguide 1 becomes weaker, making it impossible to obtain the extinction ratio of light necessary for desired modulation. This causes the switching curve, which shows the relationship between the applied voltage and the optical output, to shift in the direction of the same polarity as the applied voltage, as shown by the broken line 30 in FIG. 8 (drift phenomenon).
is equivalent to .

このため元の特性を維持するためには変調電圧を増加さ
せなければならないという問題があった。
Therefore, there was a problem in that the modulation voltage had to be increased in order to maintain the original characteristics.

このドリフト現象は可逆であり、電極4の近傍に集まっ
た不純物イオンが再び二酸化シリコンバッファ層8ある
いは導波路基板2の中に拡散すればスイッチング曲線は
初期状態に復帰するが、一般に導波路素子が放置状態(
電圧V=0)であると、電圧印加によりシフトしたスイ
ッチング曲線を初期状態に戻すには、電圧印加時間の数
倍から数十倍の放置時間を必要とする。
This drift phenomenon is reversible, and if the impurity ions gathered near the electrode 4 diffuse into the silicon dioxide buffer layer 8 or the waveguide substrate 2 again, the switching curve will return to its initial state. Abandoned state (
When the voltage V=0), returning the switching curve shifted by voltage application to its initial state requires a standing time that is several times to several tens of times longer than the voltage application time.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
その目的は、変調電圧の印加によりシフトしたスイッチ
ング曲線を短期間で強制的に初期状態に復帰させること
ができ、常に安定した特性を維持することができる光変
調装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of such problems, and includes:
The purpose is to provide an optical modulation device that can forcibly return a switching curve shifted to its initial state in a short period of time by applying a modulation voltage, and can always maintain stable characteristics.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明の光変調装置は、導波路およびこの導波路の近傍
に変調用の電極を有する導波路基板と、変調に必要な直
流電圧を出力する直流電圧源と、この直流電圧源の出力
を変調電圧に変換して電極へ印加させる駆動回路と、電
極に供給される電圧を駆動回路から出力される変調電圧
もしくは直流電圧源から出力される直流電圧に切り換え
て電極に互いに逆極性の電圧を交互に印加させる切換手
段とを備えている。
The optical modulation device of the present invention includes a waveguide substrate having a waveguide and a modulation electrode near the waveguide, a DC voltage source that outputs a DC voltage necessary for modulation, and a DC voltage source that modulates the output of the DC voltage source. A drive circuit converts the voltage into a voltage and applies it to the electrodes, and the voltage supplied to the electrodes is switched to a modulated voltage output from the drive circuit or a DC voltage output from a DC voltage source, and voltages of opposite polarity are alternately applied to the electrodes. and switching means for applying the voltage.

また、本発明の光変調装置は、導波路およびこの導波路
の近傍に変調用の電極を有する導波路基板と、変調に必
要な直流電圧を出力する第1の直流電圧源と、この第1
の直流電圧源の出力を変調電圧に変換して電極へ印加さ
せる駆動回路と、第1の直流電圧源の出力とは逆極性の
直流電圧を出力する第2の直流電圧源と、電極に印加さ
れる電圧を駆動回路から出力される変調電圧もしくは第
2の直流電圧源から出力される直流電圧に切り換える切
換手段とを備えている。
Further, the optical modulation device of the present invention includes a waveguide substrate having a waveguide and a modulation electrode near the waveguide, a first DC voltage source that outputs a DC voltage necessary for modulation, and a first DC voltage source that outputs a DC voltage necessary for modulation.
a drive circuit that converts the output of the DC voltage source into a modulated voltage and applies it to the electrode; a second DC voltage source that outputs a DC voltage of opposite polarity to the output of the first DC voltage source; and switching means for switching the voltage output from the drive circuit to the modulated voltage output from the drive circuit or the DC voltage output from the second DC voltage source.

このような構成の光変調装置においては、切換手段の切
換により変調電圧の印加を休止している期間に、変調電
圧とは逆極性の直流電圧を印加することができ、これに
より変調電圧が印加されることによりシフトしたスイッ
チング曲線を強制的に初期状態に復帰させることが可能
になる。
In an optical modulation device having such a configuration, by switching the switching means, it is possible to apply a DC voltage of opposite polarity to the modulation voltage during a period when the application of the modulation voltage is suspended, and thereby the modulation voltage is applied. By doing so, it becomes possible to forcibly return the shifted switching curve to its initial state.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例に係わる導波路形の光変調装
置の平面的構成を示すものである。ここで、導波路基板
2と導波路1に光学的に接続された入力側光ファイバ5
と出力側光ファイバ6および電極3に接続される駆動回
路7および正の直流電圧を出力する直流電圧源9は、第
4図に示した従来の光変調装置と同一の構成であるため
、その説明を省略する。本実施例では電極3に接続され
る駆動回路7と直流電圧源9との間に、切換手段として
のリレー回路10が設けられている。リレー回路10に
は、互いに連動する可動接点10a、lQbおよび固定
接点10C〜10eが設けられている。一方の可動接点
10aは接地されている。他方の可動接点10bには直
流電圧源9の出力端が接続されている。固定接点10C
には駆動回路7の変調電圧入力端7aが接続され、この
駆動回路7の変調電圧出力端7bは電極3に接続される
とともに固定接点10eに接続されている。
FIG. 1 shows a planar configuration of a waveguide type optical modulation device according to an embodiment of the present invention. Here, an input optical fiber 5 optically connected to the waveguide substrate 2 and the waveguide 1
The drive circuit 7 connected to the output side optical fiber 6 and the electrode 3, and the DC voltage source 9 that outputs a positive DC voltage have the same configuration as the conventional optical modulator shown in FIG. The explanation will be omitted. In this embodiment, a relay circuit 10 as a switching means is provided between a drive circuit 7 connected to the electrode 3 and a DC voltage source 9. The relay circuit 10 is provided with movable contacts 10a, lQb and fixed contacts 10C to 10e that interlock with each other. One movable contact 10a is grounded. The output end of the DC voltage source 9 is connected to the other movable contact 10b. Fixed contact 10C
A modulated voltage input terminal 7a of the drive circuit 7 is connected to the modulated voltage input terminal 7a of the drive circuit 7, and a modulated voltage output terminal 7b of the drive circuit 7 is connected to the electrode 3 and to the fixed contact 10e.

すなわち、本実施例の光変調装置においては、第1図に
示したようにリレー回路10の可動接点10a、10b
がそれぞれ固定接点10d、10C側に接続された状態
では、電極4が接地されるとともに直流電圧源9から駆
動回路7に対して正の直流電圧が供給され、電極3に変
調電圧が印加される。そして可動接点10a、10bが
固定接点10d、IOCから固定接点10eS10d側
に切り換わると、電極3が接地されるとともに電極4に
直流電圧源9が接続される。
That is, in the optical modulation device of this embodiment, as shown in FIG.
are connected to the fixed contacts 10d and 10C, respectively, the electrode 4 is grounded, a positive DC voltage is supplied from the DC voltage source 9 to the drive circuit 7, and a modulated voltage is applied to the electrode 3. . When the movable contacts 10a and 10b switch from the fixed contacts 10d and IOC to the fixed contacts 10eS10d, the electrode 3 is grounded and the DC voltage source 9 is connected to the electrode 4.

第2図はこの光変調装置において、電極3に印加される
変調電圧の波形図の一例を示すものである。第2図にa
で示す期間にはリレー回路lOが第1図に示す状態にあ
り、電極3には変調電圧が印加される。同図にbで示す
休止期間にはリレー回路10が切り換わり、可動接点1
0a、10bが固定接点10e、10d側に接続され、
その結果電極3には負電圧が印加される。すなわち、こ
のリレー回路10の切り換えにより駆動回路7から出力
される変調電圧と直流電圧源lOの出力電圧とを互いに
逆極性になるように電極3に接続でき、したがって変調
を休止している期間に変調電圧とは逆極性の負の電圧を
電極3に印加することができる。これにより第7図(b
)に示した電極4の近傍に蓄積された不純物イオンを強
制的に再び二酸化シリコンバラフシ層8中に拡散させる
ことができる。つまり第8図に破線30で示したスイッ
チング曲線を初期状態の実線31の位置へ強制的に復帰
させることができる。
FIG. 2 shows an example of a waveform diagram of the modulation voltage applied to the electrode 3 in this optical modulation device. In Figure 2 a
During the period indicated by , the relay circuit lO is in the state shown in FIG. 1, and a modulated voltage is applied to the electrode 3. During the rest period indicated by b in the same figure, the relay circuit 10 switches, and the movable contact 1
0a and 10b are connected to fixed contacts 10e and 10d,
As a result, a negative voltage is applied to the electrode 3. That is, by switching this relay circuit 10, the modulated voltage output from the drive circuit 7 and the output voltage of the DC voltage source 10 can be connected to the electrode 3 so that they have opposite polarities, and therefore, during the period when modulation is stopped, A negative voltage having a polarity opposite to that of the modulation voltage can be applied to the electrode 3. This results in Figure 7 (b)
The impurity ions accumulated in the vicinity of the electrode 4 shown in ) can be forcibly diffused into the silicon dioxide bulk layer 8 again. In other words, the switching curve indicated by the broken line 30 in FIG. 8 can be forcibly returned to the initial state indicated by the solid line 31.

本実施例および従来例の光変調装置の変調電圧(Vπ)
の大きさは、たとえば6.5vである。
Modulation voltage (Vπ) of the optical modulation device of this embodiment and the conventional example
The magnitude of the voltage is, for example, 6.5V.

第9図はこれらの光装置を同時に2時間使用し、1時間
休止させ、これを繰り返した場合の各々のドリフト現象
による電圧シフト量を調べたものである。変調中には周
期1ms、デユーティ30%のパルス電圧を電極3に印
加した。休止期間中は、従来の光変調装置では電圧=O
Vとし、本実施例の光変調装置ではリレー回路10を駆
動回路7から直流電圧源9に切り換えて直流電圧(6,
5V)を約20分間印加し、その後OVとした。従来の
光変調装置では破線32で示すように10時間経過後に
約3Vの電圧シフトを起こしているのに対し、本実施例
の光変調装置では実線33で示すように約0.5VLか
電圧シフトを起こしておらず、安定した特性が維持でき
ている。
FIG. 9 shows an investigation of the amount of voltage shift due to each drift phenomenon when these optical devices were used simultaneously for 2 hours and then stopped for 1 hour, and this was repeated. During modulation, a pulse voltage with a period of 1 ms and a duty of 30% was applied to the electrode 3. During the rest period, in the conventional optical modulator, the voltage = O
V, and in the optical modulation device of this embodiment, the relay circuit 10 is switched from the drive circuit 7 to the DC voltage source 9, and the DC voltage (6,
5V) was applied for about 20 minutes, and then OV was applied. In the conventional optical modulator, a voltage shift of about 3 V occurs after 10 hours as shown by a broken line 32, whereas in the optical modulator of this embodiment, a voltage shift of about 0.5 VL occurs as shown by a solid line 33. No problems occurred and stable characteristics were maintained.

第3図は本発明の他の実施例を示すものである。FIG. 3 shows another embodiment of the invention.

本実施例においては、正の直流電圧を出力する第1の直
流電圧源としての直流電圧源9とは別に、負の直流電圧
を出力する第2の直流電圧源としての負電圧源20およ
びリレー回路21を設け、このリレー回路2Iにより電
極3と駆動回路7および負電圧源20との接続を切り換
えるようにしたものである。すなわち、リレー回路21
の可動接点21aは電極3に接続され、一方の固定接点
21bは駆動回路7の変調電圧出力端7bに接続され、
また他方の可動接点21Cは負電圧源20の出力端に接
続されている。その他の構成は第4図の従来例と同様で
あるため、その説明は省略する。
In this embodiment, in addition to a DC voltage source 9 as a first DC voltage source that outputs a positive DC voltage, a negative voltage source 20 as a second DC voltage source that outputs a negative DC voltage and a relay are used. A circuit 21 is provided, and connections between the electrode 3, the drive circuit 7, and the negative voltage source 20 are switched by this relay circuit 2I. That is, the relay circuit 21
The movable contact 21a is connected to the electrode 3, and one fixed contact 21b is connected to the modulated voltage output terminal 7b of the drive circuit 7.
The other movable contact 21C is connected to the output end of the negative voltage source 20. The rest of the configuration is the same as the conventional example shown in FIG. 4, so a description thereof will be omitted.

本実施例の光変調装置においては、リレー回路21の切
り換えにより、電極3に駆動回路7と負電圧源20とを
交互に接続させることができる。
In the optical modulation device of this embodiment, the drive circuit 7 and the negative voltage source 20 can be alternately connected to the electrode 3 by switching the relay circuit 21 .

これにより電極3に第1図の実施例と同様に第2図に示
した変調電圧を印加てき、変調を休止している期間に変
調電圧とは逆極性の負電圧を印加することができる。し
たがって、第1図の実施例と同様にシフトしたスイッチ
ング曲線を初期状態に復帰させることができる。
As a result, the modulation voltage shown in FIG. 2 is applied to the electrode 3 in the same manner as in the embodiment shown in FIG. 1, and a negative voltage having the opposite polarity to the modulation voltage can be applied during the period when modulation is suspended. Therefore, similarly to the embodiment of FIG. 1, the shifted switching curve can be returned to its initial state.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明の光変調装置によれば、切換
手段を設け、この切換手段の切り換えにより駆動回路か
ら出力される変調電圧とは逆極性の直流電圧を導波路の
電極に印加できるようにしたので、変調電圧の印加を休
止する時間に変調電圧とは逆極性の直流電圧を電極に印
加することができ、ドリフト現象によりシフトしたスイ
ッチング曲線を初期状態に強制的に復帰させることが可
能になり、よってドリフト現象による電圧シフトは蓄積
されず、その結果書に安定した特性を維持することがで
きる。
As explained above, according to the optical modulation device of the present invention, the switching means is provided, and by switching the switching means, a DC voltage having a polarity opposite to that of the modulation voltage output from the drive circuit can be applied to the electrodes of the waveguide. , it is possible to apply a DC voltage of opposite polarity to the modulating voltage to the electrodes during the time when the application of the modulating voltage is stopped, and it is possible to forcibly return the switching curve that has been shifted due to the drift phenomenon to the initial state. Therefore, the voltage shift due to the drift phenomenon is not accumulated, and as a result, stable characteristics can be maintained in the result.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例に係わる光変調装置の構成を
示す平面図、第2図はこの光変調装置の電極に印加され
る変調電圧の一例を示す波形図、第3図は本発明の他の
実施例に係る光変調装置の構成を示す平面図、第4図は
従来の光変調装置の構成を示す平面図、第5図は第4図
のA−A’部部面面図第6図は従来の光変調装置に印加
される変調電圧の一例を示す波形図、第7図(a)、(
b)はそれぞれ従来の光変調装置の使用時の状態を説明
するための図であり、同図(a)は初期状態を示す断面
図、同図(b)は使用後の状態を示す断面図、第8図は
電極への印加電圧と光出力との関係を示す図、第9図は
本発明の実施例と従来の光変調装置の使用時における経
過時間とシフトした電圧との関係を示す図である。 1・・・・・・導波路、2・・・・・・導波路基板、3
.4・・・・・・電極、5・・・・・・人力用ファイバ
、6・・・・・・出力用ファイバ、  7・・・・・・
駆動回路、9・・・・・・直流電圧源(第1の直流電圧
源)、10.20・・・・・・リレー回路、
FIG. 1 is a plan view showing the configuration of a light modulation device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a waveform diagram showing an example of a modulation voltage applied to the electrodes of this light modulation device, and FIG. FIG. 4 is a plan view showing the configuration of a conventional optical modulation device, and FIG. 5 is a partial plane taken along line AA' in FIG. 4. Figure 6 is a waveform diagram showing an example of a modulation voltage applied to a conventional optical modulation device, Figure 7 (a), (
b) are diagrams for explaining the state of the conventional optical modulation device when in use, where (a) is a cross-sectional view showing the initial state, and (b) is a cross-sectional view showing the state after use. , FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the voltage applied to the electrode and the optical output, and FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the elapsed time and the shifted voltage when using the embodiment of the present invention and the conventional optical modulation device. It is a diagram. 1... Waveguide, 2... Waveguide substrate, 3
.. 4... Electrode, 5... Fiber for human power, 6... Output fiber, 7...
Drive circuit, 9... DC voltage source (first DC voltage source), 10.20... Relay circuit,

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、導波路およびこの導波路の近傍に変調用の電極を有
する導波路基板と、 変調に必要な直流電圧を出力する直流電圧源と、この直
流電圧源の出力を変調電圧に変換して前記電極へ印加さ
せる駆動回路と、 前記電極に供給される電圧を前記駆動回路から出力され
る変調電圧もしくは前記直流電圧源から出力される直流
電圧に切り換えて前記電極に互いに逆極性の電圧を交互
に印加させる切換手段とを具備することを特徴とする光
変調装置。 2、導波路およびこの導波路の近傍に変調用の電極を有
する導波路基板と、 変調に必要な直流電圧を出力する第1の直流電圧源と、 この第1の直流電圧源の出力を変調電圧に変換して前記
電極へ印加させる駆動回路と、 前記第1の直流電圧源の出力とは逆極性の直流電圧を出
力する第2の直流電圧源と、 前記電極に印加される電圧を前記駆動回路から出力され
る変調電圧もしくは前記第2の直流電圧源から出力され
る直流電圧に切り換える切換手段とを具備することを特
徴とする光変調装置。
[Claims] 1. A waveguide substrate having a waveguide and a modulation electrode near the waveguide, a DC voltage source that outputs a DC voltage necessary for modulation, and a device that modulates the output of the DC voltage source. a drive circuit that converts the voltage into a voltage and applies it to the electrode; and a drive circuit that switches the voltage supplied to the electrode to a modulated voltage output from the drive circuit or a DC voltage output from the DC voltage source and applies it to the electrode in opposite directions. 1. A light modulation device comprising: switching means for alternately applying polarity voltages. 2. A waveguide substrate having a waveguide and a modulation electrode near the waveguide, a first DC voltage source that outputs the DC voltage necessary for modulation, and modulating the output of the first DC voltage source. a drive circuit that converts the voltage into a voltage and applies it to the electrode; a second DC voltage source that outputs a DC voltage of opposite polarity to the output of the first DC voltage source; An optical modulation device comprising a switching means for switching between the modulation voltage output from the drive circuit and the DC voltage output from the second DC voltage source.
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